CN112441389A - 加工系统和物品制造方法 - Google Patents

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Abstract

一种加工系统，其包括：输送路径，所述输送路径包括配置成输送滑架的多个输送模块，所述多个输送模块设置成将滑架输送到多个位置；加工装置，所述加工装置配置成对安装在滑架上的工件执行加工；以及控制单元，所述控制单元配置成控制所述多个输送模块和所述加工装置，其中所述控制单元配置成在由所述加工装置在所述多个位置对工件执行加工的情况下，通过使用所述输送模块移动所述滑架而将工件移动到所述多个位置。本公开还涉及一种用于制造物品的物品制造方法。

Description

加工系统和物品制造方法
技术领域
本公开涉及加工系统和物品制造方法，其用于通过在生产装置的操作工序之间输送工件的同时加工所述工件来制造物品。
背景技术
输送工件并对工件进行加工的加工系统包括用于执行预定操作工序的多个加工装置。所述多个加工装置以彼此之间的预定距离安装，并且工件输送装置布置在加工装置之间。在各个操作工序中对工件实施了预定加工之后，工件由输送装置依次输送到用于后续操作工序的加工装置。
为了在各个操作工序中实施诸如零件组装的精确加工，加工系统将工件与加工装置精确对准。在工件被输送装置输送到用于一操作工序的加工装置之后，对准该工件或者由设置用于该操作工序的对准装置或图像处理装置识别工件位置。在位置校正之后，加工装置加工该工件。由于精确对准需要很长时间，因此产生了循环时间较长的问题。
众所周知，直接组装法是一种用于缩短循环时间的方法。直接组装法包括将工件对准到用于输送工件的输送滑架上，然后针对各个操作工序将输送滑架移动到教示位置并立即加工工件。
为了通过直接组装法实施精确加工，输送滑架相对于教示位置的停止位置精度至关重要。正如日本专利特开第2013-102562号所讨论的那样，具有高停止位置精度的线性致动器经常被用作工件输送装置的致动器。
根据日本专利特开第2000-100856号所述，在加工具有多个加工点的工件的情况下，在用于该操作工序的加工装置中所包括的致动器将加工工具移动到各个加工点以实施预定的加工。
例如，在加工以窄间距布置有多个加工点的大尺寸工件时，可能需要高精度、高加减速性能、以及大冲程。
发明内容
本公开的第一方面提供了一种加工系统，其包括：输送路径，所述输送路径包括配置成输送滑架的多个输送模块，所述多个输送模块设置成将滑架输送到多个位置；加工装置，所述加工装置配置成对安装在滑架上的工件执行加工；以及控制单元，所述控制单元配置成控制所述多个输送模块和所述加工装置，其中，所述控制单元配置成在由所述加工装置在所述多个位置处对工件执行加工的情况下，通过使用所述多个输送模块移动所述滑架而将工件移动到所述多个位置。
本公开的第二方面提供了一种加工系统，其包括：输送路径，所述输送路径配置成通过设置被配置成输送滑架的多个输送模块而将所述滑架输送到多个位置；工件投放装置，所述工件投放装置配置成将工件安装在滑架上；检查装置，所述检查装置配置成检查安装在滑架上的工件；加工装置，所述加工装置配置成对工件执行预定的加工操作；工件排出装置，所述工件排出装置配置成移除工件；以及控制单元，所述控制单元配置成控制所述多个输送模块和所述加工装置，其中，所述控制单元配置成在由所述加工装置在多个位置对工件执行加工的情况下，通过使用所述多个输送模块移动所述滑架来控制所述多个位置。
本公开的第三方面提供了一种用于制造物品的物品制造方法，其包括通过使用如第一方面或第二方面所述的加工系统而在输送工件的同时对工件执行多次加工。
参考附图，根据以下对示例性实施例的描述，本公开的更多特征将变得显而易见。
附图说明
图1是示出根据第一示例性实施例的加工系统的总体配置的示意图。
图2是示出根据第一示例性实施例的输送系统的配置的示意图。
图3是示出根据第一示例性实施例的输送模块的配置的正视图。
图4是示出根据第一示例性实施例的输送模块的配置的截面图。
图5是示出根据第一示例性实施例的滑架和工件的配置的俯视图。
图6是示出根据第一示例性实施例的加工装置的配置的正视图。
图7是示出根据第一示例性实施例的加工装置的配置的截面图。
图8是示出根据第一示例性实施例的检查装置的配置的正视图。
图9是示出根据第一示例性实施例的教示点的布局的教示点布局图。
图10是示出根据第一示例性实施例公开的输送滑架的操作的时序图。
图11是示出根据第一示例性实施例的加工前检查装置的操作的时序图。
图12是示出根据第一示例性实施例的加工装置的操作的时序图。
图13是示出根据第一示例性实施例的加工后检查装置的操作的时序图。
图14是示出根据第二示例性实施例的互锁输送模块的配置的示意图。
图15是示出根据第五示例性实施例的加工系统的总体配置的示意图。
图16是示出根据第五示例性实施例的输送滑架的操作的时序图。
图17是示出根据第六示例性实施例的加工系统的总体配置的示意图。
图18是示出作用在根据第一示例性实施例的加工装置上的力之间的关系的图。
图19是示出根据第二示例性实施例的教示点的布局的教示点布局图。
图20是示出根据第二示例性实施例的输送滑架的操作的时序图。
图21是示出根据第二示例性实施例的加工前检查装置的操作的时序图。
图22是示出根据第二示例性实施例的加工装置的操作的时序图。
图23是示出根据第二示例性实施例的加工后检查装置的操作的时序图。
图24是示出根据第三示例性实施例的加工系统的总体配置和教示点的示意图。
图25是示出根据第三示例性实施例的输送滑架的操作的时序图。
图26是示出根据第四示例性实施例的加工系统的总体配置和教示点的示意图。
图27是示出根据第四示例性实施例的输送滑架的操作的时序图。
图28是用于描述教示点的校正的图。
具体实施方式
以下的示例性实施例提供了加工系统和物品制造方法，其有利于减少工具移动到工件上的多个加工点的时间，并且有利于对工件实施精确加工。
常规技术难以在短时间内移动工具(或输送工件)。例如，日本专利特开第2013-102562号讨论了一种使用线性输送机将输送滑架上的工件高精度地对准至各个操作工序的技术。然而，没有对各个操作工序内的移动进行考虑。在各个操作工序中工件被加工多次的情况下，各加工装置包括能够高速移动的多个致动器，以使得工具能够通过使用加工装置的致动器而移动到工件上的多个加工点。
日本专利特开第2000-100856号讨论了一种通过使用能够在水平面内沿X方向和Y方向高速移动的XY工作台装置来移动工件的装置。然而，提供能够在X方向和Y方向上高速移动的致动器增加了移动工作台自身的重量。
下面将参照附图描述示例性实施例。
首先将参考图1描述根据示例性实施例的加工系统的总体配置。图1是示出根据本示例性实施例的加工系统的总体配置的示意图。图1是整个加工系统的示意性俯视图。
如图1所示，根据本示例性实施例的加工系统00包括用于沿着输送路径移动滑架的滑架移动机构、滑架10(其可以称为输送滑架，在该滑架上可以安装工件)、以及加工工具。
具体地，加工系统00包括输送装置前进路径1(其可以称为输送前进路径)、输送装置返回路径2(其可以称为输送返回路径)、滑架转移装置3和滑架转移装置4，它们作为能够通过滑架移动机构将滑架10输送到多个位置的输送路径。加工系统00还包括工件投放装置5和工件排出装置6，它们设置在邻接输送路径的预定位置处。工件投放装置5用于将工件安装在滑架10上。工件排出装置6用于从滑架10排出工件。加工系统00还包括加工前检查装置7、加工后检查装置8和加工装置9，它们设置在邻接输送路径的预定位置处。一个检查装置可以既用作加工前检查装置7又用作加工后检查装置8。在本说明书的文本中，加工前检查装置7可以被称为第一检查装置，并且加工后检查装置8可以被称为第二检查装置。根据本示例性实施例的加工系统00包括输送系统01，该输送系统01输送待加工的工件W并在输送滑架10上执行工件W的对准。作为滑架移动机构的输送系统01至少包括输送装置前进路径1。除了输送装置前进路径1之外，输送系统01还可以包括输送装置返回路径2以及滑架转移装置3和4。输送装置前进路径1、输送装置返回路径2以及滑架转移装置3和4被包括在作为移动单元的输送滑架10的输送路径中。在本说明书的文本中，输送滑架10可以被称为移动单元，并且输送滑架10的输送路径可以被称为固定单元。在本说明书的文本中，输送装置前进路径1可以被称为输送装置返回路径2，并且输送装置返回路径2可以被称为输送装置前进路径1。
现在，将定义在以下的描述中作为正交坐标系使用的XYZ坐标系的坐标轴，即X轴、Y轴和Z轴及其方向。X轴在输送滑架10的输送方向上延伸。将在下文描述的基座02平行于X轴(水平地)放置。垂直于基座02的轴(即沿着竖直方向的轴)被定义为Z轴。与X轴和Z轴正交的轴被定义为Y轴。在具有如此定义的坐标轴的XYZ坐标系中，沿着X轴的方向将被称为X方向。与输送滑架10的输送方向一致的X方向将被称为+X方向，并且与+X方向相反的方向将被称为-X方向。沿着Y轴的方向将被称为Y方向。相对于+X方向从右向左的Y方向将被称为+Y方向，并且与+Y方向相反的方向将被称为-Y方向。沿着Z轴的方向将被称为Z方向。从输送路径到输送滑架10的Z方向(即竖直向上的方向)将被称为+Z方向。从输送滑架10到输送路径的Z方向(即竖直向下的方向)将被称为-Z方向。
在根据本示例性实施例的加工系统00中，在用于输送所述输送滑架10的相应的线性输送路径中所包括的输送装置前进路径1和输送装置返回路径2彼此平行铺设。然而，这并非限制性的。输送滑架10沿着输送装置前进路径1和输送装置返回路径2输送。用于将输送滑架10从输送装置返回路径2转移到输送装置前进路径1的滑架转移装置3(第一滑架转移装置)可以安装在输送装置前进路径1的最上游位置处。用于将输送滑架10从输送装置前进路径1输送到输送装置返回路径2的滑架转移装置4(第二滑架转移装置)可以安装在输送装置前进路径1的最下游位置处。沿着输送装置前进路径1输送的输送滑架10可以通过滑架转移装置4转移到输送装置返回路径2。沿着输送装置返回路径2输送的输送滑架10可以由滑架转移装置3转移到输送装置前进路径1。换句话说，输送滑架10可以被输送以沿着输送装置前进路径1和输送装置返回路径2循环。加工系统00可以包括一个或多个输送滑架10。
作为滑架移动机构的输送系统01包括输送装置前进路径1和输送装置返回路径2。输送装置前进路径1和输送装置返回路径2具有模块配置，并且包括多个输送模块11。
工件投放装置5是用于将工件W供应和安装到在输送装置前进路径1上移动的输送滑架10上的工件供应装置。工件投放装置5可以安装在位于输送装置前进路径1的上游并与其邻接的预定位置处。用于从沿着输送装置前进路径1移动的输送滑架10移除和排出工件W的工件排出装置6可以安装在位于输送装置前进路径1的下游并与其邻接的预定位置处。
用于检测沿着输送装置前进路径1移动的输送滑架10上的工件W的位置的加工前检查装置7可以安装在介于工件投放装置5和工件排出装置6之间的、邻接输送装置前进路径1的预定位置处。还可以安装加工装置9，其用于基于由加工前检查装置7进行的位置检测的结果来执行诸如涂覆、接合和组装操作的加工。还可以安装加工后检查装置8，其用于检查加工之后的加工状态，以便检查工件W是否如预先指定的那样被加工。加工系统00可以包括一个或多个加工装置9。多个加工装置9能够以规则的距离或者以任何指定的距离安装。加工前检查装置7和加工后检查装置8可以配置成作为用于检查安装在输送滑架10上的工件W的检查装置。
加工装置9不限于任何特定的装置，并且可以从用于对工件W实施各种加工操作的加工装置中选择。
输送滑架10是在工件投放装置5、加工装置9和工件排出装置6之间被依次输送的滑架，所述工件投放装置5、加工装置9和工件排出装置6设置在距输送装置前进路径1的预定距离处。工件投放装置5将工件W供应并投放至运送滑架10。在将工件W对准并固定到输送滑架10上之后，加工装置9对输送滑架10上的工件W实施预定的加工操作。在加工装置9的加工操作全部完成之后，工件排出装置6从输送滑架10移除工件W。以上述的方式制造物品。
(第一示例性实施例)
接下来，将参照图2至图4概述输送系统01中的输送装置前进路径1、输送装置返回路径2、滑架转移装置3和4、以及输送滑架10的配置的第一示例性实施例。
图2是用于描述输送装置前进路径1的示意图。图3是用于描述输送滑架10和作为输送路径的一部分的输送模块11的示意图。图4是输送滑架10和输送模块11的截面图。
加工系统00包括多个下位控制器43，这些下位控制器43连接到多个输送模块11以及滑架转移装置3和4以彼此通信。下位控制器43控制所连接的输送模块11以及滑架转移装置3和4。
为了便于描述，图2示出了五个输送模块11以及作为下位控制器43的五个下位控制器43a、43b、43c、43d和43e，各个下位控制器43连接到所述输送模块11中的不同的输送模块。图2还示出了作为连接到滑架转移装置3的下位控制器43的下位控制器43f和43g。图2还示出了作为连接到滑架转移装置4的下位控制器43的下位控制器43h和43i。在下面的描述中，下位控制器43a至43i被简称为“下位控制器43”，除非另有特定的区分。多个下位控制器43连接到下位控制器网络42。
加工系统00还包括中位控制器41和上位控制器40。中位控制器41经由下位控制器网络42连接到多个下位控制器43以便彼此通信。中位控制器41控制多个下位控制器43。中位控制器41还与上位控制器40连接，上位控制器40向中位控制器41发送操作命令。在本示例性实施例中，给出了下位控制器43被设置用于相应的输送模块11的情况的描述。然而，这并非限制性的。所有的输送模块11可以由控制器(例如计算机的中央处理单元(CPU)(控制单元))控制。多个输送模块11中的每一个都可以由控制器(例如计算机的CPU(控制单元))控制。本示例性实施例中的下位控制器43甚至可以配置成这样的控制单元。在本示例性实施例中，给出了中位控制器41和上位控制器40不同于下位控制器43的情况的描述。然而，这并非限制性的。例如，中位控制器41和上位控制器40可以由与控制下位控制器43相同的计算机的CPU(控制单元)控制。本示例性实施例中的中位控制器41和上位控制器40甚至可以配置成这样的控制单元。
如图2所示，输送模块11安装在基座02的水平安装表面上。输送模块11均包括输送模块壳体15、编码器12a、12b和12c、用于驱动滑架10的线圈组13、以及导轨14。未示出的电源连接到下位控制器43。
线圈组13沿着X方向附接到输送模块壳体15。导轨14沿着X方向附接到输送模块壳体15的上方。
输送滑架10包括将在下文描述的输送滑架基座30、标尺32和引导块35。
接下来，将参照图3和图4描述输送滑架10和输送模块11的配置。输送模块11是作为固定单元的输送路径的一部分，并且包括输送模块壳体15。作为移动单元的输送滑架10包括输送滑架基座30。
根据本示例性实施例的输送模块11包括外壳(输送模块壳体)15、内壳19和滑架驱动线圈(线圈组)13。输送模块11包括外壳底部15c以及两个外壳侧部15a和15b。两个外壳侧部15a和15b设置在外壳底部15c上，以使得两个外壳侧部15a和15b在与外壳底部15c相交的方向上以一定距离彼此相对。内壳(其可以称为滑架驱动线圈支架)19在彼此间隔开一定距离设置的两个外壳侧部15a和15b之间包括内壳底部19c以及两个内壳侧部19a和19b。两个内壳侧部19a和19b设置在内壳底部19c上，以使得两个内壳侧部19a和19b在垂直于内壳底部19c的方向上间隔开一定距离彼此相对。多对滑架驱动线圈13沿X方向布置在彼此间隔开一定距离设置的两个内壳侧部19a和19b之间。设置在输送滑架10上的永磁体33和永磁体支架34配置成在沿X方向布置的成对的滑架驱动线圈13之间通过。在本示例性实施例中，外壳15和内壳19可以统称为输送模块壳体。
内壳底部19c经由外壳侧部15a和15b中的通孔15aa、15ab、15ba和15bb(通孔15ab未示出)附接到附接部19d和19e以及热辐射板17a和17b。附接部19ca、19cb、19cc和19cd(附接部19cb未示出)设置在外壳底部15c上。
编码器12经由编码器支架18设置在外壳侧部15b上。图3示出了输送模块11包括三个编码器12的示例。然而，这并非限制性的，并且输送模块11可以包括至少一个或多个编码器12。
导轨14平行地设置在各个外壳侧部15a和15b的顶面上。换句话说，设有两个沿X方向延伸的导轨14。
引导块35和永磁体支架34设置在输送滑架基座30的底面上以形成T形结构。永磁体33嵌入永磁体支架34中。在本说明书的文本中，永磁体支架34和永磁体33可以统称为永磁体。
向滑架驱动线圈13施加电流以在附接到输送滑架基座30的多个永磁体33和附接到输送模块壳体的滑架驱动线圈13之间生成用于驱动输送滑架10的电磁力。输送滑架10由在多个永磁体33和滑架驱动线圈13之间生成的电磁力驱动，并且在+X方向上沿着输送装置前进路径1输送。在本示例性实施例中，输送系统01因此配置成使用移动磁体(MM)线性马达，其中滑架驱动线圈13保持静止并且永磁体33移动。
标尺32在能够由编码器12检测的位置处经由标尺支架31附接到输送滑架基座30的侧面。换句话说，标尺32和编码器12彼此相对地附接。标尺32具有用于检测输送滑架10的位置的图案。标尺32可以直接附接到输送滑架基座30的侧部而没有标尺支架31。在本说明书的文本中，标尺支架31和标尺32可以统称为标尺。
编码器12经由编码器支架(传感器附接构件)18设置在输送模块壳体15的外壳侧部15b上。编码器12由编码器支架18调节，以使得编码器12的标尺读取部分或编码器检测部分与标尺32相对。在本示例性实施例中，输送模块11被描述为包括三个编码器12。然而，这并非限制性的。编码器12可以在没有编码器支架18的情况下直接附接。在本说明书的文本中，编码器支架18和编码器12可以统称为编码器。在本示例性实施例中，移动单元的位置被描述为通过使用编码器12和标尺32来检测。然而，这样的配置不是限制性的，并且可以使用能够检测固定单元和移动单元的位置的常规传感器。在本说明书的文本中，附接到移动单元的构件被称为标尺，附接到固定单元的构件被称为编码器或传感器。热辐射板17a和17b(盖17)被附接以保护编码器12和标尺32。
编码器12a和12b之间的距离以及编码器12b和12c之间的距离理想地小于附接到输送滑架10的标尺32的长度。这使得无论输送滑架10在输送模块11上的位置如何，都能够通过任何一个编码器12来检测输送滑架10的位置。
输送模块11的编码器12附接到输送模块壳体15，并且在编码器12和附接到输送滑架10的标尺32之间具有恒定的间隙。编码器12可以通过读取标尺32上的图案而从编码器12检测输送滑架10在X方向上的位置作为相对位置。
下位控制器43可以基于连接的编码器12的输出和编码器12的安装位置来计算输送滑架10在输送模块11上的位置。下位控制器43可以基于输送滑架10的计算位置来控制施加到滑架驱动线圈13的电流量。下位控制器43由此能够以预定速度将输送滑架10输送到预定位置并使输送滑架10停止。
下位控制器43还可以通过使用编码器12来检测输送滑架10从邻接的输送模块11进入连接的输送模块11。为了以预定速度将进入连接的输送模块11的输送滑架10输送到预定位置并使输送滑架10停止，下位控制器43控制在连接的输送模块11上的输送滑架10。
下位控制器43具有用于与中位控制器41交换信息的通信功能。下位控制器43与中位控制器41进行关于由连接到下位控制器43的编码器12检测到的输送滑架10的位置信息的通信。
中位控制器41可以将用于操作输送滑架10的命令传输到各个下位控制器43。由此，中位控制器41可以控制多个输送滑架10。
输送装置返回路径2具有与上述的输送装置前进路径1类似的配置，区别仅在于输送滑架10的输送方向与输送装置前进路径1上的输送方向相反。
接下来，将描述滑架转移装置3和4的配置。如图2所示，滑架转移装置3和4均包括能够在Y方向上进行操作的滑架转移致动器50、以及安装在滑架转移致动器50上并且具有与输送模块11类似配置的模块。
在本示例性实施例中，将对滑架转移装置3和4配置成包括具有输送模块11的配置的模块的情况进行描述。然而，这并非限制性的，并且其他的配置可以用于转移。
连接到滑架转移装置3的下位控制器43f控制滑架转移装置3的滑架转移致动器50。连接到滑架转移装置3的下位控制器43g控制滑架转移装置3中的具有与输送模块11类似配置的模块，这类似于下位控制器43a、43b、43c、43d和43e。连接到滑架转移装置4的下位控制器43h控制滑架转移装置4的滑架转移致动器50。连接到滑架转移装置4的下位控制器43i控制滑架转移装置4中的具有与输送模块11类似配置的模块，这类似于下位控制器43a、43b、43c、43d和43e。
滑架转移装置3和4均通过在输送装置前进路径1和输送装置返回路径2之间进行操作来转移输送滑架10。滑架转移装置4将沿着输送装置前进路径1输送的输送滑架10从输送装置前进路径1转移到输送装置返回路径2。滑架转移装置3将沿着输送装置返回路径2输送的输送滑架10从输送装置返回路径2转移到输送装置前进路径1。
上位控制器40控制整个加工系统00。除了中位控制器41之外，上位控制器40还连接有用于工件投放装置5、工件排出装置6、加工前检查装置7、加工后检查装置8和加工装置9的控制器(未示出)以便彼此通信。上位控制器40控制加工系统00中的装置的操作和操作顺序。
接下来，将参照图5描述滑架10和工件W的配置。图5是输送滑架10和工件W的俯视图。工件夹持机构36设置在输送滑架基座30上。在由工件投放装置5供应工件W之后，工件夹持机构36将工件W固定到输送滑架10上。工件夹持机构36配置成使得在由加工装置9实施加工期间，固定的工件W不会由于输送滑架10的移动或外力而移位。
多个加工点P(1，0)至P(xm-1，0)和多个加工点P(1，yn)至P(xm-1，yn)沿X方向布置在工件W上。多个加工点P(0，1)至P(0，yn-1)和多个加工点P(xm，1)至P(xm，yn-1)沿Y方向布置在工件W上。在本说明书的文本中，这些加工点将简称为加工点P，除非另有特定的区分。
对准标记AM1在工件W上的坐标点(0，0)，对准标记AM2在坐标点(xm，0)，对准标记AM3在坐标点(0，yn)，对准标记AM4在坐标点(xm，yn)。各个加工点P的位置可以通过检测对准标记AM1、AM2、AM3和AM4的位置来计算。具体地，加工前检查装置7测量对准标记AM1、AM2、AM3和AM4的位置。基于测量结果校正加工装置9执行加工时的加工点P的位置。加工后检查装置8基于由加工前检查装置7执行的测量结果来检查由加工装置9执行的加工的结果。在本说明书的文本中，对准标记AM1、AM2、AM3和AM4将简称为对准标记AM，除非另有特定的区分。
接下来，将参照图6和图7描述加工装置9(参见图1)。图6是加工装置9的正视图，是从-X方向看到的加工装置9的视图。图7是示出图6中的加工装置9的截面A-A和截面B-B的截面图。例如，加工装置9是在工件W上的加工点P处执行接合的接合装置。
加工装置9包括加工工具驱动滑架60和作为加工工具输送路径的加工工具驱动模块61。例如在加工装置9是接合装置的情况下，加工工具驱动滑架60可以被称为接合头驱动滑架60，并且加工工具驱动模块61被称为接合头驱动模块61。
加工工具驱动模块61包括加工工具驱动模块壳体65和具有底部开口槽结构的滑架驱动线圈支架69。滑架驱动线圈支架69设置在加工工具驱动模块壳体65上以与加工工具驱动模块壳体65形成封闭结构。一对相对的滑架驱动线圈63附接到滑架驱动线圈支架69的内壁。
编码器62经由编码器支架68设置在加工工具驱动模块壳体65上。
两个导轨64在与作为输送路径的输送装置前进路径1中所包括的输送模块11的导轨14(参见图3)交叉的方向上平行地铺设在加工工具驱动模块壳体65的顶面上。换句话说，导轨64沿着与由输送模块11移动的滑架10的移动方向交叉的方向铺设。就易于控制而言，所述交叉的方向可以垂直于由输送模块11移动的滑架10的移动方向。
加工工具驱动滑架60包括驱动滑架基座80和附接到驱动滑架基座80的底面的引导块85。加工工具驱动滑架60在引导块85的引导下沿着导轨64移动。永磁体支架84设置在加工工具驱动滑架60的顶面上。多个永磁体83嵌入在永磁体支架84中。在本说明书的文本中，永磁体支架84和永磁体83可以统称为永磁体。永磁体支架84配置成在经由滑架驱动线圈支架69附接到加工工具驱动模块壳体65的一对滑架驱动线圈63之间穿过。
向经由滑架驱动线圈支架69附接到加工工具驱动模块壳体65的滑架驱动线圈63施加电流，以在滑架驱动线圈63和附接到加工工具驱动滑架60的多个永磁体83之间生成电磁力。利用所生成的电磁力作为推进力，加工工具驱动滑架60沿着导轨64在Y方向上移动。换句话说，在根据本示例性实施例的接合装置中，加工工具(接合头)驱动滑架60用作移动单元，并且加工工具(接合头)驱动模块61用作固定单元。
在滑架驱动线圈63和永磁体83之间生成的磁性引力或斥力作用在加工工具驱动滑架60上。由于永磁体支架84配置成在一对滑架驱动线圈63之间穿过，所以在永磁体支架84的侧面上出现的磁性引力和斥力被抵消。
磁力也作用在加工工具驱动模块61上。具体地，滑架驱动线圈63在X方向上承受相互吸引或排斥的力。包括加工工具驱动模块壳体65和滑架驱动线圈支架69的封闭结构可以在结构上提供抵抗这种力的足够刚度。
加工工具致动器72安装在驱动滑架基座80上。加工工具致动器72配置成能够在Z方向上移动。加工工具70经由加工工具臂71安装在加工工具致动器72的可移动部分上。加工工具70可以对工件W上的加工点P实施接合加工。
加工工具致动器72设置在由滑架驱动线圈63和永磁体83生成的电磁力的作用线上。加工工具致动器72在Y方向上联接至驱动滑架基座80上的永磁体支架84，并且设置成使得由滑架驱动线圈63和永磁体83生成的电磁力在作用线上直接传递至此。加工工具致动器72和永磁体支架84可以经由一定的结构联接。
加工工具驱动滑架60的重心位于由滑架驱动线圈63和永磁体83生成的电磁力的作用线上。这种配置可以包括调节机构。
标尺82经由标尺支架81附接到驱动滑架基座80的侧面。标尺82设置在能够由编码器62检测并且与加工工具驱动滑架60的重心高度一致的位置。这样可以减小由于驱动惯性引起的加工工具驱动滑架60围绕Y轴旋转的影响。标尺82具有用于检测加工工具驱动滑架60的位置的图案。标尺82可以直接附接到驱动滑架基座80而不需要标尺支架81。在本说明书的文本中，标尺支架81和标尺82可以统称为标尺。标尺82可以附接到驱动滑架基座80的两个侧面。通过两个编码器62读取两个侧面上的标尺82即可检测加工工具驱动滑架60由于驱动惯性而围绕Z轴的旋转。标尺82可以附接到除了上述位置以外的位置。
编码器62由编码器支架68调节，使得编码器62的编码器检测部分或标尺读取部分与标尺82相对。编码器62可以直接连接到加工工具驱动模块壳体65，而不需要编码器支架68。在本说明书的文本中，编码器支架68和编码器62可以统称为编码器。
编码器62附接到加工工具驱动模块壳体65，并且在编码器62和附接到加工工具驱动滑架60的标尺82之间具有恒定的间隙。编码器62可以通过读取标尺82上的位置检测图案来检测加工工具驱动滑架60在Y方向上的位置以作为相对于编码器62的相对位置。标尺82在Y方向上具有足够的长度。编码器62设置在Y方向上的适当位置处，以使得加工工具驱动滑架60的位置能够被持续地检测。
正如输送模块11那样，加工工具驱动模块61连接到未示出的设置用于加工工具驱动模块61的下位控制器43a，并且可以控制加工工具驱动滑架60。下位控制器43a经由下位控制器网络42连接到中位控制器41以便彼此通信。
加工工具70和加工工具致动器72连接到上位控制器40，并且基于来自上位控制器40的命令进行操作。
接下来，将参照图18描述作用在加工装置9上的力之间的关系。图18是加工装置9的正视图，是沿-X方向看到的加工装置9的视图。
向经由滑架驱动线圈支架69附接到加工工具驱动模块壳体65的滑架驱动线圈63施加电流，以在滑架驱动线圈63和附接到加工工具驱动滑架60的多个永磁体83之间生成电磁力190。利用所生成的电磁力190作为推进力，加工工具驱动滑架60沿着导轨64在Y方向上移动。
在加工工具驱动滑架60的重心191偏离电磁力190的作用线的情况下，由以下的公式表示的力矩出现在加工工具驱动滑架60上：
F×ΔL
F代表电磁力190，ΔL代表从电磁力190的作用线到重心191的距离192。通过将重心191设置在电磁力190的作用线附近的位置处，距离192可以接近于零，并且由电磁力190引起的力矩可以大致为零。从电磁力190的作用线到重心191的距离192可以理想地在±1cm以内，原因在于能够由此抑制振动的发生。这样可以减小由于惯性矩而作用在电磁力190上的力偶，并且在加工工具驱动滑架60加速、减速或者停止时抑制残留振动的发生。因此，可以提高速度、精度和可靠性。因为能够使用具有简单结构和低刚度的导轨64，所以可以降低装置成本。
接下来，将参照图8描述加工前检查装置(第一检查装置)7和加工后检查装置(第二检查装置)8的配置。用于检查工件W上的对准标记AM和加工点P的照相机90经由照相机支架91安装在照相机驱动致动器92的可移动部分上。照相机驱动致动器92安装在检查装置基座93上，以使得照相机驱动致动器92可以在Y方向上进行操作。
照相机90和照相机驱动致动器92连接到上位控制器40，并且基于来自上位控制器40的命令进行操作。
接下来，将参照图9描述用于输送滑架10、加工工具驱动滑架60和照相机驱动致动器92的教示点。
首先将描述用于输送滑架10的教示点。教示点TP11是滑架转移装置3上的教示点。教示点TP12是用于工件投放装置5投放工件W的教示点。教示点TP50是用于工件排出装置6排出工件W的教示点。教示点TP51是滑架转移装置4上的教示点。教示点TP52是在输送装置返回路径2上的靠近滑架转移装置4的教示点。
教示点TP20是用于加工前检查装置7检查工件W上的对准标记AM1和AM3的教示位置(教示点)。教示点TP21是用于加工前检查装置7检查工件W上的对准标记AM2和AM4的教示位置。
教示点TP30是用于加工装置9在工件W上的X坐标为0的位置处对加工点P执行加工的教示位置。教示点TP31是用于加工装置9在工件W上的X坐标为1的位置处对加工点P执行加工的教示位置。教示点TP3xm是用于加工装置9在工件W上的X坐标为xm的位置处对加工点P执行加工的教示位置。
教示点TP40是用于加工后检查装置8在工件W上的X坐标为0的位置处检查加工点P的教示位置。教示点TP41是用于加工后检查装置8在工件W上的X坐标为1的位置处检查加工点P的教示位置。教示点TP4xm是用于加工后检查装置8在工件W上的X坐标为xm的位置处检查加工点P的教示位置。
输送滑架10通过依次移动到前述的教示位置来进行操作以循环通过输送系统01。在设有多个输送滑架10的情况下，前述的教示点由多个输送滑架10共用，并且使用各个教示点的输送滑架10被依次切换。
接下来，将描述用于加工前检查装置7的照相机驱动致动器92的教示点。教示点TP70是用以检查工件W上的对准标记AM1和AM2的教示点。教示点TP71是用以检查工件W上的对准标记AM3和AM4的教示点。
接下来，将描述用于加工装置9的加工工具驱动滑架60的教示点。教示点TP80是用于加工装置9在工件W上的Y坐标为0的位置处对加工点P执行加工的教示位置。教示点TP81是用于加工装置9在工件W上的Y坐标为1的位置处对加工点P执行加工的教示位置。教示点TP8yn是用于加工装置9在工件W上的Y坐标为yn的位置处对加工点P执行加工的教示点。
接下来，将描述用于加工后检查装置8的照相机驱动致动器92的教示点。教示点TP90是用于加工后检查装置8在工件W上的Y坐标为0的位置检查加工点P的教示位置。教示点TP91是用于加工后检查装置8在工件W上的Y坐标为1的位置检查加工点P的教示位置。教示点TP9yn是用于加工后检查装置8在工件W上的Y坐标为yn的位置检查加工点P的教示点。
基于前述的用于输送滑架10的教示点与用于照相机驱动致动器92和加工工具驱动滑架60的教示点的组合来加工或者检查工件W上的加工点P和对准标记AM。
工件投放装置5、工件排出装置6、加工前检查装置7、加工后检查装置8和加工装置9理想地设置成使得前述的教示点不会布置在输送模块11之间的边界上。这样可以防止由输送滑架10例如在上述装置中用于加工目的的操作而引起的振动的影响传播到其他的输送模块11。通过将安装有输送模块11的基座02按照各个输送模块11进行划分，可以进一步增强这样的效果。
接下来，将参照图10描述输送滑架10围绕输送系统01的循环路径(循环输送路径)绕行的操作。
图10示出了输送滑架10、滑架转移装置3和滑架转移装置4在各个时刻的位置以及工件投放装置5和工件排出装置6在各个时刻的操作状态。具体地，图10示出了滑架10的位置101、滑架转移装置3的位置102和滑架转移装置4的位置103。图10还示出了工件投放装置5的操作状态104和工件排出装置6的操作状态105。
对于滑架10、滑架转移装置3和滑架转移装置4，纵轴表示教示点。对于工件投放装置5和工件排出装置6，纵轴表示相应的装置是处于投放或排出工件W还是处于待机的操作状态。
横轴表示时间。横轴示出了初始时刻t0、第一循环开始时刻t1、以及第二至第八循环开始时刻t2至t8。在第八循环开始时刻t8，输送滑架10完成围绕输送系统01上的循环输送路径的绕行并且返回到与第一循环开始时刻t1时相同的位置。循环时间用CT表示。
在滑架转移装置3上的教示点TP11处的输送滑架10在第一循环开始时刻t1开始移动，并且在时刻t11到达教示点TP12。当输送滑架10到达教示点TP12时，工件投放装置5进入投放状态并且将工件W投放到输送滑架10上。通过工件投放装置5完成工作投放操作并返回待机状态而完成第一循环的操作，并且第二循环在第二循环开始时刻t2开始。
在教示点TP12处的输送滑架10在第二循环开始时刻t2开始移动，并且在时刻t21到达教示点TP20。当输送滑架10到达教示点TP20时，加工前检查装置7开始进行检查。下文将描述加工前检查装置7的操作。通过加工前检查装置7完成检查而完成第二循环的操作，并且第三循环在第三循环开始时刻t3开始。
在教示点TP21处的输送滑架10在第三循环开始时刻t3开始移动，并且在时刻t31到达教示点TP31。当输送滑架10到达教示点TP31时，加工装置9开始加工操作。下文将描述加工装置9的操作。当加工装置9已经完成加工操作时，第三循环的操作完成，并且第四循环在第四循环开始时刻t4开始。
驻留在教示点TP30的输送滑架10在第四循环开始时刻t4开始移动，并且在时刻t41到达教示点TP40。当输送滑架10到达教示点TP40时，加工后检查装置8开始进行检查。下文将描述加工后检查装置8的操作。当加工后检查装置8已经完成检查时，第四循环的操作完成，并且第五循环在第五循环开始时刻t5开始。
驻留在教示点TP40的输送滑架10在第五循环开始时刻t5开始移动，并且在时刻t51到达教示点TP50。当输送滑架10到达教示点TP50时，工件排出装置6进入排出状态并从输送滑架10排出工件W。当工件排出装置6已经完成工件排出操作并返回到待机状态时，第五循环的操作完成，并且第六循环在第六循环开始时刻t6开始。
驻留在教示点TP50的输送滑架10在第六循环开始时刻t6开始移动，并且在时刻t61到达滑架转移装置4上的教示点TP51。当输送滑架10到达教示点TP51时，滑架转移装置4开始从教示点TP63向教示点TP64移动。滑架转移装置4在时刻t62到达教示点TP64，并且输送滑架10开始从教示点TP51向教示点TP52移动。输送滑架10在时刻t63到达教示点TP52，并且滑架转移装置4开始从教示点TP64向教示点TP63移动。通过滑架转移装置4完成移动而完成第六循环的操作，并且第七循环在第七循环开始时刻t7开始。
在第七循环开始时刻t7，位于滑架转移装置3上的教示点TP11处的、与已经进行了上述操作的输送滑架10不同的另一输送滑架10开始移动，并且在时刻t71到达教示点TP12。该操作类似于上述的从第一循环开始时刻t1到第二循环开始时刻t2的第一循环的操作。
当另一输送滑架10到达教示点TP12时，滑架转移装置3开始从教示点TP61向教示点TP62移动。滑架转移装置3在时刻t72到达教示点TP62。
同时，位于教示点TP52的输送滑架10在第七循环开始时刻t7开始向滑架转移装置3上的教示点TP11移动。当输送滑架10沿着输送装置返回路径2移动时，滑架转移装置3在时刻t72到达教示点TP62。然后，输送滑架10从输送装置返回路径2转移到滑架转移装置3，并且在时刻t73到达滑架转移装置3上的教示点TP11。该转移可以在输送滑架10不在从教示点TP52到教示点TP11的途中停止的情况下进行。用于等待滑架转移装置3完成到教示点TP62的移动的附加教示点可以设置在靠近滑架转移装置3的输送装置返回路径2上。在前面的描述中，在时刻t63和第七循环开始时刻t7之间的时段中，输送滑架10停止在教示点TP52处。然而，输送滑架10可以不停止地移动到教示点TP11。可以在输送装置返回路径2上的任何点处设置另外的教示点。
在时刻t73，输送滑架10完成到教示点TP11的移动，并且滑架转移装置3开始从教示点TP62向教示点TP61移动。滑架转移装置3在第八循环开始时刻t8到达教示点TP61。输送滑架10完成围绕输送系统01的循环路径的绕行并且返回到与初始时刻t0时相同的位置。
接下来，将参照图11描述在图10中的第二循环开始时刻t2与第三循环开始时刻t3之间输送滑架10和加工前检查装置7的详细操作。
图11示出了输送滑架10和加工前检查装置7的照相机驱动致动器92在各个时刻的位置以及照相机90在各个时刻的操作状态。具体地，图11示出了输送滑架10的位置111、照相机驱动致动器92的位置112、以及照相机90的操作状态113。
驻留在教示点TP12的输送滑架10在第二循环开始时刻t2开始向教示点TP20移动。输送滑架10在时刻t21到达教示点TP20。当输送滑架10到达教示点TP20时，完成照相机90与输送滑架10上的工件W的对准标记AM1的对准，并且照相机90开始进行检查。
检查方法没有特别限制。例如，可以使用通过对由照相机90拍摄的图像执行图像处理来检测与基准值的偏离量的方法。
照相机90在时刻t22完成检查，并且输送滑架10开始向教示点TP21移动。输送滑架10在时刻t23到达教示点TP21。当输送滑架10到达教示点TP21时，完成照相机90与输送滑架10上的工件W的对准标记AM2的对准，并且照相机90开始进行检查。
检查方法没有特别限制。例如，可以使用通过对由照相机90拍摄的图像执行图像处理来检测与基准值的偏离量的方法。
照相机90在时刻t24完成检查，并且输送滑架10开始向教示点TP20移动。照相机驱动致动器92随着输送滑架10的移动而开始从教示点TP70向教示点TP71移动。在时刻t25，输送滑架10到达教示点TP20并且照相机驱动致动器92到达教示点TP71。当输送滑架10到达教示点TP20并且照相机驱动致动器92到达教示点TP71时，完成照相机90与输送滑架10上的工件W的对准标记AM3的对准，并且照相机90开始进行检查。
检查方法没有特别限制。例如，可以使用通过对由照相机90拍摄的图像执行图像处理来检测与基准值的偏离量的方法。
当照相机90在时刻t26完成检查时，输送滑架10开始向教示点TP21移动。输送滑架10在时刻t27到达教示点TP21。当输送滑架10到达教示点TP21时，完成照相机90与输送滑架10上的工件W的对准标记AM4的对准，并且照相机90开始进行检查。
检查方法没有特别限制。例如，可以使用通过对由照相机90拍摄的图像执行图像处理来检测与基准值的偏离量的方法。
当照相机90在时刻t28完成检查时，照相机驱动致动器92开始向教示点TP70移动。照相机驱动致动器92到达教示点TP70以完成第二循环的操作，并且第三循环在第三循环开始时刻t3开始。
通过上述操作，完成对准标记AM1、AM2、AM3和AM4的检查。根据检查结果计算被保持在输送滑架10上的工件W的位置。
然后，根据工件W的计算位置确定对各个教示点的校正量。将描述如图28所示的在工件W未对准的情况下确定校正量的方法的示例。在该示例中，图28中的对准标记AM的位置偏离它们各自的基准值±1。计算各个教示点的位置与基准值的偏差值，并将计算结果与基准值相加以校正教示点的位置。具体地说，本应具有基准位置(0，0)的对准标记AM1被检测到位于(-1，+1)。对准标记AM2本应具有基准位置(xm，0)，并且被检测到位于(xm-1，-1)。对准标记AM3本应具有基准位置(0，yn)，并且被检测到位于(1，yn+1)。对准标记AM4本应具有基准位置(xm，yn)，并且被检测到位于(xm+1，yn-1)。在这种情况下，例如，加工点P(1，0)(P(x1，0))的位置被校正为P(x1-1，+1-((1-(-1)/n)×1))。加工点P(xm-1，0)的位置被校正为P(xm-1-1，+1-((1-(-1)/n)×(n-1))。
接下来，将参照图1、图7和图12描述在图10中的第三循环开始时刻t3和第四循环开始时刻t4之间的输送滑架10和加工装置9的详细操作。
图12示出了输送滑架10和加工装置9的接合头驱动滑架60在各个时刻的位置以及接合头(加工工具)70在各个时刻的操作状态。具体地，图12示出了输送滑架10的位置121、接合头驱动滑架60的位置122、以及接合头70的操作状态123。这里，接合头70的操作状态123表示接合头70和接合头致动器72的操作。在操作状态123中，接合头70的“接合”表示一系列操作，其中接合头致动器72下降以接触工件W，接合头70执行接合，在接合完成后，接合头致动器72被提升并返回到原始位置。为了便于描述，下文将描述在对准标记AM不偏离基准位置的情况下的操作。换句话说，要描述的是在滑架10将工件W保持在基准位置处的情况下的操作。在工件位置存在偏差的情况下，在将输送滑架10移动到上述的教示点的校正位置之后再对工件W进行加工。
在教示点TP21处的输送滑架10在第三循环开始时刻t3开始向教示点TP31移动。输送滑架10在时刻t31到达教示点TP31。当输送滑架10到达教示点TP31时，完成接合头70与输送滑架10上的工件W的加工点P(1，0)的对准，并且接合头70开始接合。
当加工点P(1，0)的接合在时刻t32完成时，输送滑架10开始向下一个教示点移动。当输送滑架10到达下一个教示点时，接合头70开始接合。从加工点P(1，0)到加工点P(xm-1，0)重复进行这样的操作。加工点P(xm-1，0)的接合在时刻t34完成。
当加工点P(xm-1，0)的接合在时刻t34完成时，输送滑架10开始向教示点TP3xm移动，并且接合头驱动滑架60开始从教示点TP80向教示点TP81移动。当输送滑架10在时刻t35到达教示点TP3xm并且接合头驱动滑架60在时刻t35到达教示点TP81时，完成接合头70与输送滑架10上的工件W的加工点P(xm，1)的对准。接合头70开始接合。
当加工点P(xm，1)的接合在时刻t36完成时，接合头驱动滑架60开始向下一个教示点移动。当接合头驱动滑架60到达下一个教示点时，接合头70开始接合。从加工点P(xm，1)到加工点P(xm，yn-1)重复进行这样的操作。加工点P(xm，yn-1)的接合在时刻t38完成。
当加工点P(xm，yn-1)的接合在时刻t38完成时，输送滑架10开始向教示点TP3xm-1移动，并且接合头驱动滑架60开始从教示点TP8yn-1向教示点TP8yn移动。当输送滑架10在时刻t39到达教示点TP3xm-1并且接合头驱动滑架60在时刻t39到达教示点TP8yn时，完成接合头70与输送滑架10上的工件W的加工点P(xm-1，yn)的对准。接合头70开始接合。
当加工点P(xm-1，yn)的接合在时刻t3a完成时，输送滑架10开始向下一个教示点移动。当输送滑架10到达下一个教示点时，接合头70开始接合。从加工点P(xm-1，yn)到加工点P(1，yn)重复进行这样的操作。加工点P(1，yn)的接合在时刻t3c完成。
当加工点P(1，yn)的接合在时刻t3c完成时，输送滑架10开始向教示点TP30移动，并且接合头驱动滑架60开始从教示点TP8yn向教示点TP8yn-1移动。当输送滑架10在时刻t3d到达教示点TP30并且接合头驱动滑架60在时刻t3d到达教示点TP8yn-1时，完成接合头70与输送滑架10上的工件W的加工点P(0，yn-1)的对准。接合头70开始接合。
当加工点P(0，yn-1)的接合在时刻t3e完成时，接合头驱动滑架60开始向下一个教示点移动。当接合头驱动滑架60到达下一个教示点时，接合头70开始接合。从加工点P(0，yn-1)到加工点P(0，1)重复进行这样的操作。加工点P(0，1)的接合在时刻t3g完成。
当加工点P(0，1)的接合完成时，接合头驱动滑架60开始向教示点TP80移动。接合头驱动滑架60到达教示点TP80以完成第三循环的操作，并且第四循环在第四循环开始时刻t4开始。
如上所述，工件W上的加工点P和接合头70可以通过输送滑架10的操作和接合头驱动滑架60的操作的组合来对准以执行加工。
接下来，将参照图13描述在图10中的第四循环开始时刻t4和第五循环开始时刻t5之间的输送滑架10和加工后检查装置8的详细操作。
图13示出了输送滑架10和加工后检查装置8的照相机驱动致动器92在各个时刻的位置以及照相机90在各个时刻的操作状态。具体地，图13示出了输送滑架10的位置131、照相机驱动致动器92的位置132和照相机90的操作状态133。
在教示点TP30处的输送滑架10在第四循环开始时刻t4开始向教示点TP40移动。输送滑架10在时刻t41到达教示点TP40。在到达教示点TP40之后，输送滑架10开始向教示点TP4xm移动。输送滑架10在预先设定的预定加速时间内进行加速，然后以恒定速度移动。
输送滑架10在时刻t42经过教示点TP41，并且照相机90经过可以检查工件W上的加工点P(1，0)的位置。当输送滑架10经过教示点TP41时，检查开始命令被发送至照相机90，并且照相机90执行检查。当输送滑架10经过下一个教示点时，照相机90类似地执行检查。从加工点P(1，0)到加工点P(xm-1，0)重复进行这样的检查。在完成对加工点P(xm-1，0)的检查之后，输送滑架10在时刻t44到达教示点TP4xm。
与输送滑架10在时刻t44到达教示点TP4xm同时地，照相机驱动致动器92开始从教示点TP90向教示点TP9yn移动。照相机驱动致动器92在预先设定的预定加速时间内进行加速，然后以恒定速度移动。
照相机驱动致动器92在时刻t45经过教示点TP91，并且照相机90经过可以检查工件W上的加工点P(xm，1)的位置。当照相机驱动致动器92经过教示点TP91时，检查开始命令被发送至照相机90，并且照相机90执行检查。当照相机驱动致动器92经过下一个教示点时，照相机90类似地执行检查。从加工点P(xm，1)到加工点P(xm，yn-1)重复进行这样的检查。在完成对加工点P(xm，yn-1)的检查之后，照相机驱动致动器92在时刻t47到达教示点TP9yn。
与照相机驱动致动器92在时刻t47到达教示点TP9yn同时地，输送滑架10开始从教示点TP4xm向教示点TP40移动。输送滑架10在预先设定的预定加速时间内进行加速，然后以恒定速度移动。
输送滑架10在时刻t48经过教示点TP4xm-1，并且照相机90经过可以检查工件W上的加工点P(xm-1，yn)的位置。当输送滑架10经过教示点TP4xm-1时，检查开始命令被发送至照相机90，并且照相机90执行检查。当输送滑架10经过下一个教示点时，照相机90类似地执行检查。从加工点P(xm-1，yn)到加工点P(1，yn)重复进行这样的检查。在完成对加工点P(1，yn)的检查之后，输送滑架10在时刻t4a到达教示点TP40。
与输送滑架10在时刻t4a到达教示点TP40同时地，照相机驱动致动器92开始从教示点TP9yn向教示点TP90移动。照相机驱动致动器92在预先设定的预定加速时间内进行加速，然后以恒定速度移动。
照相机驱动致动器92在时刻t4b经过教示点TP9yn-1，并且照相机90经过可以检查工件W上的加工点P(0，yn-1)的位置。当照相机驱动致动器92经过教示点TP9yn-1时，检查开始命令被发送至照相机90，并且照相机90执行检查。当照相机驱动致动器92经过下一个教示点时，照相机90类似地执行检查。从加工点P(0，yn-1)到加工点P(0，1)重复进行这样的检查。在完成对加工点P(0，1)的检查之后，照相机驱动致动器92到达教示点TP90以完成第四循环的操作，并且第五循环在第五循环开始时刻t5开始。
如上所述，工件W上的加工点P和接合头70可以对准，以通过输送滑架10的操作和照相机驱动致动器92的操作的组合来执行检查。
本示例性实施例的其他效果包括安装在输送滑架10或加工工具驱动滑架60上的移动体的重量减轻。这样可以减少当输送滑架10或加工工具驱动滑架60加速、减速和停止时在装置上发生的振动。这样还可以提高加工精度，并且能够将装置安装在低刚度的基座上。
输送滑架10和加工工具驱动滑架60配置成作为线性致动器，该线性致动器通过永磁体或铁磁体从线圈组接收电磁力来运行。因此，输送滑架10和加工工具驱动滑架60能够以更高的精度操作和停止。通过使用安装在输送滑架10上的永磁体或铁磁体，可以省略对从动部分的供电，并且因此可以配置无线输送装置。通过无线输送装置，输送滑架10不受移动区域的限制并且能够进行循环操作。
作为综合效果，整个加工系统的尺寸可以减小，并且装置成本可以降低。
(第二示例性实施例)
在第一示例性实施例中，加工前检查装置(第一检查装置)7、加工后检查装置(第二检查装置)8和加工装置9被描述为包括Y方向驱动致动器。然而，Y方向驱动致动器可以被包括在输送模块中。在本示例性实施例中，将描述一些输送模块包括Y方向驱动致动器的示例。在本示例性实施例中，具有与第一示例性实施例类似操作的配置由相同的附图标记表示。将主要描述与第一示例性实施例的不同之处，并且可以省略对具有与第一示例性实施例类似操作的部件的描述。
在本说明书的文本中，包括Y方向驱动致动器的输送模块将被称为互锁输送模块。将参照图14描述互锁输送模块的配置。互锁输送模块21包括能够在Y方向上操作输送模块11的Y方向驱动致动器26。
在本示例性实施例中，将通过使用类似于输送模块11的移动磁体(MM)线性马达来描述Y方向驱动致动器26的配置。然而，这并非限制性的，并且Y方向驱动致动器26可以通过其他的配置驱动。
互锁输送模块21包括沿着Y方向设置在互锁输送模块基座25的顶面上的输送模块驱动线圈23。多个永磁体27和永磁体支架28在输送模块11的底面上安装成与输送模块驱动线圈23相对。两个导轨24平行地铺设在互锁输送模块基座25的顶面上。
永磁体支架28经由在输送模块11的底面中的通孔固定到输送模块11。永磁体27被粘接至永磁体支架28。
下位控制器43向输送模块驱动线圈23施加电流。电流的施加在多个永磁体27和输送模块驱动线圈23之间生成电磁力，以用于沿Y方向驱动输送模块11。互锁输送模块21上的输送模块11在Y方向上沿着导轨24在输送装置前进路径1或者输送装置返回路径2上被电磁地驱动。
编码器22经由编码器支架2c安装在互锁输送模块基座25的顶面上。标尺29经由标尺支架2a附接到输送模块11的底面以与编码器22相对。互锁输送模块21的编码器22可以通过读取标尺29上的图案来检测输送模块11在Y方向上的位置作为相对于编码器22的相对位置。
下位控制器43可以基于所连接的编码器22的输出和编码器22的安装位置来计算输送模块11在互锁输送模块基座25上的位置。
下位控制器43还可以通过利用编码器22的安装位置和输送滑架10之间的位置关系来计算输送滑架10在互锁输送模块基座25上的Y方向位置。
下位控制器43可以基于输送滑架10的计算位置来控制施加到滑架驱动线圈13和输送模块驱动线圈23的电流量。由此，下位控制器43能够以预定速度将互锁输送模块21上的输送滑架10输送到X方向和Y方向上的预定位置，并且使输送滑架10停止。
可以安装这种互锁输送模块来代替输送模块11，所述输送模块11设置在第一示例性实施例中所描述的加工前检查装置7、加工后检查装置8和加工装置9中的至少任何一个能够执行处理的位置处。
图19示出了将互锁输送模块21安装用于输送模块11的示例，所述输送模块11设置在加工前检查装置7和加工后检查装置8能够执行处理的位置处。
接下来，将参照图19描述用于输送滑架10、接合头驱动滑架60和互锁输送模块21的教示点。
首先将描述用于输送滑架10的教示点。教示点TP11是滑架转移装置3上的教示点。教示点TP12是用于工件投放装置5投放工件W的教示点。教示点TP50是用于工件排出装置6排出工件W的教示点。教示点TP51是滑架转移装置4上的教示点。教示点TP52是在输送装置返回路径2上靠近滑架转移装置4的教示点。
教示点TP20是用于加工前检查装置7检查工件W上的对准标记AM1和AM3的教示位置。教示点TP21是用于加工前检查装置7检查工件W上的对准标记AM2和AM4的教示位置。
教示点TP30是用于加工装置9在工件W上的X坐标为0的位置处对加工点P执行加工的教示位置。教示点TP31是用于加工装置9在工件W上的X坐标为1的位置处对加工点P执行加工的教示位置。教示点TP3xm是用于加工装置9在工件W上的X坐标为xm的位置处对加工点P执行加工的教示位置。
教示点TP40是用于加工后检查装置8检查工件W上的X坐标为0的位置处的加工点P的教示位置。教示点TP41是用于加工后检查装置8检查工件W上的X坐标为1的位置处的加工点P的教示位置。教示点TP4xm是用于加工后检查装置8检查工件W上的X坐标为xm的位置处的加工点P的教示位置。
输送滑架10通过依次移动到前述的教示位置进行操作以循环通过输送系统01。在设有多个输送滑架10的情况下，前述教示点由多个输送滑架10共用，并且使用各个教示点的输送滑架10被依次切换。
接下来，将描述对应于加工前检查装置7的互锁输送模块21的教示点。教示点TP70是用于检查工件W上的对准标记AM1和AM2的教示点。教示点TP71是用于检查工件W上的对准标记AM3和AM4的教示点。
接下来，将描述用于加工装置9的接合头驱动滑架60的教示点。在本示例性实施例中，为了便于说明，下文将描述在对准标记AM不偏离其基准位置的情况下的操作。换句话说，将描述在滑架10将工件W保持在基准位置处的情况下的操作。在工件位置存在偏差的情况下，正如第一示例性实施例中所述，在输送滑架10移动到教示点的校正位置之后再执行加工。
教示点TP80是用于加工装置9在工件W上的Y坐标为0的位置处对加工点P执行加工的教示点。教示点TP81是用于加工装置9在工件W上的Y坐标为1的位置处对加工点P执行加工的教示位置。教示点TP8yn是用于加工装置9在工件W上的Y坐标为yn的位置处对加工点P执行加工的教示位置。
接下来，将描述对应于加工后检查装置8的互锁输送模块21的教示点。教示点TP90是用于加工后检查装置8在工件W上的Y坐标为0的位置处检查加工点P的教示位置。教示点TP91是用于加工后检查装置8在工件W上的Y坐标为1的位置处检查加工点P的教示位置。教示点TP9yn是用于加工后检查装置8在工件W上的Y坐标为yn的位置处检查加工点P的教示点。
基于前述的用于输送滑架10的教示点与用于互锁输送模块21和接合头驱动滑架60的教示点的组合来加工或检查所述工件W上的加工点P和对准标记AM。
工件投放装置5、工件排出装置6、加工前检查装置7、加工后检查装置8和加工装置9理想地设置成使得前述的教示点不设置在输送模块11之间的边界上。这样可以防止由输送滑架10例如在上述装置中用于加工目的的操作而引起的振动的影响传播到其他的输送模块11。通过将安装有输送模块11的基座02按照各个输送模块11进行划分，可以进一步增强这样的效果。
接下来，将参照图20描述输送滑架10围绕输送系统01的循环路径绕行的操作。
图20示出了输送滑架10、滑架转移装置3和滑架转移装置4在各个时刻的位置、以及工件投放装置5和工件排出装置6在各个时刻的操作状态。具体地，图20示出了输送滑架10的位置101、滑架转移装置3的位置102和滑架转移装置4的位置103。图20还示出了工件投放装置5的操作状态104和工件排出装置6的操作状态105。
对于滑架10、滑架转移装置3和滑架转移装置4，纵轴表示教示点。对于工件投放装置5和工件排出装置6，纵轴表示相应的装置是处于投放或排出工件W还是处于待机的操作状态。
横轴表示时间。横轴示出了初始时刻t0、第一循环开始时刻t1、以及第二至第八循环开始时刻t2至t8。在第八循环开始时刻t8，输送滑架10完成围绕输送系统01上的循环输送路径的绕行并且返回到与第一循环开始时刻t1时相同的位置。循环时间用CT表示。
在滑架转移装置3上的教示点TP11处的输送滑架10在第一循环开始时刻t1开始移动，并且在时刻t11到达教示点TP12。当输送滑架10到达教示点TP12时，工件投放装置5进入投放状态并且将工件W投放到输送滑架10上。通过工件投放装置5完成工作投放操作并返回待机状态而完成第一循环的操作，并且第二循环在第二循环开始时刻t2开始。
在教示点TP12处的输送滑架10在第二循环开始时刻t2开始移动，并且在时刻t21到达教示点TP20。当输送滑架10到达教示点TP20时，加工前检查装置7开始进行检查。下文将描述加工前检查装置7的操作。当加工前检查装置7已经完成检查时，第二循环的操作完成，并且第三循环在第三循环开始时刻t3开始。
在教示点TP21处的输送滑架10在第三循环开始时刻t3开始移动，并且在时刻t31到达教示点TP31。当输送滑架10到达教示点TP31时，加工装置9开始加工操作。下文将描述加工装置9的操作。当加工装置9已经完成加工操作时，第三循环的操作完成，并且第四循环在第四循环开始时刻t4开始。
在教示点TP30处的输送滑架10在第四循环开始时刻t4开始移动，并且在时刻t41到达教示点TP40。当输送滑架10到达教示点TP40时，加工后检查装置8开始进行检查。下文将描述加工后检查装置8的操作。当加工后检查装置8已经完成检查时，第四循环的操作完成，并且第五循环在第五循环开始时刻t5开始。
在教示点TP4xm处的输送滑架10在第五循环开始时刻t5开始移动，并且在时刻t51到达教示点TP50。当输送滑架10到达教示点TP50时，工件排出装置6进入排出状态并从输送滑架10排出工件W。当工件排出装置6已经完成工件排出操作并返回到待机状态时，第五循环的操作完成，并且第六循环在第六循环开始时刻t6开始。
位于教示点TP50的输送滑架10在第六循环开始时刻t6开始移动，并且在时刻t61到达滑架转移装置4上的教示点TP51。当输送滑架10到达教示点TP51时，滑架转移装置4开始从教示点TP63向教示点TP64移动。滑架转移装置4在时刻t62到达教示点TP64，并且输送滑架10开始从教示点TP51向教示点TP52移动。输送滑架10在时刻t63到达教示点TP52，并且滑架转移装置4开始从教示点TP64向教示点TP63移动。当滑架转移装置4已经完成移动时，第六循环的操作完成，并且第七循环在第七循环开始时刻t7开始。
在第七循环开始时刻t7，位于滑架转移装置3上的教示点TP11处的、与已经进行了上述操作的输送滑架10不同的另一输送滑架10开始移动，并且在时刻t71到达教示点TP12。该操作类似于上述的从第一循环开始时刻t1到第二循环开始时刻t2的第一循环的操作。
当另一输送滑架10到达教示点TP12时，滑架转移装置3开始从教示点TP61向教示点TP62移动。滑架转移装置3在时刻t72到达教示点TP62。
同时，位于教示点TP52的输送滑架10在第七循环开始时刻t7开始向滑架转移装置3上的教示点TP11移动。当输送滑架10沿着输送装置返回路径2移动时，滑架转移装置3在时刻t72到达教示点TP62。然后，输送滑架10从输送装置返回路径2转移到滑架转移装置3，并且在时刻t73到达滑架转移装置3上的教示点TP11。该转移可以在输送滑架10不在从教示点TP52到教示点TP11的途中停止的情况下进行。用于等待滑架转移装置3完成到教示点TP62的移动的附加教示点可以设置在靠近滑架转移装置3的输送装置返回路径2上。在前面的描述中，在时刻t63和第七循环开始时刻t7之间的时段中，输送滑架10停止在教示点TP52处。然而，输送滑架10可以不停止地移动到教示点TP11。可以在输送装置返回路径2上的任何点处设置另外的教示点。
在时刻t73，输送滑架10完成到教示点TP11的移动，并且滑架转移装置3开始从教示点TP62向教示点TP61移动。滑架转移装置3在第八循环开始时刻t8到达教示点TP61。输送滑架10完成围绕输送系统01的循环路径的绕行并且返回到与初始时刻t0时相同的位置。
接下来，将参照图21描述在图20中的第二循环开始时刻t2和第三循环开始时刻t3之间的输送滑架10、加工前检查装置7和互锁输送模块21的详细操作。
图21示出了输送滑架10和对应于加工前检查装置7的互锁输送模块21在各个时刻的位置以及照相机90在各个时刻的操作状态。具体地，图21示出了输送滑架10的位置111、互锁输送模块21的位置112、以及照相机90的操作状态113。
在教示点TP12处的输送滑架10在第二循环开始时刻t2开始向教示点TP20移动。输送滑架10在时刻t21到达教示点TP20。输送滑架10到达教示点TP20以完成照相机90与输送滑架10上的工件W的对准标记AM1的对准，并且照相机90开始进行检查。
照相机90在时刻t22完成检查，并且输送滑架10开始向教示点TP21移动。输送滑架10在时刻t23到达教示点TP21。输送滑架10到达教示点TP21以完成照相机90与输送滑架10上的工件W的对准标记AM2的对准，并且照相机90开始进行检查。
照相机90在时刻t24完成检查，并且输送滑架10开始向教示点TP20移动。互锁输送模块21随着输送滑架10的移动而开始从教示点TP70向教示点TP71移动。在时刻t25，输送滑架10到达教示点TP20且互锁输送模块21到达教示点TP71。输送滑架10到达教示点TP20且互锁输送模块21到达教示点TP71以完成照相机90与输送滑架10上的工件W的对准标记AM3的对准，并且照相机90开始进行检查。
照相机90在时刻t26完成检查，并且输送滑架10开始向教示点TP21移动。输送滑架10在时刻t27到达教示点TP21。输送滑架10到达教示点TP21以完成照相机90与输送滑架10上的工件W的对准标记AM4的对准，并且照相机90开始进行检查。
照相机90在时刻t28完成检查，并且互锁输送模块21开始向教示点TP70移动。互锁输送模块21到达教示点TP70以完成第二循环的操作，并且第三循环在第三循环开始时刻t3开始。
通过上述操作，完成对准标记AM1、AM2、AM3和AM4的检查。根据检查结果计算被保持在输送滑架10上的工件W的位置。接下来，将参照图22描述在图20中的第三循环开始时刻t3和第四循环开始时刻t4之间的输送滑架10和加工装置9的详细操作。
图22示出了输送滑架10和加工装置9的接合头驱动滑架60在各个时刻的位置以及接合头70在各个时刻的操作状态。具体地，图22示出了输送滑架10的位置121、接合头驱动滑架60的位置122、以及接合头70的操作状态123。这里，接合头70的操作状态123表示接合头70和接合头致动器72的操作。在操作状态123中，接合头70的“接合”表示一系列操作，其中接合头致动器72下降以接触工件W，接合头70执行接合，并且在接合完成后，接合头致动器72被提升并返回到原始位置。
在教示点TP21处的输送滑架10在第三循环开始时刻t3开始向教示点TP31移动。输送滑架10在时刻t31到达教示点TP31。输送滑架10到达教示点TP31以完成接合头70与输送滑架10上的工件W的加工点P(1，0)的对准，并且接合头70开始接合。
加工点P(1，0)的接合在时刻t32完成，并且输送滑架10开始向下一个教示点移动。当输送滑架10到达下一个教示点时，接合头70开始接合。从加工点P(1，0)到加工点P(xm-1，0)重复进行这样的操作。加工点P(xm-1，0)的接合在时刻t34完成。
当加工点P(xm-1，0)的接合在时刻t34完成时，输送滑架10开始向教示点TP3xm移动，并且接合头驱动滑架60开始从教示点TP80向教示点TP81移动。当输送滑架10在时刻t35到达教示点TP3xm并且接合头驱动滑架60在时刻t35到达教示点TP81时，完成接合头70与输送滑架10上的工件W的加工点P(xm，1)的对准。接合头70开始接合。
加工点P(xm，1)的接合在时刻t36完成，并且接合头驱动滑架60开始向下一个教示点移动。当接合头驱动滑架60到达下一个教示点时，接合头70开始接合。从加工点P(xm，1)到加工点P(xm，yn-1)重复进行这样的操作。加工点P(xm，yn-1)的接合在时刻t38完成。
当加工点P(xm，yn-1)的接合在时刻t38完成时，输送滑架10开始向教示点TP3xm-1移动，并且接合头驱动滑架60开始从教示点TP8yn-1向教示点TP8yn移动。当输送滑架10在时刻t39到达教示点TP3xm-1并且接合头驱动滑架60在时刻t39到达教示点TP8yn时，完成接合头70与输送滑架10上的工件W的加工点P(xm-1，yn)的对准。接合头70开始接合。
加工点P(xm-1，yn)的接合在时刻t3a完成，并且输送滑架10开始向下一个教示点移动。当输送滑架10到达下一个教示点时，接合头70开始接合。从加工点P(xm-1，yn)到加工点P(1，yn)重复进行这样的操作。加工点P(1，yn)的接合在时刻t3c完成。
当加工点P(1，yn)的接合在时刻t3c完成时，输送滑架10开始向教示点TP30移动，并且接合头驱动滑架60开始从教示点TP8yn向教示点TP8yn-1移动。当输送滑架10在时刻t3d到达教示点TP30并且接合头驱动滑架60在时刻t3d到达教示点TP8yn-1时，完成接合头70与输送滑架10上的工件W的加工点P(0，yn-1)的对准。接合头70开始接合。
加工点P(0，yn-1)的接合在时刻t3e完成，并且接合头驱动滑架60开始向下一个教示点移动。当接合头驱动滑架60到达下一个教示点时，接合头70开始接合。从加工点P(0，yn-1)到加工点P(0，1)重复进行这样的操作。加工点P(0，1)的接合在时刻t3g完成。
当加工点P(0，1)的接合完成时，接合头驱动滑架60开始向教示点TP80移动。接合头驱动滑架60到达教示点TP80以完成第三循环的操作，并且第四循环在第四循环开始时刻t4开始。
如上所述，工件W上的加工点P和接合头70可以通过输送滑架10的操作和接合头驱动滑架60的操作的组合来对准以执行加工。
接下来，将参照图23描述在图20中的第四循环开始时刻t4和第五循环开始时刻t5之间的输送滑架10、加工后检查装置8和互锁输送模块21的详细操作。
图23示出了输送滑架10和对应于加工后检查装置8的互锁输送模块21在各个时刻的位置以及照相机90在各个时刻的操作状态。具体地，图23示出了输送滑架10的位置131、互锁输送模块21的位置132、以及照相机90的操作状态133。
在教示点TP30处的输送滑架10在第四循环开始时刻t4开始向教示点TP40移动。输送滑架10在时刻t41到达教示点TP40。在到达教示点TP40之后，输送滑架10开始向教示点TP4xm移动。输送滑架10在预先设定的预定加速时间内进行加速，然后以恒定速度移动。
输送滑架10在时刻t42经过教示点TP41，并且照相机90经过可以检查工件W上的加工点P(1，0)的位置。当输送滑架10经过教示点TP41时，检查开始命令被发送至照相机90，并且照相机90执行检查。当输送滑架10经过下一个教示点时，照相机90类似地执行检查。从加工点P(1，0)到加工点P(xm-1，0)重复进行这样的检查。在完成对加工点P(xm-1，0)的检查之后，输送滑架10在时刻t44到达教示点TP4xm。
与输送滑架10在时刻t44到达教示点TP4xm同时地，互锁输送模块21开始从教示点TP90向教示点TP9yn移动。互锁输送模块21在预先设定的预定加速时间内进行加速，然后以恒定速度移动。
互锁输送模块21在时刻t45经过教示点TP91，并且照相机90经过可以检查工件W上的加工点P(xm，1)的位置。当互锁输送模块21经过教示点TP91时，检查开始命令被发送至照相机90，并且照相机90执行检查。当互锁输送模块21经过下一个教示点时，照相机90类似地执行检查。从加工点P(xm，1)到加工点P(xm，yn-1)重复进行这样的检查。在完成对加工点P(xm，yn-1)的检查之后，互锁输送模块21在时刻t47到达教示点TP9yn。
与互锁输送模块21在时刻t47到达教示点TP9yn同时地，输送滑架10开始从教示点TP4xm向教示点TP40移动。输送滑架10在预先设定的预定加速时间内进行加速，然后以恒定速度移动。
输送滑架10在时刻t48经过教示点TP4xm-1，并且照相机90经过可以检查工件W上的加工点P(xm-1，yn)的位置。当输送滑架10经过教示点TP4xm-1时，检查开始命令被发送至照相机90，并且照相机90执行检查。当输送滑架10经过下一个教示点时，照相机90类似地执行检查。从加工点P(xm-1，yn)到加工点P(1，yn)重复进行这样的检查。在完成对加工点P(1，yn)的检查之后，输送滑架10在时刻t4a到达教示点TP40。
与输送滑架10在时刻t4a到达教示点TP40同时地，互锁输送模块21开始从教示点TP9yn向教示点TP90移动。互锁输送模块21在预先设定的预定加速时间内进行加速，然后以恒定速度移动。
互锁输送模块21在时刻t4b经过教示点TP9yn-1，并且照相机90经过可以检查工件W上的加工点P(0，yn-1)的位置。当互锁输送模块21经过教示点TP9yn-1时，检查开始命令被发送至照相机90，并且照相机90执行检查。当互锁输送模块21经过下一个教示点时，照相机90类似地执行检查。从加工点P(0，yn-1)到加工点P(0，1)重复进行这样的检查。在完成对加工点P(0，1)的检查之后，互锁输送模块21到达教示点TP90以完成第四循环的操作，并且第五循环在第五循环开始时刻t5开始。
根据本示例性实施例，输送滑架10可以通过输送模块11和互锁输送模块21在X方向和Y方向上移动。因此，可以在不沿X方向和Y方向驱动加工前检查装置7或加工后检查装置8的情况下进行检查。结果，检查工具的支撑构件可以配置成低刚度结构，因此可以减小装置尺寸和降低装置成本。
(第三示例性实施例)
接下来，将参照图24和图25概述加工系统00中的输送装置前进路径1、输送装置返回路径2、滑架转移装置3和4、工件投放装置5、工件排出装置6、加工前检查装置7、加工后检查装置8、以及加工装置9的配置的第三示例性实施例。在第二示例性实施例中，互锁输送模块21被安装用于输送模块11，所述输送模块11布置在根据第一示例性实施例的加工前检查装置7和加工后检查装置8能够执行加工的位置处。在本示例性实施例中，将描述滑架转移装置3和4被配置成互锁输送模块的示例。加工前检查装置7设置在能够通过滑架转移装置3的Y方向驱动致动器执行处理的位置处。加工后检查装置8设置在能够通过滑架转移装置4的Y方向驱动致动器执行处理的位置处。在本示例性实施例中，具有与第一示例性实施例类似操作的配置由相同的附图标记表示。将主要描述与第一和第二示例性实施例的不同之处，并且可以省略对具有与第一和第二示例性实施例类似操作的部件的描述。
图24是示出加工系统00的总体配置和教示点的示意图。工件投放装置5和工件排出装置6沿着输送装置返回路径2设置。加工装置9沿着输送装置前进路径1设置。加工前检查装置7沿着输送装置前进路径1设置在滑架转移装置3的下游。加工后检查装置8沿着输送装置前进路径1设置在滑架转移装置4的上游。
图25示出了输送滑架10与滑架转移装置3和4在各个时刻的位置以及工件投放装置5和工件排出装置6在各个时刻的操作状态。更具体地，图25示出了滑架10的位置201、滑架转移装置3的位置202和滑架转移装置4的位置203。图25还示出了工件投放装置5的操作状态204和工件排出装置6的操作状态205。
对于滑架10、滑架转移装置3和滑架转移装置4，纵轴表示教示点。对于工件投放装置5和工件排出装置6，纵轴表示相应的装置是处于投放或排出工件W还是处于待机的操作状态。
横轴表示时间。横轴示出了初始时刻t0、第一循环开始时刻t1、以及第二至第六循环开始时刻t2至t6。在第六循环开始时刻t6，输送滑架10完成在输送系统01上的循环输送路径的绕行，并且返回到与第一循环开始时刻t1时相同的位置。循环时间用CT表示。
在输送装置返回路径2上的教示点TP13处的输送滑架10在第一循环开始时刻t1开始移动，并且在时刻t11到达教示点TP12。当输送滑架10到达教示点TP12时，工件投放装置5进入投放状态，并将工件W投放到输送滑架10上。当第一循环的操作通过工件投放装置5完成工作投放操作并返回到待机状态而完成时，第二循环在第二循环开始时刻t2开始。
在教示点TP12处的输送滑架10在第二循环开始时刻t2开始移动，并且在时刻t21到达教示点TP11。接下来，滑架转移装置3开始从教示点TP62移动，并且在时刻t22到达教示点TP61。输送滑架10开始从教示点TP11移动，并且在时刻t23到达教示点TP20。当输送滑架10到达教示点TP20时，加工前检查装置7开始进行检查(加工前检查)。
加工前检查在时刻t23开始，并且在时刻t2c完成。根据本示例性实施例的在时刻t23和t2c之间的操作类似于根据第二示例性实施例的图21所示的在时刻t21至t3之间的操作。
当在时刻t2c完成加工前检查时，输送滑架10开始移动并且在时刻t2d到达教示点TP22。在时刻t2d，滑架转移装置3开始向教示点TP62移动。第二循环的操作通过滑架转移装置3完成到教示点TP62的移动而完成，并且第三循环在第三循环开始时刻t3开始。
在教示点TP22处的输送滑架10在第三循环开始时刻t3开始移动，并且在时刻t31到达教示点TP30。当输送滑架10到达教示点TP30时，加工装置9开始加工操作。根据本示例性实施例的加工装置9的操作类似于根据第二示例性实施例的图22所示的操作。第三循环的操作通过加工装置9完成加工操作而完成，并且第四循环在第四循环开始时刻t4开始。
在教示点TP30处的输送滑架10在第四循环开始时刻t4开始移动，并且在时刻t41到达教示点TP40。当输送滑架10到达教示点TP40时，加工后检查装置8开始进行检查。检查在时刻t4d完成。根据本示例性实施例的在时刻t4和时刻t4d之间的操作类似于根据第二示例性实施例的图23所示的在时刻t4和时刻t5之间的操作。
输送滑架10在时刻t4d开始移动，并且在时刻t4e到达教示点TP51。然后，滑架转移装置4开始移动，并且在时刻t4f到达教示点TP64。输送滑架10在时刻t4f开始移动，并且在时刻t4g到达教示点TP52。滑架转移装置4在时刻t4g开始向教示点TP63移动。滑架转移装置4到达教示点TP63以完成第四循环的操作，并且第五循环在第五循环开始时刻t5开始。
在教示点TP52处的输送滑架10在第五循环开始时刻t5开始移动，并且在时刻t51到达教示点TP50。当输送滑架10到达教示点TP50时，工件排出装置6进入排出状态并从输送滑架10排出工件W(工件排出操作)。工件排出装置6在时刻t52完成工件排出操作并且返回到待机状态，并且输送滑架10开始向教示点TP13移动。输送滑架10到达教示点TP13以完成第五循环的操作，并且第六循环在第六循环开始时刻t6开始。在第六循环开始时刻t6，输送滑架10完成围绕输送系统01的循环路径的绕行并且返回到与初始时刻t0时相同的位置。
根据本示例性实施例，可以通过使用滑架转移装置3和4在X方向和Y方向上移动输送滑架10来执行加工前检查和加工后检查。这样可以减少加工系统00中的Y方向驱动致动器的数量。
此外，由于工件投放装置5和工件排出装置6设置在输送装置返回路径2上，因此沿着输送路径设置的装置可以分布在输送装置前进路径1和输送装置返回路径2之间。结果，可以减小输送装置前进路径1和输送装置返回路径2的总体长度，从而进一步减小加工系统00的尺寸。
由于这些原因，根据本示例性实施例，加工系统00可以安装在更窄的空间中。
(第四示例性实施例)
接下来，将参照图26和图27概述加工系统00中的输送装置前进路径1、输送装置返回路径2、滑架转移装置3和4、工件投放装置5、工件排出装置6、加工前检查装置7、加工后检查装置8、以及加工装置9的配置的第四示例性实施例。在第二示例性实施例中，互锁输送模块21被描述为安装用于输送模块11，所述输送模块11设置在加工前检查装置7和加工后检查装置8能够执行第一示例性实施例中的处理的位置处。在本示例性实施例中，为设置在加工装置9能够执行加工的位置处的输送模块11设置了附加的互锁输送模块21。在本示例性实施例中，具有与第一示例性实施例类似操作的配置由相同的附图标记表示。将主要描述与第一、第二和第三示例性实施例的不同之处。可以省略对具有与第一、第二和第三示例性实施例类似操作的部件的描述。
图26是示出加工系统00的总体配置和教示点的示意图。在图26所示的加工系统00的总体配置中，加工装置9设置在沿着包括互锁输送模块21的输送滑架10的位置处。加工装置9不包括Y方向驱动致动器。
图26所示的加工系统00的教示点被布局成使得设置有加工装置9的输送模块11具有用于输送滑架10的多个教示点TP30、TP31，...TP3xm。设置有加工装置9的互锁输送模块21也具有多个教示点TP80、TP81，...，TP8ym。使用这些教示点的组合，即可将工件W上的指定加工点P输送到加工装置9可以实施加工的位置。
根据本示例性实施例的总体配置和教示点与第二示例性实施例类似，区别在于与图26相关的以上描述。
根据本示例性实施例的输送滑架10围绕输送系统01的循环路径绕行的操作与第二示例性实施例类似，区别在于根据第二示例性实施例的图20所示的在第三循环开始时刻t3和第四循环开始时刻t4之间的操作。
将参照图27描述根据本示例性实施例的在第三循环开始时刻t3和第四循环开始时刻t4之间的操作。图27是示出根据本示例性实施例的在第三循环开始时刻t3和第四循环开始时刻t4之间的加工操作的详细示图。图27示出了输送滑架10和对应于加工装置9的互锁输送模块21的位置、以及接合头70的操作状态。具体地，图27示出了输送滑架10的位置321、互锁输送模块21的位置322、以及接合头70的操作状态323。
在以下的描述中，接合头70的操作状态323表示接合头70和接合头致动器72的操作。在操作状态323中，接合头70的“接合”表示一系列操作，其中接合头致动器72下降以接触工件W，接合头70执行接合，并且在接合完成后，接合头致动器72被提升并返回到原始位置。
在教示点TP21处的输送滑架10在第三循环开始时刻t3开始向教示点TP31移动。输送滑架10在时刻t31到达教示点TP31。输送滑架10到达教示点TP31以完成接合头70与输送滑架10上的工件W的加工点P(1，0)的对准，并且接合头70开始接合。
当加工点P(1，0)的接合在时刻t32完成时，输送滑架10开始向下一个教示点移动。当输送滑架10到达下一个教示点时，接合头70开始接合。从加工点P(1，0)到加工点P(xm-1，0)重复进行这样的操作。加工点P(xm-1，0)的接合在时刻t34完成。
当加工点P(xm-1，0)的接合在时刻t34完成时，输送滑架10开始向教示点TP3xm移动，并且互锁输送模块21开始从教示点TP80向教示点TP81移动。当输送滑架10在时刻t35到达教示点TP3xm并且互锁输送模块21在时刻t35到达教示点TP81时，完成接合头70与输送滑架10上的工件W的加工点P(xm，1)的对准。接合头70开始接合。
当加工点P(xm，1)的接合在时刻t36完成时，互锁输送模块21开始向下一个教示点移动。当互锁输送模块21到达下一个教示点时，接合头70开始接合。从加工点P(xm，1)到加工点P(xm，yn-1)重复进行这样的操作。加工点P(xm，yn-1)的接合在时刻t38完成。
当加工点P(xm，yn-1)的接合在时刻t38完成时，输送滑架10开始向教示点TP3xm-1移动，并且互锁输送模块21开始从教示点TP8yn-1向教示点TP8yn移动。当输送滑架10在时刻t39到达教示点TP3xm-1并且互锁输送模块21在时刻t39到达教示点TP8yn时，完成接合头70与输送滑架10上的工件W的加工点P(xm-1，yn)的对准。接合头70开始接合。
当加工点P(xm-1，yn)的接合在时刻t3a完成时，输送滑架10开始向下一个教示点移动。当输送滑架10到达下一个教示点时，接合头70开始接合。从加工点P(xm-1，yn)到加工点P(1，yn)重复进行这样的操作。加工点P(1，yn)的接合在时刻t3c完成。
当加工点P(1，yn)的接合在时刻t3c完成时，输送滑架10开始向教示点TP30移动，并且互锁输送模块21开始从教示点TP8yn向教示点TP8yn-1移动。当输送滑架10在时刻t3d到达教示点TP30并且互锁输送模块21在时刻t3d到达教示点TP8yn-1时，完成接合头70与输送滑架10上的工件W的加工点P(0，yn-1)的对准。接合头70开始接合。
当加工点P(0，yn-1)的接合在时刻t3e完成时，互锁输送模块21开始向下一个教示点移动。当互锁输送模块21到达下一个教示点时，接合头70开始接合。从加工点P(0，yn-1)到加工点P(0，1)重复进行这样的操作。加工点P(0，1)的接合在时刻t3g完成。
当加工点P(0，1)的接合完成时，互锁输送模块21开始向教示点TP80移动。互锁输送模块21到达教示点TP80以完成第三循环的操作，并且第四循环在第四循环开始时刻t4开始。
如上所述，工件W上的加工点P和接合头70可以对准，以便通过输送滑架10的操作和互锁输送模块21的操作的组合来执行加工。
根据本示例性实施例，输送滑架10可以通过输送模块11和互锁输送模块21在X方向和Y方向上移动。因此，可以在不沿Y方向驱动加工装置9的情况下执行加工。结果，加工工具的支撑构件可以配置成低刚度结构，因此可以减小装置尺寸和降低装置成本。
(第五示例性实施例)
接下来，将参照图15和图16概述第五示例性实施例。
图15是示出加工系统00的总体配置的示意图。工件投放装置5、工件排出装置6、加工前检查装置7和加工装置9沿着由输送装置前进路径1、输送装置返回路径2、以及滑架转移装置3和4形成的循环输送路径设置。工件投放装置5、加工前检查装置7、工件排出装置6和加工装置9沿着循环输送路径按照上述的顺序布置。
图16示出了工件投放装置5、工件排出装置6、加工前检查装置7和加工装置9在各个时刻的操作状态以及输送滑架10在各个时刻的位置。工件投放装置5和工件排出装置6的操作状态指示相应的装置是处于投放或排出工件W还是处于待机。加工前检查装置7的操作状态指示加工前检查装置7是在检查工件W还是处于待机。加工前检查装置7不限于加工前检查操作，并且也可以在加工之后执行检查。加工装置9的操作状态指示加工装置9是在加工工件W还是处于待机。
如图15所示，沿着循环输送路径设置工件投放装置5、工件排出装置6、加工前检查装置7和加工装置9使得用单个加工前检查装置7即可执行加工前检查和加工后检查。因此，加工前检查和加工后检查可以由一个检查装置执行，而不需要设置多个检查装置。
此外，输送滑架10可以在工件投放装置5、工件排出装置6、加工前检查装置7和加工装置9之间移动，而无需等待工件投放装置5、工件排出装置6、加工前检查装置7和加工装置9完成操作。因此可以减少循环时间。
(第六示例性实施例)
接下来，将参照图17概述加工系统00中的输送装置前进路径1、输送装置返回路径2、滑架转移装置3和4、工件投放装置5、工件排出装置6、加工前检查装置7、以及加工装置9的配置的第六示例性实施例。
图17是示出加工系统00的总体配置的示意图。工件投放装置5、工件排出装置6、加工前检查装置7和加工装置9沿着由输送装置前进路径1、输送装置返回路径2、以及滑架转移装置3和4形成的循环输送路径设置。工件投放装置5、加工前检查装置7、工件排出装置6和加工装置9沿着循环输送路径按上述的顺序布置。工件投放装置5、加工前检查装置7和工件排出装置6沿着循环输送路径所包括的输送装置前进路径1布置。加工装置9沿着输送装置返回路径2设置。
如图17所示，沿着循环输送路径设置工件投放装置5、工件排出装置6、加工前检查装置7和加工装置9使得用单个加工前检查装置7就能够执行加工前检查和加工后检查。因此，加工前检查和加工后检查可以由一个检查装置执行，而不需要提供多个检查装置。
此外，输送滑架10可以在工件投放装置5、工件排出装置6、加工前检查装置7和加工装置9之间移动，而无需等待工件投放装置5、工件排出装置6、加工前检查装置7和加工装置9完成操作。因此可以减少循环时间。
此外，在由加工前检查装置7执行的加工后检查的结果是不合格并且由加工装置9执行重新加工或校正加工的情况下，运送已经由加工前检查装置7进行了加工后检查的工件W的运送滑架10可以将工件W再次移动到加工装置9。再次移动到加工装置9的工件W可以再次进行预定的重新加工或校正加工。
其他的实施例
本发明的一个或多个实施例还可以通过读出并执行记录在存储介质(也可以更完整地被称为“非暂时性计算机可读存储介质”)上的计算机可执行指令(例如，一个或多个程序)以执行上述一个或多个实施例的功能和/或包括用于执行上述一个或多个实施例的功能的一个或多个电路(例如，专用集成电路(ASIC))的系统或装置的计算机来实现，以及通过由系统或装置的计算机执行的方法来实现，例如，通过从存储介质读出并执行计算机可执行指令以执行上述一个或多个实施例的功能和/或控制一个或多个电路以执行上述一个或多个实施例的功能来实现。计算机可以包括一个或多个处理器(例如，中央处理单元(CPU)，微处理单元(MPU))，并且可以包括单独的计算机或单独的处理器的网络以读出和执行计算机可执行指令。可以将计算机可执行指令提供给计算机，例如从网络或存储介质提供。存储介质可以包括例如硬盘、随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、分布式计算系统的存储器、光盘(譬如高密度光盘(CD)、数字通用光盘(DVD)或蓝光光盘(BD)TM)、闪存装置、存储卡等中的一种或多种。
其他的实施例
本发明的实施例还可以通过如下的方法来实现，即，通过网络或者各种存储介质将执行上述实施例的功能的软件(程序)提供给系统或装置，该系统或装置的计算机或是中央处理单元(CPU)、微处理单元(MPU)读出并执行程序的方法。
尽管已经参考示例性实施例描述了本公开，但是应当理解，本公开并不受限于所公开的示例性实施例。所附权利要求的范围应符合最宽泛的解释，以便涵盖所有这样的变型以及等同的结构和功能。

Claims (24)

1.一种加工系统，其包括：
输送路径，所述输送路径包括配置成输送滑架的多个输送模块，所述多个输送模块设置成将所述滑架输送到多个位置；
加工装置，所述加工装置配置成对安装在所述滑架上的工件执行加工；以及
控制单元，所述控制单元配置成控制所述多个输送模块和所述加工装置，
其中所述控制单元配置成在由所述加工装置在所述多个位置处对工件执行加工的情况下，通过使用所述多个输送模块移动所述滑架而将工件移动到所述多个位置。
2.根据权利要求1所述的加工系统，
其中所述输送路径包括线圈组，所述线圈组包括多个线圈，并且
其中所述滑架包括配置成从所述线圈组接收电磁力的永磁体或铁磁体，所述滑架配置成通过所述永磁体或铁磁体从所述线圈组接收的电磁力而移动。
3.根据权利要求1所述的加工系统，
其中所述加工装置包括移动机构，并且
其中所述加工装置配置成由所述移动机构在与所述滑架的移动方向交叉的方向上移动。
4.根据权利要求1所述的加工系统，
其中所述加工装置包括加工工具、加工工具驱动滑架和加工工具输送路径，所述加工工具配置成由所述加工工具驱动滑架移动，并且
其中所述加工工具输送路径包括线圈组，所述线圈组包括多个线圈，所述加工工具驱动滑架包括永磁体或铁磁体，所述永磁体或铁磁体配置成从所述加工工具输送路径的线圈组接收电磁力，所述加工工具驱动滑架配置成通过所述永磁体或铁磁体从所述加工工具输送路径的线圈组接收的电磁力而移动。
5.根据权利要求4所述的加工系统，其中，所述加工工具驱动滑架的重心设置在电磁力的作用线上。
6.根据权利要求4所述的加工系统，其中编码器设置在所述加工工具输送路径上，并且标尺附接到所述加工工具驱动滑架，所述标尺附接到能够由所述编码器检测并且与所述加工工具驱动滑架的重心的高度一致的位置。
7.根据权利要求1所述的加工系统，其中所述多个位置是预先设定的教示点的位置。
8.根据权利要求7所述的加工系统，其还包括配置成检测安装在所述滑架上的工件的位置的机构。
9.根据权利要求8所述的加工系统，其中所述教示点能够基于工件的位置的检测结果进行调节。
10.根据权利要求1所述的加工系统，其中所述多个输送模块中的至少一个是互锁输送模块，所述互锁输送模块包括移动机构，所述移动机构配置成在与滑架移动机构的移动方向交叉的方向上移动所述滑架。
11.根据权利要求1所述的加工系统，其还包括配置成检查工件的状态的检查装置。
12.根据权利要求1所述的加工系统，其中所述加工是接合。
13.根据权利要求1所述的加工系统，其还包括配置成将工件安装在所述滑架上的工件投放装置。
14.根据权利要求1所述的加工系统，其还包括配置成从所述滑架移除工件的工件排出装置。
15.一种加工系统，其包括：
输送路径，所述输送路径配置成通过设置被配置成输送滑架的多个输送模块而将所述滑架输送到多个位置；
工件投放装置，所述工件投放装置配置成将工件安装在滑架上；
检查装置，所述检查装置配置成检查安装在所述滑架上的工件；
加工装置，所述加工装置配置成对工件执行预定的加工操作；
工件排出装置，所述工件排出装置配置成移除工件；以及
控制单元，所述控制单元配置成控制所述多个输送模块和所述加工装置，
其中所述控制单元配置成在由所述加工装置在多个位置对工件执行加工的情况下，通过使用所述多个输送模块移动所述滑架来控制所述多个位置。
16.根据权利要求15所述的加工系统，其中所述输送路径包括输送装置前进路径、输送装置返回路径、配置成将所述滑架从所述输送装置返回路径输送到所述输送装置前进路径的第一滑架转移装置、以及配置成将所述滑架从所述输送装置前进路径转移到所述输送装置返回路径的第二滑架转移装置。
17.根据权利要求16所述的加工系统，其中所述输送路径是由所述输送装置前进路径、所述输送装置返回路径、所述第一滑架转移装置和所述第二滑架转移装置形成的循环输送路径。
18.根据权利要求17所述的加工系统，其中所述工件投放装置、所述检查装置和所述工件排出装置设置在邻接所述输送装置前进路径的预定位置处，并且所述加工装置设置在邻接所述输送装置返回路径的预定位置处。
19.根据权利要求17所述的加工系统，其中所述工件投放装置和所述工件排出装置设置在邻接所述输送装置返回路径的预定位置处，并且所述加工装置设置在邻接所述输送装置前进路径的预定位置处。
20.根据权利要求16所述的加工系统，其中所述检查装置包括配置成检测安装在所述滑架上的工件的位置的装置和配置成检查使用所述加工装置加工的工件的加工状态的装置。
21.根据权利要求20所述的加工系统，其中配置成检测安装在所述滑架上的工件的位置的所述装置设置在邻接所述第一滑架转移装置的位置处，并且配置成检查工件的加工状态的所述装置设置在邻接所述第二滑架转移装置的位置处。
22.根据权利要求11所述的加工系统，
其中，所述多个输送模块中的至少一个是互锁输送模块，所述互锁输送模块包括移动机构，所述移动机构配置成在与滑架移动机构的移动方向交叉的方向上移动所述滑架，并且
其中，所述检查装置设置在邻接所述互锁输送模块的位置处。
23.根据权利要求22所述的加工系统，其中，所述加工装置设置在邻接所述互锁输送模块的位置处。
24.一种用于制造物品的物品制造方法，其包括通过使用根据权利要求1至23中任一项所述的加工系统而在输送工件的同时对工件执行多次加工。
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