CN102437076A - 基板输送装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种基板输送装置，该基板输送装置能够抑制基板上的涂布膜上发生干燥不匀而输送基板，另外，即使装置的制造和组装误差大时也能够抑制颗粒的发生。该基板输送装置将从载物台的表面浮起的基板用基板导向件边引导边输送，基板导向件包括：基板导向件主体，通过与基板侧面抵接来约束基板，并且能够朝向与载物台表面呈垂直的方向位移；浮起单元，用于将基板导向件主体从载物台表面浮起；偏向装置，用于使基板导向件主体偏向于载物台表面侧，其中，所述基板导向件主体包括与基板侧面抵接的基板抵接部，该基板抵接部的高度位置通过浮起单元和偏向装置保持在从载物台表面浮起的基板的高度位置上。

Description

基板输送装置

技术领域

本发明涉及将基板从载物台浮起而输送的基板输送装置。

背景技术

从过去，例如在平板显示器(FPD)的光刻法的技术领域中，就使用将基板从对基板进行规定处理的基板处理装置输送至进行下一个工序的基板处理装置的基板输送装置。其中，尤其浮起基板输送装置相比于通过机械手等输送的输送装置，由于没有基板的姿势变化的动作，因此具有能够缩短周期时间的优点。

在浮起基板输送装置中，通常包括基板导向件(输送部件)，该基板导向件通过从载物台喷出空气，在基板和载物台之间形成空气层，由此将基板轻微地浮起，并将浮起的基板引导至规定方向。该基板导向件通过与基板的抵接来约束浮起的基板活动，通过基板导向件以与基板抵接的状态进行输送动作，能够将基板引导(输送)至规定方向。

例如，在下述专利文献1中公开了具有如下构成的基板输送装置，其构成为，设置有从载物台表面突出的辊(输送部件)，使基板的背面抵接于该辊上，在该状态下通过旋转辊来输送基板。但是，如果基板背面与辊抵接，由于涂布在基板表面上的涂布膜的干燥状态在与辊抵接的部分和未抵接的部分不同，因此有干燥不匀的担心。因此，如下述专利文献1的图10所示，还公开有具有如下构成的基板输送装置，其构成为，作为基板导向件在输送方向上包括多个在与载物台表面呈垂直的方向上具有旋转轴的导向辊，使基板侧面与该导向辊抵接，通过使导向辊在该状态下旋转而输送基板，这样的构成能够抑制干燥不匀。

专利文献1：特开2008-166359号公报

发明内容

但是，在上述基板输送装置中，即使将基板侧面与多个导向辊抵接时也无法抑制干燥不匀的问题。即，在专利文献1中公开的基板输送装置中，由于用导向辊约束基板侧面，因此基板以基板的一部分从载物台上露出的状态输送。即，载物台宽度被设定为比基板尺寸小。在该状态中，输送过程中的基板上形成的涂布膜由于位于载物台上的基板部分和从载物台露出的基板部分干燥状态不同，因此存在涂布膜上形成干燥不匀的问题。

在此，为了使基板整个面的干燥状态均匀，可以考虑下述构成方式：按照基板整个面与载物台表面相对而置的方式将载物台宽度设定为比基板尺寸大，并使导向辊露出在载物台表面上以与基板侧面抵接。但是，通常载物台表面在纵向方向上具有平面度误差，并且导向辊排列的直线度也有误差。因此，这些装置的制造以及组装误差大时，无法有效保持导向辊和载物台表面的微小的间隙，因此存在通过导向辊和载物台表面接触而产生颗粒的问题。

本发明是鉴于上述问题而作出的，其目的在于提供一种基板输送装置，该基板输送装置能够抑制基板上的涂布膜上发生干燥不匀而输送基板，且即使装置的制造以及组装误差大时，也能够抑制颗粒的产生。

为了解决上述课题，本发明的基板输送装置是用基板导向件将从载物台表面浮起的基板边引导边输送的基板输送装置，其特征在于，所述基板导向件包括：基板导向件主体，通过与基板侧面抵接来约束基板，并且能够朝向与载物台表面呈垂直的方向位移；浮起单元，用于将所述基板导向件主体从载物台表面浮起；偏向装置，用于使所述基板导向件主体偏向于载物台表面侧，其中，所述基板导向件主体包括与基板侧面抵接的基板抵接部，该基板抵接部的高度位置通过所述浮起单元和所述偏向装置保持在从载物台表面浮起的基板的高度位置上。

根据上述基板输送装置，由于通过与基板侧面抵接而约束基板，因此能够抑制基板上的涂布膜上发生干燥不匀而输送基板。另外，基板导向件主体的基板抵接部的高度位置通过所述浮起单元和所述偏向装置能够保持在从载物台表面浮起的基板的高度位置上，因此即使发生载物台的平面度误差等装置的制造以及组装误差，但也能够抑制颗粒的产生。具体来说，基板导向件主体通过浮起单元从载物台表面受到浮起力，并且通过偏向装置被挤压在载物台的表面侧。即，基板导向件主体保持在浮起单元的浮起力和偏向装置的偏向力处于平衡的位置上。并且，在边使基板约束在基板导向件上边使基板导向件行走以使基板向载物台的输送方向输送的过程中，即使在载物台的平面度发生变化的部分上行走，由于基板导向件主体受到浮起力的同时通过偏向装置被挤压在载物台的表面侧上，因此基板导向件主体也能够按照跟随表面变化的方式行走而输送基板。因此，即使发生装置的制造以及组装误差，也通过保持一定的基板导向件主体的浮起量，使基板导向件与载物台表面不接触，因此能够抑制由于基板导向件与载物台表面接触而发生的颗粒的产生。

作为所述基板导向件的具体实施方式，所述基板导向件可以具有如下构成，该基板导向件在与所述载物台的表面相对的位置上包括空气垫，所述浮起单元通过向所述空气垫供给空气，由此从所述空气垫向所述载物台表面喷出空气，以使所述基板导向件主体从载物台表面浮起。

另外，所述浮起单元的空气垫的构成可以是与所述基板导向件主体的基板抵接部单独形成。

根据该构成，由于基板没有直接抵接于空气垫，因此能够抑制通过基板抵接引起的空气垫的安装位置发生变化。

另外，其构成还可以是，所述浮起单元的空气垫设置在偏离所述载物台的基板输送区域的位置上。

根据该构成，能够抑制从空气垫喷出的空气直接喷在基板被输送的载物台的基板输送区域上，因此能够抑制载物台的基板输送区域的温度变化。由此，能够抑制基板上形成的涂布膜的干燥不匀。

进一步，作为所述基板导向件的其它具体实施方式，可以使所述基板导向件具有如下构成，所述基板导向件在与载物台表面相对的所述基板导向件主体的底面部上包括空气垫，所述浮起单元通过向所述空气垫供给空气，由此从所述空气垫喷出空气，以使所述基板导向件主体从载物台表面浮起。

另外，还可以具有如下构成，所述基板导向件进一步包括支撑所述基板导向件主体的导向件支撑部，通过该导向件支撑部所述基板导向件主体以能够向相对于载物台表面接触和分离的方向位移的方式被支撑，在所述导向件支撑部和基板导向件主体之间以收缩的状态设置有弹簧部件，通过该弹簧部件基板导向件主体偏向于载物台表面侧。

根据该构成，通过所述弹簧部件的偏向力和所述浮起单元的浮起力处于平衡，在基板导向件主体的底面部和载物台表面之间形成有规定的间隙，由此能够将所述基板导向件主体的基板抵接部保持在从载物台表面浮起的基板的高度位置上。

另外，其构成还可以是，在所述导向件支撑部上的所述基板导向件主体被支撑的附近形成有吸引部，该吸引部向所述基板抵接部侧开口。

根据该构成，所述基板导向件主体相对于所述导向件支撑部相对位移时，通过两者的接触状态有可能产生颗粒。假设即使有产生颗粒的情况下，颗粒通过吸引部的开口被吸引，由此也能够抑制颗粒向基板抵接部侧的扩散。

另外，其构成还可以是，所述导向件支撑部包括沿所述基板抵接部侧延伸的罩，该罩配置在所述吸引部的开口外侧，按照覆盖基板导向件主体整个外周的方式设置，在所述罩和所述基板抵接部之间形成有间隙。

根据该构成，通过吸引部的开口产生吸引力时，由于在罩和基板抵接部之间产生朝向吸引部开口的吸引力，因此能够抑制由于所述导向件支撑部和所述基板导向件主体的接触而产生的颗粒落在基板表面侧。

根据本发明的基板输送装置，能够抑制基板上的涂布膜上发生干燥不匀而输送基板，另外，即使装置的制造以及组装误差大时也能够抑制颗粒的产生。

附图说明

图1为表示本发明的一实施方式的基板输送装置的俯视图；

图2为放大上述基板输送装置的一单元的俯视图；

图3为上述基板输送装置的一单元的侧视图；

图4为上述基板输送装置的一单元的主视图；

图5为表示通过上述基板输送装置的基板导向件将基板输送至邻接的载物台上的状态的俯视图；

图6为表示上述基板导向件退避、定位销突出的状态的俯视图；

图7为表示上述基板导向件复归至原位置的状态的俯视图；

图8为表示上述基板导向件的图，(a)为该图的侧视图，(b)为该图的截面图；

图9为表示上述基板输送装置的动作的流程图；

图10为根据其它实施方式的基板导向件的俯视图；

图11为图10的A-A截面图；

图12为根据其它实施方式的基板导向件的俯视图；

图13为表示基板被保持在根据其它实施方式的基板抵接部上的状态的图。

附图标号说明

1：基板输送装置

2：基板

12：载物台

30：基板导向件

31：基板导向件主体

32：导向件支撑部

32a：臂部

34：基板抵接部

50：浮起单元

51：空气垫

60：偏向(付勢)装置

61：螺旋弹簧

71：吸引部

72：防尘罩

具体实施方式

参照附图说明本发明的基板输送装置的实施方式。

[实施例1]

图1为表示基板输送装置的一实施方式的俯视图，图2为放大基板输送装置的一单元的俯视图，图3为基板输送装置的一单元的侧视图，图4为基板输送装置的一单元的主视图。

在图1至图4中，基板输送装置1是将基板2以浮起的状态输送的装置，且为将基板2从上游侧的基板处理装置1输送至下一个工序的下游侧的基板处理装置的装置。例如，通过排出抗蚀剂液等涂布液的涂布装置在基板2上形成涂布膜之后，将基板2输送至使涂布膜干燥的干燥装置时，能够将从涂布装置供给的基板2以浮起的状态并保持该状态且不改变方向地输送至干燥装置上。

另外，在以下的说明中，基板2的输送方向作为X轴方向，与该X轴方向在水平面上呈直角的方向作为Y轴方向，与该X轴方向和Y轴方向均呈直角的方向作为Z轴方向。

基板输送装置1包括载物台单元10和输送单元20，在载物台单元10的Y轴方向两侧上配置有输送单元20。载物台单元10是放置基板2的装置，能够将放置的基板2保持在浮起的状态。另外，输送单元20是边约束浮起的基板2边向输送方向(X轴方向)输送的装置。即，从上游侧供给至载物台单元10上的基板2在载物台12上浮起，并且在设置于输送单元20上的基板2导向件上受约束。并且，通过基板2导向件向X轴方向行走，向X轴方向输送基板2。

如图3、图4所示，载物台单元10包括被放置在基台11上且以平坦形状形成的载物台12，和从该载物台12表面将基板2浮起的浮起装置13。载物台12是矩形形状的金属平板状部件，沿输送方向配置有多个。图1的例子中配置有四个载物台12。另外，载物台12包括与供给的基板2相对而置的载物台面12a(也仅称之为载物台表面12a)，并且整体以平坦形状形成。在本实施方式中，载物台面12a比基板2尺寸大，被供给的基板2整面不会露出，而与该载物台面12a相对而置。由此，基板2整体与载物台面12a相对而置，因此保持稳定的干燥环境，当基板2上形成的涂布膜在输送过程中干燥时，能够抑制由于干燥环境不均匀而导致的干燥不匀。

另外，在载物台12上设置有定位销14，被输送来的基板2通过该定位销14定位于规定的位置。该定位销14在一个载物台12上设置有四个，每个对角线上各配置两个。具体来说，配置在当基板2被供给至载物台12上时夹住基板2对角线上的两个角部分的位置上。即，定位销14配置在根据被输送的基板2的尺寸，基板2和定位销14形成微小的间隙的位置上。另外，该定位销14可以升降，在收容状态中全部定位销14都收容在载物台12内，在突出状态中定位销14突出在载物台12表面上。因此，定位销14收容状态下基板2被供给，如果基板2供给至载物台面12a上，定位销14将处于突出状态，通过基板2的侧面2a与定位销14接触，由此基板2被定位。即，如果基板2供给至载物台12上，基板2则处于边浮起边自由移动的状态，而通过定位销14与基板2的侧面2a接触，由此基板2的移动受约束，基板2定位于载物台12上的规定位置(定位范围)上。

另外，浮起装置13是将供给的基板2从载物台面12a浮起的装置。在本实施方式中，如图3、图4所示，载物台12的背面(载物台面12a的背面)上设置有振动子13a，通过该振动子13a供给特定频率的振动，载物台12上的基板2能够从载物台面12a浮起。具体来说，例如如果用超音波使振动子13a振动，通过振动的传播，载物台12本身被超音波振动。由此，载物台面12a和基板2之间形成有微小的空气层而使基板2从载物台面12a浮起。即，如果使振动子13a以特定频率振动，基板2以从载物台面12a浮起规定高度位置的状态保持在载物台12上。

另外，输送单元20是通过基板导向件30将载物台12上的基板2向输送方向输送的装置。输送单元20包括向一个方向延伸的基台11a，按照沿着载物台12的输送方向夹住载物台12的方式被设置。另外，输送单元20包括基板导向件30，能够通过由基台11a上的输送驱动部40来移动多个基板导向件30输送基板2。即，基板导向件30对应于每个载物台12设置，各基板导向件30能够进行从一个载物台12移动至下一个下游侧的载物台12、然后复归至原载物台12的动作。通过每个载物台12的基板导向件30同时进行这样的动作，能够将基板2向输送方向输送。

具体来说，如果基板2被供给到一个载物台12上，则基板2被基板导向件30受约束(图1的状态)。并且，通过基板导向件30的移动输送至下一个下游侧的载物台12(图5的状态)，并放置在下游侧的载物台12上(图6的状态)。并且，下游侧的基板导向件30复归至上游侧的原载物台12位置(图7的状态)，重新对由上游侧的基板导向件30被输送的基板2进行约束。通过在各载物台12上重复进行这样的动作，基板2被朝向输送方向输送。即，基板2通过多个基板导向件30的接力方式被输送。

输送驱动部40包括：导轨41，向一个方向延伸；输送主体部42，搭载基板导向件30；线性马达43，驱动输送主体部42。导轨41是具有平滑面的平板形状部件，按照平滑面向上的方式设置在各基台11上。即，如图2、图4所示，离各载物台12等距离的位置上，按照沿载物台12的输送方向夹住载物台面12a的方式设置有导轨41。另外，各导轨41的平滑面的高度位置分别设定为相同的高度位置上。

另外，在导轨41的平滑面上设置有LM导向件44和线性马达43。具体来说，在平滑面的Y轴方向中央位置上线性马达43的定子(磁铁板)按照向X轴方向延伸的方式被设置，在该定子的两侧上，LM导向件44以向X轴方向延伸的方式设置。另外，在该LM导向件44上连接有输送主体部42，设置在输送主体部42上的可动子与定子连接。因此，如果通过驱动线性马达43而可动子沿着定子移动，则输送主体部42能够沿导轨41移动。即，通过驱动控制线性马达43输送主体部42能够沿X轴方向移动，并且能够在任意位置上停止。

输送主体部42包括搭载基板导向件30的搭载部42a和从该搭载部42a延伸的腿部42b，截面形成为略“コ”字形状。在该腿部42b上连接有LM导向件44，搭载部42a以向上的方式配置。并且，在该搭载部42a上设置有一个基板导向件30，基板导向件30配置在各载物台12的对角线上。即，配置在与配置有定位销14的对角线不同的对角线上。并且，如果控制线性马达43的驱动，则基板导向件30在对角线上存在的位置关系保持不变的情况下，输送主体部42向输送方向移动。另外，图2的虚线表示移动之后的输送主体部42以及基板导向件30。

如图8所示，基板导向件30包括约束基板2的基板导向件主体31和支撑该基板导向件主体31的导向件支撑部32，进一步包括，将基板导向件主体31从载物台面12a浮起的浮起单元50和将基板导向件主体3 1偏向于载物台面12a侧的偏向装置60，并通过浮起单元50和偏向装置60，基板导向件主体31能够从载物台面12a浮起。

导向件支撑部32包括平板形状的臂部32a，该臂部32a的前端部分上设置有基板导向件主体31。该臂部32a通过升降机构设置在输送主体部42的搭载部42a(参照图4)上，相对于搭载部42a能够向Z方向进行升降动作。具体来说，基板导向件主体31从约束基板2的位置能够上升至基板导向件主体31与突出状态的定位销14不接触的程度。即，如图5所示，将基板2输送至下一个下游侧的载物台12之后，如图6所示，基板被突出状态的定位销14约束。另外，在图1、图5～图7中，定位销14为黑色时表示突出状态，白色时表示收容状态。并且，使基板导向件主体31上升之后，通过使输送主体部42行走，基板导向件30能够超越该突出状态的定位销14的上方返回到原载物台12位置(图7的状态)。

另外，导向件支撑部32包括进退机构，该进退机构使臂部32a相对于基板2能够进退。即，将基板2约束于基板导向件主体31上时，使臂部32a突出于基板2侧(图7→图1)，以基板导向件主体31与基板2抵接的状态下停止，并且，如图5所示，将基板2输送至下一个载物台12上时，通过将突出的臂部32a移动至基板2相反侧，使其处于退避状态，由此能够解放基板2(图6的状态)。

另外，在臂部32a上设置有在进退方向上能够伸缩的弹簧，即使供给的基板2的角部分的位置有偏差，但如果以该状态使臂部32a进出而与基板导向件主体3 1抵接，通过弹簧吸收该偏差量，能够将基板导向件主体31与基板2的角部分可靠地抵接。

如图8所示，基板导向件主体31被导向件支撑部32的臂部32a支撑，通过该基板导向件主体3 1与基板2抵接来约束基板2。具体来说，在臂部32a上安装两个基板导向件主体31(参照图2)，并通过在对角线上配置的该两个基板导向件主体31与基板2接触来能够约束基板2。该基板导向件主体31包括导向件轴部33和在该导向件轴部33的载物台面12a侧形成的基板抵接部34，通过基板抵接部34与基板2的侧面2a抵接来约束基板2。

另外，基板导向件主体31按照能够向Z方向位移的方式被导向件支撑部32支撑。具体来说，导向件轴部33以圆筒形状形成，该导向件轴部33通过滑动衬套35支撑在臂部32a上形成的贯通孔上。由此，基板导向件主体31相对于导向件支撑部32能够向Z方向位移的方式被支撑。即，基板导向件主体31相对于载物台面12a能够向Z方向位移。

基板抵接部34通过与基板2的侧面2a抵接来约束基板2。该基板抵接部34是以树脂制造的圆筒形状形成，相比于导向件轴部33以大直径形成。并且，导向件支撑部32的臂部32a突出于基板2侧，通过使基板导向件主体31与基板2抵接，能够使基板抵接部34的外周面与基板2的侧面2a抵接，由此约束基板2。即，通过配置在对角线上的各基板导向件30的基板抵接部34轻微地挤压接触在基板2的角部分的侧面2a上，载物台面12a上浮起的基板2的活动被约束。另外，在本实施方式中，虽然通过基板抵接部34的轻微的挤压来约束基板，但即使不由基板抵接部34给基板2的侧面2a挤压，而以能够形成微小的间隙的程度与基板2的侧面2a抵接时也能够约束基板2。即，约束基板2是指，抑制浮起于载物台面12a上的基板自由地活动而支撑基板2。

另外，浮起单元50是将基板导向件主体31从载物台面12a浮起的装置。本实施方式的浮起单元50是由设置在基板导向件主体31的底面部36上的空气垫5 1和连通于该空气垫51的空气供给路52构成。该空气供给路52与贮气瓶(未图示)连接，通过阀门(未图示)的开启和关闭动作，空气通过空气供给路52供给。即，供给到空气供给路52的空气从空气垫51向载物台面12a侧喷出。由此，在基板导向件主体31上发生浮起力，基板导向件主体31从载物台面12a轻微地浮起。在此，基板导向件主体31的浮起量通过阀门的开口量进行调整，在本实施方式中基板抵接部34被调整为载物台面12a上浮起的基板2的高度位置。另外，基板抵接部34被调节为基板2的高度位置不仅指基板2的浮起量和基板抵接部34的浮起量相同，还可以被调节为在基板抵接部34浮起的状态下基板抵接部34能够与基板2的侧面抵接的高度位置。

另外，偏向装置60是将基板导向件主体31向载物台面12a侧挤压的装置。本实施方式的偏向装置60在基板抵接部34和导向件支撑部32之间设置有螺旋弹簧61(弹簧部件)，通过该螺旋弹簧61的弹性力基板导向件主体31朝向载物台面12a侧被挤压。具体来说，螺旋弹簧61按照在基板抵接部34和导向件支撑部32之间与导向件轴部33的中心大体同心的方式以收缩一定量的状态被设置。通过该螺旋弹簧61的复归力作为对基板抵接部34的偏向力作用，基板抵接部34(基板导向件主体3 1)朝向载物台面12a侧挤压。

在此，如果通过开启浮起单元50的阀门来增加空气供给量，则通过从空气垫51喷出的空气量的增加而浮起力增加，基板导向件主体31向上位移。另外，通过如果基板导向件主体31向上位移，偏向装置60的螺旋弹簧61的复归力增大，基板抵接部34受到向下的挤压力。由此，通过浮起单元50的浮起力和偏向装置60的偏向力处于平衡的位置，能够调节基板抵接部34的高度位置。在本实施方式中，按照基板抵接部34位于载物台面12a上浮起的基板2的高度位置的方式调节浮起单元50的空气供给量。

通过如此的基板导向件30，即使发生载物台12表面的平面度误差等装置的制造和组装误差，但能够抑制颗粒的产生而输送基板2。即，通过基板导向件30，在浮起单元50的浮起力和偏向装置60的偏向力处于平衡的位置上，基板抵接部34能够与基板2的侧面2a抵接来约束基板2。在该状态下，将基板导向件30向输送方向移动来输送基板2的过程中，载物台12表面上发生平面度误差时，假设例如载物台12表面隆起，但由于从基板导向件主体31的空气垫51喷出的空气量没有变化，因此基板导向件主体31通过从邻接的载物台面12a喷出空气而产生的浮起力，受到向上的力而向上位移。但是，由于臂部32a相对于载物台12表面固定，因此在臂部32a和基板抵接部34之间螺旋弹簧61受到压缩变形，该复归力作用于基板抵接部34上。即，即使载物台面12a邻接或分离，由于浮起单元50的浮起力和偏向装置60的偏向力(复归力)在新的高度位置上处于平衡，因此按照基板导向件主体31跟随载物台面12a的方式保持基板导向件主体31的浮起状态。因此，即使发生载物台12表面的平面度误差等装置的制造和组装误差，但能够抑制行走过程中基板导向件30与载物台12表面接触，因此能过抑制通过基板导向件30与载物台12表面接触而引起的颗粒的产生。

另外，在该基板导向件30上设置有防尘机构。即，通过在导向件支撑部32的臂部32a上设置的吸引部71和防尘罩72能够抑制基板导向件主体31向Z轴方向位移时发生的颗粒的产生。

吸引部71是通过吸引产生的颗粒抑制颗粒附着在基板2上的装置。该吸引部71设置在基板导向件主体31插入的臂部32a的贯通孔附近。具体来说，臂部32a上形成有向基板抵接部34侧开口的开口部71a，在该开口部71a上从基板抵接部34的相反侧连接有真空泵。因此，通过使真空泵工作来在开口部71a的基板抵接部34一侧开口发生吸引力，能够吸引在臂部32a和基板抵接部34之间产生的颗粒。即，当基板导向件主体31向Z轴方向位移时，能够吸引导向件轴部33和滑动衬套35滑动时产生的颗粒。

另外，防尘罩72是抑制产生的颗粒扩散的装置。该防尘罩72设置在吸引部71的开口外直径侧上，从臂部32a向基板抵接部34延伸，并且以圆筒形状形成。另外，防尘罩72将导向件轴部33的外周面和基板抵接部34的外周面的一部分在全周上覆盖。即，防尘罩72形成为比基板抵接部34直径大，与基板抵接部34的外周面之间具有间隙。由此，能够抑制在臂部32a和基板抵接部34之间产生的颗粒扩散。即，如果导向件轴部33和滑动衬套35滑动时产生颗粒，则虽然颗粒扩散，但由于圆筒形状的防尘罩72的存在，能够将扩散的颗粒留在防尘罩72内。并且，如果使真空泵工作而在吸引部71上发生吸引力，则形成从防尘罩72和基板抵接部34之间形成的间隙进入空气并被吸引部72所吸引的空气流。由此，被防尘罩72覆盖的区域上扩散的颗粒不会向防尘罩72的外侧漏出，因此能够从吸引部71排出颗粒。

接着，参照图9所示的流程图说明基板输送装置的工作。

在此，在基板2被输送之前的状态中，各基板导向件30在相邻于各载物台12的位置上待机，导向件支撑部32的臂部32a处于退避状态。并且，定位销收容14在载物台面12a下方，保持收容状态。

首先，在步骤S1中进行基板2的定位。即，为了用基板导向件30约束基板2，进行基板2的定位动作。具体来说，如果完成前面工序的基板2被供给，通过处于收容状态的定位销14从载物台面12a突出，基板2被定位在定位范围。即，如果基板2供给到通过振动子13a振动的载物台12上，则虽然基板2从载物台面12a浮起并在载物台面12a上自由移动，但通过与处于突出状态的定位销14抵接而基板2的移动受限制。由此，基板2定位在定位范围内(图7)。

接着，在步骤S2中进行通过基板导向件30的约束动作。即，导向件支撑部32的臂部32a向基板2侧延伸。具体来说，空气从基板导向件主体31的空气垫51喷出，该浮起力和螺旋弹簧61的偏向力处于平衡，基板导向件主体31边被臂部32a支撑边在载物台面12a上浮起。在该状态中，基板抵接部34的高度位置被调整为与基板2的侧面2a抵接的高度位置。并且，如果臂部32a延伸，则基板导向件主体31接近基板2的侧面2a，通过基板抵接部34与基板2的侧面2a抵接，臂部32a停止延伸动作。即，配置在对角线上的四个基板导向件主体31的基板抵接部34上，通过基板2的角部分的侧面2a抵接来约束基板2(图1)。因此，在该状态的基板2的活动被基板导向件30以及定位销14约束。

接着，在步骤S3中输送基板2。即，被约束的基板导向件30从目前的载物台12放置在下游侧上邻接的下一个载物台12上，通过重复进行该动作来输送基板2。具体来说，使约束基板2的活动的定位销14下降，使之成为仅由基板导向件30约束的状态。并且，通过驱动输送驱动部40将基板导向件30移动至下游侧。在移动过程中，通过从基板导向件30的空气垫51持续喷出空气，能够保持基板导向件主体31从载物台面12a浮起的状态。并且，即使载物台面12a的平面度上发生误差，但通过跟随该载物台面12a的形状、且导向件支撑部32的臂部32a与载物台面12a接触，能够抑制颗粒的产生。并且，如果基板2到达下游侧邻接的下一个载物台12上，通过控制输送驱动部40的驱动使基板导向件30停止。即，当定位销14为突出状态时，停止在基板2的背面和定位销14不碰撞的位置上。

接着，在步骤S4中，进行通过基板导向件30的基板2的解放。具体来说，定位销14从载物台面12a突出，通过该定位销14被输送来的基板2在下游侧的下一个载物台面12a上被约束。即，基板2被定位销14和基板导向件30约束。并且，基板导向件30的臂部32a退避而复归至原位置的同时通过升降机构臂部32a上升。即，基板导向件主体31上升至不与定位销14接触的位置。由此，进行通过基板导向件30的基板2的解放，基板2仅被定位销14来约束(图6)。

接着，如果臂部32a的退避动作以及上升动作结束，则通过步骤S5基板导向件30复归至原位置(图7)。即，通过驱动输送驱动部40，将基板导向件30移动至与解放基板2的载物台12邻接的上游侧的载物台12。此时，为了约束基板，定位销14处于突出的状态，但由于基板导向件主体31上升为比定位销14高的位置，因此通过基板导向件30的移动，基板导向件主体31和定位销14接触的事情不会发生。

并且，输送至下游侧的载物台12上的基板2通过从最初开始设置在载物台12上的基板导向件30，即从该载物台12下游侧的载物台12复归的基板导向件30受约束，并进一步输送至下游侧的载物台12上。如此地，通过设置在各载物台12上的基板导向件30，基板2被接力式地受约束而移动至下一个下游侧的载物台12上，由此基板2被输送至基板输送装置1的最终位置。

如此地，根据上述基板输送装置1，由于与基板2的侧面2a抵接而约束基板2，因此能够抑制基板2上的涂布膜上发生干燥不匀而输送基板2。另外，基板导向件主体3 1的基板抵接部34的高度位置通过所述浮起单元50和所述偏向装置60，保持在从载物台12的表面12a浮起的基板2的高度位置上，因此即使诸如载物台12的平面度发生误差等情况装置的制造和组装误差较大的情况，基板导向件主体31的浮起量也能被保持在一定量，由此基板导向件主体31不会与载物台12的表面12a接触，因此能够抑制基板导向件30与载物台12的表面12a接触而发生的颗粒的产生。

另外，在上述实施方式中，针对作为偏向装置60使用螺旋弹簧61的情况进行了说明，但也可以是按照使用磁铁使基板抵接部34偏向于载物台面12a侧的方式构成。即，通过在基板抵接部34和臂部32a上相对而置地设置N极或S极，能够将基板抵接部34接近于臂部32a时的磁铁的排斥力作为偏向力利用。

[实施例2]

另外，参照图10、图11说明基板输送装置的其它实施方式。在此，图10为从上面俯视根据其它实施方式的基板导向件30的图，图11为图10的A-A截面图。在该图10、图11所示的实施方式中，浮起单元50的空气垫51是与基板导向件主体31的基板抵接部34单独形成的例子。另外，关于基板导向件30的其它构成与上述的实施方式中的构成相同，因此省略说明。

如图10、图11所示，基板导向件30包括：基板导向件主体31，用于约束基板2；导向件支撑部32，用于支撑该基板导向件主体31；进一步包括，浮起单元50，用于将基板导向件主体31从载物台面12a浮起；偏向装置60，用于使基板导向件主体31偏向于载物台面12a侧。通过浮起单元50和偏向装置60，能够使基板导向件主体31从载物台面12a浮起。

导向件支撑部32包括平板形状的臂部32a，其前端部分上设置有基板导向件主体31。该臂部32a通过升降机构设置在输送主体部42的搭载部42a(参照图4)上，相对于搭载部42a能够沿Z方向进行升降动作。在本实施方式中，升降机构中使用滑台气缸81，通过控制供给到该滑台气缸81的空气量，臂部32a能够沿Z方向移动。即，滑台气缸81按照以直线状移动的台子81a能够沿Z方向移动的方式安装，在该台子81a上通过滑台气缸82安装有臂部32a。并且，通过控制空气的供给量使臂部32a向下移动，使基板导向件主体31接近基板2，通过使臂部32a向上移动，使基板导向件主体31从基板2离开的方向移动。在本实施方式中，与上述的实施方式(实施例1)同样，基板导向件主体31从约束基板2的位置能够上升至与处于突出状态的定位销14不接触的程度的位置。另外，该滑台气缸81也作为后述的偏向装置使用。

另外，导向件支撑部32包括进退机构，臂部32a相对于基板2能够进行进退动作。在本实施方式中，在该进退机构中使用滑台气缸82，通过控制供给到该滑台气缸82的空气量，使基板导向件主体31相对于基板2能够进行接近和分离的动作。具体来说，滑台气缸82的主体安装在滑台气缸81上，按照以直线状移动的滑台气缸82的台子82a朝向被定位的基板2的中心的方向可移动的方式安装。并且，通过控制供给到滑台气缸82的空气量，台子82a能够向基板2的中心方向进行进退动作。即，能够以臂部32a沿基板2的中心方向延伸的突出状态和臂部32a向主体侧收缩的退避状态移动。即，将基板2约束基板导向件主体31上时，使臂部32突出在基板2侧上(图7→图1)，并使基板导向件主体31以与基板2抵接的状态停止。并且，如图5所示，将基板2输送至下一个载物台12上时，将臂部32a移动至基板2的相反侧，使之处于退避状态，由此能够解放基板2(图6的状态)。

如图10、图11所示，基板导向件主体31被导向件支撑部32的臂部32a支撑，通过该基板导向件主体31与基板2抵接来约束基板2。具体来说，通过在臂部32a的前端部分上安装有两个基板导向件主体31(参照图2)，配置在对角线上的该两个基板导向件主体31与基板2接触，由此能够约束基板2。

具体来说，基板导向件主体31包括圆柱形状的导向件轴部33和在该导向件轴部33的载物台面12a侧的侧面上形成的基板抵接部34。该两个基板导向件主体31从臂部32a的中心以等距离地被固定。并且，通过驱动滑台气缸82，使导向件支撑部32的臂部32a突出在基板2侧上，由此基板抵接部34能够与基板2的侧面2a抵接而约束基板2。即，通过配置在对角线上的各基板导向件30的基板抵接部34轻微地挤压接触在基板2的角部分的侧面2a上，由此约束载物台面12a上浮起的基板2的活动。另外，同样在本实施方式中，即使不通过基板抵接部34向基板2的侧面2a上挤压而以能够形成微小的间隙的程度与基板2的侧面2a抵接时，也能约束基板2。即，只要是载物台面12a上浮起的基板2自由活动处于被抑制的状态即可。

另外，浮起单元50是将基板导向件主体31从载物台面12a浮起的装置。本实施方式的浮起单元50被固定在导向件支撑部32上，并配置在基板导向件主体31和进退机构的滑台气缸82之间。该浮起单元50包括浮起单元主体55和空气垫51，如图11所示，浮起单元主体55的底面部上设置有空气垫51。即，空气垫51安装在与载物台面12a相对而置的位置上。并且，空气垫51与贮气瓶(未图示)连接，通过阀门(未图示)的开启和关闭动作供给空气。即，通过向空气垫51上供给空气而从空气垫51向载物台面12a侧喷出空气，导向件支撑部32受到浮起力，并且与导向件支撑部32连接的基板导向件主体3 1也受到浮起力，基板导向件主体31从载物台面12a轻微地浮起。在此，基板导向件主体31的浮起量通过阀门的开口量来调整，在本实施方式中，基板抵接部34被调整为在载物台面12a上浮起的基板2的高度位置。另外，基板抵接部34被调整为浮起的基板2的高度位置不仅仅是指，基板2的浮起量和基板抵接部34的浮起量相同的情况，只要被调整为基板抵接部34能够以浮起的状态与基板2的侧面抵接的高度位置即可。

另外，偏向装置60是将基板导向件主体31向载物台面12a侧挤压的装置。本实施方式的偏向装置60是滑台气缸81，通过控制供给到滑台气缸的空气量，基板导向件主体31被挤压在载物台面12a侧。具体来说，通过控制供给的空气量，滑台气缸81的台子81a向下移动，由此与台子81a连接的进退机构、导向件支撑部32以及基板导向件主体31受到向下的力，基板导向件主体31被挤压于载物台面12a侧。

在此，如果通过开启浮起单元50的阀门增加空气的供给量，则通过由于从空气垫51喷出的空气增加而浮起力增加，基板导向件主体31向上位移。另外，如果基板导向件主体31要向上位移，则由于供给到偏向装置60的滑台气缸81的空气压力不变化，因此按台子81a向上轻微地位移的分量空气压力轻微地增大而台子31a要向下位移的推力增大。即，基板导向件主体31受到向下的挤压力。由此，通过浮起单元50的浮起力和偏向装置60的偏向力处于平衡的位置，能够将基板抵接部34的高度位置保持在基板2的侧面的高度位置上。

通过这样的基板导向件30，即使发生载物台12表面的平面度误差等装置的制造和组装上的误差时，也能够抑制颗粒的产生而输送基板。即，通过基板导向件30能够在浮起单元50的浮起力和偏向装置60的偏向力处于平衡的位置上，基板抵接部34与基板2的侧面2a抵接而约束基板2。在这种状态下向输送方向移动基板导向件30而输送基板的过程中，在载物台12表面上发生平面度误差时，例如假设载物台12表面隆起，但由于从空气垫51喷出的空气量不变化，因此基板导向件主体31从相邻的载物台面12a受到通过空气喷出而产生的浮起力的向上的力而向上位移。如果基板导向件主体31向上位移，滑台气缸81的台子81a轻微地向上位移，由此台子81a的向下的推力增大，基板导向件主体31受到向下的挤压力。即，即使载物台面12a与基板导向件主体31接近或分离，由于浮起单元50的浮起力和偏向装置60的偏向力(复归力)在新的高度位置上处于平衡，因此按照基板导向件主体31跟随载物台面12a的方式保持基板导向件主体31的浮起状态。因此，即使发生载物台12表面的平面度误差等装置的制造和组装误差，但能够抑制行走过程中的基板导向件30与载物台面12a接触，由此能够抑制由于基板导向件30与载物台面12a接触而发生的颗粒的产生。

另外，在上述实施方式(实施例2)中针对相对于两个基板导向件主体31浮起单元50的空气垫51相同的情况进行了说明，但还可以是如图12所示，相对于各基板导向件主体31设置浮起单元50的空气垫。关于各个构成如同实施例2省略了说明，但在该图12的例子中，由于各基板导向件主体31上设置有相互独立的浮起单元50，因此更为可靠地保持基板导向件主体31的浮起量。但是，在图10、图11的例子中，由于浮起单元50的空气垫51配置在基板2被输送的区域(基板输送区域)的外侧上，因此能够通过从空气垫51喷出的空气抑制在基板输送区域上发生温度变化。即，由于能够抑制在基板输送区域上发生温度不匀，因此能够抑制在基板2上形成的涂布膜上发生由基板输送区域的温度不匀导致的干燥不匀。

另外，在上述实施方式中，针对基板导向件主体31的基板抵接部34包括相对于基板2的侧面垂直的面的情况进行了说明，但还可以是包括相对于基板2的侧面倾斜的倾斜面34a。即，由于基板导向件主体31从载物台面12a浮起，因此基板导向件主体3 1的底面和载物台面12a之间形成有间隙。为此，存在输送基板过程中基板2进入到该间隙中而使基板2受损的担心。因此，如图13所示，通过将基板抵接部34形成在朝向载物台面12a扩大直径的倾斜面34a上而能够避免基板2进入间隙中。即，如果朝向载物台面12a扩大直径的倾斜面34a上形成的基板抵接部34与基板2的侧面抵接，相比基板抵接部34为垂直面的情况，通过基板2上作用向上的力，能够抑制基板2向下位移。并且，假设基板2向下位移时，由于倾斜面34a上形成的基板抵接部34的保持间隔变窄，因此挟持基板2的力进一步增加，能够抑制基板2向下位移。即，通过将基板抵接部34形成在上述倾斜面34a上，能够抑制基板2进入到通过空气垫浮起而形成的基板导向件主体31和载物台面12a之间产生的间隙中。

另外，在上述实施方式中针对浮起装置13利用振动子13a使载物台12振动，由此浮起基板2的例子进行了说明，但还可以是通过从载物台面12a喷出空气来浮起基板2。

另外，在上述实施方式中，针对排列四个载物台12的例子进行了说明，但还可以是作为最小构成单位排列两个载物台12，还可以是根据输送距离排列四个以上载物台12。

另外，在上述实施方式中，针对将基板输送到干燥装置的例子进行了说明，但还可以是在基板输送装置1上设置干燥功能，并输送到下一个工序的曝光装置上。即，只要是输送基板2的用途，该用途没有特别地限定。

另外，在上述实施方式中，针对基板抵接部34的形状为圆筒状的情况进行了说明，但还可以是截面形状为椭圆形的圆筒部件，对形状没有特别地限定。但是，优选的是，通过与基板2抵接的部分以弧形形成，容易调节与基板2的侧面的接触。

另外，在上述实施方式的基板输送装置不仅适用于FPD领域，还可以是诸如太阳能电池、有机EL等、只要是需要将基板表面的干燥状态以一定的状态而进行输送的领域，就能够适用于多个领域。

Claims (9)

1.一种基板输送装置，将从载物台的表面浮起的基板用基板导向件边引导边输送，其特征在于，所述基板导向件包括：

基板导向件主体，通过与基板侧面抵接来约束基板，并且能够朝向与载物台表面呈垂直的方向位移；

浮起单元，用于将所述基板导向件主体从载物台表面浮起；

偏向装置，用于使所述基板导向件主体偏向于载物台表面侧，

其中，所述基板导向件主体包括与基板侧面抵接的基板抵接部，该基板抵接部的高度位置通过所述浮起单元和所述偏向装置保持在从载物台表面浮起的基板的高度位置上。

2.根据权利要求1所述基板输送装置，其特征在于，所述基板导向件在与所述载物台的表面相对的位置上包括空气垫，所述浮起单元通过向所述空气垫供给空气，由此从所述空气垫向所述载物台表面喷出空气，以使所述基板导向件主体从载物台表面浮起。

3.根据权利要求1或2所述的基板输送装置，其特征在于，所述浮起单元的空气垫与所述基板导向件主体的基板抵接部单独地形成。

4.根据权利要求1至3任一项所述的基板输送装置，其特征在于，所述浮起单元的空气垫设置在偏离所述载物台的基板输送区域的位置上。

5.根据权利要求1或2所述的基板输送装置，其特征在于，所述基板导向件在与载物台表面相对的所述基板导向件主体的底面部上包括空气垫，所述浮起单元通过向所述空气垫供给空气，由此从所述空气垫喷出空气，以使所述基板导向件主体从载物台表面浮起。

6.根据权利要求1或5所述的基板输送装置，其特征在于，所述基板导向件进一步包括支撑所述基板导向件主体的导向件支撑部，通过该导向件支撑部所述基板导向件主体以能够向相对于载物台表面接触和分离的方向位移的方式被支撑，在所述导向件支撑部和基板导向件主体之间以收缩状态设置有弹簧部件，通过该弹簧部件，基板导向件主体偏向于载物台表面侧。

7.根据权利要求6所述的基板输送装置，其特征在于，在所述导向件支撑部上的所述基板导向件主体被支撑的附近形成有吸引部，该吸引部向所述基板抵接部侧开口。

8.根据权利要求7所述的基板输送装置，其特征在于，所述导向件支撑部包括沿所述基板抵接部侧延伸的罩，该罩配置在所述吸引部的开口外侧，并按照覆盖基板导向件主体的整个外周的方式设置，在所述罩和所述基板抵接部之间形成有间隙。

9.根据权利要求1至8任一项所述的基板输送装置，其特征在于，所述基板抵接部包括相对于基板的侧面倾斜的倾斜面，该倾斜面具有朝向载物台的表面直径扩大的形状。

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