JP2021034195A - 放電灯、光源ユニット、光源装置、および放電灯の点灯方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】放電灯に対する要求寿命である１５００時間を満足できる放電灯を提供する。【解決手段】放電灯１０を、内部空間２４を有する発光管部２０およびシール部２２を備える発光管１２と、一対の電極１４と、シール部２２内に埋設された箔１６と、他端がシール部２２から外部へ延出しているリード棒１８とで構成する。そして、一対の電極１４同士の間の距離を１．１ｍｍ以上１．７ｍｍ以下とし、内部空間２４に封入された水銀２６の量を０．０３ｍｇ／ｍｍ3以上０．１４ｍｇ／ｍｍ3以下とし、内部空間２４にはヨウ素を封入し、ヨウ素の封入濃度を６×１０-5μｍｏｌ／ｍｍ3以上１．４×１０-3μｍｏｌ／ｍｍ3以下とする。【選択図】図１
Description
本発明は、例えば、露光装置等において紫外線照射用に使用される放電灯、光源ユニット、光源装置、および放電灯の点灯方法に関する。
従前より、露光装置の光源装置として大型の水銀灯（発光物質として水銀を用いた放電灯。以下、単に「放電灯」という。）が使用されている。これは、大型の放電灯がｋ線（３０２ｎｍ）、ｊ線（３１３ｎｍ）、ｉ線（３６５ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）、およびｇ線（４３６ｎｍ）の各光を比較的効率よく放射するためである。
しかし、大型の放電灯の場合、一対の電極間距離が概ね１０ｍｍから２０ｍｍと長いことにより、リフレクタの反射面を規定する回転放物面や回転楕円面等の焦点からずれた位置から放射された光の割合が多くなり、結果として集光効率が悪くなるとともに、光の広がりが大きくなることから高精細の露光には適していないという問題があった。
加えて、１台の露光装置に使用される大型の放電灯の数は１から４灯であり、もし１灯でも故障すると露光量不足になることからその露光装置を含めた生産ラインを停止しなければならず、１灯の故障による損害が非常に大きいという問題もあった。
このような問題に鑑みて、最近では小型の放電灯を使用した多灯式の光源装置を用いた露光装置が開発されている。
多灯式の光源装置を用いる場合、使用される小型の放電灯における一対の電極間距離は１．１ｍｍから１．７ｍｍであることから、大型の放電灯を使用した場合のような集光効率や光の広がりの問題を解消して、より高精細の露光を実現できる。
また、１台の露光装置に使用される小型の放電灯の数は数十個と多いことから、例え複数個の小型の放電灯が故障したとしても、必要な露光量を確保することができるので、露光装置を含めた生産ラインの停止を回避することができる。
しかしながら、小型の放電灯は、発光管の内部が早期に黒化してしまうために寿命が短い傾向にあるという問題があった。
本発明は、前述した問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、放電灯に対する要求寿命である１５００時間を満足できる、電極間距離の短い小型の低圧の放電灯、光源ユニット、および光源装置を提供することにある。
本発明の一局面によれば、
内部空間を有する発光管部および前記発光管部から延出するシール部を備える発光管と、
一端が互いに対向するようにして前記内部空間に配設された一対の電極と、
前記電極の他端が接続されており、前記シール部内に埋設された箔と、
一端が前記箔に接続されており、他端が前記シール部から外部へ延出しているリード棒とを備える放電灯であって、
一対の前記電極同士の間の距離は、１．１ｍｍ以上１．７ｍｍ以下であり、
前記内部空間に封入された水銀の量は、０．０３ｍｇ／ｍｍ3以上０．１４ｍｇ／ｍｍ3以下であり、
前記内部空間にはヨウ素が封入されており、
前記ヨウ素の封入濃度は、６×１０-5μｍｏｌ／ｍｍ3以上１．４×１０-3μｍｏｌ／ｍｍ3以下である
放電灯が提供される。
内部空間を有する発光管部および前記発光管部から延出するシール部を備える発光管と、
一端が互いに対向するようにして前記内部空間に配設された一対の電極と、
前記電極の他端が接続されており、前記シール部内に埋設された箔と、
一端が前記箔に接続されており、他端が前記シール部から外部へ延出しているリード棒とを備える放電灯であって、
一対の前記電極同士の間の距離は、１．１ｍｍ以上１．７ｍｍ以下であり、
前記内部空間に封入された水銀の量は、０．０３ｍｇ／ｍｍ3以上０．１４ｍｇ／ｍｍ3以下であり、
前記内部空間にはヨウ素が封入されており、
前記ヨウ素の封入濃度は、６×１０-5μｍｏｌ／ｍｍ3以上１．４×１０-3μｍｏｌ／ｍｍ3以下である
放電灯が提供される。
本発明の他の局面によれば、
内部空間を有する発光管部および前記発光管部から延出するシール部を備える発光管と、
一端が互いに対向するようにして前記内部空間に配設された一対の電極と、
前記電極の他端が接続されており、前記シール部内に埋設された箔と、
一端が前記箔に接続されており、他端が前記シール部から外部へ延出しているリード棒とを備える放電灯であって、
一対の前記電極同士の間の距離は、１．１ｍｍ以上１．７ｍｍ以下であり、
前記内部空間に封入された水銀の量は、０．０３ｍｇ／ｍｍ3以上０．１４ｍｇ／ｍｍ3以下であり、
前記内部空間には臭素が封入されており、
前記臭素の封入濃度は、７．１×１０-7μｍｏｌ／ｍｍ3以上１．１×１０-4μｍｏｌ／ｍｍ3以下である
放電灯が提供される。
内部空間を有する発光管部および前記発光管部から延出するシール部を備える発光管と、
一端が互いに対向するようにして前記内部空間に配設された一対の電極と、
前記電極の他端が接続されており、前記シール部内に埋設された箔と、
一端が前記箔に接続されており、他端が前記シール部から外部へ延出しているリード棒とを備える放電灯であって、
一対の前記電極同士の間の距離は、１．１ｍｍ以上１．７ｍｍ以下であり、
前記内部空間に封入された水銀の量は、０．０３ｍｇ／ｍｍ3以上０．１４ｍｇ／ｍｍ3以下であり、
前記内部空間には臭素が封入されており、
前記臭素の封入濃度は、７．１×１０-7μｍｏｌ／ｍｍ3以上１．１×１０-4μｍｏｌ／ｍｍ3以下である
放電灯が提供される。
本発明の別の局面によれば、
内部空間を有する発光管部および前記発光管部から延出するシール部を備える発光管と、
一端が互いに対向するようにして前記内部空間に配設された一対の電極と、
前記電極の他端が接続されており、前記シール部内に埋設された箔と、
一端が前記箔に接続されており、他端が前記シール部から外部へ延出しているリード棒とを備える放電灯であって、
一対の前記電極同士の間の距離は、１．１ｍｍ以上１．７ｍｍ以下であり、
前記内部空間に封入された水銀の量は、０．０３ｍｇ／ｍｍ3以上０．１４ｍｇ／ｍｍ3以下であり、
前記内部空間にはヨウ素と臭素とを混合させたものが封入されており、
前記ヨウ素および前記臭素の封入濃度（μｍｏｌ／ｍｍ3）は、以下の式を満たす
放電灯が提供される。
−８．１５６×１０-2×Ｉ＋０．１１×１０-4≦Ｂｒ≦−８．１５６×１０-2×Ｉ＋１．７２×１０-4
内部空間を有する発光管部および前記発光管部から延出するシール部を備える発光管と、
一端が互いに対向するようにして前記内部空間に配設された一対の電極と、
前記電極の他端が接続されており、前記シール部内に埋設された箔と、
一端が前記箔に接続されており、他端が前記シール部から外部へ延出しているリード棒とを備える放電灯であって、
一対の前記電極同士の間の距離は、１．１ｍｍ以上１．７ｍｍ以下であり、
前記内部空間に封入された水銀の量は、０．０３ｍｇ／ｍｍ3以上０．１４ｍｇ／ｍｍ3以下であり、
前記内部空間にはヨウ素と臭素とを混合させたものが封入されており、
前記ヨウ素および前記臭素の封入濃度（μｍｏｌ／ｍｍ3）は、以下の式を満たす
放電灯が提供される。
−８．１５６×１０-2×Ｉ＋０．１１×１０-4≦Ｂｒ≦−８．１５６×１０-2×Ｉ＋１．７２×１０-4
好適には、
最大使用電力において、電極負荷が０．６Ｗ／ｍｇ以下である。
最大使用電力において、電極負荷が０．６Ｗ／ｍｇ以下である。
好適には、
最大使用電力において、管壁負荷が１．３５Ｗ／ｍｍ2以上１．９１Ｗ／ｍｍ2以下である。
最大使用電力において、管壁負荷が１．３５Ｗ／ｍｍ2以上１．９１Ｗ／ｍｍ2以下である。
本発明の別の局面によれば、
上述した放電灯と、
前記放電灯からの光を所定の方向に反射させるリフレクタとを備える
ランプが提供される。
上述した放電灯と、
前記放電灯からの光を所定の方向に反射させるリフレクタとを備える
ランプが提供される。
本発明の別の局面によれば、
上述したランプと
前記ランプが取り付けられるランプベースとを備える
光源ユニットが提供される。
上述したランプと
前記ランプが取り付けられるランプベースとを備える
光源ユニットが提供される。
好適には、
前記ランプは複数であり、
前記ランプベースには、これら複数の前記ランプが取り付けられる。
前記ランプは複数であり、
前記ランプベースには、これら複数の前記ランプが取り付けられる。
本発明の別の局面によれば、
上述した光源ユニットと、
前記光源ユニットに電力を供給する電源ユニットとを備える
光源装置が提供される。
上述した光源ユニットと、
前記光源ユニットに電力を供給する電源ユニットとを備える
光源装置が提供される。
本発明の別の局面によれば、
定格電力よりも低い電力から定照度運転を行う
上記放電灯の点灯方法が提供される。
定格電力よりも低い電力から定照度運転を行う
上記放電灯の点灯方法が提供される。
本発明によれば、放電灯に対する要求寿命である１５００時間を満足できる、電極間距離の短い小型の低圧の放電灯、光源ユニット、および光源装置を提供することができた。
（放電灯１０の構造）
本実施形態に係る放電灯１０は、図１に示すように、大略、発光管１２と、一対の電極１４と、一対の箔１６と、一対のリード棒１８とで構成されている。
本実施形態に係る放電灯１０は、図１に示すように、大略、発光管１２と、一対の電極１４と、一対の箔１６と、一対のリード棒１８とで構成されている。
発光管１２は、例えば石英ガラスで形成されており、発光管部２０と、当該発光管部２０から延出する一対のシール部２２とを有している。発光管部２０内には、一対のシール部２２によって密閉された内部空間２４が形成されている。
一対の電極１４は、タングステンで形成された略棒状の部材であり、それぞれの一端が互いに対向するようにして内部空間２４に配設されている。また、各電極１４の他端は、各シール部２２に埋設されたモリブデン製の各箔１６の一端にそれぞれ電気的に接続されている。
また、本実施形態に係る放電灯１０は、直流電流で点灯させるタイプであることから、アノード（陽極）４０の方がカソード（陰極）に比べて大きく形成されている。
さらに、一対のリード棒１８は、モリブデンで形成された略棒状の部材であり、それぞれの一端が各箔１６の他端にそれぞれ電気的に接続されている。また、一対のリード棒１８におけるそれぞれの他端は、各シール部２２から外部へ延出している。
また、発光管部２０の内部空間２４には、所定量の水銀２６およびハロゲン（ヨウ素、臭素、あるいは、ヨウ素と臭素との混合物）が封入されている。
放電灯１０に設けられた一対のリード棒１８に所定の高電圧を印加すると、発光管部２０の内部空間２４に配設された一対の電極１４間で開始したグロー放電がアーク放電に移行し、このアークによって蒸発および励起された水銀２６によって光（主に紫外線）が放射される。
（リフレクタ５０の構造）
上述した放電灯１０に組み合わせて使用されるリフレクタ５０は、図２に示すように、大略、本体部５２と、反射面５４とを備えている。このリフレクタ５０に放電灯１０を組み合わせることによってランプ１００が構成される。
上述した放電灯１０に組み合わせて使用されるリフレクタ５０は、図２に示すように、大略、本体部５２と、反射面５４とを備えている。このリフレクタ５０に放電灯１０を組み合わせることによってランプ１００が構成される。
本体部５２は、内側に凹所５６を有する椀状の部分である。凹所５６の内面には、このリフレクタ５０に組み合わせて使用される放電灯１０から放出される光の一部を反射させる椀状の反射面５４が形成されている。本実施形態では、反射面５４は回転放物面で規定されているが、反射面５４の形状はこれに限定されるものではなく、回転楕円面であってもよいし、他の回転面であってもよく、また、多数のファセット（小領域）で反射面５４を構成してもよい。なお、反射面５４を規定する回転放物面の回転軸をリフレクタ５０の中心軸ＣＬという。
また、放電灯１０から放出される光の一部は、上述のように反射面５４で反射した後、リフレクタ５０の開口５８から外部へ放出され、残りの光は反射面５４で反射することなく当該開口５８から直接外部へ放出される。
複数のランプ１００を光源装置１１０において正しい位置および向きに設置するためのランプベース１２０は、図３に示すように、ランプ１００（より具体的にはリフレクタ５０の開口５８側の端面）を取り付けるための取付孔１２２を複数備えている。このランプベース１２０に複数のランプ１００を組み合わせることによって光源ユニット１３０が構成される。
さらに、この光源ユニット１３０と、当該光源ユニット１３０に対して電力を供給する電源ユニット１４０とで光源装置１５０が構成される。なお、この光源装置１５０は、例えば露光装置等に用いられる。
（放電灯１０のパラメータについて）
上述した放電灯１０のような比較的小型の放電灯の場合、発光管部２０の内面が早期に黒化してしまうために寿命が短い傾向にあるという問題があった。
上述した放電灯１０のような比較的小型の放電灯の場合、発光管部２０の内面が早期に黒化してしまうために寿命が短い傾向にあるという問題があった。
ここで、放電灯１０における発光管部２０の内面が黒化するメカニズムについて簡単に説明する。一対のリード棒１８に電力を供給して放電灯１０の発光を開始すると、高温になった電極１４から、当該電極１４を構成するタングステンが昇華する。昇華したタングステンは、発光管部２０の内壁面付近でハロゲン（例えば、ヨウ素）と化合し、ハロゲン化タングステン（例えば、ヨウ化タングステン）を形成する。ハロゲン化タングステンは、気化した状態のままで電極１４付近に戻っていく。電極１４付近に戻ったハロゲン化タングステンが１４００℃以上に過熱されると、タングステンおよびハロゲンは互いに分離する。分離したタングステンは再び電極１４に戻る。また、分離したハロゲンは再び発光管部２０の内壁面付近に戻り、別の昇華タングステンと化合する。これが、いわゆる「ハロゲンサイクル」である。
このハロゲンサイクルの途中で、電極１４から昇華したタングステンが発光管部２０の内壁面に付着していくと、当該発光管部２０の内面の黒化につながっていく。黒化と同時に、電極１４も消耗していくことになる。
このような黒化が進む度合いを小さくして放電灯１０に対する要求寿命である１５００時間を満足できるようにするためには、以下のパラメータが重要であることを付き止めた。
・電極１４同士の間の距離（つまり、電極間距離。「アーク長」ともいう。）
・発光管部２０の内部空間２４に封入される水銀２６の量
・発光管部２０の内部空間２４に封入されるハロゲンの種類
・発光管部２０の内部空間２４に封入されるハロゲンの濃度
・電極１４同士の間の距離（つまり、電極間距離。「アーク長」ともいう。）
・発光管部２０の内部空間２４に封入される水銀２６の量
・発光管部２０の内部空間２４に封入されるハロゲンの種類
・発光管部２０の内部空間２４に封入されるハロゲンの濃度
要求寿命である１５００時間の計測に関しては「定照度運転」を用いた。「定照度運転」による放電灯１０の寿命判定は以下の通りである。新品時において定格電力で発光させた場合には必要な照度以上の光が放射される放電灯１０を選定し、最初は例えば定格電力の７０％や６０％の電力（つまり、定格電力よりも低い電力）で放電灯１０を発光させることで必要な照度を得る。そして運転時間が経過して発光量（あるいは露光対象物の露光量［単位はＪ（ジュール）］）が低下していくにつれて、放電灯１０に供給する電力を増加させていき、最終的に最大使用電力（例えば、定格電力の１１５％の電力）を供給しても必要な照度を発光することができなくなる時点を放電灯１０の「寿命」とした。
なお、新品の放電灯１０に対して最初に供給する電力は、定格電力の５０％を下回らないようにするのが好適である。定格電力の５０％を下回ると、フリッカーが発生したり、ランプ温度が低くなることによる黒化が生じたりするおそれがあるからである。
もちろん、「定照度運転」に代えて、「定電力運転」であってもよい。「定電力運転」の場合、放電灯１０が新品のときは必要な照度以上の光が放射されるので、露光対象物の露光量が一定となるように露光時間を調整することになる。さらに言えば、「定照度運転」でも「定電力運転」でもない、他の運転方法を用いてもよい。
発光管部２０の内部空間２４に封入されるハロゲンが「ヨウ素」である場合において、各パラメータを変化させたときの合否結果を表１から表５に示す。なお、電極間距離が１．８ｍｍよりも長くなると照射面が暗くなりすぎることから採用できない。また、合否の判定は、露光によって出来上がった露光対象物上の回路パターンに不備が無く、かつ、定照度運転によって照度に影響するような黒化や失透が生じていないことが外観上確認でき、さらに、寿命が１５００時間以上であることをもって合格とした。
表１から表５に示した合否結果によれば、電極間距離を１．１ｍｍ以上１．７ｍｍ以下、内部空間２４に封入される水銀２６の量を０．０３ｍｇ／ｍｍ3以上０．１４ｍｇ／ｍｍ3以下、かつ、内部空間２４に封入されるハロゲン（ヨウ素）の濃度を６×１０-5μｍｏｌ／ｍｍ3以上１．４×１０-3μｍｏｌ／ｍｍ3以下とすることにより、放電灯１０に対する要求寿命である１５００時間を満足することができる。
次に、発光管部２０の内部空間２４に封入されるハロゲンが「臭素」である場合において、各パラメータを変化させたときの合否結果を表６から表１０に示す。なお、電極間距離が１．８ｍｍよりも長くなると照射面が暗くなりすぎることから採用できない。また、合否の判定は、上述した表１から表５の場合と同じである。
表６から表１０に示した合否結果によれば、電極間距離を１．１ｍｍ以上１．７ｍｍ以下、内部空間２４に封入される水銀２６の量を０．０３ｍｇ／ｍｍ3以上０．１４ｍｇ／ｍｍ3以下、かつ、内部空間２４に封入されるハロゲン（臭素）の濃度を７．１×１０-7μｍｏｌ／ｍｍ3以上１．１×１０-4μｍｏｌ／ｍｍ3以下とすることにより、放電灯１０に対する要求寿命である１５００時間を満足することができる。
さらに、発光管部２０の内部空間２４に封入されるハロゲンが「ヨウ素」と「臭素」とを混合させたものである場合において、各パラメータを変化させたときの合否結果を表１１から表１３に示す。なお、電極間距離が１．８ｍｍよりも長くなると照射面が暗くなりすぎることから採用できない。また、合否の判定は、上述した表１から表５の場合と同じである。
表１１から表１３に示した合否結果によれば、電極間距離を１．１ｍｍ以上１．７ｍｍ以下、内部空間２４に封入される水銀２６の量を０．０３ｍｇ／ｍｍ3以上０．１４ｍｇ／ｍｍ3以下、かつ、内部空間２４に封入されるハロゲン（ヨウ素［Ｉ］＋臭素［Ｂｒ］）の濃度（μｍｏｌ／ｍｍ3）を以下の式を満たすようにすることにより、放電灯１０に対する要求寿命である１５００時間を満足することができる。
−８．１５６×１０-2×Ｉ＋０．１１×１０-4≦Ｂｒ≦−８．１５６×１０-2×Ｉ＋１．７２×１０-4
−８．１５６×１０-2×Ｉ＋０．１１×１０-4≦Ｂｒ≦−８．１５６×１０-2×Ｉ＋１．７２×１０-4
（追加的なパラメータ１）
内部空間２４に封入されるハロゲンとして「ヨウ素」を用いる、表１から表５に示した合格条件下で、さらにパラメータ「電極負荷」を変化させたときの合否結果を表１４および表１５に示す。なお、「電極負荷」は以下の式に基づいて算出される。
電極負荷［Ｗ／ｍｇ］＝最大使用電力［Ｗ］／（アノード４０の質量［ｍｇ］＋カソード４２の質量［ｍｇ］）
内部空間２４に封入されるハロゲンとして「ヨウ素」を用いる、表１から表５に示した合格条件下で、さらにパラメータ「電極負荷」を変化させたときの合否結果を表１４および表１５に示す。なお、「電極負荷」は以下の式に基づいて算出される。
電極負荷［Ｗ／ｍｇ］＝最大使用電力［Ｗ］／（アノード４０の質量［ｍｇ］＋カソード４２の質量［ｍｇ］）
表１４および表１５に示した合否結果によれば、電極負荷を０．６Ｗ／ｍｇ以下とすることにより、放電灯１０に対する要求寿命である１５００時間を満足することができる。
なお、アノード４０の質量と、カソード４２の質量との比率（＝アノード４０の質量［ｍｇ］÷カソード４２の質量［ｍｇ］）は、２．７７以上であることが望ましい。この比率が２．７７未満であると、カソード４２の先端の温度が上昇しないことからフリッカーが発生しやすくなり、最悪の場合、アーク放電の基点が電極の先端に移行しなくなるからである。
また、内部空間２４に封入されるハロゲンとして「臭素」を用いる、表６から表１０に示した合格条件下で、さらにパラメータ「電極負荷」を変化させたときの合否結果を表１６および表１７に示す。
表１６および表１７に示した合否結果によれば、電極負荷を０．６Ｗ／ｍｇ以下とすることにより、放電灯１０に対する要求寿命である１５００時間を満足することができる。
さらに、内部空間２４に封入されるハロゲンとして「ヨウ素」と「臭素」とを混合させたものを用いる、表１１および表１３に示した合格条件下で、さらにパラメータ「電極負荷」を変化させたときの合否結果を表１８および表１９に示す。
表１８および表１９に示した合否結果によれば、電極負荷を０．６Ｗ／ｍｇ以下とすることにより、放電灯１０に対する要求寿命である１５００時間を満足することができる。
（追加的なパラメータ２）
内部空間２４に封入されるハロゲンとして「ヨウ素」を用いる、表１から表５に示した合格条件下で、さらにパラメータ「管壁負荷」を変化させたときの合否結果を表２０および表２１に示す。なお、「管壁負荷」は以下の式に基づいて算出される。
管壁負荷［Ｗ／ｍｍ2］＝最大使用電力［Ｗ］／発光管部２０の内面積［ｍｍ2］
内部空間２４に封入されるハロゲンとして「ヨウ素」を用いる、表１から表５に示した合格条件下で、さらにパラメータ「管壁負荷」を変化させたときの合否結果を表２０および表２１に示す。なお、「管壁負荷」は以下の式に基づいて算出される。
管壁負荷［Ｗ／ｍｍ2］＝最大使用電力［Ｗ］／発光管部２０の内面積［ｍｍ2］
表２０および表２１に示した合否結果によれば、管壁負荷を１．３５Ｗ／ｍｍ2以上１．９１Ｗ／ｍｍ2以下とすることにより、放電灯１０に対する要求寿命である１５００時間を満足することができる。
また、内部空間２４に封入されるハロゲンとして「臭素」を用いる、表２から表１０に示した合格条件下で、さらにパラメータ「管壁負荷」を変化させたときの合否結果を表２２および表２３に示す。
表２２および表２３に示した合否結果によれば、管壁負荷を１．３５Ｗ／ｍｍ2以上１．９１Ｗ／ｍｍ2以下とすることにより、放電灯１０に対する要求寿命である１５００時間を満足することができる。
さらに、内部空間２４に封入されるハロゲンとして「ヨウ素」と「臭素」とを混合させたものを用いる、表１１および表１３に示した合格条件下で、さらにパラメータ「管壁負荷」を変化させたときの合否結果を表２４および表２５に示す。
表２４および表２５に示した合否結果によれば、管壁負荷を１．３５Ｗ／ｍｍ2以上１．９１Ｗ／ｍｍ2以下とすることにより、放電灯１０に対する要求寿命である１５００時間を満足することができる。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
１０…放電灯、１２…発光管、１４…電極、１６…箔、１８…リード棒、２０…発光管部、２２…シール部、２４…内部空間、２６…水銀、４０…アノード（陽極）、４２…カソード（陰極）
５０…リフレクタ、５２…本体部、５４…反射面、５６…凹所、５８…開口
１００…ランプ
１１０…光源装置
１２０…ランプベース、１２２…取付孔
１３０…光源ユニット、１４０…電源ユニット、１５０…光源装置
５０…リフレクタ、５２…本体部、５４…反射面、５６…凹所、５８…開口
１００…ランプ
１１０…光源装置
１２０…ランプベース、１２２…取付孔
１３０…光源ユニット、１４０…電源ユニット、１５０…光源装置
Claims (10)
- 内部空間を有する発光管部および前記発光管部から延出するシール部を備える発光管と、
一端が互いに対向するようにして前記内部空間に配設された一対の電極と、
前記電極の他端が接続されており、前記シール部内に埋設された箔と、
一端が前記箔に接続されており、他端が前記シール部から外部へ延出しているリード棒とを備える放電灯であって、
一対の前記電極同士の間の距離は、１．１ｍｍ以上１．７ｍｍ以下であり、
前記内部空間に封入された水銀の量は、０．０３ｍｇ／ｍｍ3以上０．１４ｍｇ／ｍｍ3以下であり、
前記内部空間にはヨウ素が封入されており、
前記ヨウ素の封入濃度は、６×１０-5μｍｏｌ／ｍｍ3以上１．４×１０-3μｍｏｌ／ｍｍ3以下である
放電灯。 - 内部空間を有する発光管部および前記発光管部から延出するシール部を備える発光管と、
一端が互いに対向するようにして前記内部空間に配設された一対の電極と、
前記電極の他端が接続されており、前記シール部内に埋設された箔と、
一端が前記箔に接続されており、他端が前記シール部から外部へ延出しているリード棒とを備える放電灯であって、
一対の前記電極同士の間の距離は、１．１ｍｍ以上１．７ｍｍ以下であり、
前記内部空間に封入された水銀の量は、０．０３ｍｇ／ｍｍ3以上０．１４ｍｇ／ｍｍ3以下であり、
前記内部空間には臭素が封入されており、
前記臭素の封入濃度は、７．１×１０-7μｍｏｌ／ｍｍ3以上１．１×１０-4μｍｏｌ／ｍｍ3以下である
放電灯。 - 内部空間を有する発光管部および前記発光管部から延出するシール部を備える発光管と、
一端が互いに対向するようにして前記内部空間に配設された一対の電極と、
前記電極の他端が接続されており、前記シール部内に埋設された箔と、
一端が前記箔に接続されており、他端が前記シール部から外部へ延出しているリード棒とを備える放電灯であって、
一対の前記電極同士の間の距離は、１．１ｍｍ以上１．７ｍｍ以下であり、
前記内部空間に封入された水銀の量は、０．０３ｍｇ／ｍｍ3以上０．１４ｍｇ／ｍｍ3以下であり、
前記内部空間にはヨウ素と臭素とを混合させたものが封入されており、
前記ヨウ素および前記臭素の封入濃度（μｍｏｌ／ｍｍ3）は、以下の式を満たす
放電灯。
−８．１５６×１０-2×Ｉ＋０．１１×１０-4≦Ｂｒ≦−８．１５６×１０-2×Ｉ＋１．７２×１０-4 - 最大使用電力において、電極負荷が０．６Ｗ／ｍｇ以下であることを特徴とする
請求項１から３のいずれか１項に記載の放電灯。 - 最大使用電力において、管壁負荷が１．３５Ｗ／ｍｍ2以上１．９１Ｗ／ｍｍ2以下であることを特徴とする
請求項１から３のいずれか１項に記載の放電灯。 - 請求項１から５のいずれか１項に記載の放電灯と、
前記放電灯からの光を所定の方向に反射させるリフレクタとを備える
ランプ。 - 請求項６に記載のランプと
前記ランプが取り付けられるランプベースとを備える
光源ユニット。 - 前記ランプは複数であり、
前記ランプベースには、これら複数の前記ランプが取り付けられることを特徴とする
請求項７に記載の光源ユニット。 - 請求項７または８に記載の光源ユニットと、
前記光源ユニットに電力を供給する電源ユニットとを備える
光源装置。 - 定格電力よりも低い電力から定照度運転を行う
請求項１から５のいずれか１項に記載の放電灯の点灯方法。
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