JP2008300080A - ショートアーク水銀ランプ - Google Patents
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Abstract
【課題】初期照度が高く、照度維持率が優れたショートアーク水銀ランプを提供する。
【解決手段】アルカリ土類金属を含有した焼結電極21の径D1と陽極3の平坦面の径D2の比率をD2/D1≦2.5にする。これにより、スポットの拡がりを抑制し、照度の低下の少ないショートアーク水銀ランプを提供することができる。
【選択図】図1
【解決手段】アルカリ土類金属を含有した焼結電極21の径D1と陽極3の平坦面の径D2の比率をD2/D1≦2.5にする。これにより、スポットの拡がりを抑制し、照度の低下の少ないショートアーク水銀ランプを提供することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、紫外線を放射するショートアーク水銀ランプに関する。
高圧及び超高圧金属蒸気圧放電灯の使用分野は拡大しており、例えば反射鏡等の光学系に組み込んで、半導体製造装置、液晶製造用装置等の微細加工用装置の光源として使用される。近年では、使用波長が短波長側にシフトしており、波長が365nmや313nmにおいて発光効率の高いランプが望まれている。このようなランプとしてショートアーク水銀ランプが知られている(特許文献1参照)。
ショートアーク水銀ランプは、楕円形の放電空間を有する石英ガラス製のバルブを備えている。放電空間内には、タングステンからなる陽極と陰極の電極が対向して設けられている。従来、陽極は点灯中の電極温度を低減させるために先端部径を大きくしていた。陰極には1〜2%のトリエーテッドタングステンを用いることで、電子放射性を向上させていた。なお、陰極にアルカリ土類系の易電子放射性物質の混合物を使用したものも知られている(特許文献2参照)。
特開2000−106131号公報
特開2002−141018号公報
陰極にトリエーテッドタングステンを用いたショートアーク水銀ランプにおいて、電極先端部が2000℃より低い温度で点灯した場合、熱電子の放出が十分に得られないために、電極先端部の輝点(スポット)が移動(フリッカー)し、照度変動が発生する。陰極にトリエーテッドタングステンを使用する場合には、電極先端部の温度が2000℃以上になるように設計しているが、タングステンが蒸発するため、ランプの寿命中の照度維持率が十分でない。
仕事関数が低いアルカリ土類金属を含有した焼結電極を用いた場合、電極温度が2000℃より低くてもフリッカーの発生はなく、タングステンの蒸発を抑制することができるので、照度維持率の優れたランプを提供することができる。
しかしながら、ショートアーク水銀ランプは電極先端部にスポットを集中させる必要があるが、アルカリ土類金属の仕事関数が低く、電子の放出がトリエーテッドタングステンと比較すると容易であるので、スポットの拡がりが発生し、初期照度が低くなる問題があった。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、その課題とするところは、初期照度が高く、照度維持率が優れたショートアーク水銀ランプを提供することにある。
本発明に係るショートアーク水銀ランプは、放電空間を備えたバルブと、放電空間内に封入された水銀と、アルカリ土類系の易電子放射性物質と高融点金属の混合物である焼結電極を先端部に形成した陰極と、陰極に対向して配置され、径の大きさが焼結電極の径の大きさの2.5倍以下である平坦面を形成した陽極と、を有することを特徴とする。
本発明にあっては、アルカリ土類系の易電子放射性物質を含有した焼結電極を形成した陰極と、焼結電極の径の大きさの2.5倍以下である平坦面を形成した陽極とを備えることにより、スポットの拡がりを抑制し、照度の低下の少ないショートアーク水銀ランプを提供することができる。
本発明によれば、初期照度が高く、照度維持率が優れたショートアーク水銀ランプを提供することができる。
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。図1は、本実施の形態におけるショートアーク水銀ランプの構成を示す側面図であり、一部断面を示している。同図に示すショートアーク水銀ランプ1は、対向して配置された陰極2と陽極3の2つの電極と、紫外線の透過性が高く耐熱性に優れた石英ガラス製のバルブ4とを備える。陰極2と陽極3は、バルブ4に形成された楕円形の放電空間内に対向して配置されている。バルブ4の両端は、金属箔導体(図示せず)により封着されている。陰極2と陽極3はそれぞれ金属箔導体に接合され、外部の直流電源と電気的に接続される。
陰極2はタングステンで形成されており、先端部には、アルカリ土類系の易電子放射性物質であるBa,Caなどと高融点金属であるタングステンの混合物である焼結電極21が先端を露出して埋め込まれている。図1においては、その構成を容易に表すために陰極2の長軸方向の断面を示している。
陽極3はタングステンで形成されており、陰極2に対向する面に平坦面を備えている。
陰極2と陽極3に直流電圧を印加すると焼結電極21の露出した面から陽極3の平坦面へ向けて電子が放出される。トリエーテッドタングステンを使用した電極の場合は、電極先端部から電子が放出されるが、アルカリ土類金属を含有した焼結電極21の場合は、陽極3に対向する焼結電極21の露出面全体から電子が放出され、スポットが拡がるため照度が低くなる。本実施の形態においては、焼結電極21の径D1を1.0mm、陽極3の平坦面の径D2を1.8mmとしてスポットの拡がりを抑制した。
図2は、焼結電極21の径D1と陽極3の平坦面の径D2との比率に対する照度を示すグラフである。同図におけるグラフでは、横軸に、D1に対するD2の比率(D2/D1)を示し、縦軸に、従来のショートアーク水銀ランプの照度に対する相対値を示している。D1を1.0mmとして、D2を変化させることにより照度を測定した。
同図に示すように、D2/D1≦2.5のときには、照度相対値が98%以上となり照度が保たれているが、D2/D1が2.5を越えると照度が低くなることが分かる。したがって、焼結電極21の径D1に対する陽極3の平坦面の径D2との比率D2/D1を2.5以下にすることが望ましい。また、陽極3の平坦面の径D2を狭くすると、点灯中に陽極3の温度が上昇するので、D2/D1>1であることが望ましい。
図1のバルブ4に形成された放電空間の内部には、水銀と放電媒体とが封入されている。封入される水銀の量は、365nmと313nmの波長を有する光を効率よく発光する為に5〜20mg/ccとするとよい。本実施の形態においては10mg/ccの水銀を放電空間の内部に封入した。
図3は、本実施の形態における別のショートアーク水銀ランプの構成を示す側面図であり、一部断面を示している。同図に示すショートアーク水銀ランプ6は、陰極5の先端部に焼結電極51が溶接されている点で図1に示したものと異なっている。図3に示す焼結電極51の径に対する陽極3の径の比率も2.5以下である。
したがって、本実施の形態によれば、アルカリ土類金属を含有した焼結電極21の径D1と陽極3の平坦面の径D2の比率をD2/D1≦2.5にすることにより、スポットの拡がりを抑制し、照度の低下の少ないショートアーク水銀ランプを提供することができる。
なお、ショートアーク水銀ランプ1,6は、電極間の距離が短く、点光源に近い発光であるので、集光鏡など光を制御する光学系装置を備えた照明器具に組み込んで使用するとよい。
1,6…ショートアーク水銀ランプ
2,5…陰極
21,51…焼結電極
3…陽極
4…バルブ
2,5…陰極
21,51…焼結電極
3…陽極
4…バルブ
Claims (1)
- 放電空間を備えたバルブと、
前記放電空間内に封入された水銀と、
アルカリ土類系の易電子放射性物質と高融点金属の混合物である焼結電極を先端部に形成した陰極と、
前記陰極に対向して配置され、径の大きさが前記焼結電極の径の大きさの2.5倍以下である平坦面を形成した陽極と、
を有することを特徴とするショートアーク水銀ランプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007142390A JP2008300080A (ja) | 2007-05-29 | 2007-05-29 | ショートアーク水銀ランプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007142390A JP2008300080A (ja) | 2007-05-29 | 2007-05-29 | ショートアーク水銀ランプ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008300080A true JP2008300080A (ja) | 2008-12-11 |
Family
ID=40173418
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007142390A Pending JP2008300080A (ja) | 2007-05-29 | 2007-05-29 | ショートアーク水銀ランプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008300080A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013038006A (ja) * | 2011-08-10 | 2013-02-21 | Ushio Inc | ショートアーク型放電ランプ |
-
2007
- 2007-05-29 JP JP2007142390A patent/JP2008300080A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013038006A (ja) * | 2011-08-10 | 2013-02-21 | Ushio Inc | ショートアーク型放電ランプ |
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