JP2021008892A - 圧電式バルブ及び該圧電式バルブの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
外部から供給される圧縮気体を受け入れる気体圧力室を有するバルブ本体と、
前記バルブ本体の内部に配設されるプレートと、
前記気体圧力室から圧縮気体を排出する気体排出路を開閉する弁体、前記弁体の動作に必要な駆動力を変位として発生する積層型圧電素子、前記積層型圧電素子の変位を拡大して前記弁体に作用させる変位拡大機構を有し、前記プレートに固定され、前記プレートともに前記バルブ本体の内部に配設されるアクチュエータと、を備える圧電式バルブにおいて、
前記バルブ本体は、前面が開口するケースであって、
前記プレートには、前記気体排出路及び前記気体排出路を開閉する前記アクチュエータの前記弁体が当接する弁座が設けられており、
前記ケースの開口を閉鎖する蓋材は、前記プレートの前記気体排出路に連通する気体排出用開口を有し、前記気体排出用開口を囲む環状の溶着部で前記プレートの前記気体排出路が開口する前面に溶着固定され、外周部における環状の溶着部で前記ケースの先端面に溶着固定されていることを特徴とする。
前記プレートには、前記アクチュエータの前記積層型圧電素子に給電する配線がモールドされており、
前記蓋材は、前記プレートの前面に露出する前記配線が前方へ延出する配線用開口をさらに有し、前記気体排出用開口を囲む環状の溶着部及び前記配線用開口を囲む環状の溶着部で前記プレートの前記前面に溶着固定されていることが好ましい。
外部から供給される圧縮気体を受け入れる気体圧力室を有するバルブ本体と、
前記バルブ本体の内部に配設されるプレートと、
前記気体圧力室から圧縮気体を排出する気体排出路を開閉する弁体、前記弁体の動作に必要な駆動力を変位として発生する積層型圧電素子、前記積層型圧電素子の変位を拡大して前記弁体に作用させる変位拡大機構を有し、前記プレートに固定され、前記プレートともに前記バルブ本体の内部に配設されるアクチュエータと、を備える圧電式バルブにおいて、
前記バルブ本体は、前面が開口するケースであって、
前記プレートには、前記気体排出路及び前記気体排出路を開閉する前記アクチュエータの前記弁体が当接する弁座が設けられるとともに、前記アクチュエータの前記積層型圧電素子に給電する配線がモールドされており、
前記ケースの開口を閉鎖する蓋材は、前記プレートの前記気体排出路に連通する気体排出用開口及び前記プレートの前面に露出する前記配線が前方へ延出する配線用開口を有し、前記気体排出用開口及び前記配線用開口の両方を囲む環状の溶着部で前記プレートの前記気体排出路が開口する前面に溶着固定され、外周部における環状の溶着部で前記ケースの先端面に溶着固定されていることを特徴とする。
前記蓋材が、複数の前記プレートの前記前面に溶着固定されていることが好ましい。
外部から供給される圧縮気体を受け入れる気体圧力室を有するバルブ本体と、
前記バルブ本体の内部に配設されるプレートと、
前記気体圧力室から圧縮気体を排出する気体排出路を開閉する弁体、前記弁体の動作に必要な駆動力を変位として発生する積層型圧電素子、前記積層型圧電素子の変位を拡大して前記弁体に作用させる変位拡大機構を有し、前記プレートに固定され、前記プレートともに前記バルブ本体の内部に配設されるアクチュエータと、を備える圧電式バルブの製造方法において、
前記バルブ本体は、前面が開口するケースであって、
前記プレートには、前記気体排出路及び前記気体排出路を開閉する前記アクチュエータの前記弁体が当接する弁座が設けられており、
前記ケースの開口を閉鎖する蓋材は、前記プレートの前記気体排出路に連通する気体排出用開口を有しており、
前記蓋材上から前記気体排出用開口を囲む環状の軌跡に沿ってレーザー光を照射して前記プレートの前記気体排出路が開口する前面に前記蓋材を溶着固定し、前記プレートを前記バルブ本体の内部に配設した後、前記蓋材上から前記蓋材の外周部における環状の軌跡に沿ってレーザー光を照射して前記ケースの先端面に前記蓋材を溶着固定することを特徴とする。
前記プレートには、前記アクチュエータの前記積層型圧電素子に給電する配線がモールドされており、
前記蓋材は、前記プレートの前面に露出する前記配線が前方へ延出する配線用開口をさらに有しており、
前記蓋材上から前記気体排出用開口を囲む環状の軌跡及び前記配線用開口を囲む環状の軌跡に沿ってレーザー光を照射して前記プレートの前記気体排出路が開口する前面に前記蓋材を溶着固定し、前記プレートを前記バルブ本体の内部に配設することが好ましい。
外部から供給される圧縮気体を受け入れる気体圧力室を有するバルブ本体と、
前記バルブ本体の内部に配設されるプレートと、
前記気体圧力室から圧縮気体を排出する気体排出路を開閉する弁体、前記弁体の動作に必要な駆動力を変位として発生する積層型圧電素子、前記積層型圧電素子の変位を拡大して前記弁体に作用させる変位拡大機構を有し、前記プレートに固定され、前記プレートともに前記バルブ本体の内部に配設されるアクチュエータと、を備える圧電式バルブの製造方法において、
前記バルブ本体は、前面が開口するケースであって、
前記プレートには、前記気体排出路及び前記気体排出路を開閉する前記アクチュエータの前記弁体が当接する弁座が設けられるとともに、前記アクチュエータの前記積層型圧電素子に給電する配線がモールドされており、
前記ケースの開口を閉鎖する蓋材は、前記プレートの前記気体排出路に連通する気体排出用開口及び前記プレートの前面に露出する前記配線が前方へ延出する配線用開口を有しており、
前記蓋材上から前記気体排出用開口及び前記配線用開口の両方を囲む環状の軌跡に沿ってレーザー光を照射して前記プレートの前記気体排出路が開口する前面に前記蓋材を溶着固定し、前記プレートを前記バルブ本体の内部に配設した後、前記蓋材上から前記蓋材の外周部における環状の軌跡に沿ってレーザー光を照射して前記ケースの先端面に前記蓋材を溶着固定することを特徴とする。
複数の前記プレートの前記前面に前記蓋材を溶着固定することが好ましい。
図1は圧電式バルブの一例であって斜視図を示す。図2は図1の圧電式バルブの組立分解図を示す。図3はアクチュエータの説明図を示す。図4は弁座プレートにアクチュエータを固定した状態の説明図を示す。図5は図1の圧電式バルブの断面図であって、弁座プレートをバルブ本体内部に配設した状態の説明図を示す。
図1乃至図5に示す圧電式バルブ10は、バルブ本体20、前記バルブ本体20の内部に配設されるとともに該バルブ本体20に固定される弁座プレート25、前記弁座プレート25の両面にネジで固定されるアクチュエータ30を備える。
また、前記バルブ本体20の前側には、コネクタ部50が設けられる。前記コネクタ部50の前面には、該バルブ本体20内に圧縮気体を吸入する気体吸入口51及び前記圧縮気体を排出する気体排出口52が開口する。
また、前記弁座プレート25の後方位置には、図示しない前記圧電素子32のリード線と接続される前記配線の電極が露出する。
前記蓋材28には、前記弁座プレート25の前記気体排出路261に連通する気体排出用開口285、及び前記弁座プレート25の前記前方突出部251の前面に露出する前記配線263が前方へ延出する配線用開口286が形成される。
また、前記蓋材28には、前記コネクタ部50の前面に開口する気体吸入口51から前記バルブ本体20内に連通する気体吸入路282が形成される。
前記圧電素子32には、例えば内部電極層が露出する側面を含む全周面がエポキシ樹脂で薄く被覆された樹脂外装型圧電素子を用いることができる。
前記第1変位拡大部34aは、第1及び第2ヒンジ39,40、第1アーム41及び第1板バネ42を有する。前記第1アーム41は前記第1ヒンジ39により前記U字状のベース基板36の一方側先端に対し一体とされ、前記第2ヒンジ40により前記キャップ部材37に対し一体とされる。前記第1アーム41の外側先端部には、前記第1板バネ42の一端が接合される。
ここで、前記変位拡大機構33は、例えば前記第1及び第2板バネ42,46を除き、インバー材を含むステンレス材等の金属材料を打ち抜いて一体に成形することができる。
本発明の実施の形態では、図9に示す走査軌跡に沿ってレーザー光を照射し、バルブ本体20のケースの開口を閉鎖する蓋材28を、弁座プレート25の前方突出部251の前面に溶着固定して中間組立体60を組み立てる。ここでは、前記蓋材28に2つの弁座プレート25を溶着固定して中間組立体60とする例を示す。
本発明の実施の形態では、図10に示す走査軌跡に沿ってレーザー光を照射し、バルブ本体20のケースの開口を閉鎖する蓋材28を、弁座プレート25の前方突出部251の前面に溶着固定して中間組立体60を組み立てることもできる。
なお、図9に示す走査軌跡a,bと、図10に示す走査軌跡cを組み合わせることで、前記蓋材28を前記弁座プレート25の前面に溶着固定して中間組立体60を組み立てることもできる。
本発明の実施の形態では、図13に示す走査軌跡に沿ってレーザー光を照射し、前記中間組立体60の蓋材28を、前記バルブ本体20のケース先端面に溶着固定してバルブ組立体70を組み立てる。
図13に示す例では、二重の走査軌跡dを示しているが、これに限定されるものでなく、レーザーの出力や走査速度等の条件に応じて変更することができる。
20 バルブ本体
25 弁座プレート
251 前方突出部
26 弁座
261 気体排出路
263 配線
28 蓋材
282 気体吸入路
285 気体排出用開口
286 配線用開口
29 配線コネクタ
30 アクチュエータ
31 弁体
32 積層型圧電素子
33 変位拡大機構
34 変位拡大部
35 変位伝達部
36 ベース基板
361 U字状底部
37 キャップ部材
39 第1ヒンジ
40 第2ヒンジ
41 第1アーム
42 第1板バネ
43 第3ヒンジ
44 第4ヒンジ
45 第2アーム
46 第2板バネ
48 設置部
50 コネクタ部
51 気体吸入口
52 気体排出口
55 配線基板
60 中間組立体
70 バルブ組立体
a,b,c,d 走査軌跡
Claims (8)
- 外部から供給される圧縮気体を受け入れる気体圧力室を有するバルブ本体と、
前記バルブ本体の内部に配設されるプレートと、
前記気体圧力室から圧縮気体を排出する気体排出路を開閉する弁体、前記弁体の動作に必要な駆動力を変位として発生する積層型圧電素子、前記積層型圧電素子の変位を拡大して前記弁体に作用させる変位拡大機構を有し、前記プレートに固定され、前記プレートともに前記バルブ本体の内部に配設されるアクチュエータと、を備える圧電式バルブにおいて、
前記バルブ本体は、前面が開口するケースであって、
前記プレートには、前記気体排出路及び前記気体排出路を開閉する前記アクチュエータの前記弁体が当接する弁座が設けられており、
前記ケースの開口を閉鎖する蓋材は、前記プレートの前記気体排出路に連通する気体排出用開口を有し、前記気体排出用開口を囲む環状の溶着部で前記プレートの前記気体排出路が開口する前面に溶着固定され、外周部における環状の溶着部で前記ケースの先端面に溶着固定されていることを特徴とする圧電式バルブ。 - 前記プレートには、前記アクチュエータの前記積層型圧電素子に給電する配線がモールドされており、
前記蓋材は、前記プレートの前面に露出する前記配線が前方へ延出する配線用開口をさらに有し、前記気体排出用開口を囲む環状の溶着部及び前記配線用開口を囲む環状の溶着部で前記プレートの前記前面に溶着固定されている請求項1記載の圧電式バルブ。 - 外部から供給される圧縮気体を受け入れる気体圧力室を有するバルブ本体と、
前記バルブ本体の内部に配設されるプレートと、
前記気体圧力室から圧縮気体を排出する気体排出路を開閉する弁体、前記弁体の動作に必要な駆動力を変位として発生する積層型圧電素子、前記積層型圧電素子の変位を拡大して前記弁体に作用させる変位拡大機構を有し、前記プレートに固定され、前記プレートともに前記バルブ本体の内部に配設されるアクチュエータと、を備える圧電式バルブにおいて、
前記バルブ本体は、前面が開口するケースであって、
前記プレートには、前記気体排出路及び前記気体排出路を開閉する前記アクチュエータの前記弁体が当接する弁座が設けられるとともに、前記アクチュエータの前記積層型圧電素子に給電する配線がモールドされており、
前記ケースの開口を閉鎖する蓋材は、前記プレートの前記気体排出路に連通する気体排出用開口及び前記プレートの前面に露出する前記配線が前方へ延出する配線用開口を有し、前記気体排出用開口及び前記配線用開口を囲む環状の溶着部で前記プレートの前記気体排出路が開口する前面に溶着固定され、外周部における環状の溶着部で前記ケースの先端面に溶着固定されていることを特徴とする圧電式バルブ。 - 前記蓋材は、複数の前記プレートの前記前面に溶着固定されている請求項1乃至3のいずれかに記載の圧電式バルブ。
- 外部から供給される圧縮気体を受け入れる気体圧力室を有するバルブ本体と、
前記バルブ本体の内部に配設されるプレートと、
前記気体圧力室から圧縮気体を排出する気体排出路を開閉する弁体、前記弁体の動作に必要な駆動力を変位として発生する積層型圧電素子、前記積層型圧電素子の変位を拡大して前記弁体に作用させる変位拡大機構を有し、前記プレートに固定され、前記プレートともに前記バルブ本体の内部に配設されるアクチュエータと、を備える圧電式バルブの製造方法において、
前記バルブ本体は、前面が開口するケースであって、
前記プレートには、前記気体排出路及び前記気体排出路を開閉する前記アクチュエータの前記弁体が当接する弁座が設けられており、
前記ケースの開口を閉鎖する蓋材は、前記プレートの前記気体排出路に連通する気体排出用開口を有しており、
前記蓋材上から前記気体排出用開口を囲む環状の軌跡に沿ってレーザー光を照射して前記プレートの前記気体排出路が開口する前面に前記蓋材を溶着固定し、前記プレートを前記バルブ本体の内部に配設した後、前記蓋材上から前記蓋材の外周部における環状の軌跡に沿ってレーザー光を照射して前記ケースの先端面に前記蓋材を溶着固定することを特徴とする圧電式バルブの製造方法。 - 前記プレートには、前記アクチュエータの前記積層型圧電素子に給電する配線がモールドされており、
前記蓋材は、前記プレートの前面に露出する前記配線が前方へ延出する配線用開口をさらに有しており、
前記蓋材上から前記気体排出用開口を囲む環状の軌跡及び前記配線用開口を囲む環状の軌跡に沿ってレーザー光を照射して前記プレートの前記気体排出路が開口する前面に前記蓋材を溶着固定し、前記プレートを前記バルブ本体の内部に配設する請求項5記載の圧電式バルブの製造方法。 - 外部から供給される圧縮気体を受け入れる気体圧力室を有するバルブ本体と、
前記バルブ本体の内部に配設されるプレートと、
前記気体圧力室から圧縮気体を排出する気体排出路を開閉する弁体、前記弁体の動作に必要な駆動力を変位として発生する積層型圧電素子、前記積層型圧電素子の変位を拡大して前記弁体に作用させる変位拡大機構を有し、前記プレートに固定され、前記プレートともに前記バルブ本体の内部に配設されるアクチュエータと、を備える圧電式バルブの製造方法において、
前記バルブ本体は、前面が開口するケースであって、
前記プレートには、前記気体排出路及び前記気体排出路を開閉する前記アクチュエータの前記弁体が当接する弁座が設けられるとともに、前記アクチュエータの前記積層型圧電素子に給電する配線がモールドされており、
前記ケースの開口を閉鎖する蓋材は、前記プレートの前記気体排出路に連通する気体排出用開口及び前記プレートの前面に露出する前記配線が前方へ延出する配線用開口を有しており、
前記蓋材上から前記気体排出用開口及び前記配線用開口を囲む環状の軌跡に沿ってレーザー光を照射して前記プレートの前記気体排出路が開口する前面に前記蓋材を溶着固定し、前記プレートを前記バルブ本体の内部に配設した後、前記蓋材上から前記蓋材の外周部における環状の軌跡に沿ってレーザー光を照射して前記ケースの先端面に前記蓋材を溶着固定することを特徴とする圧電式バルブの製造方法。 - 複数の前記プレートの前記前面に前記蓋材を溶着固定する請求項5乃至7のいずれかに記載の圧電式バルブの製造方法。
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