KR20220027962A - 압전식 밸브 및 그 압전식 밸브의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

외부로부터 공급되는 압축 기체를 받아 들이는 기체 압력실을 갖는 밸브 본체와, 밸브 본체의 내부에 배치 형성되는 플레이트와, 플레이트에 고정되고, 플레이트 함께 밸브 본체의 내부에 배치 형성되는 액추에이터, 를 구비하는 압전식 밸브에 있어서, 밸브 본체는, 전면이 개구하는 케이스이고, 플레이트에는, 상기 기체 배출로 및 상기 기체 배출로를 개폐하는 상기 액추에이터의 상기 밸브체가 맞닿는 밸브 시트가 형성되어 있고, 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재는, 상기 플레이트의 상기 기체 배출로에 연통하는 기체 배출용 개구를 갖고, 기체 배출용 개구를 둘러싸는 환상의 용착부에서 상기 플레이트의 상기 기체 배출로가 개구하는 전면에 용착 고정되고, 외주부에 있어서의 환상의 용착부에서 상기 케이스의 선단면에 용착 고정되어 있다.

Description

압전식 밸브 및 그 압전식 밸브의 제조 방법
본 발명은 적층형 압전 소자의 변위를 이용하여 밸브의 개폐를 실시하는 압전식 밸브, 및 그 압전식 밸브의 제조 방법에 관한 것이다.
종래, 적층형 압전 소자의 변위를 이용하여 밸브의 개폐를 실시하고, 압축 기체를 분출하는 압전식 밸브가 알려져 있다 (예를 들어, 특허문헌 1, 2 를 참조.).
상기 압전식 밸브는, 고속 응답 성능이 우수한 적층형 압전 소자의 특성을 이용한다. 또, 상기 적층형 압전 소자의 작은 변위를 지렛대 원리에 기초하여 확대하는 변위 확대 기구를 구비한다.
특허문헌 1, 2 에 기재된 압전식 밸브는, 외부로부터 공급되는 압축 기체를 받아 들이는 기체 압력실을 갖는 밸브 본체와, 상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성되는 밸브 시트 플레이트와, 밸브체, 상기 밸브체의 동작에 필요한 구동력을 변위로서 발생하는 적층형 압전 소자를 갖는다. 또, 압전식 밸브는, 상기 적층형 압전 소자의 변위를 확대해서 상기 밸브체에 작용시키는 변위 확대 기구를 갖고, 상기 밸브 시트 플레이트의 양면에 고정되고, 상기 밸브 시트 플레이트와 함께 상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성되는 액추에이터를 구비한다. 또, 상기 밸브 본체는, 전면 (前面) 이 개구하는 케이스이며, 그 케이스의 개구가 상기 밸브 시트 플레이트의 전면에 형성되는 덮개재에 의해 폐쇄된다.
그런데, 특허문헌 1 에 기재된 압전식 밸브는, 밸브 시트 플레이트마다 일체로 형성되는 덮개재를, 밸브 본체의 케이스 전면에 중간 스페이서 및 개스킷을 개재하여 나사에 의해 조립하는 구조이기 때문에, 외형 치수가 커짐과 함게, 에어 누설이 발생할 우려가 있다.
또, 특허문헌 1 에 기재된 압전식 밸브는, 상기 밸브 시트 플레이트마다 상기 덮개재를, 상기 밸브 본체의 케이스 전면에 중간 스페이서 및 개스킷을 개재하여 나사에 의해 조립하는 구조이기 때문에, 조립이 번잡해질 우려가 있다.
한편, 특허문헌 2 에 기재된 압전식 밸브는, 밸브 시트 플레이트의 전면에 형성되는 덮개재를, 밸브 본체의 케이스 개구부 내에 끼워 넣어 조립하는 구조이기 때문에, 외형 치수가 제한되는 경우에는, 케이스 개구부의 두께를 확보할 수 없다. 그 때문에, 강성이 부족하여 압축 기체의 공급 압력에 의해 상기 케이스 개구부가 부풀어 에어 누설이 발생할 우려가 있다.
또, 특허문헌 2 에 기재된 압전식 밸브는, 상기 덮개재에 형성되는 개구부에 상기 밸브 시트 플레이트의 전방 돌출부를 끼워 맞춰 조립하는 구조이기 때문에, 상기 덮개재의 상기 개구부로부터 에어 누설이 발생할 우려가 있다.
또한, 특허문헌 2 에 기재된 압전식 밸브는, 상기 덮개재의 상기 개구부에 상기 밸브 시트 플레이트의 전방 돌출부를 끼워 맞추고, 상기 덮개재의 하면 네 귀퉁이에 수하 (垂下) 되는 부재에 핀을 삽입하여 상기 밸브 시트 플레이트를 빠짐 방지하는 구조이기 때문에, 조립이 번잡해질 우려가 있다.
일본 공개특허공보 2013-124695호 일본 공개특허공보 2017-51894호
그래서, 본 발명은, 에어 누설을 방지할 수 있음과 함께, 용이하게 조립할 수 있는 압전식 밸브, 및 그 압전식 밸브의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 하나의 양태에서는,
외부로부터 공급되는 압축 기체를 받아 들이는 기체 압력실을 갖는 밸브 본체와,
상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성되는 플레이트와,
상기 기체 압력실로부터 압축 기체를 배출하는 기체 배출로를 개폐하는 밸브체, 상기 밸브체의 동작에 필요한 구동력을 변위로서 발생하는 적층형 압전 소자, 상기 적층형 압전 소자의 변위를 확대해서 상기 밸브체에 작용시키는 변위 확대 기구를 갖고, 상기 플레이트에 고정되고, 상기 플레이트 함께 상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성되는 액추에이터, 를 구비하는 압전식 밸브에 있어서,
상기 밸브 본체는, 전면이 개구하는 케이스이고,
상기 플레이트에는, 상기 기체 배출로 및 상기 기체 배출로를 개폐하는 상기 액추에이터의 상기 밸브체가 맞닿는 밸브 시트가 형성되어 있고
상기 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재는, 상기 플레이트의 상기 기체 배출로에 연통하는 기체 배출용 개구를 갖고, 상기 기체 배출용 개구를 둘러싸는 환상 (環狀) 의 용착부에서 상기 플레이트의 상기 기체 배출로가 개구하는 전면에 용착 고정되고, 외주부에 있어서의 환상의 용착부에서 상기 케이스의 선단면에 용착 고정되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 양태의 압전식 밸브는,
상기 플레이트에는, 상기 액추에이터의 상기 적층형 압전 소자에 급전하는 배선이 몰드되어 있고,
상기 덮개재는, 상기 플레이트의 전면에 노출되는 상기 배선이 전방으로 연장하는 배선용 개구를 추가로 갖고, 상기 기체 배출용 개구를 둘러싸는 환상의 용착부 및 상기 배선용 개구를 둘러싸는 환상의 용착부에서 상기 플레이트의 상기 전면에 용착 고정되어 있는 것이 바람직하다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 다른 양태에서는,
외부로부터 공급되는 압축 기체를 받아 들이는 기체 압력실을 갖는 밸브 본체와,
상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성되는 플레이트와,
상기 기체 압력실로부터 압축 기체를 배출하는 기체 배출로를 개폐하는 밸브체, 상기 밸브체의 동작에 필요한 구동력을 변위로서 발생하는 적층형 압전 소자, 상기 적층형 압전 소자의 변위를 확대해서 상기 밸브체에 작용시키는 변위 확대 기구를 갖고, 상기 플레이트에 고정되고, 상기 플레이트 함께 상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성되는 액추에이터, 를 구비하는 압전식 밸브에 있어서,
상기 밸브 본체는, 전면이 개구하는 케이스이고,
상기 플레이트에는, 상기 기체 배출로 및 상기 기체 배출로를 개폐하는 상기 액추에이터의 상기 밸브체가 맞닿는 밸브 시트가 형성됨과 함께, 상기 액추에이터의 상기 적층형 압전 소자에 급전하는 배선이 몰드되어 있고,
상기 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재는, 상기 플레이트의 상기 기체 배출로에 연통하는 기체 배출용 개구 및 상기 플레이트의 전면에 노출되는 상기 배선이 전방으로 연장하는 배선용 개구를 갖고, 상기 기체 배출용 개구 및 상기 배선용 개구의 양방을 둘러싸는 환상의 용착부에서 상기 플레이트의 상기 기체 배출로가 개구하는 전면에 용착 고정되고, 외주부에 있어서의 환상의 용착부에서 상기 케이스의 선단면에 용착 고정되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 양태의 압전식 밸브는,
상기 덮개재가, 복수의 상기 플레이트의 상기 전면에 용착 고정되어 있는 것이 바람직하다.
또, 상기 목적을 달성하기 위해서 본 발명의 다른 양태에서는,
외부로부터 공급되는 압축 기체를 받아 들이는 기체 압력실을 갖는 밸브 본체와,
상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성되는 플레이트와,
상기 기체 압력실로부터 압축 기체를 배출하는 기체 배출로를 개폐하는 밸브체, 상기 밸브체의 동작에 필요한 구동력을 변위로서 발생하는 적층형 압전 소자, 상기 적층형 압전 소자의 변위를 확대해서 상기 밸브체에 작용시키는 변위 확대 기구를 갖고, 상기 플레이트에 고정되고, 상기 플레이트 함께 상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성되는 액추에이터, 를 구비하는 압전식 밸브의 제조 방법에 있어서,
상기 밸브 본체는, 전면이 개구하는 케이스이고,
상기 플레이트에는, 상기 기체 배출로 및 상기 기체 배출로를 개폐하는 상기 액추에이터의 상기 밸브체가 맞닿는 밸브 시트가 형성되어 있고,
상기 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재는, 상기 플레이트의 상기 기체 배출로에 연통하는 기체 배출용 개구를 갖고 있고,
상기 덮개재 위로부터 상기 기체 배출용 개구를 둘러싸는 환상의 궤적을 따라서 레이저 광을 조사하여 상기 플레이트의 상기 기체 배출로가 개구하는 전면에 상기 덮개재를 용착 고정시키고, 상기 플레이트를 상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성한 후, 상기 덮개재 위로부터 상기 덮개재의 외주부에 있어서의 환상의 궤적을 따라서 레이저 광을 조사하여 상기 케이스의 선단면에 상기 덮개재를 용착 고정시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 양태의 압전식 밸브의 제조 방법은,
상기 플레이트에는, 상기 액추에이터의 상기 적층형 압전 소자에 급전하는 배선이 몰드되어 있고,
상기 덮개재는, 상기 플레이트의 전면에 노출되는 상기 배선이 전방으로 연장하는 배선용 개구를 추가로 갖고 있고,
상기 덮개재 위로부터 상기 기체 배출용 개구를 둘러싸는 환상의 궤적 및 상기 배선용 개구를 둘러싸는 환상의 궤적을 따라서 레이저 광을 조사하여 상기 플레이트의 상기 기체 배출로가 개구하는 전면에 상기 덮개재를 용착 고정시키고, 상기 플레이트를 상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성하는 것이 바람직하다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 다른 양태에서는,
외부로부터 공급되는 압축 기체를 받아 들이는 기체 압력실을 갖는 밸브 본체와,
상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성되는 플레이트와,
상기 기체 압력실로부터 압축 기체를 배출하는 기체 배출로를 개폐하는 밸브체, 상기 밸브체의 동작에 필요한 구동력을 변위로서 발생하는 적층형 압전 소자, 상기 적층형 압전 소자의 변위를 확대해서 상기 밸브체에 작용시키는 변위 확대 기구를 갖고, 상기 플레이트에 고정되고, 상기 플레이트 함께 상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성되는 액추에이터, 를 구비하는 압전식 밸브의 제조 방법에 있어서,
상기 밸브 본체는, 전면이 개구하는 케이스이고,
상기 플레이트에는, 상기 기체 배출로 및 상기 기체 배출로를 개폐하는 상기 액추에이터의 상기 밸브체가 맞닿는 밸브 시트가 형성됨과 함께, 상기 액추에이터의 상기 적층형 압전 소자에 급전하는 배선이 몰드되어 있고,
상기 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재는, 상기 플레이트의 상기 기체 배출로에 연통하는 기체 배출용 개구 및 상기 플레이트의 전면에 노출되는 상기 배선이 전방으로 연장하는 배선용 개구를 갖고 있고,
상기 덮개재 위로부터 상기 기체 배출용 개구 및 상기 배선용 개구의 양방을 둘러싸는 환상의 궤적을 따라서 레이저 광을 조사하여 상기 플레이트의 상기 기체 배출로가 개구하는 전면에 상기 덮개재를 용착 고정시키고, 상기 플레이트를 상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성한 후, 상기 덮개재 위로부터 상기 덮개재의 외주부에 있어서의 환상의 궤적을 따라서 레이저 광을 조사하여 상기 케이스의 선단면에 상기 덮개재를 용착 고정시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 양태의 압전식 밸브의 제조 방법은,
복수의 상기 플레이트의 상기 전면에 상기 덮개재를 용착 고정시키는 것이 바람직하다.
본 발명의 압전식 밸브는, 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재가, 플레이트의 기체 배출로에 연통하는 기체 배출용 개구를 갖고, 상기 기체 배출용 개구를 둘러싸는 환상의 용착부에서 상기 플레이트의 상기 기체 배출로가 개구하는 전면에 용착 고정되어 있으므로, 상기 덮개재의 상기 기체 배출용 개구로부터의 에어 누설을 방지할 수 있다.
본 발명의 하나의 양태에 의하면, 압전식 밸브는, 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재가, 외주부에 있어서의 환상의 용착부에서 상기 케이스의 선단면에 용착 고정되어 있으므로, 외형 치수가 제한되는 경우에도, 케이스 개구부의 두께를 확보할 수 있기 때문에, 압축 기체의 공급 압력에 의해 상기 케이스 개구부가 부풀어 오르는 일이 없고, 상기 케이스 개구부로부터의 에어 누설을 방지할 수 있다.
본 발명의 다른 양태에 의하면, 압전식 밸브는, 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재가, 플레이트의 기체 배출로에 연통하는 기체 배출용 개구를 갖고, 상기 기체 배출용 개구를 둘러싸는 환상의 용착부에서 상기 플레이트의 상기 기체 배출로가 개구하는 전면에 용착 고정되어 있으므로, 상기 덮개재에 용착 고정된 상기 플레이트를 밸브 본체의 내부에 배치 형성한 후, 상기 덮개재를 상기 케이스의 선단면에 용착 고정시킴으로써, 용이하게 조립할 수 있다.
본 발명의 다른 양태에 의하면, 압전식 밸브는, 상기 플레이트에는, 액추에이터의 적층형 압전 소자에 급전하는 배선이 몰드되어 있고, 상기 덮개재가, 상기 플레이트의 전면에 노출되는 배선이 전방으로 연장하는 배선용 개구를 추가로 갖고, 상기 기체 배출용 개구를 둘러싸는 환상의 용착부 및 상기 배선용 개구를 둘러싸는 환상의 용착부에서 상기 플레이트의 상기 전면에 용착 고정되어 있으면, 상기 덮개재의 상기 기체 배출용 개구 및 상기 배선용 개구로부터의 에어 누설을 방지할 수 있다.
또, 본 발명의 다른 양태에 의하면, 압전식 밸브는, 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재가, 플레이트의 기체 배출로에 연통하는 기체 배출용 개구 및 상기 플레이트의 전면에 노출되는 배선이 전방으로 연장하는 배선용 개구를 갖고, 상기 기체 배출용 개구 및 상기 배선용 개구의 양방을 둘러싸는 환상의 용착부에서 상기 플레이트의 상기 기체 배출로가 개구하는 전면에 용착 고정되어 있으므로, 상기 덮개재의 상기 기체 배출용 개구 및 상기 배선용 개구로부터의 에어 누설을 방지할 수 있다.
본 발명의 다른 양태에 의하면, 압전식 밸브는, 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재가, 플레이트의 기체 배출로에 연통하는 기체 배출용 개구 및 상기 플레이트의 전면에 노출되는 상기 배선이 전방으로 연장하는 배선용 개구를 갖고, 상기 기체 배출용 개구 및 상기 배선용 개구의 양방을 둘러싸는 환상의 용착부에서 상기 플레이트의 상기 기체 배출로가 개구하는 전면에 용착 고정되어 있으므로, 상기 덮개재에 용착 고정된 상기 플레이트를 밸브 본체의 내부에 배치 형성한 후, 상기 덮개재를 상기 케이스의 선단면에 용착 고정시킴으로써, 용이하게 조립할 수 있다.
본 발명의 다른 양태에 의하면, 압전식 밸브는, 상기 덮개재가, 복수의 상기 플레이트의 상기 전면에 용착 고정되어 있으면, 밸브 수가 증가한 경우에도 마찬가지로, 에어 누설을 방지할 수 있음과 함께, 용이하게 조립할 수 있다.
본 발명의 다른 양태에 의하면, 압전식 밸브의 제조 방법은, 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재가, 플레이트의 기체 배출로에 연통하는 기체 배출용 개구를 갖고 있고, 상기 덮개재 위로부터 상기 기체 배출용 개구를 둘러싸는 환상의 궤적을 따라서 레이저 광을 조사하여 상기 플레이트의 상기 기체 배출로가 개구하는 전면에 상기 덮개재를 용착 고정시키므로, 상기 덮개재의 상기 기체 배출용 개구로부터의 에어 누설을 방지할 수 있는 압전식 밸브를 제조할 수 있다.
본 발명의 다른 양태에 의하면, 압전식 밸브의 제조 방법은, 상기 덮개재 위로부터 상기 덮개재의 외주부에 있어서의 환상의 궤적을 따라서 레이저 광을 조사하여 상기 케이스의 선단면에 상기 덮개재를 용착 고정시키므로, 외형 치수가 제한되는 경우에도, 케이스 개구부의 두께를 확보할 수 있기 때문에, 압축 기체의 공급 압력에 의해 케이스 개구부가 부풀어 오르는 일이 없고, 상기 케이스 개구부로부터의 에어 누설을 방지할 수 있는 압전식 밸브를 제조할 수 있다.
본 발명의 다른 양태에 의하면, 압전식 밸브의 제조 방법은, 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재가, 플레이트의 기체 배출로에 연통하는 기체 배출용 개구를 갖고 있고, 상기 덮개재 위로부터 상기 기체 배출용 개구를 둘러싸는 환상의 궤적을 따라서 레이저 광을 조사하여 상기 플레이트의 상기 기체 배출로가 개구하는 전면에 상기 덮개재를 용착 고정시키고, 상기 플레이트를 밸브 본체의 내부에 배치 형성한 후, 상기 덮개재 위로부터 상기 덮개재의 외주부에 있어서의 환상의 궤적을 따라서 레이저 광을 조사하여 상기 케이스의 선단면에 상기 덮개재를 용착 고정시키므로, 압전식 밸브를 용이하게 조립할 수 있다.
본 발명의 다른 양태에 의하면, 압전식 밸브의 제조 방법은, 상기 플레이트에는, 상기 액추에이터의 상기 적층형 압전 소자에 급전하는 배선이 몰드되어 있고, 상기 덮개재가, 상기 플레이트의 전면에 노출되는 상기 배선이 전방으로 연장하는 배선용 개구를 추가로 갖고 있고, 상기 덮개재 위로부터 상기 기체 배출용 개구를 둘러싸는 환상의 궤적 및 상기 배선용 개구를 둘러싸는 환상의 궤적을 따라서 레이저 광을 조사하여 상기 플레이트의 상기 기체 배출로가 개구하는 전면에 상기 덮개재를 용착 고정시키는 것으로 하면, 상기 덮개재의 상기 기체 배출용 개구 및 상기 배선용 개구로부터의 에어 누설을 방지할 수 있는 압전식 밸브를 제조할 수 있다.
또, 본 발명의 다른 양태에 의하면, 압전식 밸브의 제조 방법은, 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재가, 플레이트의 기체 배출로에 연통하는 기체 배출용 개구 및 상기 플레이트의 전면에 노출되는 배선이 전방으로 연장하는 배선용 개구를 갖고 있고, 상기 덮개재 위로부터 상기 기체 배출용 개구 및 상기 배선용 개구의 양방을 둘러싸는 환상의 궤적을 따라서 레이저 광을 조사하여 상기 플레이트의 상기 기체 배출로가 개구하는 전면에 상기 덮개재를 용착 고정시키므로, 상기 덮개재의 상기 기체 배출용 개구 및 상기 배선용 개구로부터의 에어 누설을 방지할 수 있는 압전식 밸브를 제조할 수 있다.
본 발명의 다른 양태에 의하면, 압전식 밸브의 제조 방법은, 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재가, 플레이트의 기체 배출로에 연통하는 기체 배출용 개구 및 상기 플레이트의 전면에 노출되는 배선이 전방으로 연장하는 배선용 개구를 갖고 있고, 상기 덮개재 위로부터 상기 기체 배출용 개구 및 상기 배선용 개구의 양방을 둘러싸는 환상의 궤적을 따라서 레이저 광을 조사하여 상기 플레이트의 상기 기체 배출로가 개구하는 전면에 상기 덮개재를 용착 고정시키고, 상기 플레이트를 상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성한 후, 상기 덮개재 위로부터 상기 덮개재의 외주부에 있어서의 환상의 궤적을 따라서 레이저 광을 조사하여 상기 케이스의 선단면에 상기 덮개재를 용착 고정시키므로, 압전식 밸브를 용이하게 조립할 수 있다.
본 발명의 다른 양태에 의하면, 압전식 밸브의 제조 방법은, 복수의 상기 플레이트의 상기 전면에 상기 덮개재를 용착 고정시키는 것으로 하면, 밸브 수가 증가한 경우에도 마찬가지로, 에어 누설을 방지할 수 있는 압전식 밸브를 제조할 수 있음과 함께, 압전식 밸브를 용이하게 조립할 수 있다.
도 1 은, 압전식 밸브의 사시도이다.
도 2 는, 압전식 밸브의 조립 분해도이다.
도 3 은, 액추에이터의 설명도이다.
도 4 는, 밸브 시트 플레이트에 액추에이터를 고정시킨 상태의 설명도이다.
도 5 는, 압전식 밸브의 단면도로서, 밸브 시트 플레이트를 밸브 본체 내부에 배치 형성한 상태의 설명도이다.
도 6 은, 도 4 의 밸브 시트 플레이트의 전면에 덮개재를 용착 고정시키는 모습의 설명도이다.
도 7 은, 도 4 의 밸브 시트 플레이트의 전면에 덮개재를 용착 고정시킨 중간 조립체의 설명도이다.
도 8 은, 도 7 의 중간 조립체의 정면도이다.
도 9 는, 도 7 의 중간 조립체의 평면도로서, 레이저 광을 조사하는 궤적의 설명도이다.
도 10 은, 도 7 의 중간 조립체의 평면도로서, 레이저 광을 조사하는 궤적의 다른 예의 설명도이다.
도 11 은, 도 7 의 중간 조립체를 밸브 본체에 조립하는 모습의 설명도이다.
도 12 는, 도 7 의 중간 조립체를 밸브 본체에 조립하여 용착 고정시킨 밸브 조립체의 설명도이다.
도 13 은, 도 12 의 밸브 조립체의 평면도로서, 레이저 광을 조사하는 궤적의 설명도이다.
본 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다.
도 1 은 압전식 밸브의 일례로서 사시도를 나타낸다. 도 2 는 도 1 의 압전식 밸브의 조립 분해도를 나타낸다. 도 3 은 액추에이터의 설명도를 나타낸다. 도 4 는 밸브 시트 플레이트에 액추에이터를 고정시킨 상태의 설명도를 나타낸다. 도 5 는 도 1 의 압전식 밸브의 단면도로서, 밸브 시트 플레이트를 밸브 본체 내부에 배치 형성한 상태의 설명도를 나타낸다.
도 1 내지 도 5 에 나타내는 압전식 밸브 (10) 는, 밸브 본체 (20), 상기 밸브 본체 (20) 의 내부에 배치 형성됨과 함께 그 밸브 본체 (20) 에 고정되는 밸브 시트 플레이트 (25), 상기 밸브 시트 플레이트 (25) 의 양면에 나사로 고정되는 액추에이터 (30) 를 구비한다.
상기 밸브 본체 (20) 는, 전면이 개구하는 케이스이며, 내부에는 외부의 압축 기체 공급원 (도시하지 않음) 으로부터 압축 기체의 공급을 받는 기체 압력실을 구비한다.
또, 상기 밸브 본체 (20) 의 전측에는, 커넥터부 (50) 가 형성된다. 상기 커넥터부 (50) 의 전면에는, 그 밸브 본체 (20) 내에 압축 기체를 흡입하는 기체 흡입구 (51) 및 상기 압축 기체를 배출하는 기체 배출구 (52) 가 개구한다.
상기 밸브 본체 (20) 와 상기 커넥터부 (50) 의 사이에는, 적층형 압전 소자 (32) (이하, 「압전 소자」 라고 한다) 에 급전하기 위한 배선 기판 (55) 이 배치 형성된다. 또, 상기 커넥터부 (50) 의 일측단으로서 상기 밸브 본체 (20) 의 측방 위치에, 상기 배선 기판 (55) 을 개재하여 상기 압전 소자 (32) 에 급전하기 위한 배선 커넥터 (29) 가 배치 형성된다.
상기 밸브 시트 플레이트 (25) 는, 상기 액추에이터 (30) 의 장착부를 양면에 구비함과 함께, 상기 액추에이터 (30) 의 후술하는 밸브체 (31) 가 맞닿는 밸브 시트 (26) 를 갖는다. 또, 상기 밸브 시트 플레이트 (25) 에는, 상기 밸브 시트 (26) 의 밸브 시트면으로부터 상기 커넥터부 (50) 의 상기 기체 배출구 (52) 로 연통하는 기체 배출로 (261) 가 형성되고, 상기 기체 배출로 (261) 는 상기 밸브 시트 플레이트 (25) 의 전방 돌출부 (251) 의 전면에 개구한다.
상기 밸브 시트 플레이트 (25) 는 합성 수지 재료에 의해 성형되고, 상기 배선 기판 (55) 으로부터 상기 압전 소자 (32) 에 급전하기 위한 배선 (263) 이 몰드되어 있고, 상기 배선 (263) 의 선단이 상기 전방 돌출부 (251) 의 전면에 노출된다.
또, 상기 밸브 시트 플레이트 (25) 의 후방 위치에는, 도시되지 않은 상기 압전 소자 (32) 의 리드선과 접속되는 상기 배선의 전극이 노출된다.
상기 밸브 시트 플레이트 (25) 의 상기 전방 돌출부 (251) 의 전면에는, 상기 밸브 본체 (20) 의 상기 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재 (28) 가 형성된다.
상기 덮개재 (28) 에는, 상기 밸브 시트 플레이트 (25) 의 상기 기체 배출로 (261) 에 연통하는 기체 배출용 개구 (285), 및 상기 밸브 시트 플레이트 (25) 의 상기 전방 돌출부 (251) 의 전면에 노출되는 상기 배선 (263) 이 전방으로 연장하는 배선용 개구 (286) 가 형성된다.
또, 상기 덮개재 (28) 에는, 상기 커넥터부 (50) 의 전면에 개구하는 기체 흡입구 (51) 로부터 상기 밸브 본체 (20) 내로 연통하는 기체 흡입로 (282) 가 형성된다.
상기 액추에이터 (30) 는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 고무제 바람직하게는 미끄러짐성 고무의 밸브체 (31), 그 밸브체 (31) 의 동작에 필요한 구동력을 변위로서 발생하는 압전 소자 (32), 상기 압전 소자 (32) 의 변위를 확대해서 상기 밸브체 (31) 에 작용시키는 변위 확대 기구 (33) 를 구비한다.
상기 압전 소자 (32) 에는, 예를 들어 내부 전극층이 노출되는 측면을 포함하는 전체 둘레면이 에폭시 수지로 얇게 피복된 수지 외장형 압전 소자를 사용할 수 있다.
상기 변위 확대 기구 (33) 는, 상기 압전 소자 (32) 의 변위를 확대하는 변위 확대부 (34) 와, 상기 압전 소자 (32) 의 변위를 상기 변위 확대부 (34) 에 전달하는 변위 전달부 (35) 를 갖는다. 변위 확대 기구 (33) 는, 상기 밸브체 (31) 의 동작 방향의 축선, 여기서는, 상기 밸브체 (31) 와 상기 압전 소자 (32) 의 길이 방향 축선을 잇는 직선에 대하여 대칭으로 배치된다.
상기 변위 전달부 (35) 는, 상기 압전 소자 (32) 의 일단이 접합되는 U 자상의 베이스 기판 (36) 과, 상기 압전 소자 (32) 의 타단이 접합되는 캡 부재 (37) 를 갖는다. 상기 압전 소자 (32) 가 상기 U 자상의 베이스 기판 (36) 의 공간내에 배치 형성됨으로써, 상기 변위 확대 기구 (33) 는 상기 압전 소자 (32) 의 길이 방향 축선을 중심으로 대칭인 배치가 된다.
여기서, 상기 압전 소자 (32) 는, 상기 U 자상의 베이스 기판 (36) 의 공간 내로서 그 베이스 기판 (36) 의 U 자상 저부 (361) 와 상기 캡 부재 (37) 의 사이에 예를 들어 접착제를 개재하여 장착된다. 상기 베이스 기판 (36) 의 U 자상 저부 (361) 를 소성 변형시킴으로써, 압전 소자 (32) 는, 상기 일단이 상기 베이스 기판 (36) 의 U 자상 저부 (361) 에 접합되고, 상기 타단이 상기 캡 부재 (37) 에 접합된다.
상기 변위 확대부 (34) 는, 상기 밸브체 (31) 와 상기 압전 소자 (32) 의 길이 방향 축선을 잇는 직선에 대하여 대칭인 배치가 되는 제 1 및 제 2 변위 확대부 (34a, 34b) 로 구성된다.
상기 제 1 변위 확대부 (34a) 는, 제 1 및 제 2 힌지 (39, 40), 제 1 아암 (41) 및 제 1 판스프링 (42) 을 갖는다. 상기 제 1 아암 (41) 은 상기 제 1 힌지 (39) 에 의해 상기 U 자상의 베이스 기판 (36) 의 일방측 선단에 대해서 일체가 되고, 상기 제 2 힌지 (40) 에 의해 상기 캡 부재 (37) 에 대해서 일체가 된다. 상기 제 1 아암 (41) 의 외측 선단부에는, 상기 제 1 판스프링 (42) 의 일단이 접합된다.
한편, 상기 제 2 변위 확대부 (34b) 는, 제 3 및 제 4 힌지 (43, 44), 제 2 아암 (45) 및 제 2 판스프링 (46) 을 갖는다. 상기 제 2 아암 (45) 은 상기 제 3 힌지 (43) 에 의해 상기 U 자상의 베이스 기판 (36) 의 타방측 선단에 대해서 일체가 되고, 상기 제 4 힌지 (44) 에 의해 상기 캡 부재 (37) 에 대해서 일체가 된다. 상기 제 2 아암 (45) 의 외측 선단부에는, 상기 제 2 판스프링 (46) 의 일단이 접합된다.
여기서, 상기 변위 확대 기구 (33) 는, 예를 들어 상기 제 1 및 제 2 판스프링 (42, 46) 을 제외하고, 인바재를 포함하는 스테인리스재 등의 금속 재료를 타발하여 일체로 성형할 수 있다.
또, 상기 제 1 판스프링 (42) 과 상기 제 2 판스프링 (46) 은, 예를 들어 한 장의 금속 판재로 성형할 수 있다. 여기서는, 상기 제 1 판스프링 (42) 과 상기 제 2 판스프링 (46) 은, 상기 압전 소자 (32) 의 길이 방향 축선에 대하여 대칭이며 중앙 부분에 상기 밸브체 (31) 의 설치부 (48), 예를 들어 상기 압전 소자 (32) 의 길이 방향 축선에 직교하는 평탄한 설치면을 갖는 형상으로 성형된 한 장의 금속 판재의 양측 부분에 형성되어 있다. 그리고, 상기 제 1 및 제 2 판스프링 (42, 46) 의 일단은, 각각 상기 제 1 및 제 2 아암 (41, 45) 의 외측 선단부에 접합되어 있다. 상기 밸브체 (31) 는, 상기 제 1 및 제 2 판스프링 (42, 46) 의 타단 사이이며 상기 압전 소자 (32) 의 길이 방향 축선 상에 위치하는 상기 설치부 (48) 에 형성되어 있다.
또한, 상기 제 1 판스프링 (42) 과 상기 제 2 판스프링 (46) 을 별도 부재에 의해 성형하고, 상기 제 1 판스프링 (42) 의 타단에 상기 밸브체 (31) 의 일방측의 측단부를 접합하고, 상기 제 2 판스프링 (46) 의 타단에 상기 밸브체 (31) 의 타방측의 측단부를 접합할 수도 있다. 이에 따라, 상기 제 1 및 제 2 판스프링 (42, 46) 의 타단 사이에 상기 밸브체 (31) 를 형성할 수도 있다.
상기 액추에이터 (30) 는, 폐변 (閉弁) 상태에 있어서 상기 압전 소자 (32) 에 통전하면, 당해 압전 소자 (32) 가 신장한다. 당해 압전 소자 (32) 의 신장에 수반하는 변위는, 상기 변위 확대 기구 (33) 에 있어서, 상기 제 1 및 제 3 힌지 (39, 43) 를 지점, 상기 제 2 및 제 4 힌지 (40, 44) 를 역점 (力點), 상기 제 1 및 제 2 아암 (41, 45) 의 외측 선단부를 작용점으로 하여 지렛대 원리에 의해 확대된다. 이에 따라, 상기 제 1 및 제 2 아암 (41, 45) 의 외측 선단부를 크게 변위시킨다.
그리고, 상기 제 1 및 제 2 아암 (41, 45) 의 외측 선단부의 변위는, 상기 제 1 및 제 2 판스프링 (42, 46) 을 개재하여 상기 밸브체 (31) 를 상기 밸브 시트 (26) 로부터 이간시키고, 상기 기체 배출로 (261) 를 개방한다.
한편, 상기 액추에이터 (30) 는, 상기 압전 소자 (32) 에 대한 통전이 해제되면 그 압전 소자 (32) 가 수축하고, 당해 수축이 상기 변위 확대 기구 (33) 를 개재하여 상기 밸브체 (31) 를 상기 밸브 시트 (26) 에 착석시키고, 상기 기체 배출로 (261) 를 폐쇄한다.
도 6 은 도 4 의 밸브 시트 플레이트의 전면에 덮개재를 용착 고정시키는 모습의 설명도를 나타낸다. 도 7 은 도 4 의 밸브 시트 플레이트의 전면에 덮개재를 용착 고정시킨 중간 조립체의 설명도를 나타낸다. 도 8 은 도 7 의 중간 조립체의 정면도를 나타낸다. 도 9 는 도 7 의 중간 조립체의 평면도로서, 레이저 광을 조사하는 궤적의 설명도를 나타낸다.
본 발명의 실시형태에서는, 도 9 에 나타내는 주사 궤적을 따라서 레이저 광을 조사하고, 밸브 본체 (20) 의 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재 (28) 를, 밸브 시트 플레이트 (25) 의 전방 돌출부 (251) 의 전면에 용착 고정시켜 중간 조립체 (60) 를 조립한다. 여기서는, 상기 덮개재 (28) 에 2 개의 밸브 시트 플레이트 (25) 를 용착 고정시켜 중간 조립체 (60) 로 하는 예를 나타낸다.
먼저, 상기 덮개재 (28) 에 형성되는 2 개의 배선용 개구 (286) 에 상기 각 밸브 시트 플레이트 (25) 의 상기 전방 돌출부 (251) 의 전면에 노출되는 각 배선 (263) 을 삽입 통과하여 전방으로 연장시킨다. 또, 상기 덮개재 (28) 에 형성되는 4 개의 기체 배출용 개구 (285) 를 상기 각 밸브 시트 플레이트 (25) 의 각 기체 배출로 (261) 상에 위치시켜, 상기 덮개재 (28) 의 하면을 상기 각 밸브 시트 플레이트 (25) 의 상기 전방 돌출부 (251) 의 전면에 맞닿게 한다.
다음으로, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 4 개의 상기 기체 배출용 개구 (285) 를 둘러싸는 환상의 주사 궤적 (a) 을 따라서 상기 덮개재 (28) 위로부터 레이저 헤드에 의해 레이저 광을 조사하고, 상기 덮개재 (28) 를, 상기 각 기체 배출용 개구 (285) 를 둘러싸는 환상의 용착부에서 상기 각 밸브 시트 플레이트 (25) 의 상기 각 전방 돌출부 (251) 의 전면에 용착 고정시킨다. 또, 2 개의 상기 배선용 개구 (286) 를 둘러싸는 환상의 주사 궤적 (b) 을 따라서 상기 덮개재 (28) 위로부터 레이저 헤드에 의해 레이저 광을 조사하고, 상기 덮개재 (28) 를, 상기 각 배선용 개구 (286) 을 둘러싸는 환상의 용착부에서 상기 밸브 시트 플레이트 (25) 의 상기 전방 돌출부 (251) 의 전면에 용착 고정시킨다.
도 10 은 도 7 의 중간 조립체의 평면도로서, 레이저 광을 조사하는 궤적의 다른 예의 설명도를 나타낸다.
본 발명의 실시형태에서는, 도 10 에 나타내는 주사 궤적을 따라서 레이저 광을 조사하고, 밸브 본체 (20) 의 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재 (28) 를, 밸브 시트 플레이트 (25) 의 전방 돌출부 (251) 의 전면에 용착 고정시켜 중간 조립체 (60) 를 조립할 수도 있다.
그 경우, 도 10 에 나타내는 바와 같이, 밸브 시트 플레이트 (25) 마다 2 개의 기체 배출용 개구 (285) 및 1 개의 배선용 개구 (286) 모두를 둘러싸는 환상의 주사 궤적 (c) 을 따라서 덮개재 (28) 위로부터 레이저 헤드에 의해 레이저 광을 조사한다. 그리고, 상기 덮개재 (28) 를, 상기 밸브 시트 플레이트 (25) 마다 상기 기체 배출용 개구 (285) 및 상기 배선용 개구 (286) 의 양방을 둘러싸는 환상의 용착부에서 상기 각 밸브 시트 플레이트 (25) 의 상기 전방 돌출부 (251) 의 전면에 용착 고정시킨다.
또한, 도 9 에 나타내는 주사 궤적 (a, b) 과, 도 10 에 나타내는 주사 궤적 (c) 을 조합함으로써, 상기 덮개재 (28) 를 상기 밸브 시트 플레이트 (25) 의 전면에 용착 고정시켜 중간 조립체 (60) 를 조립할 수도 있다.
도 11 은 도 7 의 중간 조립체를 밸브 본체에 조립하는 모습의 설명도를 나타낸다. 도 12 는 도 7 의 중간 조립체를 밸브 본체에 조립하여 용착 고정시킨 밸브 조립체의 설명도를 나타낸다. 도 13 은 도 12 의 밸브 조립체의 평면도로서, 레이저 광을 조사하는 궤적의 설명도를 나타낸다.
본 발명의 실시형태에서는, 도 13 에 나타내는 주사 궤적을 따라서 레이저 광을 조사하고, 상기 중간 조립체 (60) 의 덮개재 (28) 를, 상기 밸브 본체 (20) 의 케이스 선단면에 용착 고정시켜 밸브 조립체 (70) 를 조립한다.
본 발명의 실시형태에서는, 중간 조립체 (60) 의 밸브 시트 플레이트 (25) 를 밸브 본체 (20) 의 내부에 배치 형성한 후, 도 13 에 나타내는 바와 같이, 덮개재 (28) 의 외주부에 있어서의 환상의 주사 궤적 (d) 을 따라서 상기 덮개재 (28) 위로부터 레이저 헤드에 의해 레이저 광을 조사한다. 그리고, 상기 덮개재 (28) 를, 상기 외주부에 있어서의 환상의 용착부에서 상기 케이스의 선단면에 용착 고정시킨다.
도 13 에 나타내는 예에서는, 이중의 주사 궤적 (d) 을 나타내고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 레이저의 출력이나 주사 속도 등의 조건에 따라 변경할 수 있다.
본 발명의 실시형태에 있어서, 상기 덮개재 (28) 에는, 레이저 광을 충분히 투과하는 주지의 광 투과성 수지 재료를 사용할 수 있다. 또, 상기 밸브 시트 플레이트 (25) 및 상기 밸브 본체 (20) 에는, 레이저 광을 충분히 흡수하는 주지의 광 흡수성 수지 재료를 사용할 수 있다.
상기 본 발명의 실시형태에서는, 상기 덮개재 (28) 에 2 개의 상기 밸브 시트 플레이트 (25) 를 용착 고정시켜 중간 조립체 (60) 를 조립하는 예를 나타냈지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 상기 덮개재 (28) 에 1 개의 상기 밸브 시트 플레이트 (25) 를 용착 고정시켜 상기 중간 조립체 (60) 를 조립해도 된다. 또, 상기 덮개재 (28) 에 3 개 이상의 상기 밸브 시트 플레이트 (25) 를 용착 고정시켜 상기 중간 조립체 (60) 를 조립하거나 할 수도 있다.
본 발명의 실시형태에 있어서의 압전식 밸브는, 밸브 본체 (20) 의 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재 (28) 가, 밸브 시트 플레이트 (25) 의 기체 배출로 (261) 에 연통하는 기체 배출용 개구 (285) 및 상기 밸브 시트 플레이트 (25) 의 전면에 노출되는 배선 (263) 이 전방으로 연장하는 배선용 개구 (286) 를 갖고, 상기 기체 배출용 개구 (285) 를 둘러싸는 환상의 용착부 및 상기 배선용 개구 (286) 를 둘러싸는 환상의 용착부에서 상기 밸브 시트 플레이트 (25) 의 상기 기체 배출로 (261) 가 개구하는 전방 돌출부 (251) 의 전면에 용착 고정되므로, 상기 덮개재 (28) 의 상기 기체 배출용 개구 (285) 및 상기 배선용 개구 (286) 로부터의 에어 누설을 방지할 수 있다.
또, 본 발명의 실시형태에 있어서의 압전식 밸브는, 밸브 본체 (20) 의 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재 (28) 가, 밸브 시트 플레이트 (25) 의 기체 배출로 (261) 에 연통하는 기체 배출용 개구 (285) 및 상기 밸브 시트 플레이트 (25) 의 전면에 노출되는 배선 (263) 이 전방으로 연장하는 배선용 개구 (286) 를 갖는다. 그 때문에, 상기 기체 배출용 개구 (285) 및 상기 배선용 개구 (286) 의 양방을 둘러싸는 환상의 용착부에서 상기 밸브 시트 플레이트 (25) 의 상기 기체 배출로 (261) 가 개구하는 전방 돌출부 (251) 의 전면에 용착 고정된다고 해도, 상기 덮개재 (28) 의 상기 기체 배출용 개구 (285) 및 상기 배선용 개구 (286) 로부터의 에어 누설을 방지할 수 있다.
본 발명의 실시형태에 있어서의 압전식 밸브는, 밸브 본체 (20) 의 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재 (28) 가, 외주부에 있어서의 환상의 용착부에서 상기 케이스의 선단면에 용착 고정되어 있다. 그 때문에, 외형 치수가 제한되는 경우에도, 케이스 개구부의 두께를 확보할 수 있어, 압축 기체의 공급 압력에 의해 상기 케이스 개구부가 부풀어 오르는 일이 없고, 상기 케이스 개구부로부터의 에어 누설을 방지할 수 있다.
본 발명의 실시형태에 있어서의 압전식 밸브는, 밸브 본체 (20) 의 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재 (28) 를, 밸브 시트 플레이트 (25) 의 전방 돌출부 (251) 의 전면에 용착 고정시켜 중간 조립체 (60) 로 한다. 그리고, 상기 중간 조립체 (60) 의 상기 밸브 시트 플레이트 (25) 를 상기 밸브 본체 (20) 의 내부에 배치 형성한 후, 상기 덮개재 (28) 를 상기 케이스의 선단면에 용착 고정시켜 밸브 조립체 (70) 로 함으로써, 용이하게 조립할 수 있다.
본 발명의 실시형태에 있어서의 압전식 밸브는, 밸브 본체 (20) 의 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재 (28) 에 3 개 이상의 밸브 시트 플레이트 (25) 를 용착 고정시킬 수 있다. 그 때문에, 밸브 수가 증가한 경우에도 마찬가지로, 에어 누설을 방지할 수 있음과 함께, 용이하게 조립할 수 있다.
이상, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 발명의 범위를 일탈하지 않는 한에 있어서, 그 구성을 적절히 변경할 수 있는 것은 말할 필요도 없다.
산업상 이용가능성
본 발명의 압전식 밸브는, 적층형 압전 소자의 변위를 이용하여 밸브의 개폐를 실시하는 압전식 밸브에 이용할 수 있다.

Claims (8)

  1. 외부로부터 공급되는 압축 기체를 받아 들이는 기체 압력실을 갖는 밸브 본체와,
    상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성되는 플레이트와,
    상기 기체 압력실로부터 압축 기체를 배출하는 기체 배출로를 개폐하는 밸브체, 상기 밸브체의 동작에 필요한 구동력을 변위로서 발생하는 적층형 압전 소자, 상기 적층형 압전 소자의 변위를 확대해서 상기 밸브체에 작용시키는 변위 확대 기구를 갖고, 상기 플레이트에 고정되고, 상기 플레이트 함께 상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성되는 액추에이터를 구비하는 압전식 밸브에 있어서,
    상기 밸브 본체는, 전면 (前面) 이 개구하는 케이스이고,
    상기 플레이트에는, 상기 기체 배출로 및 상기 기체 배출로를 개폐하는 상기 액추에이터의 상기 밸브체가 맞닿는 밸브 시트가 형성되어 있고,
    상기 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재는, 상기 플레이트의 상기 기체 배출로에 연통하는 기체 배출용 개구를 갖고, 상기 기체 배출용 개구를 둘러싸는 환상 (環狀) 의 용착부에서 상기 플레이트의 상기 기체 배출로가 개구하는 전면에 용착 고정되고, 외주부에 있어서의 환상의 용착부에서 상기 케이스의 선단면에 용착 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 압전식 밸브.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 플레이트에는, 상기 액추에이터의 상기 적층형 압전 소자에 급전하는 배선이 몰드되어 있고,
    상기 덮개재는, 상기 플레이트의 전면에 노출되는 상기 배선이 전방으로 연장하는 배선용 개구를 추가로 갖고, 상기 기체 배출용 개구를 둘러싸는 환상의 용착부 및 상기 배선용 개구를 둘러싸는 환상의 용착부에서 상기 플레이트의 상기 전면에 용착 고정되어 있는 압전식 밸브.
  3. 외부로부터 공급되는 압축 기체를 받아 들이는 기체 압력실을 갖는 밸브 본체와,
    상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성되는 플레이트와,
    상기 기체 압력실로부터 압축 기체를 배출하는 기체 배출로를 개폐하는 밸브체, 상기 밸브체의 동작에 필요한 구동력을 변위로서 발생하는 적층형 압전 소자, 상기 적층형 압전 소자의 변위를 확대해서 상기 밸브체에 작용시키는 변위 확대 기구를 갖고, 상기 플레이트에 고정되고, 상기 플레이트 함께 상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성되는 액추에이터를 구비하는 압전식 밸브에 있어서,
    상기 밸브 본체는, 전면이 개구하는 케이스이고,
    상기 플레이트에는, 상기 기체 배출로 및 상기 기체 배출로를 개폐하는 상기 액추에이터의 상기 밸브체가 맞닿는 밸브 시트가 형성됨과 함께, 상기 액추에이터의 상기 적층형 압전 소자에 급전하는 배선이 몰드되어 있고,
    상기 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재는, 상기 플레이트의 상기 기체 배출로에 연통하는 기체 배출용 개구 및 상기 플레이트의 전면에 노출되는 상기 배선이 전방으로 연장하는 배선용 개구를 갖고, 상기 기체 배출용 개구 및 상기 배선용 개구를 둘러싸는 환상의 용착부에서 상기 플레이트의 상기 기체 배출로가 개구하는 전면에 용착 고정되고, 외주부에 있어서의 환상의 용착부에서 상기 케이스의 선단면에 용착 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 압전식 밸브.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 덮개재는, 복수의 상기 플레이트의 상기 전면에 용착 고정되어 있는 압전식 밸브.
  5. 외부로부터 공급되는 압축 기체를 받아 들이는 기체 압력실을 갖는 밸브 본체와,
    상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성되는 플레이트와,
    상기 기체 압력실로부터 압축 기체를 배출하는 기체 배출로를 개폐하는 밸브체, 상기 밸브체의 동작에 필요한 구동력을 변위로서 발생하는 적층형 압전 소자, 상기 적층형 압전 소자의 변위를 확대해서 상기 밸브체에 작용시키는 변위 확대 기구를 갖고, 상기 플레이트에 고정되고, 상기 플레이트 함께 상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성되는 액추에이터를 구비하는 압전식 밸브의 제조 방법에 있어서,
    상기 밸브 본체는, 전면이 개구하는 케이스이고,
    상기 플레이트에는, 상기 기체 배출로 및 상기 기체 배출로를 개폐하는 상기 액추에이터의 상기 밸브체가 맞닿는 밸브 시트가 형성되어 있고,
    상기 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재는, 상기 플레이트의 상기 기체 배출로에 연통하는 기체 배출용 개구를 갖고 있고,
    상기 덮개재 위로부터 상기 기체 배출용 개구를 둘러싸는 환상의 궤적을 따라서 레이저 광을 조사하여 상기 플레이트의 상기 기체 배출로가 개구하는 전면에 상기 덮개재를 용착 고정시키고, 상기 플레이트를 상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성한 후, 상기 덮개재 위로부터 상기 덮개재의 외주부에 있어서의 환상의 궤적을 따라서 레이저 광을 조사하여 상기 케이스의 선단면에 상기 덮개재를 용착 고정시키는 것을 특징으로 하는 압전식 밸브의 제조 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 플레이트에는, 상기 액추에이터의 상기 적층형 압전 소자에 급전하는 배선이 몰드되어 있고,
    상기 덮개재는, 상기 플레이트의 전면에 노출되는 상기 배선이 전방으로 연장하는 배선용 개구를 추가로 갖고 있고,
    상기 덮개재 위로부터 상기 기체 배출용 개구를 둘러싸는 환상의 궤적 및 상기 배선용 개구를 둘러싸는 환상의 궤적을 따라서 레이저 광을 조사하여 상기 플레이트의 상기 기체 배출로가 개구하는 전면에 상기 덮개재를 용착 고정시키고, 상기 플레이트를 상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성하는 압전식 밸브의 제조 방법.
  7. 외부로부터 공급되는 압축 기체를 받아 들이는 기체 압력실을 갖는 밸브 본체와,
    상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성되는 플레이트와,
    상기 기체 압력실로부터 압축 기체를 배출하는 기체 배출로를 개폐하는 밸브체, 상기 밸브체의 동작에 필요한 구동력을 변위로서 발생하는 적층형 압전 소자, 상기 적층형 압전 소자의 변위를 확대해서 상기 밸브체에 작용시키는 변위 확대 기구를 갖고, 상기 플레이트에 고정되고, 상기 플레이트 함께 상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성되는 액추에이터를 구비하는 압전식 밸브의 제조 방법에 있어서,
    상기 밸브 본체는, 전면이 개구하는 케이스이고,
    상기 플레이트에는, 상기 기체 배출로 및 상기 기체 배출로를 개폐하는 상기 액추에이터의 상기 밸브체가 맞닿는 밸브 시트가 형성됨과 함께, 상기 액추에이터의 상기 적층형 압전 소자에 급전하는 배선이 몰드되어 있고,
    상기 케이스의 개구를 폐쇄하는 덮개재는, 상기 플레이트의 상기 기체 배출로에 연통하는 기체 배출용 개구 및 상기 플레이트의 전면에 노출되는 상기 배선이 전방으로 연장하는 배선용 개구를 갖고 있고,
    상기 덮개재 위로부터 상기 기체 배출용 개구 및 상기 배선용 개구를 둘러싸는 환상의 궤적을 따라서 레이저 광을 조사하여 상기 플레이트의 상기 기체 배출로가 개구하는 전면에 상기 덮개재를 용착 고정시키고, 상기 플레이트를 상기 밸브 본체의 내부에 배치 형성한 후, 상기 덮개재 위로부터 상기 덮개재의 외주부에 있어서의 환상의 궤적을 따라서 레이저 광을 조사하여 상기 케이스의 선단면에 상기 덮개재를 용착 고정시키는 것을 특징으로 하는 압전식 밸브의 제조 방법.
  8. 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    복수의 상기 플레이트의 상기 전면에 상기 덮개재를 용착 고정시키는 압전식 밸브의 제조 방법.
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