JP2020527860A - ブロックコポリマーのナノドメインの配向を制御するための方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ブロックコポリマーのナノ構造化の間に生成される、ブロックコポリマーのナノドメインの配向の制御の分野に関する。この配向は、特にブロックコポリマーの各界面での表面エネルギーに依存する。
ナノテクノロジーの進歩は、マイクロエレクトロニクス、特に微小電気機械システム(MEMS)の分野で製品を絶え間なく小型化することを可能にしている。現時点では、従来のリソグラフィー技術は、60nm未満の寸法を有する構造を製造することができないため、小型化についてのこれらの絶え間ない必要性を満たすことをもはや可能にしない。
したがって、本発明の目的は、先行技術の欠点の少なくとも1つを克服することである。本発明は、特に、任意のブロックコポリマーのナノドメインの配向を制御するために工業的に実行できる単純な代替解決策を提供することを目的とし、これによりナノドメインは、少なくともブロックコポリマーの半周期L0に等しい最小厚さ「t」にわたって、基板及び上部界面に対して垂直にそれ自身を配向させ、これは、ブロックコポリマーBCPに対して中性であるトップコートタイプの特定の層を使用せずに行われる。
この目的のために、本発明の主題は、下部界面が、事前に中性化された基板の表面と接触している、ブロックコポリマーのナノドメインの配向を制御するための方法であり、前記ブロックコポリマーは、それ自体をナノ構造化して、周期の少なくとも半分に等しい最小厚さにわたって、所定の周期を持つナノドメインを与えることができ、前記方法は、前記基板上に前記ブロックコポリマーを堆積させることにより、その総厚さが前記最小厚さよりも少なくとも2倍大きく、好ましくは前記最小厚さよりも少なくとも3倍大きくなるようにし、次いで、前記ブロックコポリマー上に、周囲雰囲気からそれを隔離することを可能にする界面材料を堆積させることを特徴とする。
− 前記ブロックコポリマーがそれ自体をナノ構造化することを意図している最小厚さは、周期(L0)の整数倍又は半整数倍に等しくなるように選択され、前記倍数は15以下、好ましくは10以下である;
− ブロックコポリマーの堆積に続く段階は、少なくとも前記最小厚さにわたってそれをナノ構造化するために、ブロックコポリマーの自己組織化を実行することからなる;
− ブロックコポリマーの自己組織化は、当業者に知られている任意の適切な技術又は適切な技術の組み合わせによって実行することができ、好ましい技術は熱処理である:
− ブロックコポリマーの上部界面は、定義された分子構成及び定義された表面エネルギーの化合物又は化合物の混合物を含む界面材料と接触しており、この化合物又は化合物の混合物は、前記ブロックコポリマーの組織化の温度で固体又は液体であり得、ブロックコポリマーの膜を周囲雰囲気又は定義されたガスの混合物の影響から隔離することを可能にする;
− 前記化合物、又は化合物の混合物は、ブロックコポリマーのブロックのうちの少なくとも1つと特異的親和性を呈する;
− ブロックコポリマーと接触する上部界面材料の前記化合物は、その表面エネルギーが、少なくとも値「γi−5」(mN/m)より大きく、かつ少なくとも値「γs+5」(mN/m)より小さくなるように選択され、ここでγiはブロックコポリマーのブロックのそれぞれのすべての値の中で表面エネルギーの最低値を表し、γsはブロックコポリマーのブロックのそれぞれのすべての値の中で表面エネルギーの最大値を表す;
− 好ましくは、ブロックコポリマーと接触する上部界面材料の前記化合物は、その表面エネルギーが値γiとγsとの間にあるように選択される;
− 上部界面材料の前記化合物は、ブロックコポリマーのブロックのそれぞれに関して中性でないように選択される;
− 上部界面材料の前記化合物は、ブロックコポリマーのブロックのそれぞれに関して中性であるように選択される;
− 基板はパターンを含むか又は含まず、前記パターンは、ブロックコポリマーの膜の堆積の段階の前に、任意の性質のリソグラフィー段階又は一連のリソグラフィー段階によって事前に描画され、前記パターンは、中性化表面を得るために、化学エピタキシー又はグラフォエピタキシーと称される技術、あるいはこれらの2つの技術の組み合わせによって、前記ブロックコポリマーの組織化をガイドすることを意図している。
− 界面材料の除去及び前記ブロックコポリマーの前記過剰厚さの除去は、同時に又は順次実行される;
− 界面材料及び過剰厚さの除去の段階(複数可)は、化学機械研磨(CMP)、溶媒、イオン衝撃若しくはプラズマタイプの処理によって、又は前記処理の順次若しくは同時に実行される任意の組み合わせによって実行される;
− 界面材料及び過剰厚さの除去の段階(複数可)は、プラズマドライエッチングによって実行される;
− ブロックコポリマーの前記膜の1つ又は複数のブロックの除去の段階は、ドライエッチングによって実行される;
− 界面材料、過剰厚さの除去、及びブロックコポリマーの膜の1つ又は複数のブロックの除去の段階は、プラズマエッチングによってまったく同一のエッチング装置において連続して実行される;
− ブロックコポリマーは、前記過剰厚さの除去の段階の前に、全部又は一部を架橋/硬化段階に供することができる;
− 架橋/硬化段階は、ブロックコポリマーの、紫外線、紫外線/可視光線、若しくは赤外線から選択される定義された波長の光放射、及び/又は電子放射線、及び/又は化学処理、及び/又は原子若しくはイオン衝撃への曝露により実行される。
用語「ポリマー」は、(統計、グラジエント、ブロック又は交互型の)コポリマー、又はホモポリマーのいずれかを意味すると理解されている。
[式中、A、B、C、D、…、Zは、いずれかの純粋な化学物質を表すブロック「i」…「j」であり、すなわち、各ブロックが、一緒に重合された同一の化学的性質のモノマーのセットであるか、又は全部若しくは一部がブロック若しくは統計若しくはランダム若しくはグラジエント若しくは交互コポリマーの形態で、一緒に共重合されたコモノマーのセットである。]
Claims (17)
- 下部界面が、事前に中性化された基板の表面と接触しているブロックコポリマー(BCP)の、上部界面での表面エネルギーを制御するための方法であって、前記ブロックコポリマーは、それ自体をナノ構造化して、所定の周期(L0)の少なくとも半分に等しい最小厚さ(t)にわたって前記周期(L0)を持つナノドメインを与えることができ、前記方法が、その総厚さ(T+t)が前記最小厚さ(t)よりも少なくとも2倍、好ましくは少なくとも3倍大きくなるように、前記基板上に前記ブロックコポリマー(BCP)を堆積させることであって、前記最小厚さは周期(L0)の整数倍又は半整数倍に等しくなるように選択され、前記倍数は15以下、より好ましくは10以下である、堆積させること、及び、次いで前記ブロックコポリマー(BCP)上に、周囲雰囲気が呈する好ましい親和性よりも小さい、ブロックコポリマーのブロックのうちの1つとの好ましい親和性を呈する界面材料を堆積させることからなることを特徴とする、方法。
- ブロックコポリマー(BCP)の堆積に続く段階が、少なくとも前記最小厚さにわたってそれをナノ構造化するために、ブロックコポリマー(BCP)の自己組織化を実行することからなる、請求項1に記載の方法。
- ブロックコポリマーの上部界面が、定義された分子構成及び定義された表面エネルギーの化合物又は化合物の混合物を含む界面材料と接触しており、前記化合物又は化合物の混合物は、前記ブロックコポリマーの組織化の温度で固体又は液体であり得、ブロックコポリマー(BCP)の膜を周囲雰囲気又は定義されたガスの混合物の影響から隔離することを可能にする、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記化合物、又は化合物の混合物が、ブロックコポリマー(BCP)のブロックのうちの少なくとも1つと特異的親和性を呈することを特徴とする、請求項3に記載の方法。
- ブロックコポリマー(BCP)と接触する上部界面材料の前記化合物が、その表面エネルギーが、少なくとも値「γi−5」(mN/m)より大きく、かつ少なくとも値「γs+5」(mN/m)より小さくなるように選択され、ここでγiはブロックコポリマー(BCP)のブロックのそれぞれのすべての値の中で表面エネルギーの最低値を表し、γsはブロックコポリマー(BCP)のブロックのそれぞれのすべての値の中で表面エネルギーの最大値を表すことを特徴とする、請求項3又は4に記載の方法。
- ブロックコポリマー(BCP)と接触する上部界面材料の前記化合物が、その表面エネルギーが値γiとγsとの間にあるように選択されることを特徴とする、請求項5に記載の方法。
- 上部界面材料の前記化合物が、ブロックコポリマー(BCP)のブロックのそれぞれに関して中性でないように選択されることを特徴とする、請求項3から6のいずれか一項に記載の方法。
- 上部界面材料の前記化合物が、ブロックコポリマー(BCP)のブロックのそれぞれに関して中性であるように選択されることを特徴とする、請求項3から6のいずれか一項に記載の方法。
- 基板がパターンを含むか又は含まず、前記パターンが、ブロックコポリマー(BCP)の膜の堆積の段階の前に、任意の性質のリソグラフィー段階又は一連のリソグラフィー段階によって事前に描画され、前記パターンが、中性化表面を得るために、化学エピタキシー又はグラフォエピタキシーと称される技術、あるいはこれらの2つの技術の組み合わせによって、前記ブロックコポリマー(BCP)の組織化をガイドすることを意図していることを特徴とする、請求項1から8のいずれか一項に記載の方法。
- 下部界面が、事前に中性化された下地基板の表面と接触しているブロックコポリマー(BCP)から出発する、ナノリソグラフィーレジストの製造のための方法であって、前記方法が、請求項1から9のいずれか一項に記載のブロックコポリマー(BCP)のナノドメインの配向を制御するための方法の段階を含み、前記最小厚さ(t)にわたって前記基板に対して垂直にナノ構造化されたブロックコポリマーの膜を残すために、ブロックコポリマー(BCP)のナノ構造化後、界面材料及びさらには前記ブロックコポリマーの過剰厚さ(T)が除去され、次いで、ナノリソグラフィーレジストとして機能することができる多孔質膜を形成するために、前記ブロックコポリマーの膜のブロックうちの少なくとも1つが除去されることを特徴とする方法。
- 界面材料の除去及び前記ブロックコポリマーの前記過剰厚さ(T)の除去が、同時に又は順次実行されることを特徴とする、請求項10に記載の方法。
- 界面材料及び過剰厚さ(T)の除去の段階(複数可)が、化学機械研磨(CMP)、溶媒、イオン衝撃若しくはプラズマタイプの処理によって、又は前記処理の順次若しくは同時に実行される任意の組み合わせによって実行されることを特徴とする、請求項10又は11に記載の方法。
- 界面材料及び過剰厚さ(T)の除去の段階(複数可)が、プラズマドライエッチングによって実行されることを特徴とする、請求項10から12のいずれか一項に記載の方法。
- ブロックコポリマーの前記膜の1つ又は複数のブロックの除去の段階が、ドライエッチングによって実行されることを特徴とする、請求項10から13のいずれか一項に記載の方法。
- 界面材料、過剰厚さ(T)の除去、及びブロックコポリマーの膜の1つ又は複数のブロックの除去の段階が、プラズマエッチングによってまったく同一のエッチング装置において連続して実行されることを特徴とする、請求項10から14のいずれか一項に記載の方法。
- ブロックコポリマー(BCP)が、前記過剰厚さ(T)の除去の段階の前に、全部又は一部を架橋/硬化段階に供することができることを特徴とする、請求項10から15のいずれか一項に記載の方法。
- 架橋/硬化段階が、ブロックコポリマー(BCP)の、紫外線、紫外線/可視光線、若しくは赤外線から選択される定義された波長の光放射、及び/又は電子放射線、及び/又は化学処理、及び/又は原子若しくはイオン衝撃への曝露により実行されることを特徴とする、請求項16に記載の方法。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014035963A1 (en) * | 2012-08-31 | 2014-03-06 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Topcoat surfaces for directing the assembly of block copolymer films on chemically patterned surfaces |
JP2014164043A (ja) * | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | パターン形成方法、及び、相分離構造を含む構造体の製造方法 |
JP2015042402A (ja) * | 2013-06-24 | 2015-03-05 | ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. | 配向制御層ポリマー、その製造方法およびそれを含む物品 |
JP2015516891A (ja) * | 2012-02-10 | 2015-06-18 | ボード・オブ・リージエンツ,ザ・ユニバーシテイ・オブ・テキサス・システム | 薄膜ブロックコポリマーの配向性の制御のための無水コポリマートップコート |
JP6039028B1 (ja) * | 2015-09-11 | 2016-12-07 | 株式会社東芝 | 自己組織化材料及びパターン形成方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2990885B1 (fr) * | 2012-05-23 | 2014-09-19 | Arkema France | Procede de preparation de surfaces |
JP6027912B2 (ja) * | 2013-02-22 | 2016-11-16 | 東京応化工業株式会社 | 相分離構造を含む構造体の製造方法、及びパターン形成方法、並びにトップコート材料 |
US9054043B2 (en) * | 2013-10-30 | 2015-06-09 | HGST Netherlands B.V. | Method for directed self-assembly (DSA) of block copolymers |
FR3025937B1 (fr) * | 2014-09-16 | 2017-11-24 | Commissariat Energie Atomique | Procede de grapho-epitaxie pour realiser des motifs a la surface d'un substrat |
KR101932799B1 (ko) * | 2015-02-17 | 2018-12-26 | 주식회사 엘지화학 | 블록 공중합체 자기 조립 패턴의 습식 식각 방법 |
FR3037070B1 (fr) * | 2015-06-02 | 2019-05-31 | Arkema France | Procede de controle de l'energie de surface a l'interface entre un copolymere a blocs et un autre compose |
FR3037071B1 (fr) * | 2015-06-02 | 2019-06-21 | Arkema France | Procede de reduction de la defectivite d'un film de copolymere a blocs |
FR3045645B1 (fr) * | 2015-12-18 | 2019-07-05 | Arkema France | Procede de reduction des defauts dans un film ordonne de copolymeres a blocs |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015516891A (ja) * | 2012-02-10 | 2015-06-18 | ボード・オブ・リージエンツ,ザ・ユニバーシテイ・オブ・テキサス・システム | 薄膜ブロックコポリマーの配向性の制御のための無水コポリマートップコート |
WO2014035963A1 (en) * | 2012-08-31 | 2014-03-06 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Topcoat surfaces for directing the assembly of block copolymer films on chemically patterned surfaces |
JP2014164043A (ja) * | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | パターン形成方法、及び、相分離構造を含む構造体の製造方法 |
JP2015042402A (ja) * | 2013-06-24 | 2015-03-05 | ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. | 配向制御層ポリマー、その製造方法およびそれを含む物品 |
JP6039028B1 (ja) * | 2015-09-11 | 2016-12-07 | 株式会社東芝 | 自己組織化材料及びパターン形成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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