JP2020515866A - ヨーレートセンサおよびヨーレートセンサの操作方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の有利な構成により、ヨーレートセンサは、第1電界効果トランジスタを有する、駆動装置増幅回路および/または検出器増幅回路用基準電流を発生するための基準電流発生器を含み、この場合、第1電界効果トランジスタは、零入力電流を設定するために可変の第1チャネル幅を有するように設計されている。第1チャネル幅(英語、channel width)とは、電流方向に垂直の、第1電界効果トランジスタの導電チャネルの範囲と理解される。第1電界効果トランジスタのチャネル幅は、第1電界効果トランジスタから誘導された基準電流に比例する。第1チャネル幅の設定を介して、第1電界効果トランジスタから誘導された基準電流が設定可能である。駆動装置増幅回路および/または検出器増幅回路内において、基準電流から、それぞれの増幅回路の零入力電流が導出可能である。これにより、零入力電流は、基準電流発生器から提供された基準電流を介して設定可能である。第1電界効果トランジスタは、MOSFET(英語、metal−oxide−semiconductor field−effect−transistor)としてまたはFinFET(fin field−effect−transistor)として形成されていることが好ましい。代替態様として、第1電界効果トランジスタは、JFET(英語、junction field−effect−transistor)として形成されていてもよい。第1電界効果トランジスタは、nチャネル電界効果トランジスタまたはpチャネル電界効果トランジスタであってもよい。
本発明の他の詳細および利点が以下に図面に示された実施例により詳細に説明されるものとする。
2 基準電流発生器
3 駆動装置増幅回路
4 検出器増幅回路
20 電源
21 第2電界効果トランジスタ
22 第1電界効果トランジスタ、第1ゲートフィンガ
23 第1電界効果トランジスタ、第2ゲートフィンガ
24 スイッチ
31 第2電界効果トランジスタ、第1ゲートフィンガ
32 第2電界効果トランジスタ、第2ゲートフィンガ
33、34、35 トランジスタ
36 第2スイッチ
100 基準電流
101、102、103 零入力電流
Claims (10)
- 少なくとも1つの駆動装置増幅回路(3)を有する、揺動可能質量の揺動を励起するための駆動装置を含み、および少なくとも1つの検出器増幅回路(4)を有する、揺動可能質量の偏差を検出するための検出器を含むヨーレートセンサ(1)において、
選択的に、電力節約モードにおいて駆動装置増幅回路(3)および/または検出器増幅回路(4)を操作するための低い零入力電流(101、102、103)、または正常モードにおいて駆動装置増幅回路(3)および/または検出器増幅回路(4)を操作するためのより高い零入力電流(101、102、103)が設定可能であること、
を特徴とするヨーレートセンサ(1)。 - ヨーレートセンサ(1)は、第1電界効果トランジスタ(22、23)、特にMOSFETを有する、駆動装置増幅回路(3)および/または検出器増幅回路(4)用基準電流(100)を発生するための基準電流発生器(2)を含み、この場合、第1電界効果トランジスタ(22、23)は、零入力電流(101、102、103)を設定するために可変の第1チャネル幅を有することを特徴とする請求項1に記載のヨーレートセンサ。
- 第1電界効果トランジスタ(22、23)は複数の第1ゲートフィンガを有し、この場合、零入力電流(101、102、103)を設定するために、少なくとも1つの第1ゲートフィンガ(22)が選択的に接続可能または遮断可能であることを特徴とする請求項2に記載のヨーレートセンサ。
- 基準電流発生器(2)は並列接続された複数の第1トランジスタを有し、この場合、第1トランジスタの少なくとも1つは、零入力電流(101、102、103)を設定するために選択的に接続可能または遮断可能であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のヨーレートセンサ。
- 駆動装置増幅回路(3)および/または検出器増幅回路(4)は、第2電界効果トランジスタ(31、32)、特にMOSFETを有し、この場合、第2電界効果トランジスタ(31、32)は、零入力電流(101、102、103)を設定するために可変の第2チャネル幅を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のヨーレートセンサ。
- 第2電界効果トランジスタ(31、32)は複数の第2ゲートフィンガを有し、この場合、零入力電流(101、102、103)を設定するために、少なくとも1つの第2ゲートフィンガ(32)が選択的に接続可能または遮断可能であることを特徴とする請求項5に記載のヨーレートセンサ。
- 駆動装置増幅回路(3)および/または検出器増幅回路(4)は並列接続された複数の第2トランジスタを有し、この場合、第2トランジスタの少なくとも1つは、零入力電流(101、102、103)を設定するために選択的に接続可能または遮断可能であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載のヨーレートセンサ。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載のヨーレートセンサを含み、およびヨーレートセンサに電気エネルギーを供給するためのエネルギー蓄積器を含む携帯型端末装置。
- 少なくとも1つの駆動装置増幅回路(3)を有する、揺動可能質量の揺動を励起するための駆動装置を含み、および少なくとも1つの検出器増幅回路(4)を有する、揺動可能質量の偏差を検出するための検出器を含むヨーレートセンサ(1)の操作方法において、
選択的に、電力節約モードにおいて駆動装置増幅回路(3)および/または検出器増幅回路(4)を操作するための低い零入力電流(101、102、103)、または正常モードにおいて駆動装置増幅回路(3)および/または検出器増幅回路(4)を操作するためのより高い零入力電流(101、102、103)が設定されること、
を特徴とするヨーレートセンサ(1)の操作方法。 - 電力節約モードと正常モードの間の切換が制御命令を介して制御されることを特徴とする請求項9に記載のの方法。
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DE102018220936A1 (de) | 2018-12-04 | 2020-06-04 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Überprüfung eines Sensorwertes eines MEMS-Sensors |
US11568121B2 (en) * | 2020-06-19 | 2023-01-31 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | FinFET semiconductor device grouping |
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002231811A (ja) * | 2001-01-29 | 2002-08-16 | Sanyo Electric Co Ltd | 演算増幅器の設計資産の再利用方法、レイアウト作成装置およびレイアウト作成プログラム |
US20140260713A1 (en) * | 2013-03-14 | 2014-09-18 | Invensense, Inc. | Duty-cycled gyroscope |
JP2016189515A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | セイコーエプソン株式会社 | 回路装置、電子機器及び移動体 |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05240874A (ja) * | 1991-12-06 | 1993-09-21 | Canon Inc | 角速度センサ |
US7551017B2 (en) * | 2005-12-14 | 2009-06-23 | Freescale Semiconductor, Inc. | Level shifter and methods for use therewith |
US7849744B2 (en) * | 2006-08-02 | 2010-12-14 | Seiko Epson Corporation | Driving device, physical quantity measurement device, and electronic instrument |
JP5034808B2 (ja) * | 2006-10-17 | 2012-09-26 | セイコーエプソン株式会社 | 駆動装置、物理量測定装置及び電子機器 |
JP4211840B2 (ja) * | 2006-11-10 | 2009-01-21 | セイコーエプソン株式会社 | 検出装置、センサ及び電子機器 |
US8026771B2 (en) * | 2006-11-27 | 2011-09-27 | Seiko Epson Corporation | Driver device, physical quantity measuring device, and electronic instrument |
JP4450029B2 (ja) * | 2007-07-24 | 2010-04-14 | セイコーエプソン株式会社 | 発振駆動回路、発振駆動装置、物理量測定回路、物理量測定装置および電子機器 |
JP4572350B2 (ja) * | 2008-03-21 | 2010-11-04 | セイコーエプソン株式会社 | 同期検波回路、検出回路、物理量測定装置、ジャイロセンサおよび電子機器 |
DE102008031609B4 (de) * | 2008-07-07 | 2010-06-02 | Albert-Ludwigs-Universität Freiburg | Messvorrichtung mit einem mikroelektromechanischen kapazitiven Sensor |
IT1397432B1 (it) * | 2009-12-11 | 2013-01-10 | St Microelectronics Rousset | Circuito generatore di una grandezza elettrica di riferimento. |
US8400818B2 (en) * | 2010-06-16 | 2013-03-19 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Voltage-controlled oscillator and phase-locked loop circuit |
KR101750450B1 (ko) * | 2010-06-16 | 2017-06-26 | 삼성전자주식회사 | 전압 제어 발진기 |
DE102010044924B4 (de) * | 2010-09-10 | 2021-09-16 | Texas Instruments Deutschland Gmbh | Elektronische Vorrichtung und Verfahren für diskrete lastadaptive Spannungsregelung |
US10393552B1 (en) * | 2013-01-07 | 2019-08-27 | Maxim Integrated Products, Inc. | Spot mode functionality for power saving in a sensor system |
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JP6369086B2 (ja) * | 2014-03-25 | 2018-08-08 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、センサーユニット、電子機器及び移動体 |
EP3176669B1 (fr) * | 2015-11-30 | 2019-01-09 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Circuit de génération d'une tension de référence |
US10365104B2 (en) * | 2016-05-11 | 2019-07-30 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Digital controller for a MEMS gyroscope |
EP3455586B1 (en) * | 2016-05-11 | 2020-08-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | A secondary sense loop with force feedback capability |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002231811A (ja) * | 2001-01-29 | 2002-08-16 | Sanyo Electric Co Ltd | 演算増幅器の設計資産の再利用方法、レイアウト作成装置およびレイアウト作成プログラム |
US20140260713A1 (en) * | 2013-03-14 | 2014-09-18 | Invensense, Inc. | Duty-cycled gyroscope |
JP2016189515A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | セイコーエプソン株式会社 | 回路装置、電子機器及び移動体 |
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