JP2020515866A - ヨーレートセンサおよびヨーレートセンサの操作方法 - Google Patents

ヨーレートセンサおよびヨーレートセンサの操作方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2020515866A
JP2020515866A JP2019554742A JP2019554742A JP2020515866A JP 2020515866 A JP2020515866 A JP 2020515866A JP 2019554742 A JP2019554742 A JP 2019554742A JP 2019554742 A JP2019554742 A JP 2019554742A JP 2020515866 A JP2020515866 A JP 2020515866A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
yaw rate
rate sensor
amplifier circuit
detector
field effect
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2019554742A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6823733B2 (ja
Inventor
ジャーン,グワーンジャオ
ビスコンティ,アンドレア
ディアッツィ,フランチェスコ
カリルユリン,ルスラン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of JP2020515866A publication Critical patent/JP2020515866A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6823733B2 publication Critical patent/JP6823733B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/58Turn-sensitive devices without moving masses
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5776Signal processing not specific to any of the devices covered by groups G01C19/5607 - G01C19/5719
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/02Rotary gyroscopes
    • G01C19/04Details
    • G01C19/06Rotors
    • G01C19/08Rotors electrically driven
    • G01C19/10Power supply
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5705Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis
    • G01C19/5712Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis the devices involving a micromechanical structure

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Amplifiers (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

少なくとも1つの駆動装置増幅回路を有する、揺動可能質量の揺動を励起するための駆動装置を含み、および少なくとも1つの検出器増幅回路を有する、揺動可能質量の偏差を検出するための検出器を含むヨーレートセンサが記載され、この場合、選択的に、電力節約モードにおいて駆動装置増幅回路および/または検出器増幅回路を操作するための低い零入力電流、または正常モードにおいて駆動装置増幅回路および/または検出器増幅回路を操作するためのより高い零入力電流が設定可能である。【選択図】図2

Description

本発明は、請求項1の上位概念に記載のヨーレートセンサ並びに請求項8の上位概念に記載のヨーレートセンサの操作方法から出発する。
このようなヨーレートセンサは、一般的に、少なくとも1つの駆動装置増幅回路を有する、揺動可能質量の揺動を励起するための駆動装置を含む。検出器を介して、揺動可能質量の偏差が検出可能である。検出器は、通常、少なくとも1つの検出器増幅回路を有する。さらに、通常、駆動装置増幅回路および検出器増幅回路用基準電流を発生するための基準電流発生器がヨーレートセンサ内に設けられている。ヨーレートセンサは、例えば、マイクロエレクトロメカニカル・システム(MEMS)として形成されていてもよい。
このようなヨーレートセンサは、一般的に、バッテリ駆動され、したがって、制限されたエネルギー貯蔵量のみがこのようなヨーレートセンサの操作のために提供可能な携帯型端末装置内において使用される。このようなヨーレートセンサのエネルギー消費を低減させるために、ヨーレートセンサを周期的に接続しかつ遮断することが既知である。ヨーレートセンサの接続状態において測定が実行可能である。その後に、ヨーレートセンサは遮断状態にされる。このようにして、携帯型端末装置内においてこのようなヨーレートセンサの操作を可能にする低いエネルギー消費が可能である。
しかしながら、ヨーレートセンサを接続したとき、すなわち、遮断状態から接続状態へ切り換えたとき、十分に正確な測定が可能になるまで、はじめに、ある始動時間が経過されなければならないことが不利であることがわかった。この始動時間は、例えば、揺動可能質量が十分に急速に希望された揺動に移行可能ではないことによるものである。
この背景から、本発明は、携帯型端末装置内のヨーレートセンサの操作を、低減された始動時間で可能にすることを課題とする。
並記請求項に記載の本発明によるヨーレートセンサおよび本発明によるヨーレートセンサの操作方法は、従来技術に対して、選択的に、電力節約モードにおいて駆動装置増幅回路および/または検出器増幅回路を操作するための低い零入力電流、または正常モードにおいて駆動装置増幅回路および/または検出器増幅回路を操作するためのより高い零入力電流が設定可能であるという利点を有する。より低い零入力電流に基づき、駆動装置増幅回路および/または検出器増幅回路は、電力節約モードにおいて、より低い帯域幅およびより高いノイズを有する。零入力電流を介して増幅回路の個々の分岐内の電流は同様に低減されるので、電力節約モードにおいてはそれぞれの増幅回路の極位置および零位置は変化するが、これはそれほど重要ではない。したがって、電力節約モードから正常モードへの移行は、増幅回路の安定性にほとんど影響を与えない。この限りにおいて、駆動装置増幅回路および/または検出器増幅回路は、電力節約モードにおいては、より低い性能で作動する。ヨーレートセンサの電力消費と性能の間で交換が行われる。正常モードへの切換において、増幅回路は比較的急速にその正常操作状態に移行される。したがって、ヨーレートセンサの長い始動時間を待ち続ける必要はない。
本発明の実施例が図面に示されかつ以下の記載において詳細に説明される。
本発明の有利な構成により、ヨーレートセンサは、第1電界効果トランジスタを有する、駆動装置増幅回路および/または検出器増幅回路用基準電流を発生するための基準電流発生器を含み、この場合、第1電界効果トランジスタは、零入力電流を設定するために可変の第1チャネル幅を有するように設計されている。第1チャネル幅(英語、channel width)とは、電流方向に垂直の、第1電界効果トランジスタの導電チャネルの範囲と理解される。第1電界効果トランジスタのチャネル幅は、第1電界効果トランジスタから誘導された基準電流に比例する。第1チャネル幅の設定を介して、第1電界効果トランジスタから誘導された基準電流が設定可能である。駆動装置増幅回路および/または検出器増幅回路内において、基準電流から、それぞれの増幅回路の零入力電流が導出可能である。これにより、零入力電流は、基準電流発生器から提供された基準電流を介して設定可能である。第1電界効果トランジスタは、MOSFET(英語、metal−oxide−semiconductor field−effect−transistor)としてまたはFinFET(fin field−effect−transistor)として形成されていることが好ましい。代替態様として、第1電界効果トランジスタは、JFET(英語、junction field−effect−transistor)として形成されていてもよい。第1電界効果トランジスタは、nチャネル電界効果トランジスタまたはpチャネル電界効果トランジスタであってもよい。
これに関して、第1電界効果トランジスタは複数の第1ゲートフィンガを有し、この場合、零入力電流を設定するために、少なくとも1つの第1ゲートフィンガが選択的に接続可能または遮断可能であるとき、それは有利である。第1電界効果トランジスタの第1チャネル幅は第1電界効果トランジスタの第1ゲート電極の幅に依存する。したがって、複数の第1ゲートフィンガを有する第1ゲート電極を備えた第1電界効果トランジスタの場合、少なくとも1つの第1ゲートフィンガは接続可能または遮断可能に設計され、これにより、第1ゲートフィンガの接続または遮断によって第1ゲート電極の有効幅が設定可能である。接続可能または遮断可能なゲートフィンガは、スイッチング素子、例えば電界効果トランジスタと結合されていることが好ましい。
他の有利な構成は、基準電流発生器が並列接続された複数の第1トランジスタを有し、この場合、第1トランジスタの少なくとも1つは、零入力電流を設定するために選択的に接続可能または遮断可能であるように設計されている。第1トランジスタの並列接続により基準電流は上昇可能でありおよび第1トランジスタの遮断により低減可能である。上昇された基準電流の場合、駆動装置増幅回路および/または検出器増幅回路内に上昇された零入力電流が存在し、低減された基準電流の場合、駆動装置増幅回路および/または検出器増幅回路内に低減された零入力電流が存在する。第1トランジスタは、バイポーラトランジスタまたは電界効果トランジスタであってもよい。
本発明の有利な構成により、駆動装置増幅回路および/または検出器増幅回路は、第2電界効果トランジスタを有し、この場合、第2電界効果トランジスタは、零入力電流を設定するために可変の第2チャネル幅を有するように設計されている。第2チャネル幅(英語、channel width)とは、電流方向に垂直の、第2電界効果トランジスタの導電チャネルの範囲と理解される。第2電界効果トランジスタの第2チャネル幅は、第2電界効果トランジスタから誘導された基準電流に比例する。したがって、第2チャネル幅の設定を介して、第2電界効果トランジスタから誘導された基準電流が設定可能である。第2トランジスタから誘導された基準電流は電流ミラーの入力電流であり、および零入力電流は電流ミラーの出力電流であることが好ましく、これにより、第2電界効果トランジスタのチャネル幅の増大によって零入力電流は低下可能である。これに対して、第2電界効果トランジスタのチャネル幅の減少によって零入力電流は上昇可能である。第2電界効果トランジスタは、MOSFET(英語、metal−oxide−semiconductor field−effect−transistor)としてまたはFinFET(fin field−effect−transistor)として形成されていることが好ましい。代替態様として、第2電界効果トランジスタは、JFET(英語、junction field−effect−transistor)として形成されていてもよい。第2電界効果トランジスタは、nチャネル電界効果トランジスタまたはpチャネル電界効果トランジスタであってもよい。
これに関して、第2電界効果トランジスタは複数の第2ゲートフィンガを有し、この場合、零入力電流を設定するために、少なくとも1つの第2ゲートフィンガが選択的に接続可能または遮断可能であるとき、それは有利である。第2電界効果トランジスタの第2チャネル幅は第2電界効果トランジスタのゲート電極の幅に依存する。したがって、複数の第2ゲートフィンガを有する第2ゲート電極を備えた第2電界効果トランジスタの場合、少なくとも1つの第2ゲートフィンガは接続可能または遮断可能に設計され、これにより、第2ゲートフィンガの接続または遮断によって第2ゲート電極の有効幅が設定可能である。接続可能または遮断可能な第2ゲートフィンガは、スイッチング素子、例えば電界効果トランジスタと結合されていることが好ましい。第2トランジスタから誘導された基準電流が電流ミラーの入力電流であり、および零入力電流が電流ミラーの出力電流であるとき、第2電界効果トランジスタのゲートフィンガの接続により零入力電流は低下可能である。これに対して、第2電界効果トランジスタのゲートフィンガの遮断により零入力電流は上昇可能である。
本発明の他の有利な構成は、駆動装置増幅回路および/または検出器増幅回路が並列接続された複数の第2トランジスタを有し、この場合、第2トランジスタの少なくとも1つは、零入力電流を設定するために選択的に接続可能または遮断可能であるように設計されている。第2トランジスタから誘導された基準電流が電流ミラーの入力電流であり、および零入力電流が電流ミラーの出力電流であるとき、第2トランジスタの並列接続により零入力電流が低減可能であり、および第2トランジスタの遮断により上昇可能である。第1トランジスタはバイポーラトランジスタまたは電界効果トランジスタであってもよい。
本発明によるヨーレートセンサは、ヨーレートセンサに電気エネルギーを供給するためのエネルギー蓄積器、特にバッテリを含む携帯型端末装置内において使用されることが好ましい。
本発明による方法において、電力節約モードと正常モードの間の切換が制御命令を介して実行可能である。制御命令は、携帯型端末装置からヨーレートセンサに伝送されてもよい。制御命令は、携帯型端末装置のユーザの入力を介して送出されてもよい。代替態様として、制御ユニットが、携帯型端末装置の状態変数に依存して、例えばエネルギー蓄積器の充電状態または端末装置の機能ユニットの操作状態に依存して、特に自動的に制御命令を発生することが可能である。
本発明による方法において、ヨーレートセンサに関して説明された有利な特徴が同様に使用可能である。
本発明の他の詳細および利点が以下に図面に示された実施例により詳細に説明されるものとする。
図1は、本発明の一実施例によるヨーレートセンサの主電気消費部のブロック図で示す。 図2は、本発明の一実施例によるヨーレートセンサの基準電流発生器および駆動装置増幅装置および/または検出器増幅装置の略図を示す。
図1は、本発明の一実施例によるジャイロスコープとして形成されたヨーレートセンサ1の主電気消費部をブロック図で示す。ヨーレートセンサ1はMEMSヨーレートセンサである。ヨーレートセンサ1はブロック図に示されていない揺動可能質量を有し、揺動可能質量は、ヨーレートセンサの駆動装置により揺動させられかつ揺動位置に保持される。ヨーレートを決定するために、揺動可能質量の偏差がヨーレートセンサの検出器により測定される。検出器は、ヨーレートセンサが受けたヨーレートの関数である出力信号を提供する。ヨーレートセンサ1の本質的な電気消費部は、駆動装置内に設けられた駆動装置増幅回路3並びに検出器内に設けられた検出器増幅回路4である。駆動装置増幅回路3および検出器増幅回路4は、例えば差増幅器として形成されていてもよい。このような差増幅器は、操作のために、ほぼ一定のエネルギー消費を伴うほぼ一定の零入力電流101、101、103(英語、bias current)を必要とする。
この零入力電流101、102、103は、以下にさらに説明されるように、1つ以上の基準電流発生器2を介して、並びに駆動装置増幅回路3および/または検出器増幅回路4内に配置された電流ミラーを介して提供可能である。一般的に、より高い零入力電流101、102、103により、駆動装置増幅回路3および/または検出器増幅回路4の改善された性能、特により高い帯域幅および/またはより低いノイズが達成可能である。しかしながら、この性能は、一定の本質的なエネルギー消費により取得される。
実施例によるヨーレートセンサ1の場合、エネルギー消費を低減し、それにも関わらず、携帯型端末装置内において十分な性能でヨーレートセンサ1の操作を可能にするために、特定の手段が用いられている。このような携帯型端末装置は、ヨーレートセンサ1のエネルギー供給のために、しばしば、バッテリとして形成されたエネルギー蓄積器のみを有するにすぎない。本発明により、選択的に、駆動装置増幅回路3および/または検出器増幅回路4を電力節約モードで操作するための低い零入力電流101、102、103、または駆動装置増幅回路3および/または検出器増幅回路4を正常モードで操作するためのより高い零入力電流101、102、103が設定可能である。より低い零入力電流101、102、103に基づき、電力節約モードにおける駆動装置増幅回路3および/または検出器増幅回路4はより低い帯域幅およびより高いノイズを有する。しかしながら、電力節約モードから正常モードへの移行は、駆動装置増幅回路3および/または検出器増幅回路4の安定性に小さい影響を与えるにすぎない。正常モードに切り換えたとき、駆動装置増幅回路3および/または検出器増幅回路4はその正常操作状態に急速に移行可能である。したがって、ヨーレートセンサ1の長い始動時間を待ち続ける必要はない。
図2は、本発明の一実施例によるヨーレートセンサ1の一部分の略図を示す。基準電流発生器2と、および駆動装置増幅回路および/または検出器増幅回路として設計されていてもよい増幅回路3、4とが示されている。基準電流発生器を介して基準電流100が発生され、基準電流は増幅回路3、4に提供される。
実施例による基準電流発生器2は電流ミラーを有する。電流ミラーは、電源20と、および電界効果トランジスタとして形成されている、電源と結合された複数のトランジスタ21、22、23とを含む。図2の図において、第1電界効果トランジスタは符号22および23により、および第2電界効果トランジスタは符号21により示されている。第1電界効果トランジスタ22、23は複数のゲートフィンガを有し、この場合、符号22は第1ゲートフィンガを、および符号23は第2ゲートフィンガを示す。それとは異なり、第1電界効果トランジスタ22、23は他のゲートフィンガを有してもよい。さらに、代替態様として、第1電界効果トランジスタ22、23の代わりに複数の並列接続トランジスタが設けられていてもよい。
第1電界効果トランジスタ22、23は、零入力電流101、102、103の設定のために可変の第1チャネル幅を有する。チャネル幅のこの設定可能性は、実施例により、第1電界効果トランジスタの第1ゲートフィンガ22が選択的に接続可能または遮断可能であることによって可能となる。このために、電源20と第1ゲートフィンガ22のゲート電極の間の結合経路内にスイッチ24が設けられている。スイッチ24は、携帯型端末装置の制御ユニットを介して制御可能である。スイッチ24は、トランジスタとして、例えば電界効果トランジスタとして形成されていてもよい。第1ゲートフィンガ22の接続または遮断により、第1ゲート電極の有効幅が設定される。閉鎖されたスイッチ24において、第1ゲート電極22は接続されている。第1電界効果トランジスタ22、23のチャネル幅は上昇されている。したがって、電界効果トランジスタは上昇された基準電流100を提供可能である。増幅回路3、4の電流ミラーを介して、この上昇された基準電流100は増幅回路の零入力電流101、102、13に反映される。この状態はヨーレートセンサ1の正常モードを示す。スイッチ24が開放された場合、ゲートフィンガ22は遮断されている。第1電界効果トランジスタ22、23のチャネル幅は低減されている。基準電流100は減少されている。増幅回路3、4の電流ミラーを介して、減少された基準電流100が零入力電流101、102、103に反映される。この状態はヨーレートセンサ1の電力節約モードを示す。
零入力電流101、102、103は、実施例によるヨーレートセンサ1において、その代わりにまたはそれに追加して、増幅回路3、4内に配置されている第2スイッチ36により調節されてもよい。増幅回路3、4は、基準電流100がその中に供給される電流ミラーを有する。電流ミラーは、個々の零入力電流101、102、103を提供する複数のミラートランジスタを有する。さらに、複数のゲートフィンガを有する第2電界効果トランジスタ31、32が設けられている。図2の図に、第1ゲートフィンガ31および第2ゲートフィンガ32が示されている。それとは異なり、第2電界効果トランジスタは他のゲートフィンガを有してもよい。さらに、代替態様として、電界効果トランジスタ31、32の代わりに、複数のトランジスタ、特に電界効果トランジスタの並列接続が設けられていてもよい。第1ゲートフィンガ32はスイッチ36を介して選択的に遮断可能または接続可能である。第2ゲートフィンガ32の接続または遮断により、第2電界効果トランジスタの第2ゲート電極の有効幅が設定される。閉鎖されたスイッチ36の場合、第1ゲートフィンガ32は接続されている。第2電界効果トランジスタ31、32のチャネル幅は上昇されている。その結果、反映された零入力電流101、102、103は低減する。この状態はヨーレートセンサ1の電力節約モードを示す。第2スイッチ36が開放された場合、第2ゲートフィンガ32は遮断されている。第2電界効果トランジスタ31、32のチャネル幅は低減されている。反映された零入力電流101、102、103は上昇する。この状態はヨーレートセンサ1の正常モードを示す。
ここに記載のヨーレートセンサ1は、少なくとも1つの駆動装置増幅回路3を含む、揺動可能質量の揺動を励起するための駆動装置を有する。さらに、このヨーレートセンサ1は、少なくとも1つの検出器増幅回路4を含む、揺動可能質量の偏差を検出するための検出器を有する。携帯型端末装置内のヨーレートセンサ1の操作を低減された始動時間で可能にするために、選択的に、電力節約モードにおいて駆動装置増幅回路3および/または検出器増幅回路4を操作するための低い零入力電流101、102、103、または正常モードにおいて駆動装置増幅回路3および/または検出器増幅回路4を操作するためのより高い零入力電流101、102、103が設定可能である。
本明細書において、他の記載がない限り、特定されたまたは特定されない物品の使用は、1つの実体と共に、複数の実体もまた含むものとする。本明細書および特許請求の範囲内の用語「第1」および「第2」は、類似の要素の相互の区別を可能にするものである。さらに、以下において、同一要素は同一符号で示される。
1 ヨーレートセンサ
2 基準電流発生器
3 駆動装置増幅回路
4 検出器増幅回路
20 電源
21 第2電界効果トランジスタ
22 第1電界効果トランジスタ、第1ゲートフィンガ
23 第1電界効果トランジスタ、第2ゲートフィンガ
24 スイッチ
31 第2電界効果トランジスタ、第1ゲートフィンガ
32 第2電界効果トランジスタ、第2ゲートフィンガ
33、34、35 トランジスタ
36 第2スイッチ
100 基準電流
101、102、103 零入力電流

Claims (10)

  1. 少なくとも1つの駆動装置増幅回路(3)を有する、揺動可能質量の揺動を励起するための駆動装置を含み、および少なくとも1つの検出器増幅回路(4)を有する、揺動可能質量の偏差を検出するための検出器を含むヨーレートセンサ(1)において、
    選択的に、電力節約モードにおいて駆動装置増幅回路(3)および/または検出器増幅回路(4)を操作するための低い零入力電流(101、102、103)、または正常モードにおいて駆動装置増幅回路(3)および/または検出器増幅回路(4)を操作するためのより高い零入力電流(101、102、103)が設定可能であること、
    を特徴とするヨーレートセンサ(1)。
  2. ヨーレートセンサ(1)は、第1電界効果トランジスタ(22、23)、特にMOSFETを有する、駆動装置増幅回路(3)および/または検出器増幅回路(4)用基準電流(100)を発生するための基準電流発生器(2)を含み、この場合、第1電界効果トランジスタ(22、23)は、零入力電流(101、102、103)を設定するために可変の第1チャネル幅を有することを特徴とする請求項1に記載のヨーレートセンサ。
  3. 第1電界効果トランジスタ(22、23)は複数の第1ゲートフィンガを有し、この場合、零入力電流(101、102、103)を設定するために、少なくとも1つの第1ゲートフィンガ(22)が選択的に接続可能または遮断可能であることを特徴とする請求項2に記載のヨーレートセンサ。
  4. 基準電流発生器(2)は並列接続された複数の第1トランジスタを有し、この場合、第1トランジスタの少なくとも1つは、零入力電流(101、102、103)を設定するために選択的に接続可能または遮断可能であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のヨーレートセンサ。
  5. 駆動装置増幅回路(3)および/または検出器増幅回路(4)は、第2電界効果トランジスタ(31、32)、特にMOSFETを有し、この場合、第2電界効果トランジスタ(31、32)は、零入力電流(101、102、103)を設定するために可変の第2チャネル幅を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のヨーレートセンサ。
  6. 第2電界効果トランジスタ(31、32)は複数の第2ゲートフィンガを有し、この場合、零入力電流(101、102、103)を設定するために、少なくとも1つの第2ゲートフィンガ(32)が選択的に接続可能または遮断可能であることを特徴とする請求項5に記載のヨーレートセンサ。
  7. 駆動装置増幅回路(3)および/または検出器増幅回路(4)は並列接続された複数の第2トランジスタを有し、この場合、第2トランジスタの少なくとも1つは、零入力電流(101、102、103)を設定するために選択的に接続可能または遮断可能であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載のヨーレートセンサ。
  8. 請求項1〜7のいずれか一項に記載のヨーレートセンサを含み、およびヨーレートセンサに電気エネルギーを供給するためのエネルギー蓄積器を含む携帯型端末装置。
  9. 少なくとも1つの駆動装置増幅回路(3)を有する、揺動可能質量の揺動を励起するための駆動装置を含み、および少なくとも1つの検出器増幅回路(4)を有する、揺動可能質量の偏差を検出するための検出器を含むヨーレートセンサ(1)の操作方法において、
    選択的に、電力節約モードにおいて駆動装置増幅回路(3)および/または検出器増幅回路(4)を操作するための低い零入力電流(101、102、103)、または正常モードにおいて駆動装置増幅回路(3)および/または検出器増幅回路(4)を操作するためのより高い零入力電流(101、102、103)が設定されること、
    を特徴とするヨーレートセンサ(1)の操作方法。
  10. 電力節約モードと正常モードの間の切換が制御命令を介して制御されることを特徴とする請求項9に記載のの方法。
JP2019554742A 2017-04-07 2018-03-01 ヨーレートセンサおよびヨーレートセンサの操作方法 Active JP6823733B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102017205984.2A DE102017205984A1 (de) 2017-04-07 2017-04-07 Drehratensensor und Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors
DE102017205984.2 2017-04-07
PCT/EP2018/055121 WO2018184771A1 (de) 2017-04-07 2018-03-01 Drehratensensor und verfahren zum betrieb eines drehratensensors

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020515866A true JP2020515866A (ja) 2020-05-28
JP6823733B2 JP6823733B2 (ja) 2021-02-03

Family

ID=61581278

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019554742A Active JP6823733B2 (ja) 2017-04-07 2018-03-01 ヨーレートセンサおよびヨーレートセンサの操作方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10809063B2 (ja)
JP (1) JP6823733B2 (ja)
KR (1) KR102400405B1 (ja)
CN (1) CN110546458B (ja)
DE (1) DE102017205984A1 (ja)
WO (1) WO2018184771A1 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020091453A1 (ko) 2018-10-31 2020-05-07 주식회사 엘지화학 리튬 이차전지
DE102018220936A1 (de) 2018-12-04 2020-06-04 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Überprüfung eines Sensorwertes eines MEMS-Sensors
US11568121B2 (en) * 2020-06-19 2023-01-31 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. FinFET semiconductor device grouping
DE102020210270A1 (de) 2020-08-13 2022-02-17 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Ausleseschaltung für eine MEMS-Sensoreinheit

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002231811A (ja) * 2001-01-29 2002-08-16 Sanyo Electric Co Ltd 演算増幅器の設計資産の再利用方法、レイアウト作成装置およびレイアウト作成プログラム
US20140260713A1 (en) * 2013-03-14 2014-09-18 Invensense, Inc. Duty-cycled gyroscope
JP2016189515A (ja) * 2015-03-30 2016-11-04 セイコーエプソン株式会社 回路装置、電子機器及び移動体

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05240874A (ja) * 1991-12-06 1993-09-21 Canon Inc 角速度センサ
US7551017B2 (en) * 2005-12-14 2009-06-23 Freescale Semiconductor, Inc. Level shifter and methods for use therewith
US7849744B2 (en) * 2006-08-02 2010-12-14 Seiko Epson Corporation Driving device, physical quantity measurement device, and electronic instrument
JP5034808B2 (ja) * 2006-10-17 2012-09-26 セイコーエプソン株式会社 駆動装置、物理量測定装置及び電子機器
JP4211840B2 (ja) * 2006-11-10 2009-01-21 セイコーエプソン株式会社 検出装置、センサ及び電子機器
US8026771B2 (en) * 2006-11-27 2011-09-27 Seiko Epson Corporation Driver device, physical quantity measuring device, and electronic instrument
JP4450029B2 (ja) * 2007-07-24 2010-04-14 セイコーエプソン株式会社 発振駆動回路、発振駆動装置、物理量測定回路、物理量測定装置および電子機器
JP4572350B2 (ja) * 2008-03-21 2010-11-04 セイコーエプソン株式会社 同期検波回路、検出回路、物理量測定装置、ジャイロセンサおよび電子機器
DE102008031609B4 (de) * 2008-07-07 2010-06-02 Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Messvorrichtung mit einem mikroelektromechanischen kapazitiven Sensor
IT1397432B1 (it) * 2009-12-11 2013-01-10 St Microelectronics Rousset Circuito generatore di una grandezza elettrica di riferimento.
US8400818B2 (en) * 2010-06-16 2013-03-19 Samsung Electronics Co., Ltd. Voltage-controlled oscillator and phase-locked loop circuit
KR101750450B1 (ko) * 2010-06-16 2017-06-26 삼성전자주식회사 전압 제어 발진기
DE102010044924B4 (de) * 2010-09-10 2021-09-16 Texas Instruments Deutschland Gmbh Elektronische Vorrichtung und Verfahren für diskrete lastadaptive Spannungsregelung
US10393552B1 (en) * 2013-01-07 2019-08-27 Maxim Integrated Products, Inc. Spot mode functionality for power saving in a sensor system
JP6197323B2 (ja) * 2013-03-22 2017-09-20 セイコーエプソン株式会社 検出装置、センサー、ジャイロセンサー、電子機器及び移動体
JP6307840B2 (ja) * 2013-11-07 2018-04-11 セイコーエプソン株式会社 検出装置、センサー、電子機器及び移動体
JP6241246B2 (ja) * 2013-12-10 2017-12-06 セイコーエプソン株式会社 検出装置、センサー、電子機器及び移動体
JP6369086B2 (ja) * 2014-03-25 2018-08-08 セイコーエプソン株式会社 物理量センサー、センサーユニット、電子機器及び移動体
EP3176669B1 (fr) * 2015-11-30 2019-01-09 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Circuit de génération d'une tension de référence
US10365104B2 (en) * 2016-05-11 2019-07-30 Murata Manufacturing Co., Ltd. Digital controller for a MEMS gyroscope
EP3455586B1 (en) * 2016-05-11 2020-08-19 Murata Manufacturing Co., Ltd. A secondary sense loop with force feedback capability
JP6571064B2 (ja) * 2016-11-21 2019-09-04 株式会社東芝 検出装置およびセンサ装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002231811A (ja) * 2001-01-29 2002-08-16 Sanyo Electric Co Ltd 演算増幅器の設計資産の再利用方法、レイアウト作成装置およびレイアウト作成プログラム
US20140260713A1 (en) * 2013-03-14 2014-09-18 Invensense, Inc. Duty-cycled gyroscope
JP2016189515A (ja) * 2015-03-30 2016-11-04 セイコーエプソン株式会社 回路装置、電子機器及び移動体

Also Published As

Publication number Publication date
US10809063B2 (en) 2020-10-20
KR20190137138A (ko) 2019-12-10
KR102400405B1 (ko) 2022-05-23
US20190383613A1 (en) 2019-12-19
JP6823733B2 (ja) 2021-02-03
DE102017205984A1 (de) 2018-10-11
CN110546458A (zh) 2019-12-06
WO2018184771A1 (de) 2018-10-11
CN110546458B (zh) 2024-04-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2020515866A (ja) ヨーレートセンサおよびヨーレートセンサの操作方法
CN107852012A (zh) 反向电流保护电路
JP4288590B2 (ja) 双方向スイッチの電流検出回路
TW200701228A (en) Voltage supply circuit and semiconductor memory
JP6074114B2 (ja) 電気系統を保護するためのインタロック回路
JP2009199501A5 (ja)
KR20100073877A (ko) 출력 제어 기능을 갖는 전력증폭기 시스템
KR20180063215A (ko) 양방향 전류 감지 회로
JP4034279B2 (ja) 電流検出回路、負荷駆動回路、及び記憶装置
KR20150020121A (ko) 높은 공통 모드 제거비를 갖는 증폭기를 사용하지 않는 h-브리지 애플리케이션에서의 정밀한 전류 감지
US20120105132A1 (en) Temperature detection device
US20060226813A1 (en) Sense amplifier for use with wake-up charging current
JP4894865B2 (ja) 双方向スイッチの電流検出回路
ATE539475T1 (de) Spiegelsteuersystem
JP2014230478A (ja) 充電制御回路及びそれを備えた電子装置
KR101500000B1 (ko) 과전류 감지 회로
US20190113563A1 (en) Semiconductor device
CN204258739U (zh) 一种音频功率放大器输出系统
JP6067172B1 (ja) 電源制御装置
KR101496818B1 (ko) 센서리스 모터의 역기전력 검출장치 및 방법
JP6255700B2 (ja) 差動増幅器および漏電遮断器
JP2005249518A (ja) 電流検出回路、負荷駆動回路、及び記憶装置
TW201509059A (zh) 電子裝置及其充電控制電路
JP2003035729A (ja) クランプセンサ
JP3991982B2 (ja) 信号出力回路

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20191004

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20200218

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20200924

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200929

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20201027

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20210104

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20210108

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6823733

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250