JP2020515504A5 - - Google Patents
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Claims (34)
- a. 約0.1μmから約100μmの粒径を有する約100gから約12,000gのSiC顆粒であって、
b. 構造的一体性を有する体積形状物を画定するSiC顆粒と;
c. 該SiC顆粒を結合し、ブール(boule)の成長サイクルにおいて該体積形状物が蒸着装置に配置されたときに、当該体積形状物の構造的一体性を維持することができるようにするバインダーと、を備え;
d. 該体積形状物は空隙を有し;
e. 該体積形状物が多孔質で見掛け密度が3.0g/cc未満である、SiCの体積形状物。 - 該SiC顆粒が、約0.1μmから約20.0μmの一次粒子D50サイズを有する、請求項1に記載の体積形状物。
- 該SiC顆粒が、約0.5μmから約10.0μmの一次粒子D50サイズを有する、請求項1に記載の体積形状物。
- 該空隙が、該体積形状物の上部に位置する、請求項1に記載の体積形状物。
- 該空隙は、該体積形状物の底部に位置する、請求項1に記載の体積形状物。
- 該空隙は、該体積形状物の上部および底部に位置する空隙を含む、請求項1に記載の体積形状物。
- 該空隙が、該体積形状物を通って延びる円筒形チャネルを画定する、請求項1に記載の体積形状物。
- 該体積形状物がパック(puck)である、請求項1に記載の体積形状物。
- 該SiC顆粒が、0.5:2のSi:Cのモル比を有する、請求項1に記載の体積形状物。
- 該SiC顆粒が、2:0.5のSi:Cのモル比を有する、請求項1に記載の体積形状物。
- a. 約0.1μmから約100μmの粒径を有する約100gから約12,000gのSiC顆粒を有し;
b. 該SiC顆粒は、構造的一体性を有する体積形状物を画定し、該体積形状物が、ブールの成長サイクル中に蒸着装置内に配置されたときに構造的一体性を維持することができるようにされ;
c. 該体積形状物は1つの空隙を有し;
d. 該体積形状物が多孔質で3.0g/cc未満の見掛け密度を有する、SiCの体積形状物。 - 該SiC顆粒の重量が約2000gから約9000gである、請求項1又は11に記載の体積形状物。
- 該SiC顆粒の重量が約2500gから約8000gである、請求項1又は11に記載の体積形状物。
- 該SiC顆粒が約1μmから約5μmの一次粒子D50サイズを有する、請求項11に記載の体積形状物。
- 該SiC顆粒が約0.5μmから約3μmの一次粒子D50サイズを有する、請求項11に記載の体積形状物。
- 該空隙は、該体積形状物の上部にチャネルを画定する、請求項1又は11に記載の体積形状物。
- 該チャネルが角度の付いた環状チャネルである、請求項16に記載の体積形状物。
- 平坦な上部、平坦な底部、および傾斜した側面を有する、請求項1又は11に記載の体積形状物。
- 該見掛け密度が2.5g/cc未満である、請求項1又は11に記載の体積形状物。
- 該見掛け密度は約1.5g/ccから2.8g/ccである請求項1又は11に記載の体積形状物。
- 該SiC顆粒がポリマー由来SiCであり、少なくとも99.9999%の純度を有する、請求項1又は11に記載の体積形状物。
- a. 約0.1μmから約100μmの粒径を有する約100gから約12,000gのSiC顆粒であって、
b. 構造的一体性を有する体積形状物を画定するSiC顆粒と;
c. 該SiC顆粒を結合し、該体積形状物がブールの成長サイクル中における蒸着装置に配置されたときに構造的一体性を維持することができるようにするバインダーと;
を有し;
d. 該体積形状物が空隙を有する、SiCの体積形状物。 - a. 約0.1μm〜約100μmの粒径を有するSiC顆粒であって、
b. 構造的一体性を有する体積形状物を画定するSiC顆粒と;
c. 該SiC顆粒を結合し、該体積形状物がブールの成長サイクル中において蒸着装置に配置されたときに構造的一体性を維持することができるようにするバインダーと;
を備え、
d. 該体積形状物は空隙を有し;
e. 該体積形状物は多孔質を有し、3.1g/cc未満の見掛け密度を有し、
f. 該体積形状物は、ブールの成長サイクル中に所定のフラックスを提供することができる、SiCの体積形状物。 - a. 約0.1μm〜約100μmの粒径を有するSiC顆粒であって、
b. 構造的一体性を有する体積形状物を画定するSiC顆粒を有し;
c. 該体積形状物は空隙を有し;
d. 該体積形状物は多孔質で3.1g/cc未満の見掛け密度を有し;
e. 該体積形状物は、成長サイクルにおいて所定のフラックスを提供することができる、SiCの体積形状物。 - a. 約0.1μm〜約100μmの粒径を有するSiC顆粒であって、
b. 構造的一体性を有する体積形状物を画定するSiC顆粒と;
c. 該SiC顆粒を結合し、ブールの成長サイクルにおいて該体積形状物が蒸着装置に配置されたときに構造的一体性を維持することができるようにするバインダーと;
を備え、
d. 該体積形状物は、所定のフラックスを提供することができる、SiCの体積形状物。 - 該所定のフラックスが、均一で一貫したフラックスである、請求項23乃至25のいずれか一項に記載の体積形状物。
- 該所定のフラックスが、ブールの成長サイクルの最後の20%の間にブールの成長面の外側領域付近で増加したフラックス密度を有する、請求項23乃至25のいずれか一項に記載の体積形状物。
- 該所定のフラックスが、ブールの成長サイクルの最後の30%の間にブールの成長面の外側領域付近で増加したフラックス密度を有する、請求項23乃至25のいずれか一項に記載の体積形状物。
- 該所定のフラックスが、ブールの成長サイクルの最後の40%の間にブールの成長面の外側領域付近で増加したフラックス密度を有する、請求項23乃至25のいずれか一項に記載の体積形状物。
- a. 約0.1μmから約100μmの粒径を有する約100gから約12,000gのSiC顆粒であって、
b. 体積形状物を画定するSiC顆粒を有し、
c. 該体積形状物は多孔質で、2.9g/cc未満の見掛け密度を有し、
d. 該体積形状物は、ブールの成長サイクルにおいて蒸着装置内に配置されたときに、成長サイクル中に一貫した速度のフラックス形成を提供することができる、SiCの体積形状物。 - a. 約0.1μmから約100μmの粒径を有する約100gから約12,000gのSiC顆粒であって、
b. 体積形状物を画定するSiC顆粒を有し;
c. 該体積形状物は空隙を有し;
d. 該体積形状物は、蒸着装置内に配置されたブールの成長サイクルにおいて、成長サイクル中に一貫した速度のフラックス形成を提供することができる、SiCの体積形状物。 - a. 約0.1μmから約100μmの粒径を有する約100gから約12,000gのSiC顆粒であって、
b. 体積形状物を画定するSiC顆粒と;
c. 該SiC顆粒を結合するバインダーと、を備え;
d. 該体積形状物は、ブールの成長サイクルにおいて蒸着装置内に配置されたときに、成長サイクル中に所定の流量のフラックス形成を提供することができる、SiCの体積形状物。 - a. 約0.1μmから約100μmの粒径を有する約100gから約12,000gのSiC顆粒であって、
b. 体積形状物を画定するSiC顆粒と;
c. 該SiC顆粒を結合するバインダーと、を備え;
d. 該体積形状物は多孔質で、容積形状は2.9g/cc未満の見掛け密度を有し;
e. 該体積形状物は、ブールの成長サイクル中に蒸着装置内に配置されたときに、成長サイクル中に均一なフラックス形成を提供することができる、SiCの体積形状物。 - a. 約0.1μmから約100μmの粒径を有する約100gから約12,000gのSiC顆粒であって、
b. 体積形状物を画定するSiC顆粒を有し;
c. 該体積形状物は空隙を有し;
d. 該体積形状物は、ブールの成長サイクル中に蒸着装置内に配置されたときに、成長サイクル中に均一なフラックス形成を提供することができる、SiCの体積形状物。
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US20060004169A1 (en) | 2003-01-10 | 2006-01-05 | Sherwood Walter J Jr | Ceramic-forming polymer material |
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US20050123713A1 (en) * | 2003-12-05 | 2005-06-09 | Forrest David T. | Articles formed by chemical vapor deposition and methods for their manufacture |
US7714092B2 (en) | 2006-01-13 | 2010-05-11 | Starfire Systems, Inc. | Composition, preparation of polycarbosilanes and their uses |
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US8119057B2 (en) | 2008-02-19 | 2012-02-21 | University Of Central Florida Research Foundation, Inc. | Method for synthesizing bulk ceramics and structures from polymeric ceramic precursors |
JP2010095420A (ja) * | 2008-10-17 | 2010-04-30 | Bridgestone Corp | 炭化珪素単結晶の製造装置及び炭化珪素単結晶の製造方法 |
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CN103086731B (zh) * | 2011-10-28 | 2014-07-16 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 高强度纤维增强陶瓷基复合材料的微区原位反应制备方法 |
US20160152889A1 (en) * | 2013-03-15 | 2016-06-02 | Melior Innovations, Inc. | Low cost high value synthetic proppants and methods of hydraulically fracturing and recovering hydrocarbons |
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US20160207783A1 (en) * | 2013-05-02 | 2016-07-21 | Melior Innovations, Inc. | High purity polysilocarb derived silicon carbide materials, applications and processes |
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DE102014216433A1 (de) * | 2014-08-19 | 2016-02-25 | Schunk Kohlenstofftechnik Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers sowie Formkörper |
US9580837B2 (en) * | 2014-09-03 | 2017-02-28 | Ii-Vi Incorporated | Method for silicon carbide crystal growth by reacting elemental silicon vapor with a porous carbon solid source material |
KR20220155608A (ko) * | 2014-09-25 | 2022-11-23 | 멜리어 이노베이션즈, 인크. | 폴리실로카브 계열 탄화 규소 물질, 이의 응용 및 장치 |
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