JP2020514551A - 高い均一性および元素含量を有するアルミニウム−スカンジウム合金ならびにその物品 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、米国仮特許出願第62/470,646号(2017年3月13日出願)に対する優先権を主張する。この米国仮特許出願の全体は、本明細書中に参考として完全に援用される。
本開示は、アルミニウムおよび第2の元素を含有する合金に関する。特定の実施形態では、第2の元素がスカンジウムである(Al−Sc合金)。合金は、その50at%までの、多量のスカンジウムを含有していてよい。スパッタリングターゲットなど、Al−Sc合金から形成される物品も開示される。特に、スカンジウムは、Al−Sc物品/スパッタリングターゲットの表面全体にわたって均一に分布される。そのようなAl−Sc合金、物品、およびスパッタリングターゲットを作製し使用するためのプロセスも開示される。
本開示は、アルミニウムおよびスカンジウムから形成されるアルミニウム合金と、それから形成される、高い均一性を有する物品とに関する。一部の実施形態では、合金は、12原子百分率から50原子百分率(at%)のスカンジウムを含有する。合金は、スパッタリングターゲットの表面全体にわたってかつその厚みの端から端まで高い化学的均一性を有する、スパッタリングターゲットなどの物品を作製するのに使用することができる。
本明細書に開示される構成成分、プロセス、および装置のより完全な理解は、添付図面を参照することによって得ることができる。これらの図は、本開示を実証するのに都合の良い容易さに基づいた、単なる概略図であり、したがって、デバイスまたはその構成成分の相対的なサイズおよび寸法を示すものではなく、かつ/または例示的な実施形態の範囲を画定するものでも限定するものでもない。
Claims (19)
- スカンジウム(Sc)およびアルミニウム(Al)を含む合金から形成されたスパッタリングターゲットであって、水平方向および垂直方向の両方で表面の全半径にわたって最大で±0.5wt%のスカンジウムの差により示されるように、前記スパッタリングターゲットの表面全体にわたり、前記スカンジウムが均一に分布されるスパッタリングターゲット。
- 前記合金が、12at%から50at%までのスカンジウム(Sc)と、残分としてのアルミニウム(Al)とを含有する、請求項1に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記スパッタリングターゲットが、400ppm未満の酸素を含有する、請求項2に記載のスパッタリングターゲット。
- 10at%よりも多くから50at%までのスカンジウム(Sc)と、残分としてのアルミニウム(Al)とを含む合金から形成されたスパッタリングターゲットであって、水平方向および垂直方向の両方で表面の全半径にわたって最大で±0.5wt%のスカンジウムの差により示されるように、前記スパッタリングターゲットの表面全体にわたり、前記スカンジウムが均一に分布されるスパッタリングターゲット。
- 前記合金が、12at%から17at%のスカンジウムを含有する、請求項4に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記合金の断面積が、金属Al母材中に40%から68%の金属間Al−Sc粒を含有する、請求項5に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記合金が、17at%から25at%未満のスカンジウムと、残分としてのアルミニウム(Al)とを含有する、請求項4に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記合金の断面積が、金属Al母材中に68%から100%未満の金属間Al−Sc粒を含有する、請求項7に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記金属間Al−Sc粒が、100ミクロンよりも小さい平均粒径を有する、請求項6から8のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記金属間Al−Sc粒が、前記スパッタリングターゲットの厚みの端から端まで均一に分布される、請求項6から9のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記スパッタリングターゲットが、400ppm未満の酸素を含有する、請求項4から10のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記合金が、25at%から33.3at%未満のスカンジウムと、残分としてのアルミニウム(Al)とを含有し、前記合金が、1つまたは2つの金属間Al−Sc相の形態である、請求項4に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記合金が、33.3at%から50at%のスカンジウムと、残分としてのアルミニウム(Al)とを含有し、前記合金が、1つまたは2つの金属間Al−Sc相の形態である、請求項4に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記1つまたは2つの金属間Al−Sc相が、300ミクロンよりも小さい、または100ミクロンよりも小さい平均粒径を有する、請求項12から13のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記1つまたは2つの金属間Al−Sc相が、前記スパッタリングターゲットの表面全体にわたって、かつ前記スパッタリングターゲットの厚みの端から端まで均一に分布される、請求項12から14のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記スパッタリングターゲットが、400ppm未満の酸素を含有する、請求項12から15のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット。
- 10at%よりも多くのスカンジウム(Sc)と、残分としてのアルミニウム(Al)とを含む合金から形成されたスパッタリングターゲットであって、水平方向および垂直方向の両方で表面の全半径にわたって最大で±0.5wt%のスカンジウムの差により示されるように、前記スパッタリングターゲットの表面全体にわたり、前記スカンジウムが均一に分布され、前記スパッタリングターゲットが300ppm未満の酸素を含有する、スパッタリングターゲット。
- 前記合金が、12at%から50at%のスカンジウムを含有する、請求項17に記載のスパッタリングターゲット。
- 請求項1に記載のスパッタリングターゲットにイオンを衝突させて、材料を基板上に堆積することによって形成された薄膜。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN113584333A (zh) * | 2021-07-14 | 2021-11-02 | 先导薄膜材料有限公司 | 一种提高铝钪合金靶材均匀性的方法 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7203065B2 (ja) * | 2019-12-27 | 2023-01-12 | 株式会社フルヤ金属 | スパッタリングターゲット |
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US20230203622A1 (en) * | 2020-06-05 | 2023-06-29 | Materion Corporation | Aluminum-Scandium Composite, Aluminum-Scandium Composite Sputtering Target And Methods Of Making |
DE102020208782A1 (de) | 2020-07-14 | 2022-01-20 | Taniobis Gmbh | Sauerstoffarme AlSc-Legierungspulver und Verfahren zu deren Herstellung |
US20220259703A1 (en) * | 2021-02-18 | 2022-08-18 | Sandy Janice Peters-Phillips | Fabrication method and the monolithic binary rare-earth-aluminum, REE-Aloy, matrices thereof |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002212717A (ja) * | 2000-12-29 | 2002-07-31 | Solar Applied Material Technology Corp | 金属スパッタリング・ターゲット材料を作成する方法 |
JP2010204291A (ja) * | 2009-03-02 | 2010-09-16 | Kobe Steel Ltd | Al合金反射膜、及び、自動車用灯具、照明具、装飾部品、ならびに、Al合金スパッタリングターゲット |
JP2012012673A (ja) * | 2010-07-01 | 2012-01-19 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | スカンジウムアルミニウム窒化物膜の製造方法 |
JP2015096647A (ja) * | 2013-10-08 | 2015-05-21 | 株式会社フルヤ金属 | アルミニウムと希土類元素との合金ターゲット及びその製造方法 |
CN104805406A (zh) * | 2015-04-17 | 2015-07-29 | 无锡舒玛天科新能源技术有限公司 | 铝钪旋转靶材及其制备方法 |
JP2015165659A (ja) * | 2014-02-28 | 2015-09-17 | アバゴ・テクノロジーズ・ジェネラル・アイピー(シンガポール)プライベート・リミテッド | アルミニウムスカンジウム窒化物および温度補償要素を含む音響共振器 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0855451A4 (en) * | 1995-10-12 | 1999-10-06 | Toshiba Kk | WIRING FILM, ION BOMBING SPRAYING TARGET FOR FORMING THIS FILM AND ELECTRONIC COMPONENT COMPRISING THIS FILM |
US8002912B2 (en) * | 2008-04-18 | 2011-08-23 | United Technologies Corporation | High strength L12 aluminum alloys |
US20100143177A1 (en) * | 2008-12-09 | 2010-06-10 | United Technologies Corporation | Method for forming high strength aluminum alloys containing L12 intermetallic dispersoids |
US9611522B2 (en) * | 2009-05-06 | 2017-04-04 | United Technologies Corporation | Spray deposition of L12 aluminum alloys |
US20140174908A1 (en) * | 2011-03-29 | 2014-06-26 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Scandium-aluminum alloy sputtering targets |
CN104883149B (zh) * | 2014-02-28 | 2020-06-05 | 安华高科技股份有限公司 | 钪铝合金溅镀目标 |
CN105603237A (zh) * | 2016-02-04 | 2016-05-25 | 东南大学 | 一种含钪的铸造导电铝合金及其制备工艺 |
-
2018
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-
2019
- 2019-09-13 IL IL26933319A patent/IL269333A/en unknown
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002212717A (ja) * | 2000-12-29 | 2002-07-31 | Solar Applied Material Technology Corp | 金属スパッタリング・ターゲット材料を作成する方法 |
JP2010204291A (ja) * | 2009-03-02 | 2010-09-16 | Kobe Steel Ltd | Al合金反射膜、及び、自動車用灯具、照明具、装飾部品、ならびに、Al合金スパッタリングターゲット |
JP2012012673A (ja) * | 2010-07-01 | 2012-01-19 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | スカンジウムアルミニウム窒化物膜の製造方法 |
JP2015096647A (ja) * | 2013-10-08 | 2015-05-21 | 株式会社フルヤ金属 | アルミニウムと希土類元素との合金ターゲット及びその製造方法 |
JP2015165659A (ja) * | 2014-02-28 | 2015-09-17 | アバゴ・テクノロジーズ・ジェネラル・アイピー(シンガポール)プライベート・リミテッド | アルミニウムスカンジウム窒化物および温度補償要素を含む音響共振器 |
CN104805406A (zh) * | 2015-04-17 | 2015-07-29 | 无锡舒玛天科新能源技术有限公司 | 铝钪旋转靶材及其制备方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113584333A (zh) * | 2021-07-14 | 2021-11-02 | 先导薄膜材料有限公司 | 一种提高铝钪合金靶材均匀性的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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KR102614644B1 (ko) | 2023-12-18 |
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EP3596246A1 (en) | 2020-01-22 |
KR20190125447A (ko) | 2019-11-06 |
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CN110621805A (zh) | 2019-12-27 |
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