JP2020510320A - 電子デバイス製造装置、システム、及び方法における負荷ポート動作 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図5
Description
本出願は、すべての目的でその全体が参照により本願に援用される、2017年3月14日出願の「LOAD PORT OPERATION IN ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING APPARATUS, SYSTEMS, AND METHODS」と題された米国特許出願第15/458,908号(代理人整理番号24698/USA)に基づく優先権を主張する。
Claims (15)
- 電子デバイス製造システムのファクトリインターフェースの負荷ポートであって、
パージ装置;
ドッキングトレイ;
前記ドッキングトレイに隣接して位置するバックプレーン;
キャリアドアオープナーであって、前記キャリアドアオープナーが閉じられたときに前記バックプレーンの開口部を密閉するように構成された、キャリアドアオープナー;及び
前記パージ装置、前記ドッキングトレイ、及び前記キャリアドアオープナーを動作させるように結合されたコントローラ
を備えており、前記コントローラが、
前記ドッキングトレイ上に置かれた基板キャリアをパージし、
前記ドッキングトレイに前記基板キャリアをドッキングし、
ある期間、前記基板キャリアドアと前記キャリアドアオープナーの周囲及びそれらの間の領域のパージを作動させ、
前記期間の満了に応じて、前記領域の前記パージを停止し、かつ
前記領域の前記パージの停止に応じて、前記基板キャリアを前記バックプレーンにクランプするように構成されている、
負荷ポート。 - 前記コントローラがさらに、
前記基板キャリアが前記バックプレーンにクランプされたことに応じて、前記キャリアドアオープナーを前記基板キャリアドアに取り付け;
前記キャリアドアオープナーを前記基板キャリアドアに取り付けた後に、前記基板キャリアドアのラッチを解除し;かつ
前記キャリアドアオープナーで前記基板キャリアドアを開く
ように構成されている、請求項1に記載の負荷ポート。 - 前記キャリアドアオープナー上に位置した1つ以上の吸引パッド装置に対する減圧を作動させることによって、前記キャリアドアオープナーを前記基板キャリアドアに取り付けるように前記コントローラが構成されている、請求項2に記載の負荷ポート。
- 前記パージ装置が、前記ドッキングトレイを支持する負荷ポートハウジングに囲まれており、該パージ装置が、1つ以上のバルブ、ポンプ、ガス流ライン、流量コントローラ、又は流量計を備えており;
前記ドッキングトレイが、前記パージ装置に結合された第1のパージ入口と第1のパージ出口とを有しており;かつ
前記キャリアドアオープナーが、前記パージ装置に結合された第2のパージ入口と第2のパージ出口とを有している、
請求項1に記載の負荷ポート。 - 基板プロセスツール;
ファクトリインターフェース;及び
コントローラ
を備えた電子デバイス製造システムにおいて、
前記ファクトリインターフェースが、
前面開口部を有する前面と、前記基板プロセスツールに結合した後面とを有しているハウジングと、
基板キャリアとインターフェースするように構成された負荷ポートであって、
前記前面開口部で前記前面に結合し、かつ、バックプレーン開口部を有しているバックプレーン、
ドッキングトレイ、及び
キャリアドアオープナーであって、前記キャリアドアオープナーが閉じられたときに前記バックプレーン開口部を密閉し、かつ、前記基板キャリアの基板キャリアドアを開く、キャリアドアオープナー
を含む、負荷ポートと
を備えており、
前記コントローラが、
前記ドッキングトレイ上に置かれた前記基板キャリアをパージし、
前記ドッキングトレイに前記基板キャリアをドッキングし、
ある期間、前記基板キャリアドアと前記キャリアドアオープナーの周囲及びそれらの間の領域のパージを作動させ、
前記期間の満了に応じて、前記領域の前記パージを停止し、かつ
前記領域の前記パージの停止に応じて、前記基板キャリアを前記バックプレーンにクランプする
ように構成されている、
電子デバイス製造システム。 - 前記コントローラがさらに、
前記基板キャリアが前記バックプレーンにクランプされたことに応じて、前記キャリアドアオープナーを前記基板キャリアドアに取り付け;
前記キャリアドアオープナーを前記基板キャリアドアに取り付けた後に、前記基板キャリアドアのラッチを解除し;かつ
前記キャリアドアオープナーで前記基板キャリアドアを開く
ように構成されている、請求項5に記載の電子デバイス製造システム。 - 前記基板キャリアドアと前記キャリアドアオープナーの周り及びそれらの間の前記領域の前記パージが、前記コントローラが不活性ガスを前記領域に流入させることを含む、請求項5に記載の電子デバイス製造システム。
- 電子デバイス製造システムにおいてファクトリインターフェース負荷ポートを動作させる方法であって、
負荷ポートドッキングトレイ上に置かれた基板キャリアをパージし;
前記負荷ポートドッキングトレイに前記基板キャリアをドッキングし;
ある期間、前記基板キャリアの基板キャリアドアと前記負荷ポートのキャリアドアオープナーの周囲及びそれらの間の領域のパージを作動させ;
前記期間の満了に応じて、前記基板キャリアドアと前記キャリアドアオープナーとの間の前記領域の前記パージを停止し;かつ
前記停止に応じて、前記基板キャリアを前記負荷ポートのバックプレーンに対してクランプする
ことを含む、方法。 - 前記クランプの後に、
前記クランプされたことに応じて、前記キャリアドアオープナーを前記基板キャリアドアに取り付け;
前記基板キャリアドアのラッチを解除し;かつ
前記キャリアドアオープナーで前記基板キャリアドアを開く
ことをさらに含む、請求項8に記載の方法。 - 前記パージの前に、前記負荷ポートドッキングトレイ上に位置する1つ以上の位置決めピン上に前記基板キャリアを配置することをさらに含む、請求項8に記載の方法。
- 前記パージすることが、不活性ガスを前記基板キャリア内に流すことを含む、請求項8に記載の方法。
- 前記基板キャリアドアと前記キャリアドアオープナーとの間の前記領域の前記パージを作動させることが、前記キャリアドアオープナーの入口及び出口を介して不活性ガスを前記領域に流すことを含む、請求項8に記載の方法。
- 前記期間が20から120秒の範囲である、請求項8に記載の方法。
- 前記クランプすることが、前記負荷ポートの2つ以上のサイドクランプを前記基板キャリアと係合させて、前記基板キャリアを前記負荷ポートの前記バックプレーンに押し付けることを含む、請求項8に記載の方法。
- 前記取り付けることが、前記キャリアドアオープナーを前記基板キャリアドアに取り付けるために、1つ以上の吸引パッド装置に対する減圧を作動させることを含む、請求項8に記載の方法。
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