KR102334262B1 - 전자 디바이스 제조 장치, 시스템들, 및 방법들에서의 로드 포트 동작 - Google Patents

전자 디바이스 제조 장치, 시스템들, 및 방법들에서의 로드 포트 동작 Download PDF

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Abstract

전자 디바이스 제조 시스템은 제어되는 환경을 갖는 팩토리 인터페이스를 포함할 수 있다. 전자 디바이스 제조 시스템은 또한, 팩토리 인터페이스에 커플링된 로드 포트를 포함할 수 있다. 로드 포트는 그 로드 포트 상에 기판 캐리어를 수용하도록 구성될 수 있고, 퍼지 장치 및 제어기를 포함할 수 있다. 제어기는, 로드 포트와 기판 캐리어 도어 사이 및 주위에 위치된 임의의 공기가 적어도 부분적으로 또는 전체적으로 퍼징되어, 로드 포트에 의한 기판 캐리어 도어의 개방 시에, 제어되는 환경의 오염이 감소 또는 방지되도록, 로드 포트를 동작시키도록 구성될 수 있다. 팩토리 인터페이스 로드 포트를 동작시키는 방법들 뿐만 아니라 다른 양상들이 또한 제공된다.

Description

전자 디바이스 제조 장치, 시스템들, 및 방법들에서의 로드 포트 동작
[001] 본 출원은, 발명의 명칭이 "LOAD PORT OPERATION IN ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING APPARATUS, SYSTEMS, AND METHODS"인 2017년 3월 14일자로 출원된 미국 정식 특허 출원 번호 제15/458,908호(대리인 도켓 번호 제24698/USA호)로부터 우선권을 주장하며, 이로써, 그 미국 정식 특허 출원은 모든 목적들에 대해 그 전체가 인용에 의해 본원에 포함된다.
[002] 본 개시내용은 전자 디바이스 제조에 관한 것으로, 더 구체적으로, 팩토리 인터페이스 로드 포트(factory interface load port) 동작에 관한 것이다.
[003] 반도체 전자 디바이스 제조에서의 기판들의 프로세싱은 일반적으로 다수의 프로세스 툴들에서 수행되며, 여기서, 기판들은 기판 캐리어들에서 프로세스 툴들 사이를 이동한다. 기판 캐리어들은 1개 내지 예컨대 25개의 기판들을 운반하는 밀봉가능 컨테이너들일 수 있고, 예컨대, FOUP(Front Opening Unified Pod)들일 수 있다. 기판 캐리어는 팩토리 인터페이스, 이를테면 예컨대, EFEM(Equipment Front End Module)에 탑재될 수 있는 로드 포트에 도킹될 수 있다. 팩토리 인터페이스는 프로세스 툴에 커플링될 수 있고, 그리고 기판 캐리어와 프로세스 툴 사이에서 기판들을 이송하도록 동작가능한 로봇 기판 핸들러(robot substrate handler)를 포함할 수 있다.
[004] 기판 캐리어, 팩토리 인터페이스, 및 프로세스 툴 내에 그리고 이들 사이에 환경-제어 분위기가 제공될 수 있다. 즉, 예컨대 공기(특히, 산소, 반응성 가스) 및 수분에 대한 노출이, 산화로 인해, 기판 특성들 및 기판 프로세싱에 악영향을 미칠 수 있기 때문에, 기판들은 비-반응성 가스 환경에서 유지될 수 있다. 비-반응성 가스는 예컨대 질소일 수 있다. 따라서, 예컨대 로드 포트를 통한 기판 캐리어로부터 팩토리 인터페이스로의 기판들의 이송 동안 발생하는, 그 환경에서의 임의의 누설은, 프로세싱되는 기판들을 오염시킬 수 있고 그리고/또는 기판들에 대해 수행되는 프로세스들에 악영향을 미칠 수 있다. 이는 이들 기판들 상의 결함이 있는 전자 디바이스들의 제조를 초래할 수 있다. 따라서, 기존의 전자 디바이스 제조 시스템들은 그러한 누설을 감소 또는 제거하는 개선된 로드 포트 동작으로부터 이익을 얻을 수 있다.
[005] 제1 양상에 따르면, 전자 디바이스 제조 시스템의 팩토리 인터페이스의 로드 포트가 제공된다. 로드 포트는, 퍼지(purge) 장치; 도킹 트레이(docking tray); 도킹 트레이 근방에 위치된 백플레인(backplane); 캐리어 도어 오프너(carrier door opener) ― 캐리어 도어 오프너는 캐리어 도어 오프너가 폐쇄될 때 백플레인 내의 개구를 밀봉하도록 구성됨 ―; 및 퍼지 장치, 도킹 트레이, 및 캐리어 도어 오프너를 동작시키도록 커플링된 제어기를 포함한다. 제어기는, 도킹 트레이 상에 배치된 기판 캐리어를 퍼징하고; 도킹 트레이에 기판 캐리어를 도킹시키고; 일정 시간 기간 동안, 캐리어 도어 오프너와 기판 캐리어 도어 사이 및 주위의 영역의 퍼지를 활성화하고; 시간 기간의 만료에 대한 응답으로, 영역의 퍼지를 비활성화하며; 그리고 영역의 퍼지를 비활성화한 것에 대한 응답으로, 백플레인에 기판 캐리어를 클램핑하도록 구성된다.
[006] 제2 양상에 따르면, 전자 디바이스 제조 시스템이 제공된다. 전자 디바이스 제조 시스템은 기판 프로세스 툴 및 팩토리 인터페이스를 포함한다. 팩토리 인터페이스는 전방 면 및 후방 면을 갖는 하우징을 포함하며, 전방 면은 전방 면 개구를 갖고, 후방 면은 기판 프로세스 툴에 커플링된다. 전자 디바이스 제조 시스템은 또한, 기판 캐리어와 인터페이스하도록 구성된 로드 포트를 포함한다. 로드 포트는 전방 면 개구에서 전방 면에 커플링된 백플레인을 포함한다. 백플레인은 백플레인 개구를 갖는다. 로드 포트는 또한, 도킹 트레이 및 캐리어 도어 오프너를 포함한다. 캐리어 도어 오프너는, 캐리어 도어 오프너가 폐쇄될 때, 백플레인 개구를 밀봉하고, 기판 캐리어의 기판 캐리어 도어를 개방한다. 전자 디바이스 제조 시스템은 제어기를 더 포함하며, 그 제어기는, 도킹 트레이 상에 배치된 기판 캐리어를 퍼징하고; 도킹 트레이에 기판 캐리어를 도킹시키고; 일정 시간 기간 동안, 캐리어 도어 오프너와 기판 캐리어 도어 사이 및 주위의 영역의 퍼지를 활성화하고; 시간 기간의 만료에 대한 응답으로, 영역의 퍼지를 비활성화하며; 그리고 영역의 퍼지를 비활성화한 것에 대한 응답으로, 백플레인에 기판 캐리어를 클램핑하도록 구성된다.
[007] 제3 양상에 따르면, 전자 디바이스 제조 시스템에서 팩토리 인터페이스 로드 포트를 동작시키는 방법이 제공된다. 방법은, 로드 포트 도킹 트레이 상에 배치된 기판 캐리어를 퍼징하는 단계; 로드 포트 도킹 트레이에 기판 캐리어를 도킹시키는 단계; 일정 시간 기간 동안, 로드 포트의 캐리어 도어 오프너와 기판 캐리어의 기판 캐리어 도어 사이 및 주위의 영역의 퍼지를 활성화하는 단계; 시간 기간의 만료에 대한 응답으로, 캐리어 도어 오프너와 기판 캐리어 도어 사이의 영역의 퍼지를 비활성화하는 단계; 및 비활성화하는 단계에 대한 응답으로, 로드 포트의 백플레인에 대해 기판 캐리어를 클램핑하는 단계를 포함한다.
[008] 본 개시내용의 이들 및 다른 실시예들에 따른 또 다른 양상들, 특징들, 및 이점들은, 다음의 상세한 설명, 첨부 청구항들, 및 첨부 도면들로부터 자명해질 수 있다. 따라서, 본원의 도면들 및 설명들은 사실상 예시적인 것으로 간주되어야 하며, 제한적인 것으로 간주되지 않아야 한다.
[009] 아래에서 설명되는 도면들은 단지 예시적인 목적들을 위한 것일 뿐이고, 반드시 실척대로 도시된 것은 아니다. 도면들은 어떠한 방식으로도 본 개시내용의 범위를 제한하는 것으로 의도되지 않는다.
[0010] 도 1은 본 개시내용의 실시예들에 따른, 전자 디바이스 제조 시스템의 개략적인 측면도를 예시한다.
[0011] 도 1a는 본 개시내용의 실시예들에 따른, 개방 포지션에 있는 기판 캐리어 도어 및 캐리어 도어 오프너를 예시하는, 도 1의 간략화된 버전이다.
[0012] 도 2는 본 개시내용의 실시예들에 따른 로드 포트의 정면 사시도를 예시한다.
[0013] 도 3은 본 개시내용의 실시예들에 따른 로드 포트의 간략화된 배면 사시도를 예시한다.
[0014] 도 4a는 본 개시내용의 실시예들에 따른, 로드 포트에 도킹되어 있지만 로드 포트의 캐리어 도어 오프너에 대해 로드 포트에 클램핑되지 않은 기판 캐리어의 간략화된 개략적인 측면도를 예시한다.
[0015] 도 4b는 본 개시내용의 실시예들에 따른, 로드 포트에 도킹되어 있고 로드 포트의 캐리어 도어 오프너에 대해 로드 포트에 클램핑되어 있는 기판 캐리어의 간략화된 개략적인 측면도를 예시한다.
[0016] 도 5는 본 개시내용의 실시예들에 따른, 전자 디바이스 제조 시스템에서 팩토리 인터페이스 로드 포트를 동작시키는 방법을 예시한다.
[0017] 이제, 본 개시내용의 예시적인 실시예들이 상세히 참조될 것이며, 그 실시예들은 첨부 도면들에 예시된다. 가능한 모든 경우에, 동일한 참조 번호들은 동일한 또는 유사한 파트들을 지칭하기 위해 도면들 전체에 걸쳐 사용될 것이다.
[0018] 전자 디바이스 제조 시스템들은, 예컨대, 기판 특성들 및/또는 기판 프로세싱에 악영향을 미칠 수 있는 바람직하지 않은 산소, 수분, 및/또는 입자들을 감소 또는 제거하기 위해, 다양한 컴포넌트들, 이를테면 예컨대, 기판 캐리어들, 로드 포트들, 팩토리 인터페이스들, 및 프로세스 툴들 사이에 제어되는 환경들을 제공할 수 있다. 제어되는 환경은, 예컨대, 양압(positive-pressure) 비-반응성 가스 환경일 수 있으며, 여기서, 예컨대, 비-반응성 가스로서 질소가 사용될 수 있다.
[0019] 기판 캐리어로부터 팩토리 인터페이스 내로의 하나 이상의 기판들의 이송을 가능하게 하기 위해, 로드 포트 동작이 수행될 수 있다. 로드 포트 동작은 다음의 것들, 즉, 로드 포트 도킹 트레이 상에 기판 캐리어를 수용하는 것; 기판 캐리어 내로 비-반응성 가스, 이를테면 예컨대 질소를 유동시킴으로써 기판 캐리어로부터 공기(즉, 산소) 및 수분을 퍼징하는 것; 도킹 트레이에 기판 캐리어를 도킹시키는 것; 로드 포트의 백플레인에 기판 캐리어를 클램핑하여, 백플레인에 대해 기판 캐리어를 스퀴징(squeeze)하는 것; 백플레인에 위치된 로드 포트 캐리어 도어 오프너를 기판 캐리어 도어에 부착하는 것; 기판 캐리어 도어와 캐리어 도어 오프너 사이의 공간 내로 예컨대 질소를 유동시킴으로써, 그 기판 캐리어 도어와 캐리어 도어 오프너 사이의 공간을 퍼징하는 것(이러한 퍼지는 이하에서 "도어 퍼지"라고 지칭될 수 있음); 및 캐리어 도어 오프너를 이용하여 기판 캐리어 도어를 개방하여, 기판 캐리어로부터 팩토리 인터페이스 내로 그리고 이어서 프로세스 툴 내로의 하나 이상의 기판들의 이송을 가능하게 하는 것을 포함할 수 있다.
[0020] 그러나, 일부 전자 디바이스 제조 시스템들에서, 그러한 로드 포트 동작은 제어되는 팩토리 인터페이스 환경의 오염을 초래할 수 있다. 오염은, 도어 퍼지 동안 접근 가능하지 않은, 기판 캐리어 도어 주위의 공간들에 포획될 수 있는 공기(즉, 산소), 수분, 및/또는 이들에 포함된 입자들에 의해 야기될 수 있다. 이어서, 포획된 공기는 기판 캐리어 도어의 개방 시에 방출될 수 있고, 그에 따라, 팩토리 인터페이스 환경을 오염시킬 수 있다.
[0021] 일부 전자 디바이스 제조 시스템들에서, 위의 로드 포트 동작의 변형들이 또한, 위에서 설명된 바와 동일한 이유들로 인해, 팩토리 인터페이스 환경의 공기 및/또는 입자 오염을 초래할 수 있다. 예컨대, 기판 캐리어의 도킹 전에 도어 퍼지를 수행하는 것은, 기판 캐리어 도어와 캐리어 도어 오프너 사이의 압력의 증가를 야기할 수 있으며, 이는 캐리어 도어 오프너를 밀어서 개방하여, 공기(즉, 산소), 수분, 및/또는 입자들이 팩토리 인터페이스 환경을 오염시킬 수 있게 할 수 있다. 유사하게, 도킹 후에 기판 캐리어 도어에 로드 포트 캐리어 도어 오프너를 부착한 후에, 로드 포트의 백플레인에 기판 캐리어를 클램핑하기 전에 도어 퍼지를 수행하는 것이 여전히, 위에서 설명된 바와 동일한 이유들로 인해, 팩토리 인터페이스 환경의 공기 및/또는 입자 오염을 초래할 수 있다.
[0022] 이들 오염 문제들을 해소하기 위해, 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른 전자 디바이스 제조 시스템들은 개선된 팩토리 인터페이스 로드 포트들 및/또는 개선된 로드 포트 동작을 포함할 수 있다. 개선된 로드 포트들은 제어기를 포함할 수 있으며, 그 제어기는, 기판 캐리어 도어가 개방되기 전에, 퍼징되지 않는 경우 기판 캐리어 도어 주위의 공간들에 포획될 수 있는 임의의 공기 중 일부 또는 전부(그리고 그 임의의 공기에 포함된 임의의 바람직하지 않은 입자들 중 일부 또는 전부)가 퍼징될 수 있도록 하는 로드 포트 동작을 수행하도록 구성된다. 이는 제어되는 팩토리 인터페이스 환경이 로드 포트 동작 동안 용인가능한 레벨로 유지될 수 있게 할 수 있다.
[0023] 전자 디바이스 제조 시스템들에서의 개선된 팩토리 인터페이스 로드 포트들을 예시 및 설명하는 예시적인 실시예들의 추가적인 세부사항들 뿐만 아니라, 전자 디바이스 제조 시스템에서 팩토리 인터페이스 로드 포트를 동작시키는 방법들을 포함하는 다른 양상들이 도 1 내지 도 5와 관련하여 아래에서 더 상세히 설명될 것이다.
[0024] 도 1은 하나 이상의 실시예들에 따른 전자 디바이스 제조 시스템(100)의 개략적인 측면도를 예시한다. 전자 디바이스 제조 시스템(100)은 기판 캐리어(102), 로드 포트(104), 팩토리 인터페이스(106), 및 기판 프로세스 툴(108)을 포함할 수 있다. 로드 포트(104)는 팩토리 인터페이스(106)에 커플링될 수 있으며, 그 팩토리 인터페이스(106)는 기판 프로세스 툴(108)에 커플링될 수 있다. 전자 디바이스 제조 시스템(100)은 다른 컴포넌트들도 또한 포함할 수 있다.
[0025] 기판 캐리어(102)는 하나 이상의 기판들을 운반하도록 구성된 밀봉가능 컨테이너일 수 있다. 기판들은 전자 디바이스들 또는 회로 컴포넌트들을 제조하기 위해 사용되는 임의의 적합한 물품, 이를테면, 실리콘-함유 디스크들 또는 웨이퍼들, 패터닝된 웨이퍼들, 유리 플레이트들 등일 수 있다. 일부 실시예들에서, 기판 캐리어(102)는 예컨대 FOUP(Front Opening Unified Pod)일 수 있고, 기판 캐리어 도어(110)를 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서, 기판 캐리어 도어(110)는 FOUP 도어일 수 있다.
[0026] 로드 포트(104)는 도킹 트레이(111), 및 도킹 트레이(111)에 근방에 위치된 백플레인(backplane)(112)을 포함할 수 있다. 도킹 트레이(111)는 그 도킹 트레이(111) 상에 기판 캐리어(102)를 수용하도록 구성될 수 있으며, 백플레인(112)은 백플레인 개구(113)를 가질 수 있고, 그 백플레인 개구(113)는 백플레인 개구(113)에 기판 캐리어(102) 및 기판 캐리어 도어(110)를 수용하도록 구성된다.
[0027] 로드 포트(104)는 또한, 캐리어 도어 오프너(114)를 가질 수 있으며, 그 캐리어 도어 오프너(114)는, 기판 캐리어(102) 내로 그리고 밖으로의 기판들의 이송을 가능하게 하기 위해, 기판 캐리어 도어(110)에 부착되어 기판 캐리어 도어(110)를 언래칭(unlatch) 및 개방하도록 구성된다. 더 구체적으로, 캐리어 도어 오프너(114)는, 기판 캐리어 도어(110)에 부착되어 기판 캐리어 도어(110)를 언래칭하고, 백플레인(112)이 클리어링(clear)될 때까지, 기판 캐리어 도어(110)를 내측으로(즉, 화살표(A1)로 표현된 바와 같이 우측으로) 이동시키고, 이어서, 엘리베이터 메커니즘(115)을 통해, 기판 캐리어 도어(110)를 (화살표(A2)로 표현된 바와 같이) 하방으로 개방 포지션으로 이동시킴으로써, 기판 캐리어 도어(110)를 개방할 수 있으며, 그 엘리베이터 메커니즘(115)은 레일 또는 유사한 구조(미도시)를 따라 이동할 수 있다. 도 1a는 하나 이상의 실시예들에 따른, 기판 캐리어 도어(110) 및 캐리어 도어 오프너(114)가 개방 포지션(116)에 있는 전자 디바이스 제조 시스템(100)을 예시한다(그러나 도 1a에서는 모든 피처(feature)들이 도시 및/또는 표시된 것이 아님). 개방 포지션(116)은, 양방향 화살표(A3)로 표현된 바와 같이, 하나 이상의 기판들이 기판 캐리어(102) 내로 그리고 밖으로 이송될 수 있게 할 수 있다.
[0028] 로드 포트(104)는 또한, 퍼지 장치(105), 제1 유입 가스 유동 라인(107a), 제1 유출 가스 유동 라인(107b), 제2 유입 가스 유동 라인(109a), 및 제2 유출 가스 유동 라인(109b)을 포함할 수 있다. 퍼지 장치(105)는 환경-제어 분위기, 이를테면 예컨대, 양압 비-반응성 및/또는 불활성 가스 환경 등을 제공하도록 구성될 수 있다. 퍼지 장치(105)는 하나 이상의 밸브들, 가스 유동 라인들, 펌프들, 유량 제어기들, 유량계들, 외부 장비 및/또는 가스 공급부들/소스들로의 연결부들 등(미도시)을 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서, 퍼지 장치(105)는 부가적인 또는 대안적인 장비를 포함할 수 있다. 제1 유입 가스 유동 라인(107a) 및 제1 유출 가스 유동 라인(107b)은 퍼지 장치(105)에 각각 연결될 수 있고, 그리고 기판 캐리어(102)가 퍼징될 수 있게 하도록(예컨대, 비-반응성 가스가 기판 캐리어(102)를 충전(fill)할 수 있게 하도록) 기판 캐리어(102)로의 연결을 위해 퍼지 장치(105)로부터 도킹 트레이(111)를 통해 각각 연장될 수 있다. 제2 유입 가스 유동 라인(109a) 및 제2 유출 가스 유동 라인(109b)은 퍼지 장치(105)에 각각 연결될 수 있고, 그리고 도어 퍼지가 수행될 수 있게 하도록(예컨대, 비-반응성 가스가 캐리어 도어 오프너(114)와 기판 캐리어 도어(110) 사이 및 주위의 공간들을 충전할 수 있게 하도록) 퍼지 장치(105)로부터 캐리어 도어 오프너(114)를 통해 각각 연장될 수 있다. 일부 실시예들에서, 제1 유입 가스 유동 라인(107a), 제1 유출 가스 유동 라인(107b), 제2 유입 가스 유동 라인(109a), 및/또는 제2 유출 가스 유동 라인(109b)은 각각, (예컨대, 퍼지 장치(105) 및/또는 캐리어 도어 오프너(114)로의 가스 유동 라인 연결들을 연결해제하지 않으면서 캐리어 도어 오프너(114)가 개방될 수 있게 하도록) 가요성 재료로 제조될 수 있다.
[0029] 로드 포트(104)는, 로드 포트(104)의 능동 컴포넌트들 각각의 동작을 제어하기 위해 로드 포트(104)의 능동 컴포넌트들 각각에 커플링될 수 있는 제어기(118)를 더 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서, 능동 컴포넌트들은 퍼지 장치(105), 도킹 트레이(111), 및 캐리어 도어 오프너(114)(엘리베이터 메커니즘(115)과 함께)를 포함할 수 있다. 제어기(118)는 프로그래밍된 프로세서, 및 프로세서 실행가능 명령들을 저장하는 메모리를 포함할 수 있다.
[0030] 팩토리 인터페이스(106)는 하우징(120)을 갖는 임의의 적합한 인클로저일 수 있으며, 그 하우징(120)은 전방 면(120F), 후방 면(120R), 상단부(120T), 바닥부(120B), 및 2개의 측벽들(별도로 도시되지 않음)을 갖는다. 전방 면(120F)은 하나 이상의 전방 면 개구들(122)을 가질 수 있으며, 그 하나 이상의 전방 면 개구들(122)은 각각의 로드 포트(104)를 수용하고 각각의 로드 포트(104)에 커플링되도록 구성된다. 팩토리 인터페이스(106)는 기판 캐리어(102)로부터 팩토리 인터페이스(106)를 통해 기판 프로세스 툴(108)로 기판들을 이송하도록 구성된 로봇 기판 핸들러(미도시)를 포함할 수 있다. 팩토리 인터페이스(106)는, 전자 디바이스 제조 시스템(100) 내에 위치되고 그리고/또는 전자 디바이스 제조 시스템(100)에 커플링된 장비(예컨대, 가스 공급 라인들, 하나 이상의 가스 공급부들 또는 소스들, 진공 펌프들, 밸브들 등(미도시))를 사용하여, (예컨대, 비-반응성 가스로서 질소를 사용하는) 양압 비-반응성 가스 환경에서 유지될 수 있다. 다른 실시예들에서, 팩토리 인터페이스(106)는 다른 비-반응성 및/또는 불활성 가스 환경들, 진공 하, 등에서 유지될 수 있다.
[0031] 기판 프로세스 툴(108)은 하나 이상의 기판들에 대해 하나 이상의 프로세스들, 이를테면 예컨대, 물리 기상 증착(PVD), 화학 기상 증착(CVD), 에칭, 어닐링, 사전-세정, 금속 또는 금속 산화물 제거 등을 수행할 수 있다. 다른 프로세스들이 기판 프로세스 툴(108)에서 기판들에 대해 수행될 수 있다. 기판 프로세스 툴(108)은 하나 이상의 로드 락 챔버들, 이송 챔버, 및 하나 이상의 프로세스 챔버들(미도시)을 포함할 수 있다. 하나 이상의 로드 락 챔버들은 팩토리 인터페이스(106)에 커플링될 수 있는 한편, 이송 챔버는 하나 이상의 로드 락 챔버들 및 하나 이상의 프로세스 챔버들에 커플링될 수 있다. 팩토리 인터페이스(106)의 로봇 기판 핸들러는 하나 이상의 로드 락 챔버들 내로 그리고 밖으로 기판들을 이송할 수 있다. 기판 프로세스 툴(108)은 이송 챔버 내에 적어도 부분적으로 하우징된 이송 로봇(미도시)을 포함할 수 있다. 이송 로봇은 하나 이상의 로드 락 챔버들 및 하나 이상의 프로세스 챔버들로 그리고 이들로부터 기판들을 이송하도록 구성될 수 있다. 팩토리 인터페이스(106)에서와 마찬가지로, 기판 프로세스 툴(108)은, 전자 디바이스 제조 시스템(100) 내에 위치되고 그리고/또는 전자 디바이스 제조 시스템(100)에 커플링된 장비(예컨대, 가스 공급 라인들, 하나 이상의 가스 공급부들 또는 소스들, 진공 펌프들, 밸브들 등(미도시))를 사용하여, 환경-제어 분위기에서(예컨대, 양압 비-반응성 및/또는 불활성 가스 환경, 진공 하 등에서) 유지될 수 있다.
[0032] 도 2는 하나 이상의 실시예들에 따른 로드 포트(204)의 정면 사시도를 예시한다. 일부 실시예들에서, 로드 포트(204)는 로드 포트(104)와 동일하거나 또는 유사할 수 있다. 로드 포트(204)는 도킹 트레이(211), 백플레인 개구(213)를 갖는 백플레인(212), 및 캐리어 도어 오프너(214)를 포함할 수 있으며, 그 캐리어 도어 오프너(214)는, 도 2에 도시된 바와 같이 캐리어 도어 오프너(214)가 백플레인(212)에 대해 폐쇄될 때, 백플레인 개구(213)를 밀봉한다. 일부 실시예들에서, 도킹 트레이(211)는 도킹 트레이(111)(도 1)와 동일하거나 또는 유사할 수 있고, 백플레인(212)은 백플레인(112)(도 1)과 동일하거나 또는 유사할 수 있으며, 캐리어 도어 오프너(214)는 캐리어 도어 오프너(114)(도 1)와 동일하거나 또는 유사할 수 있다.
[0033] 도킹 트레이(211)는 그 도킹 트레이(211) 상에 기판 캐리어, 이를테면 예컨대, 기판 캐리어(102)를 수용하도록 구성될 수 있다. 도킹 트레이(211)는 도킹 트레이(211)로부터 상방으로 연장되는 하나 이상의 포지셔닝 핀들(224)을 가질 수 있으며, 그 하나 이상의 포지셔닝 핀들(224)은 기판 캐리어를 도킹 트레이(211) 상의 적절한 포지션으로 가이딩하기 위해 기판 캐리어의 바닥부 내의 대응하는 홀들과 협동하도록 구성될 수 있다. 2개의 포지셔닝 핀들(224)이 도 2에 도시되어 있지만, 다른 실시예들은 더 많거나 또는 더 적은 포지셔닝 핀들(224)을 가질 수 있다. 도킹 트레이(211)는 또한, 예컨대 후크(hook) 또는 클로-형(claw-like) 디바이스일 수 있는 바닥 클램프(225)를 가질 수 있으며, 그 바닥 클램프(225)는 기판 캐리어의 바닥부 상에 위치된 대응하는 피처를 통해 도킹 트레이(211)에 기판 캐리어를 고정적으로 부착하도록 구성된다. 도킹 트레이(211)는 제1 퍼징 유입구(207a) 및 제1 퍼징 유출구(207b)를 더 가질 수 있다. 일부 실시예들에서, 제1 퍼징 유입구(207a) 및 제1 퍼징 유출구(207b)는 각각, 적절하게 배향된 일-방향 밸브를 포함할 수 있다. 제1 퍼징 유입구(207a)는 제1 유입 가스 유동 라인(107a)을 통해 퍼지 장치(105)(도 1)에 연결되도록 구성될 수 있으며, 제1 퍼징 유출구(207b)는 제1 유출 가스 유동 라인(107b)을 통해 퍼지 장치(105)에 연결되도록 구성될 수 있다. 다른 실시예들은 하나 초과의 제1 퍼징 유입구(207a) 및/또는 하나 초과의 제1 퍼징 유출구(207b)를 가질 수 있다. 일부 실시예들에서, 도 4a 및 도 4b와 관련하여 아래에서 더 상세히 설명되는 바와 같이, 도킹 트레이(211)는 기판 캐리어 배치/도킹 포지션으로부터 클램핑 포지션으로 백플레인(212) 쪽으로 이동하도록 구성될 수 있다.
[0034] 백플레인(212)은 백플레인(212)에 기판 캐리어를 클램핑하도록 구성된 2개 이상의 측면 클램프들(226)을 포함할 수 있다. 도 2에 도시된 실시예에서, 4개의 측면 클램프들(226)이 백플레인(212) 상에 제공될 수 있으며, 2개의 측면 클램프들(226)은 백플레인 개구(213)의 좌측 수직 측면 상에 위치되고(도시된 바와 같음), 2개의 측면 클램프들(226)은 대향하는 우측 수직 측면 상에 위치된다(미도시). 기판 캐리어가 도킹 트레이(211) 상에 배치되어 도킹 트레이(211)에 도킹되고, 도킹 트레이(211)에 의해 클램핑 포지션으로 이동된 후에, 각각의 측면 클램프(226)는 기판 캐리어와 맞물려서 기판 캐리어를 백플레인(212)에 대해 스퀴징하도록 구성될 수 있다.
[0035] 캐리어 도어 오프너(214)는 기판 캐리어(102)의 기판 캐리어 도어(110)에 접촉 및 부착되도록 구성된 하나 이상의 커넥터들(227)을 가질 수 있다. 커넥터들(227)은, 예컨대, 기판 캐리어 도어(110)에 캐리어 도어 오프너(214)를 고정적으로 부착하도록 충분한 흡인을 생성하기 위해, 로드 포트(204)의 진공 펌프에 커플링된 흡인 패드 또는 컵 타입 디바이스들일 수 있다. 캐리어 도어(110)에 부착될 수 있는 다른 적합한 타입들의 커넥터 디바이스들이 사용될 수 있다.
[0036] 캐리어 도어 오프너(214)는 또한, 제2 퍼징 유입구(209a) 및 제2 퍼징 유출구(209b)를 가질 수 있다. 일부 실시예들에서, 제2 퍼징 유입구(209a) 및 제2 퍼징 유출구(209b)는 각각, 적절하게 배향된 일-방향 밸브를 포함할 수 있다. 제2 퍼징 유입구(209a)는 제2 유입 가스 유동 라인(109a)을 통해 퍼지 장치(105)(도 1)에 연결되도록 구성될 수 있으며, 제2 퍼징 유출구(209b)는 제2 유출 가스 유동 라인(109b)을 통해 퍼지 장치(105)에 연결되도록 구성될 수 있다.
[0037] 일부 실시예들에서, 기판 캐리어(102)(도 1)는 기판 캐리어 하우징(102H)(도 1)에 기판 캐리어 도어(110)를 고정시키는 로킹 또는 래칭 메커니즘을 가질 수 있다. 하나 이상의 실시예들에서, 캐리어 도어 오프너(214)는 하나 이상의 래치키(latchkey)들 또는 래칭 메커니즘들(228)을 가질 수 있으며, 그 하나 이상의 래치키들 또는 래칭 메커니즘들(228)은 캐리어 도어 오프너(214)로부터 연장되고 기판 캐리어 도어(110) 내의 대응하는 피처들에 연결되어, 기판 캐리어 도어(110)를 (예컨대, 시계방향 또는 반시계방향 회전을 통해) 언래칭 또는 언로킹하도록, 또는 다른 방식으로, 기판 캐리어 도어(110)가 개방될 수 있게 하도록 구성된다.
[0038] 로드 포트(204)는 하우징(204H)을 더 포함할 수 있으며, 그 하우징(204H)은 퍼지 장치(예컨대, 퍼지 장치(105)), 제어기(예컨대, 제어기(118), 기판 캐리어 도어 개방/폐쇄 메커니즘(예컨대, 엘리베이터 메커니즘(115) 및 관련 파트들), 및/또는 다른 장비를 봉입(enclose)할 수 있다.
[0039] 도 3은 하나 이상의 실시예들에 따른 로드 포트(304)의 간략화된 배면도를 예시한다. 일부 실시예들에서, 로드 포트(304)는 로드 포트(104 및/또는 204)와 동일하거나 또는 유사할 수 있다. 로드 포트(304)는 백플레인(312) 및 캐리어 도어 오프너(314)를 포함할 수 있으며, 그 캐리어 도어 오프너(314)는, 도시된 바와 같이 캐리어 도어 오프너(314)가 폐쇄될 때, 백플레인 개구(도 3에는 도시되지 않음)를 밀봉한다. 캐리어 도어 오프너(314)는 백플레인 개구보다 약간 더 클 수 있고, 그에 따라, 캐리어 도어 오프너(314)가 백플레인 개구를 밀봉할 수 있다. 로드 포트(304)는, 백플레인(312)을 통하는 엘리베이터 개구(330)를 통해, 엘리베이터 메커니즘, 이를테면 예컨대, 엘리베이터 메커니즘(115)(도 1 및 도 1a)에 커플링된 엘리베이터 암(329)을 더 포함할 수 있다. 기판 캐리어 도어(이를테면, 도 1의 기판 캐리어 도어(110))를 개방하기 위해, 캐리어 도어 오프너(314)는, 예컨대 도 2의 커넥터들(227) 및 래칭 메커니즘들(228)과 관련하여 위에서 설명된 바와 같이, 기판 캐리어 도어에 부착되어 기판 캐리어 도어를 언래칭할 수 있고, 그리고 기판 캐리어 도어를 화살표(A4)의 방향으로 백플레인 개구를 통해 그리고 백플레인 개구로부터 멀어지게 이동시킨 후에 화살표(A5)의 방향으로 백플레인 개구 아래로 하방으로 이동시킬 수 있다.
[0040] 도 4a 및 도 4b는 하나 이상의 실시예들에 따른, 로드 포트 동작 동안의, 로드 포트(404)에 대한 기판 캐리어(402)를 예시한다. 로드 포트 동작은 제어기, 이를테면 예컨대, 프로그래밍 명령들을 실행하는 제어기(118)(도 1)에 의해 수행될 수 있다. 기판 캐리어(402)는 기판 캐리어 도어(410)를 포함할 수 있으며, 여기서, 일부 실시예들에서, 기판 캐리어(402)는 기판 캐리어(102)(도 1 및 도 1a)와 동일하거나 또는 유사할 수 있으며, 기판 캐리어 도어(410)는 기판 캐리어 도어(110)(도 1 및 도 1a)와 동일하거나 또는 유사할 수 있다. 환상 공간(432)이 기판 캐리어 도어(410) 주위에 그리고 기판 캐리어 도어(410)와 기판 캐리어(402)의 하우징(402H) 사이에 존재할 수 있다.
[0041] 로드 포트(404)는 도킹 트레이(411), 백플레인(412), 및 캐리어 도어 오프너(414)를 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서, 로드 포트(404)는 로드 포트(104, 204, 및/또는 304)와 동일하거나 또는 유사할 수 있고; 도킹 트레이(411)는 도킹 트레이(111 및/또는 211)와 동일하거나 또는 유사할 수 있고; 백플레인(412)은 백플레인(112, 212, 및/또는 312)과 동일하거나 또는 유사할 수 있으며; 캐리어 도어 오프너(414)는 캐리어 도어 오프너(114, 214, 및/또는 314)와 동일하거나 또는 유사할 수 있다.
[0042] 도 4a는 하나 이상의 실시예들에 따른, 배치/도킹 포지션(400A)에 있는 기판 캐리어(402)를 도시한다. 즉, 기판 캐리어(402)는, 예컨대, 하나 이상의 포지셔닝 핀들, 이를테면 예컨대, 포지셔닝 핀들(224)(도 2) 상의 배치를 통해, 도킹 트레이(411) 상에 배치될 수 있다. 일부 실시예들에서, 이어서, 기판 캐리어(402)는, 바닥 클램프(미도시), 이를테면 예컨대, 바닥 클램프(225)(도 2)를 기판 캐리어(402)의 바닥 내의 또는 기판 캐리어(402)의 바닥 상의 대응하는 피처에 바닥-클램핑함으로써, 도킹 트레이(411)에 도킹될 수 있다. 따라서, 환상 공간(432)은 기판 캐리어 하우징(402H)과 백플레인(412)/캐리어 도어 오프너(414) 사이의 갭(434)과 유체 연통할 수 있다. 환상 공간(432)은 또한, 기판 캐리어 도어(410)와 캐리어 도어 오프너(414) 사이의 공간(436)과 유체 연통할 수 있다.
[0043] 도 4b는 하나 이상의 실시예들에 따른, 클램핑 포지션(400B)에 있는 기판 캐리어(402)를 도시한다. 즉, 도킹 트레이(411)는 도킹된 기판 캐리어(402)를 백플레인(412) 쪽으로(화살표(A6)의 방향으로) 이동시켜서, 2개 이상의 측면 클램프들(미도시), 이를테면 예컨대, 측면 클램프들(226)(도 2)이 기판 캐리어(402)와 맞물려서 기판 캐리어(402)를 로드 포트(404)의 백플레인(412)에 대해 스퀴징할 수 있게 할 수 있다. 따라서, 갭(434)의 대부분 또는 전부가 더 이상 존재하지 않게 된다. 클램핑 후에, 기판 캐리어 하우징(402H)과 백플레인(412) 사이의 갭(434) 부분이 더 이상 존재하지 않을 수 있지만, 일부 실시예들에서, 기판 캐리어 도어(410)와 캐리어 도어 오프너(414) 사이에 작은 갭(미도시)이 여전히 존재할 수 있다. 이러한 작은 갭은, 도 5와 관련하여 아래에서 더 상세히 설명되는 바와 같이, 기판 캐리어 도어(410)에 캐리어 도어 오프너(414)가 부착될 시에 폐쇄될 수 있다. 클램핑의 결과로서, 환상 공간(432)은 갭(434) 및 공간(436)과 더 이상 유체 연통하지 않을 수 있거나, 또는 공간(436) 및 갭(434)의 남아 있는 부분과 무시가능한 정도로 유체 연통할 수 있다. 따라서, 환상 공간(432)에 존재하였을 수 있는 임의의 공기 또는 다른 가스(및 임의의 공기 또는 다른 가스에 포함된 입자들)가 이제 그 환상 공간(432)에 포획될 수 있다.
[0044] 도 5는 하나 이상의 실시예들에 따른, 전자 디바이스 제조 시스템에서 팩토리 인터페이스 로드 포트를 동작시키는 방법(500)을 예시한다. 방법(500)은 제어기, 이를테면 예컨대, 프로그래밍 명령들을 실행하는 제어기(118)(도 1)에 의해 수행될 수 있다. 일부 실시예들에서, 방법(500)은 대안적으로, 전자 디바이스 제조 시스템의 시스템 제어기에 의해, 그리고/또는 로드 포트 제어기, 이를테면 예컨대, 제어기(118)와 함께 그러한 시스템 제어기에 의해 수행될 수 있다.
[0045] 프로세스 블록(502)에서, 방법(500)은 로드 포트 도킹 트레이 상에 배치된 기판 캐리어를 퍼징하는 단계를 포함할 수 있다. 이러한 퍼지를 받는 기판 캐리어는, 도 4a에 도시된 바와 같이, 배치/도킹 포지션(400A)에 배치될 수 있다. 더 구체적으로 그리고 예컨대 도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 캐리어(102)는, 포지셔닝 핀들, 이를테면 예컨대, 포지셔닝 핀들(224)을 사용하여, 로드 포트(104)의 도킹 트레이(111) 상에 배치 및 적절하게 포지셔닝될 수 있다. 도킹 트레이(111) 상의 기판 캐리어(102)의 적절한 포지셔닝은 기판 캐리어(102)의 바닥에 위치된 가스 입력 및 출력 포트들을 도킹 트레이(111)의 제1 퍼징 유입구(예컨대, 도 2의 제1 퍼징 유입구(207a)) 및 제1 퍼징 유출구(예컨대, 도 2의 제1 퍼징 유출구(207b))와 각각 정렬시킬 수 있다. 이어서, 퍼지 장치(105)는, 제1 퍼징 유입구 및 제1 퍼징 유출구에 각각 커플링된 제1 유입 가스 유동 라인(107a) 및 제1 유출 가스 유동 라인(107b)을 통해, 예컨대 비-반응성 가스, 이를테면 질소를 이용하여, 기판 캐리어를 퍼징할 수 있다. 일부 실시예들에서, 약 50 lpm(liters per minute) 내지 약 95 lpm의 범위의 퍼지 유량이 사용될 수 있다.
[0046] 프로세스 블록(504)에서, 방법(500)은 로드 포트 도킹 트레이에 기판 캐리어를 도킹시키는 단계를 포함할 수 있다. 예컨대, 여전히 배치/도킹 포지션(400A)(도 4a)에 남아 있는 동안, 바닥 클램프, 이를테면 예컨대, 도킹 트레이(211)의 바닥 클램프(225)(도 2)는, 기판 캐리어의 바닥 상에 위치된 대응하는 피처를 통해, 도킹 트레이에 기판 캐리어를 고정적으로 부착하도록 작동될 수 있다.
[0047] 프로세스 블록(506)에서, 방법(500)은, 일정 시간 기간 동안, 로드 포트의 캐리어 도어 오프너와 기판 캐리어의 기판 캐리어 도어 사이 및 주위의 영역의 퍼지를 활성화하는 단계를 포함할 수 있다. 아래에서 더 상세히 설명되는 바와 같이, 이러한 퍼지를 받는 기판 캐리어가 배치/도킹 포지션(400A(도 4a))에 남아 있는 것이 유리하다. 예컨대, 도 1, 도 2, 및 도 4a를 참조하면, 퍼지 장치(105)는 캐리어 도어 오프너(414)와 기판 캐리어 도어(410) 사이 및 주위의 영역을 퍼징할 수 있으며, 그 영역은 환상 공간(432), 갭(434), 및 공간(436)을 포함할 수 있고, 그 환상 공간(432), 갭(434), 및 공간(436)은 모두 서로 유체 연통한다. 그 영역은, 캐리어 도어 오프너(214)의 제2 퍼징 유입구(209a) 및 제2 퍼징 유출구(209b)(도 2)에 각각 커플링된 제2 유입 가스 유동 라인(109a) 및 제2 유출 가스 유동 라인(109b)을 통해, 예컨대 비-반응성 가스, 이를테면 질소를 이용하여 퍼징될 수 있다. 일부 실시예들에서, 약 20 lpm(liters per minute) 내지 약 65 lpm의 범위의 퍼지 유량이 사용될 수 있다.
[0048] 프로세스 블록(508)에서, 방법(500)은, 시간 기간의 만료에 대한 응답으로, 캐리어 도어 오프너와 기판 캐리어 도어 사이의 영역의 퍼지를 비활성화하는 단계를 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서, 시간 기간은 약 20초 내지 약 120초의 범위일 수 있다.
[0049] 프로세스 블록(510)에서, 방법(500)은, 캐리어 도어 오프너와 기판 캐리어 도어 사이의 영역의 퍼지의 비활성화 후에, 로드 포트의 백플레인에 대해 기판 캐리어를 클램핑하는 단계를 포함할 수 있다. 예컨대, 도 2 및 도 4b를 참조하면, 기판 캐리어가 도킹 트레이(411)에 의해 백플레인(412)(도 4b) 쪽으로 이동되어, 측면 클램프들, 이를테면 예컨대, 측면 클램프들(226)(도 2)이 기판 캐리어(402)와 맞물려서 기판 캐리어(402)를 로드 포트(404)의 백플레인(412)에 대해 스퀴징하는 것이 가능하게 될 수 있다.
[0050] 프로세스 블록(510)에서의 기판 캐리어의 클램핑 후에, 방법(500)은, (예컨대, 흡인 패드 타입 디바이스들일 수 있는 커넥터들(227)(도 2)에 커플링된 진공 펌프를 활성화함으로써) 기판 캐리어 도어에 캐리어 도어 오프너를 부착하는 단계; 예컨대 래칭 메커니즘들(228)(도 2)을 사용함으로써 기판 캐리어 도어를 언래칭하는 단계; 및 도 1a에 도시된 바와 같이 캐리어 도어 오프너를 이용하여 기판 캐리어 도어를 개방하는 단계를 더 포함할 수 있다.
[0051] 다시 프로세스 블록(506)을 참조하면, 기판 캐리어가 배치/도킹 포지션(400A)(도 4a)에 포지셔닝되어 있는 동안, 캐리어 도어 오프너와 기판 캐리어 도어 사이 및 주위의 영역의 퍼지를 활성화하는 것은, (즉, 환상 공간(432), 갭(434), 및 공간(436)에 있을 수 있는 임의의 산소, 수분, 및/또는 입자들을 제거하는 데 있어서) 퍼지의 유효성을 상당히 개선할 수 있다. 일부 실시예들에서, 제2 퍼징 유출구 및 제2 유출 가스 유동 라인(예컨대, 제2 퍼징 유출구(209b) 및 제2 유출 가스 유동 라인(109b))이 이러한 퍼지 동안 결과적인 유출을 완전히 핸들링하는 것이 가능하지 않을 수 있기 때문에, 갭(434)과의 유체 연통은, 갭(434)을 통해 배출함으로써, 환상 공간(432)을 점유하는 공기(산소), 수분, 및/또는 입자들 중 적어도 일부가 그 환상 공간(432)으로부터 퍼징될 수 있게 한다. 프로세스 블록(506)에서의 퍼지는, 갭(434)의 전부는 아니더라도 대부분이 더 이상 존재하지 않게 되는(예컨대, 도 4b 참조), 프로세스 블록(510) 후에(즉, 로드 포트의 백플레인에 대해 기판 캐리어를 클램핑한 후에) 수행되는 경우, 훨씬 덜 효과적일 수 있다. 프로세스 블록(506)에서의 퍼지는 또한, 기판 캐리어 도어에 캐리어 도어 오프너가 부착된 후에 수행되는 경우, 훨씬 덜 효과적일 수 있다. 그러면, 환상 공간(432)에 포획된 임의의 공기(산소), 수분, 및/또는 입자들이, 캐리어 도어 오프너에 의한 기판 캐리어 도어의 개방 시에, 팩토리 인터페이스를 오염시킬 수 있다.
[0052] 전술된 설명은 본 개시내용의 단지 예시적인 실시예들을 개시한다. 위에서 개시된 장치, 시스템들, 및 방법들의 변형들은 본 개시내용의 범위 내에 속할 수 있다. 따라서, 본 개시내용의 예시적인 실시예들이 개시되었지만, 다음의 청구항들에 의해 정의되는 바와 같은, 본 개시내용의 범위 내에 다른 실시예들이 속할 수 있다는 것이 이해되어야 한다.

Claims (15)

  1. 전자 디바이스 제조 시스템의 팩토리 인터페이스의 로드 포트(load port)로서,
    퍼지(purge) 장치;
    포지셔닝 핀들을 갖는 도킹 트레이(docking tray);
    2개 이상의 측면 클램프들을 갖는, 상기 도킹 트레이 근방에 위치된 백플레인(backplane);
    캐리어 도어 오프너(carrier door opener) ― 상기 캐리어 도어 오프너는 상기 캐리어 도어 오프너가 폐쇄될 때 상기 백플레인 내의 개구를 밀봉하도록 구성되고, 상기 캐리어 도어 오프너를 통과하는 유입 가스 라인 및 유출 가스 라인을 포함함 ―; 및
    상기 퍼지 장치, 상기 도킹 트레이, 및 상기 캐리어 도어 오프너를 동작시키도록 커플링된 제어기
    를 포함하고,
    상기 제어기는, 순차적으로,
    상기 포지셔닝 핀들과 정렬하여 상기 도킹 트레이 상에 배치된 기판 캐리어를 퍼징하기 위해 상기 퍼지 장치를 활성화하고;
    상기 도킹 트레이에 상기 기판 캐리어를 고정적으로 부착하기 위해 상기 도킹 트레이를 활성화시키고;
    일정 시간 기간 동안 그리고 기판 캐리어 도어와 기판 캐리어 하우징 사이의 환상 공간 및 상기 기판 캐리어 도어와 상기 캐리어 도어 오프너 사이의 영역이 상기 기판 캐리어 하우징과 상기 백플레인 사이의 갭과 유체 연통하는 동안, 상기 환상 공간 및 상기 영역을 퍼징하기 위해 상기 퍼지 장치를 활성화하고;
    상기 시간 기간의 만료에 대한 응답으로, 상기 영역의 퍼지로부터 상기 퍼지 장치를 비활성화하며;
    상기 영역의 퍼지를 비활성화한 것에 대한 응답으로, 상기 환상 공간이 상기 갭 및 상기 영역과 더이상 유체 연통하지 않도록, 상기 백플레인에 상기 기판 캐리어를 클램핑하기 위해 상기 2개 이상의 측면 클램프들을 활성화시키도록
    구성되는,
    로드 포트.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제어기는 추가로,
    상기 기판 캐리어가 상기 백플레인에 클램핑된 것에 대한 응답으로, 상기 기판 캐리어 도어에 상기 캐리어 도어 오프너를 부착하도록 상기 캐리어 도어 오프너를 활성화시키고;
    상기 캐리어 도어 오프너가 상기 기판 캐리어 도어에 부착된 후에, 상기 기판 캐리어 도어를 언래칭(unlatch)하기 위해, 상기 캐리어 도어 오프너로부터 연장되는 래칭 메커니즘을 활성화시키고; 그리고
    상기 기판 캐리어 도어를 개방하기 위해 상기 캐리어 도어 오프너를 활성화시키도록
    구성되는,
    로드 포트.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 제어기는, 상기 캐리어 도어 오프너 상에 위치된 하나 이상의 흡인 패드 디바이스들에 대해 진공을 턴 온(turn on)시킴으로써, 상기 기판 캐리어 도어에 상기 캐리어 도어 오프너를 부착하기 위해 상기 퍼지 장치를 활성화시키도록 구성되는,
    로드 포트.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 퍼지 장치는 상기 도킹 트레이를 지지하는 로드 포트 하우징에 봉입(enclose)되며, 상기 퍼지 장치는 하나 이상의 밸브들, 펌프들, 가스 유동 라인들, 유량 제어기들, 또는 유량계들을 포함하며;
    상기 도킹 트레이는 상기 퍼지 장치에 커플링된, 제1 퍼징 유입구 및 제1 퍼징 유출구를 갖는,
    로드 포트.
  5. 전자 디바이스 제조 시스템으로서,
    기판 프로세스 툴; 및
    팩토리 인터페이스를 포함하고,
    상기 팩토리 인터페이스는,
    전방 면 및 후방 면을 갖는 하우징 ― 상기 전방 면은 전방 면 개구를 갖고, 상기 후방 면은 상기 기판 프로세스 툴에 커플링됨 ―;
    기판 캐리어와 인터페이스하도록 구성된 로드 포트; 및
    제어기
    를 포함하고,
    상기 로드 포트는,
    상기 전방 면 개구에서 상기 전방 면에 커플링되고, 백플레인 개구 및 2개 이상의 측면 클램프들을 갖는 백플레인;
    포지셔닝 핀들을 갖는 도킹 트레이; 및
    캐리어 도어 오프너
    를 포함하며,
    상기 캐리어 도어 오프너는, 상기 캐리어 도어 오프너가 폐쇄될 때, 상기 백플레인 개구를 밀봉하고, 상기 기판 캐리어의 기판 캐리어 도어를 개방하고 ― 상기 캐리어 도어 오프너는, 상기 캐리어 도어 오프너를 통과하는 유입 가스 라인 및 유출 가스 라인을 포함함 ―,
    상기 제어기는, 순차적으로,
    상기 포지셔닝 핀들과 정렬하여 상기 도킹 트레이 상에 배치된 상기 기판 캐리어를 퍼징하기 위해 퍼지 장치를 활성화하고;
    상기 도킹 트레이에 상기 기판 캐리어를 고정적으로 부착하기 위해 상기 도킹 트레이를 활성화시키고;
    일정 시간 기간 동안 그리고 상기 기판 캐리어 도어와 기판 캐리어 하우징 사이의 환상 공간 및 상기 기판 캐리어 도어와 상기 캐리어 도어 오프너 사이의 영역이 상기 기판 캐리어 하우징과 상기 백플레인 사이의 갭과 유체 연통하는 동안, 상기 환상 공간 및 상기 영역의 퍼지를 활성화하고;
    상기 시간 기간의 만료에 대한 응답으로, 상기 영역의 퍼지를 비활성화하며; 그리고
    상기 영역의 퍼지를 비활성화한 것에 대한 응답으로, 상기 환상 공간이 상기 갭 및 상기 영역과 더이상 유체 연통하지 않도록, 상기 백플레인에 상기 기판 캐리어를 클램핑하기 위해 상기 2개 이상의 측면 클램프들을 활성화시키도록
    구성되는,
    전자 디바이스 제조 시스템.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 제어기는 추가로,
    상기 기판 캐리어가 상기 백플레인에 클램핑된 것에 대한 응답으로, 상기 기판 캐리어 도어에 상기 캐리어 도어 오프너를 부착하도록 상기 캐리어 도어 오프너를 활성화시키고;
    상기 캐리어 도어 오프너가 상기 기판 캐리어 도어에 부착된 후에, 상기 기판 캐리어 도어를 언래칭하기 위해, 상기 캐리어 도어 오프너로부터 연장되는 래칭 메커니즘을 활성화시키고; 그리고
    상기 기판 캐리어 도어를 개방하도록 위해 상기 캐리어 도어 오프너를 활성화시키도록,
    전자 디바이스 제조 시스템.
  7. 제5 항에 있어서,
    상기 캐리어 도어 오프너와 상기 기판 캐리어 도어 사이 및 주위의 영역의 퍼지는, 상기 제어기가 불활성 가스로 하여금 상기 영역 내로 유동하게 하는 것을 포함하는,
    전자 디바이스 제조 시스템.
  8. 전자 디바이스 제조 시스템에서 팩토리 인터페이스 로드 포트를 동작시키는 방법으로서,
    로드 포트 도킹 트레이의 포지셔닝 핀들과 정열하여 상기 로드 포트 도킹 트레이 상에 기판 캐리어를 포지셔닝하는 단계 ― 상기 기판 캐리어의 어느 부분도 상기 팩토리 인터페이스 로드 포트의 백플레인과 접촉하지 않음 ―;
    상기 로드 포트 도킹 트레이 상에 배치된 상기 기판 캐리어를 퍼징하는 단계;
    상기 로드 포트 도킹 트레이에 상기 기판 캐리어를 고정적으로 부착시키는 단계;
    일정 시간 기간 동안 그리고 기판 캐리어 도어와 기판 캐리어 하우징 사이의 환상 공간 및 상기 기판 캐리어 도어와 캐리어 도어 오프너 사이의 영역이 상기 기판 캐리어 하우징과 상기 백플레인 사이의 갭과 유체 연통하는 동안, 상기 환상 공간 및 상기 영역의 퍼지를 활성화하는 단계 ― 상기 캐리어 도어 오프너는, 상기 캐리어 도어 오프너를 통과하는 유입 가스 라인 및 유출 가스 라인을 포함함 ―;
    상기 시간 기간의 만료에 대한 응답으로, 상기 캐리어 도어 오프너와 상기 기판 캐리어 도어 사이의 영역의 퍼지를 비활성화하는 단계; 및
    상기 비활성화하는 단계에 대한 응답으로, 상기 환상 공간이 상기 갭 및 상기 영역과 더이상 유체 연통하지 않도록, 상기 팩토리 인터페이스 로드 포트의 백플레인에 대해 상기 기판 캐리어를 클램핑하는 단계
    를 포함하는,
    팩토리 인터페이스 로드 포트를 동작시키는 방법.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 클램핑하는 단계 후에,
    상기 클램핑하는 단계에 대한 응답으로, 상기 기판 캐리어 도어에 상기 캐리어 도어 오프너를 부착하는 단계;
    상기 캐리어 도어 오프너로부터 연장되는 래칭 메커니즘을 이용하여 상기 기판 캐리어 도어를 언래칭하는 단계; 및
    상기 캐리어 도어 오프너를 이용하여 상기 기판 캐리어 도어를 개방하는 단계
    를 더 포함하는,
    팩토리 인터페이스 로드 포트를 동작시키는 방법.
  10. 삭제
  11. 제8 항에 있어서,
    상기 퍼징하는 단계는, 상기 기판 캐리어 내로 불활성 가스를 유동시키는 단계를 포함하는,
    팩토리 인터페이스 로드 포트를 동작시키는 방법.
  12. 제8 항에 있어서,
    상기 캐리어 도어 오프너와 상기 기판 캐리어 도어 사이의 영역의 퍼지를 활성화하는 단계는, 상기 영역 내로 불활성 가스를 유동시키는 단계를 포함하는,
    팩토리 인터페이스 로드 포트를 동작시키는 방법.
  13. 제8 항에 있어서,
    상기 시간 기간은 20초 내지 120초의 범위인,
    팩토리 인터페이스 로드 포트를 동작시키는 방법.
  14. 제8 항에 있어서,
    상기 클램핑하는 단계는, 상기 팩토리 인터페이스 로드 포트의 2개 이상의 측면 클램프들을 상기 기판 캐리어와 맞물리게 하여, 상기 기판 캐리어를 상기 팩토리 인터페이스 로드 포트의 상기 백플레인에 대해 스퀴징(squeeze)하는 단계를 포함하는,
    팩토리 인터페이스 로드 포트를 동작시키는 방법.
  15. 제9 항에 있어서,
    상기 부착하는 단계는, 상기 기판 캐리어 도어에 상기 캐리어 도어 오프너를 부착하기 위해, 하나 이상의 흡인 패드 디바이스들에 대해 진공을 턴 온시키는 단계를 포함하는,
    팩토리 인터페이스 로드 포트를 동작시키는 방법.
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