JP2020507114A - フレキシブルカラーフィルタおよび製造方法 - Google Patents

Abstract

フレキシブルカラーフィルタおよびフレキシブルカラーフィルタを製造する方法が提供される。フレキシブルカラーフィルタの例は、熱硬化性チオールクリックポリマーを含む透明フレキシブル基板を含む。フレキシブルカラーフィルタを製造する方法の例は、剛性キャリア基板上に剥離層を分配することと、剥離層上にポリマー樹脂を分配することと、ポリマー樹脂を硬化して透明フィルムにすることと、透明フィルム上にフレキシブルカラーフィルタを作製することと、フレキシブルカラーフィルタを剥離層および剛性キャリア基板から取り除くこととを含む。【選択図】図１

Description

カラーフィルタは、液晶、電気泳動、（有機）発光ダイオード、または白色光源を単色光の複数のバンドにフィルタリングする働きをする任意の他の技術を利用した、広く使用されているディスプレイモジュールの構成要素である。従来、これらのカラーフィルタが作製される基板は、ガラスの透明度、耐薬品性、および高温寸法安定性のため、ガラスであった。しかしながら、ガラスの低い柔軟性のため、フレキシブルディスプレイ中のカラーフィルタ用の基板材料としてのガラスの使用は限られる。

本開示の主題は、新規で有利なカラーフィルタ、ならびにそれを作製するための方法およびそれを使用するための方法を提供する。カラーフィルタを作製するための従来の手法は、光源からの光の吸収を最小限にし、出力効率および色忠実度を高めるためにガラスの透明度に頼るが、新規基板材料の使用が提案される。材料は、可視スペクトルで８５％超の透明度および２％未満のヘイズを有する。基板材料の使用は、より薄く、より軽く、より弾性のあるＬＣＤディスプレイ用カラーフィルタをもたらし得る。基板材料は、カラーフィルタ作製方法で使用されてよい。

参照により本明細書に組み込まれる添付の図面を参照しながら、本開示の例示的実施形態を以下に詳述する。

実施形態によるカラーフィルタの断面図を示す。 実施形態による、キャリアから剥離されているカラーフィルタの断面図を示す。 実施形態によるカラーフィルタを作製する方法のフロー図を示す。 実施形態によるパターニング後のブラックマトリクスの上面図である。 実施形態によるカラーフィルタスタックのサブピクセルを通る光の流れの表示を含む、図１のカラーフィルタスタックの断面図である。 実施形態によるファブリペローフィルタの断面図である。

示された図は例示的なものにすぎず、異なる実施形態が実装されてよい環境、構造、設計、またはプロセスに関して、いかなる限定も主張または示唆することを意図するものではない。

本明細書で使用される場合、「フレキシブル」は、最小１００，０００回の曲げサイクルで少なくとも５ｍｍの曲げ半径に曲がる能力を有することと定義される。「透明度」は、本明細書では、光子源および光検出器の光路に材料を導入する前後の材料を通る可視光子（例えば、４００〜８００ｎｍの波長の光子）のフルエンスの比と定義される。比のパーセンテージが８５％以上であるならば、材料は「透明」である。「ヘイズ」は、本明細書では、具体的には透明度の低下をもたらす、透明材料を通過する際の光の散乱と定義される。記載される材料のヘイズ値は２％を超えてはならない。「チオールクリック」は、単一混合物中での１つまたは複数の多官能チオールモノマーと１つまたは複数の多官能コモノマーとの化合と定義される。

本開示の主題はフレキシブルカラーフィルタのための作製方法を提供し、方法は、剛性キャリア基板上に成膜され、ポリマーフィルムに硬化されたポリマー性樹脂を含む。このフィルムの上に、ブラックマトリクスパターン、原色セルパターンおよび電極アレイを含むカラーフィルタマトリクスが成膜される。カラーマトリクスの作製が完了した後、完成したカラーフィルタは様々な機械的方法を使用して剛性キャリア基板から取り除かれ、ピーリング、真空ローリング、超音波浴処理またはそれらの任意の組み合わせが挙げられる。

Ｓｉウエハまたはガラスパネルなどの材料が剛性キャリア基板として使用され得るが、これらに限定されない。次に、アルカリ金属またはアルカリ土類金属ケイ酸塩脱水物を含む剥離層が、任意の十分な流体成膜方法（例えば、スロットダイコーティング、ブレードコーティング、スピンコーティング等）を介して剛性キャリア基板の上に成膜されてよい。次に、カラーフィルタ作製用の基板として働くポリマー樹脂がキャリア上にキャストされる。ポリマー樹脂は多官能チオールモノマーとコモノマーの混合によって作られてよい。

ポリマー樹脂の製造では、多官能チオールモノマーとコモノマーとが混合されてよく、ポリマー樹脂はリザーバ（例えば、加圧リザーバ）に注入されてよい。均一なシート製造がポリマー樹脂に実施され得、均一なシート製造は、スロットダイコーティング、ロッドコーティング、ブレードコーティング、スピンコーティング、反応射出成形、またはそれらの任意の組み合わせが挙げられるが、これらに限定されない任意の十分な方法によって実施されてよい。ポリマー樹脂は、熱、可視光、紫外線、またはそれらの任意の組み合わせのような電磁放射線を使用して硬化される。ポリマー硬化樹脂は、可視域で９０％超の透明度および１％未満のヘイズを有する。光透過率はＬＣＤディスプレイの画質および消費電力に直接影響するため、これはカラーフィルタ基板に望ましい特性である。

ブラックマトリクスパターンは、バックライトが所望のサブピクセルのみを通過するように光漏れを防ぐために使用される。このブラックマトリクスパターンは、クロム、黒色フォトレジスト、感光性黒色インク、またはそれらの任意の組み合わせを含んでよいが、これらに限定されない。ブラックマトリクスパターンは、スピンキャスト技術、ダイキャスト技術、印刷技術、熱蒸着技術、またはそれらの任意の組み合わせが挙げられるが、これらに限定されない任意の十分な成膜方法を使用して成膜されてよい。いくつかの任意選択の例では、６０〜１００℃の温度範囲で１０〜１０，０００秒間のプリベークが使用されてよい。マスクアライナ、ステッパ、スキャナ、印刷、またはそれらの任意の組み合わせを備えるシステムを使用して、任意の十分なフォトリソグラフィ方法がブラックマトリクスパターンのパターニングに使用されてよい。露光は、ｇ線（４３６ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）、ｉ線（３６５ｎｍ）、ｊ線（３１３ｎｍ）、またはそれらの任意の組み合わせのような好適な光源を使用して実施されてよい。露光時間はフォトレジストとして使用される材料によって規定される。材料は、使用される材料に応じて、１０〜１０，０００秒間、１００〜３００℃でベークされて存在する可能性のある溶媒を取り除かれる。クロムが使用される場合、その後、金属がウェットエッチングまたはドライエッチングされてよい。

ブラックマトリクスパターンが作製された後、カラーレジストが所望のサブピクセルに塗布される。カラーレジストは、所望の光の波長を吸収して角サブピクセルの色を設定する有機層を含む。このカラーレジストは、ダイコーティング、スピンコーティング、印刷、蒸着、またはそれらの任意の組み合わせが挙げられるが、これらに限定されない任意の十分な方法によって成膜されてよい。カラーレジスト材料はソフトベークされ、前述したようなフォトリソグラフィを使用してパターニングされる。これがブラックマトリクス中にサブピクセルを形成することになる。画素に必要なすべての色（例えば、ＲＧＢでは赤色、緑色および青色、ＲＧＢＹでは赤色、緑色、青色および黄色）を作り出すために、プロセスは３または４回繰り返される。光をフィルタリングするために使用されるレジストの色を変えて、上記と同じステップを使用して形成することができる他のサブピクセルの構成があり得る。

別の実施形態では、ブラックマトリクスの後に、サブピクセルの色がファブリペローフィルタを使用して形成されてもよく、ファブリペローフィルタ中には、キャビティを作り出す挿入されたスペーサ層を有する２つの反射層がある。ファブリペローフィルタでは、スペーサ層の厚さを共振周波数の波長の２分の１の整数倍に変化させることによって色を選択することができる。反射層はＡｇまたはＡｇ合金で作製され得るが、これらに限定されない。そして、スペーサ層はＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＴｉＯ２等で作製され得るが、これらに限定されない。

すべての実施形態では、サブピクセルが画定された後に、スパッタリング、蒸着、エレクトロスピニング、スピンオンコーティング、ダイコーティング、印刷、またはそれらの任意の組み合わせによって透明導電層が成膜されるが、これらに限定されない。この層のための材料は、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）、アルミニウム酸化亜鉛（ＡＺＯ）、Ａｇナノワイヤ、またはポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン）−ポリ（スチレンスルホン酸）（ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳ）であるが、これらに限定されない。この層は、駆動バックプレーン層を薄膜トランジスタと接続する透明電極を含むことになる。

透明導電層は、フォトリソグラフィ、レーザーアブレーション、または印刷を使用してパターニングされ得るが、これらに限定されない。

図１は、キャリア基板１１０上に作製されたカラーフィルタスタック１００の断面図を示す。層間剥離層１２０がキャリア基板１１０の上に成膜され、ポリマー基板材料１３０がこの層間剥離層１２０の上に成膜および硬化されている。さらに、ブラックマトリクスパターン１４０が成膜およびパターニングされた。パターニングされたカラーレジストから作製されたカラーフィルタ画素１５０もポリマー基板材料１３０の上に成膜およびパターニングされ、透明導電層１６０が成膜されてＴＦＴバックプレーンの電極として機能する。

図２は、キャリア基板１１０上に作製されたカラーフィルタスタック１００、およびキャリア基板１１０からのカラーフィルタスタック１００の剥離の断面図を示す。層間剥離層１２０がキャリア基板１１０の上に成膜され、ポリマー基板材料１３０が層間剥離層１２０の上に成膜および硬化されている。加えて、ブラックマトリクス１４０およびカラーフィルタ画素１５０が、ポリマー基板材料１３０の上に成膜およびパターニングされた。キャリア基板１１０からのカラーフィルタスタック１００の剥離を始めるために、流体２００がポリマー基板材料１３０と層間剥離層１２０との間の界面に導入されてポリマー基板材料１３０と層間剥離層１２０との間の接着力を低下させる。ポリマー基板材料１３０と層間剥離層１２０との間の接着力を低下させることは、キャリア基板１１０からのカラーフィルタスタック１００の層間剥離を可能にする。

図３は、フレキシブルカラーフィルタスタック、例えば、上の図１で記載したようなカラーフィルタスタック１００の作製のための例示的なプロセスフロー図３００である。ブロック３０１で、ケイ酸塩溶液をキャリア基板の上に分配し、乾燥して剥離層を形成する。続いて、ブロック３０２で、チオールクリック熱硬化性樹脂を乾燥したケイ酸塩層の上に分配する。その後、ブロック３０３で、チオールクリック熱硬化性樹脂を硬化し、これによりブロック３０４でカラーフィルタの作製が可能になる。ブロック３０５で、フレキシブルカラーフィルタをキャリア基板から剥離する。

図４Ａは、ブラックマトリクス、例えば、上の図１で記載したような、サブピクセル４１０間の光漏れを防ぐために低透過率の材料でパターニングした後の、ブラックマトリクス１００の上面図４００である。上で議論したように、ブラックマトリクスはクロム、黒色フォトレジスト、または感光性黒色インクで作られてよいが、これらに限定されない。ブラックマトリクスは、スピンキャスト技術、ダイキャスト技術、印刷技術、熱蒸着技術、またはそれらの任意の組み合わせを使用して成膜され得るが、これらに限定されない。６０〜１００℃の温度範囲で１０〜１０，０００秒間のプリベークが実施されてよい。マスクアライナ、ステッパ、スキャナ、印刷、またはそれらの任意の組み合わせを備えるシステムを使用して、フォトリソグラフィがブラックマトリクスのパターニングに使用され得る。露光は、ｇ線（４３６ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）、ｉ線（３６５ｎｍ）、ｊ線（３１３ｎｍ）、またはそれらの任意の組み合わせのような任意の好適な光源を使用して実施され得る。露光時間はフォトレジストとして使用される材料によって規定される。材料は、使用される材料に応じて、１０〜１０，０００秒間、１００〜３００℃でベークされて存在する可能性のある溶媒を取り除かれてよい。クロムが使用される場合、その後、金属がウェットエッチングまたはドライエッチングされてよい。

図４Ｂは、カラーフィルタスタック１０２のサブピクセル４１０を通る光の流れ４１２の表示を含む、カラーフィルタスタック１００の断面図である。サブピクセル４１０は、その各々がカラーフィルタ画素１５０を含み、所望の波長の光を吸収して、サブピクセル４１０の各々を通る光の流れ４１２の色を設定する。光の流れ４１４がブラックマトリクス１０３／２０３に接触するまでカラーフィルタスタック１００を通って進む光の流れ４１４も図示されている。ブラックマトリクス１０３は、光の流れ４１４がカラーフィルタスタック１００全体を通過するのを防ぎ、サブピクセル４１０間の光漏れを防ぐ。

図５は、光５０５が薄い反射層５０１の裏面を通り、１．３〜２．６の屈折率を有する媒体５０２中へ入るファブリペローフィルタ５００の断面図である。光５０４は、最終的に５０３を通って出る前に５０１ともう一方の反射材料５０３との間で反射する。光５０４の反射ビーム間の干渉は、特定の波長のみがミラーを出ることを可能にし、したがって入力された光を「フィルタリング」し、フィルタ５００を出る光５０４の色を設定する。上で議論したように、ファブリペローフィルタ５００がカラーフィルタ画素１３０の代わりにサブピクセル４１０中に設置されてよい。

いくつかの実施形態では、フレキシブルカラーフィルタは熱硬化性チオールクリックポリマーを含んでよい。熱硬化性チオールクリックポリマーは、モノマー混合物を硬化することによって調製されてよい。モノマー混合物は、約２５ｗｔ％〜約６５ｗｔ％の１つまたは複数の多官能チオールモノマーおよび約２５ｗｔ％〜約６５ｗｔ％の１つまたは複数の多官能コモノマーを含んでよい。フレキシブルカラーフィルタは、界面接着層および硬質電子部品をさらに含んでよい。モノマー混合物は、約０．００１ｗｔ％〜約１０ｗｔ％の小分子添加剤をさらに含んでよい。小分子添加剤は、アセトフェノン、ベンジル化合物、ベンゾイン化合物、ベンゾフェノン、キノン、チオキサントン、アゾビスイソブチロニトリル、過酸化ベンゾイル、過酸化水素、またはそれらの組み合わせを含んでよい。多官能チオールモノマーは、トリメチロールプロパントリス（３−メルカプトプロピオネート）、トリメチロールプロパントリス（２−メルカプトアセテート）、ペンタエリスリトールテトラキス（２−メルカプトアセテート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトプロピオネート）、２，２’−（エチレンジオキシ）ジエタンチオール、１，３−プロパンジチオール、１，２−エタンジチオール、１，４−ブタンジチオール、トリス［２−（３−メルカプトプロピオニルオキシ）エチル］イソシアヌレート、３，４−エチレンジオキシチオフェン、１，１０−デカンジチオール、トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカンジチオール、ベンゼン−１，２−ジチオール、およびトリチオシアヌル酸、ジペンタエリスリトールヘキサキス（３−メルカプトプロピオネート）、２，３−ジ（（２−メルカプトエチル）チオ）−１−プロパンチオール、ジメルカプトジエチルスルフィド、エトキシ化トリメチルプロパン−トリ（３−メルカプトプロピオネート）、エトキシ化トリメチルプロパントリ（３−メルカプトプロピオネート）、ポリカプロラクトンテトラ３−メルカプトプロピオネート、ジ−ペンタエリスリトールヘキサキス（３−メルカプトプロピオネート）、ジ−トリメチロールプロパンテトラ（３−メルカプトプロピオネート）、グリコールジ（３−メルカプトプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラメルカプトアセテート、トリメチロールプロパントリメルカプトアセテート、グリコールジメルカプトアセテート、またはそれらの組み合わせを含んでよい。多官能コモノマーは、１，３，５−トリアリル−１，３，５−トリアジン−２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）−トリオン、トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカンジメタノールジアクリレート、ジビニルベンゼン、ジアリルビスフェノールＡ（ジアセテートエーテル）、テレフタル酸ジアリル、フタル酸ジアリル、マレイン酸ジアリル、トリメチロールプロパンジアリルエーテル、エチレングリコールジシクロペンテニルエーテルアクリレート、炭酸ジアリル、ジアリル尿素、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、桂皮酸シンナミル、桂皮酸ビニル、桂皮酸アリル、アクリル酸アリル、アクリル酸クロチル、メタクリル酸シンナミル、トリビニルシクロヘキサン、１，４−シクロヘキサンジメタノールジビニルエーテル、ポリ（エチレングリコール）ジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、ビスフェノールＡエトキシレートジアリレート、トリス［２−（アクリロイルオキシエチル）］イソシアヌレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールプロパンテトラアクリレート（ｐｅｎｔａｅｔｈｒｙｔｏｌｐｒｏｐａｎｅ ｔｅｔｒａａｃｒｙｌａｔｅ）、ジペンタエリスリトールプロパンペンタ−／ヘキサ−アクリレート（ｄｉｐｅｎｔａｅｔｈｒｙｔｏｌｐｒｏｐａｎｅ ｐｅｎｔａ−／ｈｅｘａ−ａｃｒｙｌａｔｅ）、ポリ（エチレングリコール）ジメタクリレート、ジメタノールジメタクリレート、ビスフェノールＡエトキシレートジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールプロパンテトラメタクリレート（ｐｅｎｔａｅｔｈｒｙｔｏｌｐｒｏｐａｎｅ ｔｅｔｒａｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ）、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、トリス（２，３−エポキシプロピル）イソシアヌレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルｉ、１，１’−（メチレンジ−４，１−フェニレン）ビスマレイミド、１，６−ジ（マレイミド）ヘキサン、１，４−ジ（マレイミド）ブタン、Ｎ，Ｎ’−（１，３−フェニレン）ジマレイミド、イソホロンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、１，４−ジイソシアナトブタン、１，６−ジイソシアナトヘキサン、１，８−ジイソシアナトオクタン、ビニルノルボルネン、ジシクロペンタジエン、エチリデンノルボルネン、またはそれらの組み合わせを含んでよい。

フレキシブルカラーフィルタは熱硬化性ポリマーを含んでよい。フレキシブルカラーフィルタは、熱硬化性ポリマーのガラス転移温度より高い温度で処理可能であってよい。

いくつかの実施形態では、フレキシブルカラーフィルタを作製する方法が提供される。方法例は、モノマー混合物を調製することと、モノマー混合物を硬化して、薄膜処理のための基板として熱硬化性チオールクリックポリマーを含むフレキシブルポリマー性基板フィルムを形成することとを含む。熱硬化前のモノマー混合物は、約２５ｗｔ％〜約６５ｗｔ％の１つまたは複数の多官能チオールモノマーおよび約２５ｗｔ％〜約６５ｗｔ％の１つまたは複数の多官能コモノマーを含んでよい。

熱硬化前のモノマー混合物は、約０．００１ｗｔ％〜約１０ｗｔ％の小分子添加剤をさらに含んでよい。小分子添加剤は、以下：アセトフェノン、ベンジル化合物、ベンゾイン化合物、ベンゾフェノン、キノン、チオキサントン、アゾビスイソブチロニトリル、過酸化ベンゾイル、および過酸化水素の少なくとも１つを含んでよい。多官能チオールモノマーは、以下：トリメチロールプロパントリス（３−メルカプトプロピオネート）、トリメチロールプロパントリス（２−メルカプトアセテート）、ペンタエリスリトールテトラキス（２−メルカプトアセテート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトプロピオネート）、２，２’−（エチレンジオキシ）ジエタンチオール、１，３−プロパンジチオール、１，２−エタンジチオール、１，４−ブタンジチオール、トリス［２−（３−メルカプトプロピオニルオキシ）エチル］イソシアヌレート、３，４−エチレンジオキシチオフェン、１，１０−デカンジチオール、トリシクロ［Ｓ．２．１．０２，６］デカンジチオール、ベンゼン−１，２−ジチオール、およびトリチオシアヌル酸、ジペンタエリスリトールヘキサキス（３−メルカプトプロピオネート）、２，３−ジ（（２−メルカプトエチル）チオ）−１−プロパンチオール、ジメルカプトジエチルスルフィド、エトキシ化トリメチルプロパン−トリ（３−メルカプトプロピオネート）、エトキシ化トリメチルプロパントリ（３−メルカプトプロピオネート）、ポリカプロラクトンテトラ３−メルカプトプロピオネート、ジ−ペンタエリスリトールヘキサキス（３−メルカプトプロピオネート）、ジ−トリメチロールプロパンテトラ（３−メルカプトプロピオネート）、グリコールジ（３−メルカプトプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラメルカプトアセテート、トリメチロールプロパントリメルカプトアセテート、グリコールジメルカプトアセテート、またはそれらの組み合わせの少なくとも１つを含んでよい。多官能コモノマーは、以下：１，３，５−トリアリル−１，３，５−トリアジン−２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，ＳＨ）−トリオン、トリシクロ［Ｓ．２．１．０２，６］デカンジメタノールジアクリレート、ジビニルベンゼン、ジアリルビスフェノールＡ（ジアセテートエーテル）、テレフタル酸ジアリル、フタル酸ジアリル、マレイン酸ジアリル、トリメチロールプロパンジアリルエーテル、エチレングリコールジシクロペンテニルエーテルアクリレート、炭酸ジアリル、ジアリル尿素、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、桂皮酸シンナミル、桂皮酸ビニル、桂皮酸アリル、アクリル酸アリル、アクリル酸クロチル、メタクリル酸シンナミル、トリビニルシクロヘキサン、１，４−シクロヘキサンジメタノールジビニルエーテル、ポリ（エチレングリコール）ジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、ビスフェノールＡエトキシレートジアリレート、トリス［２−（アクリロイルオキシエチル）］イソシアヌレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールプロパンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールプロパンペンタ−／ヘキサ−アクリレート、ポリ（エチレングリコール）ジメタクリレート、ジメタノールジメタクリレート、ビスフェノールＡエトキシレートジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールプロパンテトラメタクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、トリス（２，３−エポキシプロピル）イソシアヌレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルｉ、１，１’−（メチレンジ−４，１−フェニレン）ビスマレイミド、１，６−ジ（マレイミド）ヘキサン、１，４−ジ（マレイミド）ブタン、Ｎ，Ｎ’−（１，３−フェニレン）ジマレイミド、イソホロンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、１，４−ジイソシアナトブタン、１，６−ジイソシアナトヘキサン、１，８−ジイソシアナトオクタン、ビニルノルボルネン、ジシクロペンタジエン、エチリデンノルボルネン、またはそれらの組み合わせの少なくとも１つを含んでよい。

一実施形態では、剥離層はアルカリ金属ケイ酸塩を含むケイ酸塩溶液であり、ケイ酸リチウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、ケイ酸ルビジウム、ケイ酸セシウム、ケイ酸フランシウム、またはそれらの任意の組み合わせが挙げられるが、これらに限定されない。別の実施形態では、剥離層はアルカリ土類金属ケイ酸塩を含み、ケイ酸ベリリウム、ケイ酸マグネシウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸ストロンチウム、ケイ酸バリウム、ケイ酸ラジウム、またはそれらの任意の組み合わせが挙げられるが、これらに限定されない。さらなる実施形態では、剥離層はアルカリ金属ケイ酸塩とアルカリ土類金属ケイ酸塩との組み合わせを含む。例では、ケイ酸塩（複数可）は水中に可溶化されて０．０１〜５０％ｗ／ｗのケイ酸塩溶液を形成し、コーティング方法（例えば、スピンコーティング）を介してキャリアの上に分配されてよい。その後、生成されたフィルムは昇温（例えば、１２５℃に１０分間の曝露）または他の方法によって脱溶媒和されてケイ酸塩結合層を形成してよい。ケイ酸塩結合層が形成された後、フレキシブル基板がケイ酸塩結合層の上に形成されてよい。一実施形態では、フレキシブル基板は、ケイ酸塩結合層の上にフレキシブル基板材料を溶液コーティングおよび硬化することによって形成される。微細加工後、フレキシブル基板とキャリアとの間のケイ酸塩結合層は機械的除去を介して露出されてよく、水または他の溶媒が界面に導入されてケイ酸塩を再溶媒和してよい。その後、フレキシブル基板は、キャリアと剥離されるフレキシブル基板との間の角度が９０°以下で測定して１ｋｇｆ／ｍ未満の引張力を介してキャリアから取り除かれてよい。キャリアとフレキシブル基板との間の引張力および角度に起因する適用された剥離力は、以下の式を使用して計算されてよい。

実施例１
３７０ｍｍ×４７０ｍｍのガラスパネルをキャリアとして使用する。薄い剥離層をダイコーティングによって成膜し、ベークして溶媒を取り除く。ポリマー樹脂の５０μｍの層を薄い剥離層の上にスロットダイコーティングし、ＵＶ光を照射しながら２５０℃で１時間硬化する。ポリマー樹脂の硬化後、感光性黒色インクの１．４μｍの層をポリマー樹脂上にスピンコーティングによってコーティングする。その後、試料を１００℃で２分間ベークして溶媒を取り除く。続いて、フォトマスクを使用して３６５ｎｍ（ｉ線）の波長のＵＶ光を遮断し、その後、現像してポリマー樹脂上へブラックマトリクスをパターニングする。得られた試料をハードベークするために２００℃で２分間ベークする。ハードベークステップの後、赤色カラーレジストの層を試料上へ１．２μｍの厚さでスピンコーティングする。その後、得られた試料を硬化するために１００℃で２分間ベークする。フォトマスクを使用して、ブラックマトリクスをパターニングされたポリマー樹脂上に赤色サブピクセルの場所をパターニングする。その後、得られた試料を現像およびハードベークする。ＲＧＢ構成を使用する場合、残りの２つのサブピクセルについて、青色カラーレジストおよび緑色カラーレジストが赤色カラーレジストと同様のプロセスで使用され得る。カラーレジストを塗布した後、１００ｎｍのＩＴＯをスパッタリングして、駆動バックプレーン層の薄膜トランジスタのための透明電極を形成する。ＩＴＯを、レーザーアブレーションによってパターニングする。その後、ポリマー基板をキャリアから機械的に取り除く。

実施例２
ＲＧＢＹ構成の黄色用に追加のサブピクセルが使用される実施例１の手順。

実施例３
ＳｉＯ２、ＴｉＯ２、ＳｉまたはＡｇなどであるが、これらに限定されない薄膜材料を使用した２つの反射層間にスペーサ層を有する単一キャビティファブリペローフィルタを使用してサブピクセルが作製される、より薄いカラーフィルタのための実施例１または実施例２の手順。

Claims (15)

1. 剛性キャリア基板上に剥離層を分配することと、
   前記剥離層上にポリマー樹脂を分配することと、
   前記ポリマー樹脂を硬化して透明フィルムにすることと、
   前記透明フィルム上にフレキシブルカラーフィルタを作製することと、
   前記フレキシブルカラーフィルタを前記剥離層および前記剛性キャリア基板から取り除くことと
   を含む、フレキシブルカラーフィルタを製造する方法。
2. 前記剥離層はケイ酸塩溶液から分配されたケイ酸塩結合層である、請求項１に記載の方法。
3. 前記フレキシブルカラーフィルタを取り除くことは、真空ローラ、楔形ブレード、引張グリップ、超音波浴、またはそれらの任意の組み合わせを利用して前記フレキシブルカラーフィルタを前記剛性キャリア基板から取り除くこと含む、請求項１に記載の方法。
4. 前記透明フィルム上に前記フレキシブルカラーフィルタを作製することは、
   クロム、黒色フォトレジスト、または黒色感光性インクの層を含むブラックマトリクスを製造することであって、前記ブラックマトリクスは、ブラックマトリクスパターンを発生させるためにフォトリソグラフィを使用してベークおよび処理される、製造することと、
   少なくとも１層のカラーレジストを製造することであって、前記少なくとも１層のカラーレジストは、前記少なくとも１層のカラーレジストをパターニングするためにフォトリソグラフィを使用してベークおよび処理される、製造することと、
   前記フレキシブルカラーフィルタ上に透明導電材料を成膜することであって、前記透明導電材料層はパターニングされた層である、成膜することと
   を含む、請求項１に記載の方法。
5. 前記透明導電材料は、酸化インジウムスズ、ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳ、銀ナノワイヤ、またはそれらの任意の組み合わせを含む、請求項４に記載の方法。
6. 前記透明導電材料は、レーザーアブレーション、フォトリソグラフィ、シャドーマスク、またはそれらの任意の組み合わせを使用してパターニングされる、請求項４に記載の方法。
7. サブピクセルの作製は、
   ２つの反射層間に位置してキャビティを作り出すスペーサ層であって、前記スペーサ層は１．３〜２．６の屈折率を有する材料を含み、サブピクセルの色を制御するために１０〜５００ｎｍの範囲で可変の厚さを含む、スペーサ層
   を含むファブリペローフィルタを使用してなされる、請求項１に記載の方法。
8. 前記反射層は銀または銀合金を含む、請求項７に記載の方法。
9. 熱硬化性チオールクリックポリマーを含む透明フレキシブル基板を含む、フレキシブルカラーフィルタ。
10. 前記熱硬化性チオールクリックポリマーはモノマー混合物を硬化することによって調製され、前記モノマー混合物は約２５ｗｔ％〜約６５ｗｔ％の１つまたは複数の多官能チオールモノマーおよび約２５ｗｔ％〜約６５ｗｔ％の１つまたは複数の多官能コモノマーを含む、請求項９に記載のフレキシブルカラーフィルタ。
11. 前記モノマー混合物は、約０．００１ｗｔ％〜約１０ｗｔ％の小分子添加剤をさらに含む、請求項１０に記載のフレキシブルカラーフィルタ。
12. 前記小分子添加剤は、アセトフェノン、ベンジル化合物、ベンゾイン化合物、ベンゾフェノン、キノン、チオキサントン、アゾビスイソブチロニトリル、過酸化ベンゾイル、過酸化水素、またはそれらの組み合わせを含む、請求項１１に記載のフレキシブルカラーフィルタ。
13. 前記多官能チオールモノマーは、トリメチロールプロパントリス（３−メルカプトプロピオネート）、トリメチロールプロパントリス（２−メルカプトアセテート）、ペンタエリスリトールテトラキス（２−メルカプトアセテート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトプロピオネート）、２，２’−（エチレンジオキシ）ジエタンチオール、１，３−プロパンジチオール、１，２−エタンジチオール、１，４−ブタンジチオール、トリス［２−（３−メルカプトプロピオニルオキシ）エチル］イソシアヌレート、３，４−エチレンジオキシチオフェン、１，１０−デカンジチオール、トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカンジチオール、ベンゼン−１，２−ジチオール、トリチオシアヌル酸、またはそれらの組み合わせを含み、
    前記多官能コモノマーは、１，３，５−トリアリル−１，３，５−トリアジン−２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，ＳＨ）−トリオン、トリシクロ［Ｓ．２．１．０２，６］デカンジメタノールジアクリレート、ジビニルベンゼン、ジアリルビスフェノールＡ（ジアセテートエーテル）、テレフタル酸ジアリル、フタル酸ジアリル、マレイン酸ジアリル、トリメチロールプロパンジアリルエーテル、エチレングリコールジシクロペンテニルエーテルアクリレート、炭酸ジアリル、ジアリル尿素、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、桂皮酸シンナミル、桂皮酸ビニル、桂皮酸アリル、アクリル酸アリル、アクリル酸クロチル、メタクリル酸シンナミル、トリビニルシクロヘキサン、１，４−シクロヘキサンジメタノールジビニルエーテル、ポリ（エチレングリコール）ジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、ビスフェノールＡエトキシレートジアリレート、トリス［２−（アクリロイルオキシエチル）］イソシアヌレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールプロパンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールプロパンペンタ−／ヘキサ−アクリレート、ポリ（エチレングリコール）ジメタクリレート、ジメタノールジメタクリレート、ビスフェノールＡエトキシレートジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールプロパンテトラメタクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、トリス（２，３−エポキシプロピル）イソシアヌレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルｉ、１，１’−（メチレンジ−４，１−フェニレン）ビスマレイミド、１，６−ジ（マレイミド）ヘキサン、１，４−ジ（マレイミド）ブタン、Ｎ，Ｎ’−（１，３−フェニレン）ジマレイミド、イソホロンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、１，４−ジイソシアナトブタン、１，６−ジイソシアナトヘキサン、１，８−ジイソシアナトオクタン、ビニルノルボルネン、ジシクロペンタジエン、エチリデンノルボルネン、またはそれらの組み合わせを含む、
    請求項１０に記載のフレキシブルカラーフィルタ。
14. 前記多官能チオールモノマーは、以下：トリメチロールプロパントリス（３−メルカプトプロピオネート）、トリメチロールプロパントリス（２−メルカプトアセテート）、ペンタエリスリトールテトラキス（２−メルカプトアセテート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトプロピオネート）、２，２’−（エチレンジオキシ）ジエタンチオール、１，３−プロパンジチオール、１，２−エタンジチオール、１，４−ブタンジチオール、トリス［２−（３−メルカプトプロピオニルオキシ）エチル］イソシアヌレート、３，４−エチレンジオキシチオフェン、１，１０−デカンジチオール、トリシクロ［Ｓ．２．１．０２，６］デカンジチオール、ベンゼン−１，２−ジチオール、およびトリチオシアヌル酸の少なくとも１つを含む、請求項１０に記載のフレキシブルカラーフィルタ。
15. 前記多官能コモノマーは、以下：１，３，５−トリアリル−１，３，５−トリアジン−２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，ＳＨ）−トリオン、トリシクロ［Ｓ．２．１．０２，６］デカンジメタノールジアクリレート、ジビニルベンゼン、ジアリルビスフェノールＡ（ジアセテートエーテル）、テレフタル酸ジアリル、フタル酸ジアリル、マレイン酸ジアリル、トリメチロールプロパンジアリルエーテル、エチレングリコールジシクロペンテニルエーテルアクリレート、炭酸ジアリル、ジアリル尿素、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、桂皮酸シンナミル、桂皮酸ビニル、桂皮酸アリル、アクリル酸アリル、アクリル酸クロチル、メタクリル酸シンナミル、トリビニルシクロヘキサン、１，４−シクロヘキサンジメタノールジビニルエーテル、ポリ（エチレングリコール）ジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、ビスフェノールＡエトキシレートジアリレート、トリス［２−（アクリロイルオキシエチル）］イソシアヌレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールプロパンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールプロパンペンタ−／ヘキサ−アクリレート、ポリ（エチレングリコール）ジメタクリレート、ジメタノールジメタクリレート、ビスフェノールＡエトキシレートジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールプロパンテトラメタクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、トリス（２，３−エポキシプロピル）イソシアヌレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルｉ、１，１’−（メチレンジ−４，１−フェニレン）ビスマレイミド、１，６−ジ（マレイミド）ヘキサン、１，４−ジ（マレイミド）ブタン、Ｎ，Ｎ’−（１，３−フェニレン）ジマレイミド、イソホロンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、１，４−ジイソシアナトブタン、１，６−ジイソシアナトヘキサン、１，８−ジイソシアナトオクタン、ビニルノルボルネン、ジシクロペンタジエン、およびエチリデンノルボルネンの少なくとも１つを含む、請求項１０に記載のフレキシブルカラーフィルタ。

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