JP2020505775A - 基板搬送装置の位置補償のための方法および装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2017年1月26日に出願された米国仮特許出願第62/450,818号の利益を主張する通常出願であって、その開示内容の全ては、参照により本明細書に組み込まれる。
例示的実施形態は、概して、ロボットシステム、より詳細には、ロボット搬送装置に関する。
Claims (96)
- 処理ツールの基板搬送システムのための基板搬送経験的アーム垂下マッピング装置であって、前記マッピング装置は、
フレームと、
前記基板搬送システムにより画定される、前記処理ツール内の基板搬送スペースを表す基準特徴部を形成する、前記フレーム上に配置されるインターフェースと、
関節式であり、基板保持部を有する基板搬送アームであって、前記基準特徴部のうちの少なくとも1つに対し所定の関係で前記フレームに取り付けられる基板搬送アームと、
レジストレーションシステムであって、前記レジストレーションシステムが、アーム垂下距離レジスタに、第1アーム位置と、前記第1アーム位置と異なる第2アーム位置との間のアーム垂下の変化による経験的アーム垂下距離を記録するように、前記レジストレーションシステムが、前記基板搬送アームおよび少なくとも1つの基準特徴部に対して配置され、前記基板保持部が、少なくとも1つの運動軸に沿って前記搬送スペース内で移動される、レジストレーションシステムと
を備える、
装置。 - 前記アーム垂下距離レジスタは、前記第1アーム位置および前記第2アーム位置における、ならびに第1アーム位置および第2アーム位置の両方と異なる第3アーム位置における前記経験的アーム垂下距離を記述し、前記基板保持部は、前記少なくとも1つの運動軸に沿って移動される、請求項1記載の装置。
- 前記アーム垂下距離レジスタは、アーム位置に対するアーム垂下距離の変動を記述する曲線を画定するように具現化され、前記基板保持部は、前記少なくとも1つの運動軸に沿って移動される、請求項1記載の装置。
- 前記曲線は、アーム位置に対するアーム垂下距離の変動を記述し、前記基板保持部は、前記基板搬送スペース中の移送平面または移送体積を画定する2つ以上の異なる運動軸に沿って移動される、請求項3記載の装置。
- 前記曲線は、前記2つ以上の異なる運動軸のそれぞれに沿った基板保持部の運動についての、アーム位置に対する個別のアーム垂下距離の変動を記述する、請求項4記載の装置。
- 前記アーム垂下距離レジスタは、データルックアップテーブルまたはアルゴリズムとして具現化される、請求項3記載の装置。
- 前記少なくとも1つの運動軸は、前記基板搬送アームを囲む前記基板搬送スペースの少なくとも各象限中の前記基板搬送アームの伸長軸、少なくとも前記基板搬送アームの回転軸、または少なくとも前記基板搬送アームのリフト軸である、請求項1記載の装置。
- 前記基板搬送アームには、アーム運動を駆動する共軸駆動スピンドルを有する駆動部が取り付けられる、請求項1記載の装置。
- 前記基板搬送アームは、複数の別個の交換可能搬送アームから選択可能であり、交換可能搬送アームのそれぞれは、前記装置の前記レジストレーションシステムにより記録される別個の対応するアーム垂下距離レジスタを有し、レジスタのそれぞれは、対応する搬送アームに固有の経験的アーム垂下距離を記述する、請求項1記載の装置。
- フレーム上に配置されるインターフェースを有するフレームを提供するステップであって、前記インターフェースは、処理ツール内で、前記処理ツールの基板搬送システムにより画定される基板搬送スペースを表す基準特徴部を形成している、ステップと、
多関節アームであり、基板保持部を有する基板搬送アームを、前記基準特徴部のうちの少なくとも1つに対し所定の関係で前記フレームに取り付けるステップと、
前記基板搬送アームおよび少なくとも1つの基準特徴部に対して配置されるレジストレーションシステムを用いて、第1アーム位置と、前記第1アーム位置と異なる第2アーム位置との間のアーム垂下の変化による経験的アーム垂下距離をアーム垂下レジスタに記録するステップであって、前記基板保持部が、少なくとも1つの運動軸に沿って前記搬送スペース内で移動される、ステップと
を含む方法。 - 前記アーム垂下距離レジスタは、前記第1アーム位置および前記第2アーム位置における、ならびに第1アーム位置および第2アーム位置の両方と異なる第3アーム位置における前記経験的アーム垂下距離を記述し、前記基板保持部は、前記少なくとも1つの運動軸に沿って移動される、請求項10記載の方法。
- 前記アーム垂下距離レジスタは、アーム位置に対するアーム垂下距離の変動を記述する曲線を画定するように具現化され、前記基板保持部は、前記少なくとも1つの運動軸に沿って移動される、請求項10記載の方法。
- 前記曲線は、アーム位置に対する前記アーム垂下距離の変動を記述し、前記基板保持部は、前記基板搬送スペース中の移送平面または移送体積を画定する2つ以上の異なる運動軸に沿って移動される、請求項12記載の方法。
- 前記曲線は、前記2つ以上の異なる運動軸のそれぞれに沿った基板保持部の運動についての、アーム位置に対する個別のアーム垂下距離の変動を記述する、請求項13記載の方法。
- 前記アーム垂下距離レジスタは、データルックアップテーブルまたはアルゴリズムとして具現化される、請求項12記載の方法。
- 前記少なくとも1つの運動軸は、前記基板搬送アームを囲む前記基板搬送スペースの少なくとも各象限中の前記基板搬送アームの伸長軸、少なくとも前記基板搬送アームの回転軸、または少なくとも前記基板搬送アームのリフト軸である、請求項10記載の方法。
- 前記基板搬送アームには、アーム運動を駆動する共軸駆動スピンドルを有する駆動部が取り付けられる、請求項10記載の方法。
- 複数の別個の交換可能搬送アームから前記基板搬送アームを選択するステップであって、交換可能基板搬送アームのそれぞれは、前記レジストレーションシステムにより記録される別個の対応するアーム垂下距離レジスタを有し、各レジスタは、対応する搬送アームに固有の経験的アーム垂下距離を記述する、ステップをさらに含む、請求項10記載の方法。
- 基板搬送装置であって、
フレームと、
前記フレームに接続される駆動部と、
前記駆動部に動作可能に接続される搬送アームであって、前記搬送アームは、関節式であり、基板保持部を備えるエンドエフェクタを有し、前記フレームに対する少なくとも1つの運動軸に沿った前記搬送アームの関節運動により画定される搬送スペース内において、第1位置と、前記第1位置と異なる第2位置との間で、前記フレームに対し移動可能である、搬送アームと、
前記搬送アームの関節運動をもたらすように前記駆動部に動作可能に接続される制御装置であって、前記制御装置は、前記第1位置と前記第2位置との間の搬送アーム垂下による前記搬送アームの経験的垂下距離を解決するように構成されるアーム垂下補償装置を備える、制御装置と
を備える基板搬送装置。 - 前記制御装置は、前記駆動部を用いて、前記搬送アームの前記経験的垂下距離の略全体を補償および解決する大きさおよび方向の前記搬送アームの補償運動をもたらす、請求項19記載の基板搬送装置。
- 前記アーム垂下補償装置は、アーム垂下距離レジスタを有し、前記アーム垂下補償装置は、前記アーム垂下距離レジスタから、前記第1位置と前記第2位置との間の前記搬送アームの前記経験的垂下距離を判定する、請求項19記載の基板搬送装置。
- 前記制御装置は、前記駆動部を用いて、前記アーム垂下距離レジスタから判定される前記搬送アームの前記経験的垂下距離の略全体を補償および解決する大きさおよび方向の前記搬送アームの補償運動をもたらす、請求項21記載の基板搬送装置。
- 前記補償運動は、前記搬送スペース内の所定の場所にある前記基板保持部が、アーム垂下が顕在化される方向で、前記搬送アーム垂下と無関係であるネットポジションにあるように、所定の参照基準に対する前記搬送アームの前記経験的垂下距離の略全体の相殺を引き起こす、請求項22記載の基板搬送装置。
- 前記所定の場所は、基板処理ツール内の基板送り先場所である、請求項23記載の基板搬送装置。
- 前記制御装置は、前記基板保持部が実質的に前記ネットポジションにて前記所定の場所に到達する運動を完了するように、前記補償運動をもたらす、請求項23記載の基板搬送装置。
- 前記制御装置は、前記第1位置と前記第2位置との間で時間最適軌道を有する最適経路に沿って前記基板保持部を移動させるアーム運動を用いて、前記補償運動をもたらす、請求項23記載の基板搬送装置。
- 前記駆動部および前記搬送アームは、前記搬送アームの運動が2以上の自由度を有するように構成され、前記アーム垂下距離レジスタは、前記2以上の自由度の前記搬送アームの前記運動により形成される前記搬送スペースに亘る前記経験的アーム垂下距離を記述する、請求項21記載の基板搬送装置。
- 前記搬送アームは、前記駆動部との接続部にて交換されるように、複数の別個の交換可能搬送アームから交換可能であり、前記交換可能搬送アームのそれぞれは、異なるアーム垂下特性、およびそれに関連する、対応する垂下距離レジスタを有し、垂下距離レジスタは、関連するアームの経験的アーム垂下距離を記述する、請求項21記載の基板搬送装置。
- 請求項28記載の基板搬送装置を備える基板処理ツールであって、前記搬送スペース内の所定の場所にある前記基板保持部上の基板とインターフェース接続するように配置され、前記インターフェース接続が前記搬送アーム垂下と無関係にもたらされるように位置決めされる基板保持ステーションを有する基板処理ツール。
- 請求項28記載の基板搬送装置を備える基板処理ツールであって、前記搬送アームまたは前記基板保持部と相互作用し、前記相互作用が前記搬送アーム垂下と無関係にもたらされるように配置される所定の構造を有する基板処理ツール。
- フレームと、
前記フレームに接続される駆動部と、
前記駆動部に動作可能に接続される搬送アームであって、前記搬送アームは、関節式であり、基板保持部を備えるエンドエフェクタを有し、前記フレームに対する少なくとも1つの運動軸に沿った前記搬送アームの関節運動により画定される搬送スペース内において、第1位置と、前記第1位置と異なる第2位置との間で、前記フレームに対し移動可能である、搬送アームと、
前記搬送アームの関節運動をもたらすように前記駆動部に動作可能に接続される制御装置であって、前記制御装置は、前記駆動部を用いて、アーム垂下が顕在化される方向の反対の方向に、前記第1位置と前記第2位置との間のアーム垂下による、所定の参照基準に対する経験的アーム垂下距離の全体を実質的に相殺するように、前記アーム垂下を補償するアームの運動をもたらすように構成される、制御装置と
を備える基板処理ツール。 - 前記制御装置は、アーム垂下距離レジスタを有し、前記制御装置は、前記アーム垂下距離レジスタから、前記第1位置と前記第2位置との間の前記搬送アームの前記経験的アーム垂下距離を判定する、請求項31記載の基板搬送ツール。
- 前記駆動部および前記搬送アームは、前記搬送アームの運動が2以上の自由度を有するように構成され、前記アーム垂下距離レジスタは、前記2以上の自由度の前記搬送アームの前記運動により形成される前記搬送スペースに亘る前記経験的アーム垂下距離を記述する、請求項32記載の基板搬送ツール。
- 前記搬送アームは、前記駆動部との接続部にて交換されるように、複数の別個の交換可能搬送アームから交換可能であり、前記交換可能搬送アームのそれぞれは、異なるアーム垂下特性、およびそれに関連する、対応するアーム垂下距離レジスタを有し、アーム垂下距離レジスタは、関連するアームの経験的アーム垂下距離を記述する、請求項32記載の基板搬送ツール。
- 前記補償運動は、前記搬送スペース内の所定の場所にある前記基板保持部が、アーム垂下が顕在化される方向で、前記アーム垂下と無関係のネットポジションにあるように、所定の参照基準に対する前記搬送アームの前記経験的アーム垂下距離の略全体の相殺を引き起こす、請求項31記載の基板搬送ツール。
- 前記所定の場所は、基板処理ツール内の基板送り先場所である、請求項35記載の基板搬送ツール。
- 前記制御装置は、前記基板保持部が実質的に前記ネットポジションにて前記所定の場所に到達する運動を完了するように、前記アーム垂下が顕在化される方向の反対の方向に、前記搬送アームの前記運動をもたらす、請求項35記載の基板搬送ツール。
- 前記制御装置は、前記第1位置と前記第2位置との間で時間最適軌道を有する最適経路に沿って前記基板保持部を移動させるアーム運動を用いて、アーム垂下が顕在化される方向の反対の方向に前記搬送アームの前記運動をもたらす、請求項31記載の基板搬送ツール。
- フレームに接続される駆動部、および前記駆動部に動作可能に接続される搬送アームを有する基板搬送装置を提供するステップであって、前記搬送アームは、関節式であり、基板保持部を備えるエンドエフェクタを有し、前記フレームに対する少なくとも1つの運動軸に沿った前記搬送アームの関節運動により画定される搬送スペース内において、第1位置と、前記第1位置と異なる第2位置との間で、前記フレームに対し移動可能である、ステップと、
前記第1位置と前記第2位置との間の搬送アーム垂下による前記搬送アームの経験的垂下距離を解決するステップであって、前記第1位置と前記第2位置との間の前記搬送アームの前記経験的垂下距離は、前記搬送アームの関節運動をもたらすように前記駆動部に接続される制御装置内に存在するアーム垂下補償装置のアーム垂下距離レジスタから判定される、ステップと
を含む方法。 - 前記制御装置は、前記駆動部を用いて、前記搬送アームの前記経験的垂下距離の略全体を補償および解決する大きさおよび方向の前記搬送アームの補償運動をもたらす、請求項39記載の方法。
- 前記アーム垂下補償装置は、アーム垂下距離レジスタを有し、前記方法は、前記アーム垂下補償装置を用いて、前記アーム垂下距離レジスタから、前記第1位置と前記第2位置との間の前記搬送アームの前記経験的垂下距離を判定することをさらに含む、請求項39記載の方法。
- 前記制御装置は、前記駆動部を用いて、前記アーム垂下距離レジスタから判定される前記搬送アームの前記経験的垂下距離の略全体を補償および解決する大きさおよび方向の前記搬送アームの補償運動をもたらす、請求項41記載の方法。
- 前記補償運動は、前記搬送スペース内の所定の場所にある前記基板保持部が、搬送アーム垂下が顕在化される方向で、前記搬送アーム垂下と無関係のネットポジションにあるように、所定の参照基準に対する前記搬送アームの前記経験的垂下距離の略全体の相殺を引き起こす、請求項42記載の方法。
- 前記所定の場所は、基板処理ツール内の基板送り先場所である、請求項43記載の方法。
- 前記制御装置は、前記基板保持部が実質的に前記ネットポジションにて前記所定の場所に到達する運動を完了するように、前記補償運動をもたらす、請求項43記載の方法。
- 前記制御装置は、前記第1位置と前記第2位置との間で時間最適軌道を有する最適経路に沿って前記基板保持部を移動させるアーム運動を用いて、前記補償運動をもたらす、請求項43記載の方法。
- 前記駆動部および前記搬送アームは、前記搬送アームの運動が2以上の自由度を有するように構成され、前記方法は、前記アーム垂下距離レジスタを用いて、前記2以上の自由度の前記搬送アームの前記運動により形成される前記搬送スペースに亘る前記経験的アーム垂下距離を記述するステップをさらに含む、請求項41記載の方法。
- 前記搬送アームは、前記駆動部との接続部にて交換されるように、複数の別個の交換可能搬送アームから交換可能であり、前記交換可能搬送アームのそれぞれは、異なるアーム垂下特性、およびそれに関連する、対応するアーム垂下距離レジスタを有し、アーム垂下距離レジスタは、関連するアームの経験的アーム垂下距離を記述する、請求項41記載の方法。
- 処理ツールの基板搬送システムのための基板搬送アーム垂下マッピング装置であって、前記マッピング装置は、
フレームと、
前記基板搬送システムにより画定される、前記処理ツール内の基板搬送スペースを表す基準特徴部を形成する、前記フレーム上に配置されるインターフェースと、
関節式であり、基板保持部を有する基板搬送アームであって、前記基準特徴部のうちの少なくとも1つに対し所定の関係で前記フレームに取り付けられる基板搬送アームと、
レジストレーションシステムであって、前記レジストレーションシステムが、アーム垂下レジスタに、第1アーム位置と、前記第1アーム位置と異なる第2アーム位置との間の非命令アーム幾何構造変化による非命令アーム変位距離を記録するように、前記レジストレーションシステムが、前記基板搬送アームおよび少なくとも1つの基準特徴部に対して配置され、前記基板保持部が、少なくとも1つの運動軸に沿って前記搬送スペース内で移動される、レジストレーションシステムと
を備える、
装置。 - 経験的アーム垂下距離は、前記第1アーム位置および前記第2アーム位置における、ならびに第1アーム位置および第2アーム位置の両方と異なる第3アーム位置における前記非命令アーム変位距離を記述し、前記基板保持部は、前記少なくとも1つの運動軸に沿って移動される、請求項49記載の装置。
- 前記アーム垂下レジスタは、アーム位置に対する非命令アーム変位距離の変動を記述する曲線を画定するように具現化され、前記基板保持部は、前記少なくとも1つの運動軸に沿って移動される、請求項49記載の装置。
- 前記曲線は、アーム位置に対する非命令アーム変位距離の変動を記述し、前記基板保持部は、前記基板搬送スペース中の移送平面または移送体積を画定する2つ以上の異なる運動軸に沿って移動される、請求項51記載の装置。
- 前記曲線は、前記2つ以上の異なる運動軸のそれぞれに沿った基板保持部の運動についての、アーム位置に対する個別の非命令アーム変位距離の変動を記述する、請求項52記載の装置。
- 前記アーム垂下レジスタは、データルックアップテーブルまたはアルゴリズムとして具現化される、請求項51記載の装置。
- 前記少なくとも1つの運動軸は、前記基板搬送アームを囲む前記基板搬送スペースの少なくとも各象限中の前記基板搬送アームの伸長軸、少なくとも前記基板搬送アームの回転軸、または少なくとも前記基板搬送アームのリフト軸である、請求項49記載の装置。
- 前記基板搬送アームには、アーム運動を駆動する共軸駆動スピンドルを有する駆動部が取り付けられる、請求項49記載の装置。
- 前記基板搬送アームは、複数の別個の交換可能搬送アームから選択可能であり、交換可能搬送アームのそれぞれは、前記装置の前記レジストレーションシステムにより記録される別個の対応するアーム垂下レジスタを有し、各レジスタは、対応する搬送アームに固有の非命令アーム変位距離を記述する、請求項49記載の装置。
- フレーム上に配置されるインターフェースを有するフレームを提供するステップであって、前記インターフェースは、処理ツール内で、前記処理ツールの基板搬送システムにより画定される基板搬送スペースを表す基準特徴部を形成している、ステップと、
多関節アームであり、基板保持部を有する基板搬送アームを、前記基準特徴部のうちの少なくとも1つに対し所定の関係で前記フレームに取る付けるステップと、
前記基板搬送アームおよび少なくとも1つの基準特徴部に対して配置されるレジストレーションシステムを用いて、アーム垂下レジスタに、第1アーム位置と、前記第1アーム位置と異なる第2アーム位置との間の非命令アーム幾何構造変化による非命令アーム変位距離を記録するステップであって、前記基板保持部が、少なくとも1つの運動軸に沿って前記搬送スペース内で移動される、ステップと
を含む方法。 - 前記アーム垂下レジスタは、前記第1アーム位置および前記第2アーム位置における、ならびに第1アーム位置および第2アーム位置の両方と異なる第3アーム位置における前記非命令アーム変位距離を記述し、前記基板保持部は、前記少なくとも1つの運動軸に沿って移動される、請求項58記載の方法。
- 前記アーム垂下レジスタは、アーム位置に対する非命令アーム変位距離の変動を記述する曲線を画定するように具現化され、前記基板保持部は、前記少なくとも1つの運動軸に沿って移動される、請求項58記載の方法。
- 前記曲線は、アーム位置に対する前記非命令アーム変位距離の変動を記述し、前記基板保持部は、前記基板搬送スペース中の移送平面または移送体積を画定する2つ以上の異なる運動軸に沿って移動される、請求項60記載の方法。
- 前記曲線は、前記2つ以上の異なる運動軸のそれぞれに沿った基板保持部の運動についての、アーム位置に対する個別の非命令アーム変位距離の変動を記述する、請求項61記載の方法。
- 前記アーム垂下レジスタは、データルックアップテーブルまたはアルゴリズムとして具現化される、請求項60記載の方法。
- 前記少なくとも1つの運動軸は、前記基板搬送アームを囲む前記基板搬送スペースの少なくとも各象限中の前記基板搬送アームの伸長軸、少なくとも前記基板搬送アームの回転軸、または少なくとも前記基板搬送アームのリフト軸である、請求項58記載の方法。
- 前記基板搬送アームには、アーム運動を駆動する共軸駆動スピンドルを有する駆動部が取り付けられる、請求項58記載の方法。
- 複数の別個の交換可能搬送アームから前記基板搬送アームを選択するステップであって、交換可能搬送アームのそれぞれは、前記レジストレーションシステムにより記録される別個の対応するアーム垂下レジスタを有し、各レジスタは、対応する搬送アームに固有の非命令アーム変位距離を記述する、請求項58記載の方法。
- フレームと、
前記フレームに接続される駆動部と、
前記駆動部に動作可能に接続される搬送アームであって、前記搬送アームは、関節式であり、基板保持部を備えるエンドエフェクタを有し、前記フレームに対する少なくとも1つの運動軸に沿った前記搬送アームの関節運動により画定される搬送スペース内において、第1位置と、前記第1位置と異なる第2位置との間で、前記フレームに対し移動可能である、搬送アームと、
前記搬送アームの関節運動をもたらすように前記駆動部に動作可能に接続される制御装置であって、前記制御装置は、前記第1位置と前記第2位置との間の非命令アーム幾何構造変化による前記搬送アームの非命令アーム変位距離を解決するように構成されるアーム垂下補償装置を備える、制御装置と
を備える基板搬送装置。 - 前記制御装置は、前記駆動部を用いて、前記搬送アームの前記非命令アーム変位距離の略全体を補償および解決する大きさおよび方向の前記搬送アームの補償運動をもたらす、請求項67記載の基板搬送装置。
- 前記補償装置は、アーム垂下レジスタを有し、前記アーム垂下補償装置は、前記アーム垂下レジスタから、前記第1位置と前記第2位置との間の前記搬送アームの前記非命令アーム変位距離を判定する、請求項67記載の基板搬送装置。
- 前記制御装置は、前記駆動部を用いて、前記アーム垂下レジスタから判定される前記搬送アームの前記非命令アーム変位距離の略全体を補償および解決する大きさおよび方向の前記搬送アームの補償運動をもたらす、請求項69記載の基板搬送装置。
- 前記補償運動は、前記搬送スペース内の所定の場所にある前記基板保持部が、前記非命令アーム変位が顕在化される方向で、前記非命令アーム幾何構造変化と無関係のネットポジションにあるように、所定の参照基準に対する前記搬送アームの前記非命令アーム変位距離の略全体の相殺を引き起こす、請求項70記載の基板搬送装置。
- 前記所定の場所は、基板処理ツール内の基板送り先場所である、請求項71記載の基板搬送装置。
- 前記制御装置は、前記基板保持部が実質的に前記ネットポジションにて前記所定の場所に到達する運動を完了するように、前記補償運動をもたらす、請求項71記載の基板搬送装置。
- 前記制御装置は、前記第1位置と前記第2位置との間で時間最適軌道を有する最適経路に沿って前記基板保持部を移動させるアーム運動を用いて、前記補償運動をもたらす、請求項71記載の基板搬送装置。
- 前記駆動部および前記搬送アームは、前記搬送アームの運動が2以上の自由度を有するように構成され、前記アーム垂下レジスタは、前記2以上の自由度の前記搬送アームの前記運動により形成される前記搬送スペースに亘る前記非命令アーム変位距離を記述する、請求項69記載の基板搬送装置。
- 前記搬送アームは、前記駆動部との接続部にて交換されるように、複数の別個の交換可能搬送アームから交換可能であり、前記交換可能搬送アームのそれぞれは、異なるアーム垂下特性、およびそれに関連する、対応する垂下レジスタを有し、垂下レジスタは、関連するアームの非命令アーム変位距離を記述する、請求項69記載の基板搬送装置。
- 請求項76記載の基板搬送装置を備える基板処理ツールであって、前記搬送スペース内の所定の場所にある前記基板保持部上の基板とインターフェース接続するように配置され、前記インターフェース接続が前記非命令アーム幾何構造変化と無関係にもたらされるように位置決めされる基板保持ステーションを有する基板処理ツール。
- 請求項76記載の基板搬送装置を備える基板処理ツールであって、前記搬送アームまたは前記基板保持部と相互作用し、前記相互作用が前記非命令アーム幾何構造変化と無関係にもたらされるように配置される所定の構造を有する基板処理ツール。
- 基板処理ツールであって、
フレームと、
前記フレームに接続される駆動部と、
前記駆動部に動作可能に接続される搬送アームであって、前記搬送アームは、関節式であり、基板保持部を備えるエンドエフェクタを有し、前記フレームに対する少なくとも1つの運動軸に沿った前記搬送アームの関節運動により画定される搬送スペース内において、第1位置と、前記第1位置と異なる第2位置との間で、前記フレームに対し移動可能である、搬送アームと、
前記搬送アームの関節運動をもたらすように前記駆動部に動作可能に接続される制御装置であって、前記制御装置は、前記駆動部を用いて、アーム垂下が顕在化される方向の反対の方向に、前記第1位置と前記第2位置との間の非命令アーム幾何構造変化による、所定の参照基準に対する非命令アーム変位距離の全体を実質的に相殺するように、前記アーム垂下を補償するアームの運動をもたらすように構成される、制御装置と
を備える基板処理ツール。 - 前記制御装置は、アーム垂下レジスタを有し、前記制御装置は、前記アーム垂下レジスタから、前記第1位置と前記第2位置との間の前記搬送アームの前記非命令アーム変位距離を判定する、請求項79記載の基板搬送ツール。
- 前記駆動部および前記搬送アームは、前記搬送アームの運動が2以上の自由度を有するように構成され、前記アーム垂下レジスタは、前記2以上の自由度の前記搬送アームの前記運動により形成される前記搬送スペースに亘る前記非命令アーム変位距離を記述する、請求項80記載の基板搬送ツール。
- 前記搬送アームは、前記駆動部との接続部にて交換されるように、複数の別個の交換可能搬送アームから交換可能であり、前記交換可能搬送アームのそれぞれは、異なるアーム垂下特性、およびそれに関連する、対応するアーム垂下レジスタを有し、アーム垂下レジスタは、関連するアームの非命令アーム変位距離を記述する、請求項80記載の基板搬送ツール。
- 前記補償運動は、前記搬送スペース内の所定の場所にある前記基板保持部が、前記アーム垂下が顕在化される方向で、前記アーム垂下と無関係のネットポジションにあるように、所定の参照基準に対する前記搬送アームの前記非命令アーム変位距離の略全体の相殺を引き起こす、請求項79記載の基板搬送ツール。
- 前記所定の場所は、基板処理ツール内の基板送り先場所である、請求項83記載の基板搬送ツール。
- 前記制御装置は、前記基板保持部が実質的に前記ネットポジションにて前記所定の場所に到達する運動を完了するように、前記アーム垂下が顕在化される方向の反対の方向に前記搬送アームの前記運動をもたらす、請求項83記載の基板搬送ツール。
- 前記制御装置は、前記基板保持部を前記第1位置と前記第2位置との間で時間最適軌道を有する最適経路に沿って移動させるアーム運動を用いて、アーム垂下が顕在化される方向の反対の方向に前記搬送アームの前記運動をもたらす、請求項79記載の基板搬送ツール。
- フレームに接続される駆動部、および前記駆動部に動作可能に接続される搬送アームを有する基板搬送装置を提供するステップであって、前記搬送アームは、関節式であり、基板保持部を備えるエンドエフェクタを有し、前記フレームに対する少なくとも1つの運動軸に沿った前記搬送アームの関節運動により画定される搬送スペース内において、第1位置と、前記第1位置と異なる第2位置との間で、前記フレームに対し移動可能である、ステップと、
前記第1位置と前記第2位置との間の非命令アーム幾何構造変化による前記搬送アームの非命令アーム変位距離を解決するステップであって、前記第1位置と前記第2位置との間の前記搬送アームの前記非命令アーム変位距離は、前記搬送アームの関節運動をもたらすように前記駆動部に接続される制御装置内に存在するアーム垂下補償装置のアーム垂下レジスタから判定される、ステップと
を含む方法。 - 前記制御装置は、前記駆動部を用いて、前記搬送アームの前記非命令アーム変位距離の略全体を補償および解決する大きさおよび方向の前記搬送アームの補償運動をもたらす、請求項87記載の方法。
- 前記アーム垂下補償装置は、アーム垂下レジスタを有し、前記方法は、前記アーム垂下補償装置を用いて、前記アーム垂下距離レジスタから、前記第1位置と前記第2位置との間の前記搬送アームの前記非命令アーム変位距離を判定するステップをさらに含む、請求項87記載の方法。
- 前記制御装置は、前記駆動部を用いて、前記アーム垂下レジスタから判定される前記搬送アームの前記非命令アーム変位距離の略全体を補償および解決する大きさおよび方向の前記搬送アームの補償運動をもたらす、請求項89記載の方法。
- 前記補償運動は、前記搬送スペース内の所定の場所にある前記基板保持部が、前記非命令アーム幾何構造変化が顕在化される方向で、前記非命令アーム幾何構造変化と無関係のネットポジションにあるように、所定の参照基準に対する前記搬送アームの前記非命令アーム変位距離の略全体の相殺を引き起こす、請求項90記載の方法。
- 前記所定の場所は、基板処理ツール内の基板送り先場所である、請求項91記載の方法。
- 前記制御装置は、前記基板保持部が実質的に前記ネットポジションにて前記所定の場所に到達する運動を完了するように、前記補償運動をもたらす、請求項91記載の方法。
- 前記制御装置は、前記第1位置と前記第2位置との間で時間最適軌道を有する最適経路に沿って前記基板保持部を移動させるアーム運動を用いて、前記補償運動をもたらす、請求項91記載の方法。
- 前記駆動部および前記搬送アームは、前記搬送アームの運動が2以上の自由度を有するように構成され、前記方法は、前記アーム垂下レジスタを用いて、前記2以上の自由度の前記搬送アームの前記運動により形成される前記搬送スペースに亘る前記非命令アーム変位距離を記述するステップをさらに含む、請求項89記載の方法。
- 前記搬送アームは、前記駆動部との接続部にて交換されるように、複数の別個の交換可能搬送アームから交換可能であり、前記交換可能搬送アームのそれぞれは、異なるアーム垂下特性、およびそれに関連する、対応するアーム垂下レジスタを有し、アーム垂下レジスタは、関連するアームの非命令アーム変位距離を記述する、請求項89記載の方法。
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