JP2020503550A - マイクロリソグラフィ用の光学系の結像特性を変更する方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
Description
結像特性は、少なくとも1つのインタフェースにより光学系に結合される制御信号により変更され、
結像特性の所望の変更のための制御中にそれぞれ結合された上記制御信号の値が、モデルに基づいて確認され、
上記モデルは、制御信号の値毎にそれぞれ得られた結像特性の変更が確認される学習フェーズにおいて、光学系に対するモデルの連続個別適合を実行することにより作成され、且つ
学習フェーズは、光学系内の内部作用機構に関する明示的情報の事前指定なしで実行される。
[x,y,d]=f(A,B,C)=[A,B,C] (1)
f(A,B,C)=[A,B,g(A,B,C)] (2)
[x,y,d]=h(A,B,C)=? (3)
として書くことができる。
Claims (10)
- マイクロリソグラフィ光学系の結像特性を変更する方法であって、
前記結像特性は、少なくとも1つのインタフェースにより前記光学系に結合される制御信号(A、B、C)により変更され、
前記結像特性の所望の変更のための制御中にそれぞれ結合された前記制御信号の値が、モデルに基づいて確認され、
前記モデルは、前記制御信号の値毎にそれぞれ得られた前記結像特性の変更が確認される学習フェーズにおいて、前記光学系に対する前記モデルの連続個別適合を実行することにより作成され、且つ
前記学習フェーズは、前記光学系内の内部作用機構に関する明示的情報の事前指定なしで実行される方法。 - 請求項1に記載の方法において、前記モデルは、人工知能の方法を用いて作成され、前記光学系への前記制御信号の種々の値の結合は、前記学習フェーズにおいて実行されることを特徴とする方法。
- 請求項2に記載の方法において、前記人工知能の方法は、教師あり学習、教師なし学習、及び半教師あり学習を含む群から選択されることを特徴とする方法。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法において、前記モデルは、モデル構造の変更なしで前記学習フェーズにおいて前記光学系に適合されることを特徴とする方法。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法において、前記モデルは、前記光学系外部から観察可能な結像特性のみを前記光学系外部から変更可能な制御信号と相関させることを特徴とする方法。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法において、前記光学系の少なくとも1つの素子が、前記結像特性を変更するために作動され、該作動は、前記制御信号(A、B、C)に基づいて少なくとも1つのアクチュエータを制御することにより行われることを特徴とする方法。
- 請求項6に記載の方法において、前記光学素子は、変形可能な光学素子、特に変形可能なミラーであることを特徴とする方法。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の方法において、前記光学系は、照明デバイス及び投影レンズを備えたマイクロリソグラフィ投影露光装置であり、前記照明デバイスは、前記投影露光装置の動作中に、前記投影レンズの物体平面に配置された結像対象の構造を有するマスクを作動波長を有する使用光で照明し、前記投影レンズは、該投影レンズの像平面に配置された基板に前記構造を結像することを特徴とする方法。
- マイクロリソグラフィ光学系の結像特性を変更する装置であって、請求項1〜8のいずれか1項に記載の方法を実行するよう構成されたことを特徴とする装置。
- 請求項9に記載の装置を備えることを特徴とするマイクロリソグラフィ投影露光装置。
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