JP2005033208A - 結像プロセス中のパターンの像の修正 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パターンはマスク上に配置してあり、その像を投影システムの一部を使って作る。この投影システムの部分の結像品質は結像品質パラメータによって記述してあり、投影システムは像を像調整パラメータによって調整できる。投影パターンの理想像を決め、結像品質パラメータに基づいてこのパターンのシミュレートした歪んだ像を決め、このシミュレートした像と理想像の間の偏差を決め、この偏差を最小化するために結像プロセス中に像調整パラメータを修正変更して、像の歪みを減少する。
【選択図】図6a
Description
− マスク。マスクの概念は、リソグラフィでよく知られ、それには、二値、交互位相シフト、および減衰位相シフトのようなマスク型、並びに種々のハイブリッドマスク型がある。そのようなマスクを放射線ビーム中に置くと、このマスク上のパターンに従って、このマスクに入射する放射線の選択透過(透過性マスクの場合)または選択反射(反射性マスクの場合)を生ずる。マスクの場合、この支持構造体は、一般的にマスクテーブルであり、それがこのマスクを入射放射線ビームの中の所望の位置に保持できること、およびもし望むなら、それをこのビームに対して動かせることを保証する;
− プログラム可能LCDアレイ。そのような構成の例は、米国特許US5,229,872で与えられ、それを参考までにここに援用する。上記同様、この場合の支持構造体は、例えば、必要に応じて固定または可動でもよい、フレームまたはテーブルとして具体化してもよい。
(a)パターンの理想的像を決める工程;
(b)上記結像品質パラメータに基づいてこのパターンのシミュレートした歪んだ像を決める工程;
(c)このシミュレートした歪んだ像と理想的像の間の偏差を決める工程;および
(d)シミュレートした歪んだ像と理想的像の間の偏差を最小化するために上記結像プロセス中に上記像調整パラメータを改変する工程を含むことを特徴とする方法が提供される。
本発明のその上更なる好適実施例では、関連する計測オーバレイおよび/または整列マークが最も敏感な収差を最適要件に従って補償する、更なる処理工程を設ける。標準オーバレイ計測ターゲットは、異なる光路および投影レンズシステムの異なる領域を使うために、遥かに小さい寸法の製品形態に対して異なる歪みを免れないので、この方法は、有利なことには、標準計測ターゲット像歪みと製品形態像歪みを同時に補正するようになっている。
パターンが投影システムによって平面上に結像するように上記マスク上に配置してあり、像がこのパターンから投影システムの一部によって作った像であり、この投影システムの上記部分の結像品質が結像品質パラメータによって記述してあり、および上記投影システムがこの像を像調整パラメータによって調整するようになっている装置であって、
上記電子制御システムが:
(a)パターンの理想的像を決める工程;
(b)上記結像品質パラメータに基づいてこのパターンのシミュレートした歪んだ像を決める工程;
(c)このシミュレートした歪んだ像と理想的像の間の偏差を決める工程;および
(d)シミュレートした歪んだ像と理想的像の間の偏差を最小化するために上記結像プロセス中に上記像調整パラメータを改変する工程を実行するようになっていることを特徴とする装置も提供する。
パターンが投影システムによって平面上に結像するように上記マスク上に配置してあり、像がこのパターンから投影システムの一部によって作った像であり、この投影システムの上記部分の結像品質が結像品質パラメータによって記述してあり、および上記投影システムがこの像を像調整パラメータによって調整するようになっている装置がロードすべきプログラム製品で:
(a)パターンの理想的像を決める工程;
(b)上記結像品質パラメータに基づいてこのパターンのシミュレートした歪んだ像を決める工程;
(c)このシミュレートした歪んだ像と理想的像の間の偏差を決める工程;および
(d)シミュレートした歪んだ像と理想的像の間の偏差を最小化するために上記結像プロセス中に上記像調整パラメータを改変する工程を実行するようになっていることを特徴とするプログラム製品を提供する。
(a)パターンの理想的像を決める工程;
(b)上記結像品質パラメータに基づいてパターンのシミュレートした歪んだ像を決める工程;
(c)シミュレートした歪んだ像と理想的像の間の偏差を決める工程;および
(d)このシミュレートした歪んだ像とこの理想的像の間の偏差を最小化するために上記結像プロセス中に上記像調整パラメータを改変する工程を実行するように構成してあることを特徴とする投影装置も提供する。
− 放射線(例えば、UVまたはEUV放射線)の投影ビームPBを供給するための、この特定例では放射線源SOも含む、照明システムIL;
− パターニング手段MA(例えば、マスク)を保持するための、そしてこのパターニング手段を部材PLに関して正確に位置決めするために第1位置決め手段(図示せず)に結合された第1支持構造体MT(例えば、マスクテーブル);
− 基板W(例えば、レジストを塗被したシリコンウエハ)を保持するための、そしてこの基板を部材PLに関して正確に位置決めするために第2位置決め手段PWに結合された第2支持構造体WT(例えば、ウエハテーブル);並びに
− パターニング手段によって投影ビームPBに導入したパターンを基板Wの目標部分C(例えば、一つ以上のダイを含む)上に結像するための投影システムPL(例えば、反射性投影レンズ)を含む。
ここに描くように、装置は、透過型である(即ち、透過性のマスクを有する)。しかし、この装置は、その代りに反射型(反射型マスクを備える)でもよい。その代りに、この装置は、上に言及した種類のプログラム可能ミラーアレイのような、他の種類のパターニング手段を使ってもよい。
1.ステップモードでは、マスクテーブルMTおよび基板テーブルWTを本質的に固定して保持し、ビームPBに導入した全パターンを目標部分C上に一度に(即ち、単一“フラッシュ”で)投影する。次に基板テーブルWTをXおよび/またはY方向に移動して異なる目標部分CをビームPBで照射できるようにする;
2.走査モードでは、与えられた目標部分Cを単一“フラッシュ”では露光しないことを除いて、本質的に同じシナリオを適用する。その代りに、マスクテーブルMTが与えられた方向(所謂“走査方向”、例えば、Y方向)に速度νで可動であり、それで投影ビームPBがマスク像の上を走査させられ;同時に、基板テーブルWTがそれと共に同じまたは反対方向に速度V=Mνで動かされ、このMはレンズPLの倍率(典型的には、M=1/4または1/5)である。この様にして、比較的大きい目標部分Cを、解像度について妥協する必要なく、露光することができる;および
3.もう一つのモードでは、プログラム可能パターニング手段を保持するマスクテーブルMTを本質的に固定し、投影ビームに与えた全パターンを目標部分C上に投影しながら、基板テーブルWTを動かしまたは走査する。このモードでは、一般的にパルス化した放射線源を使用し、プログラム可能パターニング手段を基板テーブルWTの各運動後または走査中の連続する放射線パルスの間に必要に応じて更新する。この作動モードは、上に言及した型式のプログラム可能ミラーアレイのような、プログラム可能パターニング手段を利用するマスクレス・リソグラフィに容易に適用できる。
上に説明した使用モードの組合せおよび/または変形または全く異なった使用モードも使ってよい。
像の解析に他の手法を使うこともできる。例えば、WO01/63233に記載してあるような、所謂ILIAS検知装置を使ってもよい。
像位置のこれらの測定値から、異なる形式の収差のゼルニケ係数を得ることが可能である。これは、例えば、ヨーロッパ特許出願第EP1128217A2号に更に完全に説明してあり、それを参考までにここに援用する。
上に説明したように、レンズの収差は、像面での公称位置の関数として変動する像変位(従って像歪み)を生ずる。像のxy平面での例示的像変位の地図式図表を図4にベクトル表現によって表示する歪場として示す。各ベクトルの方向は、このベクトルの位置での歪みの方向を示し、各ベクトルの長さは、それぞれのベクトルの位置での歪みの大きさを示す。
各位置x、yでの幾何学的歪みは、期待位置(即ち、歪みのない理想的投影システムによる投影後の像の位置)からの偏差として定義し:
Tx、Ty、Mx、My、Rx、Ry、およびD3は、物体の像の幾何形状を変えるために、投影システム内のそれぞれの光学素子およびマスクおよび基板テーブルのような、その他の調整可能素子の設定を変えることによってこの投影システムが改変できる幾何学関連係数であることに注目すべきである。
本発明のコンピュータ装置8は、露光中、形態のオーバレイ変位ができるだけ低いように、投影システムの設定値を制御および調整することができる。
1)幾何学的歪み係数Tx、Ty、Mx、My、Rx、Ry、およびD3を補正する機械パラメータを改変することによって像を各座標で修正できるので、各座標での機械設定値の完全計算を行う。これは、最高級ハードウェアでの包括的計算/シミュレーション法を要する。この計算からの幾何学的歪み係数Tx、Ty、Mx、My、Rx、Ry、およびD3に対する結果結像補正データを使ってリソグラフィ投影装置の処理実行中に像の各座標での投影システムの設定値を改変することができる。この計算は、処理実行前または中に実行してもよい。
Wは瞳面に於ける、この瞳での位置[nm]の関数としての位相分布
An,lは収差またはゼルニケ係数[nm]
Rn lはn位の多項式で、lに従属し、
ρは瞳面での半径[開口数の単位]
θは瞳面での角度[rad]
nはρのべき(0≦n≦N)
Nは瞳展開の位数
lはθの位数(n+l=偶数および−n≦l≦n)である。
この収差係数は、通常ゼルニケ係数Ziとして書き:
An,l=ai・Zi (2)
但し、
aiは倍率
iはn2+n+l+1
(それを通常Zi(X)とだけ呼ぶ)になる。
Zi(X)=Zi_0+Zi_1・X+Zi_2・X2+Zi_3・X3+Zi_res(X) (3)
但し、Zi(X)は定数項(係数Zi_0の)、線型項(係数Zi_1の)等および残りの項または残差(Zi_res)の和として記述する。
Z16_0。
Z2_1=A*E1+B*E2+C*E3
Z7_1=D*E1+F*E2+G*E3 (4)
Z9_0=H*E1+K*E2+N*E3
Z14_1=P*E1+Q*E2+R*E3
またはマトリックス表記法で:
r=10,19,23,26,30および34
dx(X)=(Z2_1・S2+Z7_1・S7+Z14_1・S14)・X+残差
=(A・E1+B・E2+C・E3)・S2+
(D・E1+F・E2+G・E3)・S7+ (11)
(P・E1+Q・E2+R・E3)・S14+残差
dF(X)=Z9_0・S9+残差
=(H*E1+K*E2+N*E3)・S9+残差 (12)
過剰な数の自由度がある場合、システムの全体的性能をできるだけ良くするため、個々の調整可能収差をできるだけ小さくするためにこれを使うのが賢明である。
250nm孤立スペースの空中像は、図示するx座標(水平位置)およびz座標(垂直位置)の関数として変動する光強度を有する。最高強度のx座標は、最良合焦として定義することができ、従って最良合焦での空中像の断面を決めることができる。更に、二つの切片を、強度対断面に沿うx座標のグラフに対して特定の閾値で決めることができ、これら二つの切片の平均をこの像のCDとして定義することができる。
大抵の市販のリソグラフィ・シミュレーション・パッケージは、レジストモデルも含み、これらのレジストモデルは、空中像をレジスト層(仮想ウエハ上の)に変えるために使うことができる。そのようなシミュレートしたレジストパターンの、X/Y変位、CDおよび側壁角のような、種々のリソグラフィ性能パラメータは、この様にして決めることができる。
3.TISレチクル整列
TISレチクルマークの基本的形態は、250nm孤立スペースで、空中像は、200nmスリットから成るTISセンサによって検出(走査)する。TISレチクルマークのリソグラフィ・シミュレータとの(整列)位置を計算するためには[AJeu]、この空中像をTISセンサでたたみ込まねばならない。更に、スキャナでのTIS整列ドライバによる同じ像の適合をこのTISレチクル整列の実性能をシミュレートするために行わねばならない。
2.シミュレートした歪んだ像の決定。別の(関連する)性能パラメータを、先に計算した感度およびレンズモデルが創成した全てのゼルニケ値を使って決める。
3.シミュレートした歪んだ像と理想像の間の偏差の決定。E(X)=0だからこの場合別の計算は何も必要ないが、もしE(X)≠0ならばこの歪んだ像と理想像の間の性能インジケータ差を決めるために更なる計算を行うことが必要だろう。
4.偏差を最小化するための調整。この偏差を最小化するための調整は、理想像と予測する歪んだ像の差を最小化するレンズ素子値を決めるために既に上に説明した方法で実行する。
1.露光の直前に、製品位置に関するTISマーク、オーバレイ計測ターゲットおよびウエハ整列マークのX−Y位置のシフトを計算する。
2.ウエハ上の特定のダイの露光前に計算したオフセットで実測TISマーク位置を補正する。
3.製品オーバレイに対してAPCフィードバックループを最適化できるように、オーバレイ計測ターゲット位置のシフトをAPCシステムに記憶する(幾つかのオーバレイが測定してある)。このオーバレイ計測ツールがオーバレイを測定するとき、これは常に二つの層のシフトの差であり、両層のシフトを計測オーバレイターゲットの決定の際に考慮に入れる必要があることに注目すべきである。例えば、ボックスインボックス式構造体の場合、真のオーバレイの最善の可能な予想値を得るために、内側ボックスのシフト(このシフトは、内側ボックスをこの製品に最適化した像調整で露光したので、それを露光するときに決っている)および外側ボックスに対する異なるシフト(このシフトも既に決っている)を考慮に入れることが必要だろう。
4.各ウエハ上の次の層を露光するとき、実測ウエハ整列マーク位置を露光前に計算したオフセットで補正する。
18 メモリ
19 メモリ
21 ホストプロセッサ
22 メモリ
23 メモリ
24 メモリ
31 入出力装置
C 目標部分
Ex ビーム拡大器
IL 照明システム
MA パターニング手段
MT 支持構造体
PB 投影ビーム
PL 投影システム
SO 放射線源
W 基板
WT 基板テーブル
Claims (20)
- 結像プロセス中にパターンの像を修正するための方法で、このパターンが投影システムによって平面上に結像するようにマスク上に配置してあり、像がこのパターンから投影システムの一部によって作った像であり、この投影システムの上記部分の結像品質が選択した結像品質パラメータによって記述してあり、そしてこの投影システムがこの像を像調整パラメータによって調整するようになっている方法に於いて:
(a)パターンの理想的像を決める工程;
(b)上記選択した結像品質パラメータに基づいてこのパターンのシミュレートした歪んだ像を決める工程;
(c)このシミュレートした歪んだ像と理想的像の間の偏差を決める工程;および
(d)シミュレートした歪んだ像と理想的像の間の偏差を上記選択した結像品質パラメータを基礎として最小化するために上記結像プロセス中に上記像調整パラメータを改変する工程を含むことを特徴とする方法。 - 請求項1による方法に於いて、上記結像品質パラメータが、結像プロセス中に投影システムで瞳面充満と独立の像の第1歪み効果に関連する低次レンズ収差を含み、および/または上記結像品質パラメータが、結像プロセス中に実際に使用する投影システムで瞳面充満に依るこの像の第2歪み効果に関連する高次レンズ収差を含む方法。
- 請求項1による方法に於いて、上記像調整パラメータの上記改変が、最小歪みの像を得るためにそれぞれの調整素子のための設定値を計算すること、および上記調整素子を調整するために上記像補正データを上記像調整パラメータとして使うことによる歪み係数のための像補正データの決定を含む方法。
- 請求項1による方法に於いて、上記像調整パラメータの上記改変が:
(i)それぞれのゼルニケ係数によって決るような各収差の種類のために、それぞれのゼルニケ係数に関する歪みに対する像形態の感度を予想すること、
(ii)像の第1方向でこれらの収差の種類のための感度の第1組合せを決めること、および
(iii)この像の、第1方向と実質的に垂直な第2方向でこれらの収差の種類のための感度の第2組合せを決めること、
による歪み係数のための像補正データの決定、
並びに上記投影システムを調整するために上記像補正データを上記像調整パラメータとして使うことを含む方法。 - 請求項1による方法に於いて、上記像補正データをステップアンドリピート・モードで上記結像プロセス中に決める方法。
- 請求項1による方法に於いて、上記像補正データをステップアンドスキャン・モードで上記結像プロセス中にスリット座標を基礎として決める方法。
- 請求項1による方法に於いて、上記像調整パラメータの上記改変を投影システムの瞳面充満を示すデータを基礎として最適化する方法。
- 請求項1による方法に於いて、上記像調整パラメータの上記改変をユーザが決めたリソグラフィ仕様を示すデータを基礎として最適化する方法。
- 請求項1による方法に於いて、上記像調整パラメータの上記改変を、特定の用途が敏感な収差を最適要件に従って補償されるように設けることによって最適化する方法。
- 請求項1による方法に於いて、上記像調整パラメータの上記改変が投影システムの上記部分の収差を測定すること、およびこの実測収差値から導出した像補正データに基づいて上記投影システム内のそれぞれの光学素子のための設定値を計算することを含む方法。
- 請求項1による方法に於いて、結像調整の結果としての関連するオーバレイ計測および/またはウエハ整列マークおよび/またはマスク整列マークのシフトの影響を最適化手順を基礎として補償する、更なる処理工程を含む方法。
- 結像プロセス中にパターンの像を修正するための装置で、マスク、投影システム、および結像プロセスの実行中に機械パラメータを制御および調整するようになっている制御システム(8)を含み、並びにホストプロセッサ(21)、命令およびデータを記憶するためのメモリ(18、19、22、23、24)、および上記投影システムのアクチュエータおよびセンサへ送受信する信号を取扱うための入出力装置(31)を含み、上記ホストプロセッサは、上記命令およびデータを処理するために上記メモリ(18、19、22、23、24)に、そして上記信号を制御するために上記入出力装置(31)に接続してあり;
パターンが投影システムによって平面上に結像するように上記マスク上に配置してあり、像がこのパターンから投影システムの一部によって作った像であり、投影システムの上記部分の結像品質が選択した結像品質パラメータによって記述してあり、および上記投影システムがこの像を像調整パラメータによって調整するようになっている装置であって、
上記制御システムが:
(a)パターンの理想的像を決める工程;
(b)上記選択した結像品質パラメータに基づいてこのパターンのシミュレートした歪んだ像を決める工程;
(c)このシミュレートした歪んだ像と理想的像の間の偏差を決める工程;および
(d)シミュレートした歪んだ像と理想的像の間の偏差を上記選択した結像品質パラメータを基礎として最小化するために上記結像プロセス中に上記像調整パラメータを改変する工程を実行するようになっていることを特徴とする装置。 - 請求項12による装置に於いて、上記制御システムは、上記像調整パラメータの上記改変を投影システムの瞳面充満を示すデータを基礎として最適化するようになっている装置。
- 請求項12による装置に於いて、上記制御システムは、上記像調整パラメータの上記改変をユーザが決めたリソグラフィ仕様を示すデータを基礎として最適化するように構成してある装置。
- 請求項12による装置に於いて、上記制御システムは、上記像調整パラメータの上記改変を、特定の用途が最も敏感な収差を最適要件に従って補償するように設けることによって最適化するように構成してある装置。
- 請求項12による装置に於いて、上記制御システムは、上記像調整パラメータの上記改変を投影システムの上記部分の収差を測定することおよびこの実測収差値から導出した像補正データに基づいて上記投影システム内のそれぞれの光学素子のための設定値を計算することによって最適化するように構成してある装置。
- 請求項12による装置に於いて、上記制御システムは、結像調整の結果としての関連するオーバレイ計測および/またはウエハ整列マークのシフトの影響を最適化手順を基礎として補償する、更なる処理工程を実行するように構成してある装置。
- コンピュータプログラム製品であって、結像プロセス中にパターンの像を修正するための装置で、マスク、投影システム、および結像プロセスの実行中に機械パラメータを制御および調整するようになっている制御システム(8)を含み、並びにホストプロセッサ(21)、命令およびデータを記憶するためのメモリ(18、19、22、23、24)、および上記投影システムのアクチュエータおよびセンサへ送受信する信号を取扱うための入出力装置(31)を含み、上記ホストプロセッサは、上記命令およびデータを処理するために上記メモリ(18、19、22、23、24)におよび上記信号を制御するために上記入出力装置(31)に接続してあり;
パターンが投影システムによって平面上に結像するように上記マスク上に配置してあり、像がこのパターンから投影システムの一部によって作った像であり、この投影システムの上記部分の結像品質が選択した結像品質パラメータによって記述してあり、および上記投影システムがこの像を像調整パラメータによって調整するようになっている装置がロードすべきプログラム製品で:
(a)パターンの理想的像を決める工程;
(b)上記選択した結像品質パラメータに基づいてこのパターンのシミュレートした歪んだ像を決める工程;
(c)このシミュレートした歪んだ像と理想的像の間の偏差を決める工程;および
(d)シミュレートした歪んだ像と理想的像の間の偏差を上記選択した結像品質パラメータを基礎として最小化するために上記結像プロセス中に上記像調整パラメータを改変する工程を実行するようになっていることを特徴とするプログラム製品。 - 請求項18で請求するようなコンピュータプログラム製品を取入れるデータ媒体。
- リソグラフィ投影装置で、放射線の投影ビーム(PB)を供給するための放射線システム(SO、Ex、IL)、パターンに従ってこの投影ビーム(PB)をパターン化するのに役立つパターニング手段(MA)を支持するための支持構造体(MT)、基板(W)を保持するための基板テーブル(WT)、および、このパターン化したビームを基板(W)の目標部分(C)上に結像するための投影システム(PL)を含み、このパターンが投影システム(PL)によって平面上に結像するために上記パターニング手段(MA)上に配置してあり、像がこのパターンから投影システム(PL)の一部によって作った像であり、この投影システム(PL)の上記部分の結像品質が選択した結像品質パラメータによって記述してあり、および上記投影システム(PL)がこの像を像調整パラメータによって調整するようになっている装置に於いて:
(a)パターンの理想的像を決める工程;
(b)上記選択した結像品質パラメータに基づいてこのパターンのシミュレートした歪んだ像を決める工程;
(c)このシミュレートした歪んだ像と理想的像の間の偏差を決める工程;および
(d)シミュレートした歪んだ像と理想的像の間の偏差を上記選択した結像品質パラメータを基礎として最小化するために上記結像プロセス中に上記像調整パラメータを改変する工程を実行するように構成してあることを特徴とする投影装置。
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