JP2020197715A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020197715A5 JP2020197715A5 JP2020117695A JP2020117695A JP2020197715A5 JP 2020197715 A5 JP2020197715 A5 JP 2020197715A5 JP 2020117695 A JP2020117695 A JP 2020117695A JP 2020117695 A JP2020117695 A JP 2020117695A JP 2020197715 A5 JP2020197715 A5 JP 2020197715A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- euv
- film
- measurement system
- grayscale
- grayscale filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 1
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102017211443.6 | 2017-07-05 | ||
| DE102017211443.6A DE102017211443A1 (de) | 2017-07-05 | 2017-07-05 | Metrologiesystem mit einer EUV-Optik |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018128123A Division JP7023808B2 (ja) | 2017-07-05 | 2018-07-05 | Euv光学ユニットを有する計測システム |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2020197715A JP2020197715A (ja) | 2020-12-10 |
| JP2020197715A5 true JP2020197715A5 (enExample) | 2021-08-12 |
| JP7216684B2 JP7216684B2 (ja) | 2023-02-01 |
Family
ID=64666441
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018128123A Active JP7023808B2 (ja) | 2017-07-05 | 2018-07-05 | Euv光学ユニットを有する計測システム |
| JP2020117695A Active JP7216684B2 (ja) | 2017-07-05 | 2020-07-08 | Euv光学ユニットを有する計測システム |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018128123A Active JP7023808B2 (ja) | 2017-07-05 | 2018-07-05 | Euv光学ユニットを有する計測システム |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10948637B2 (enExample) |
| JP (2) | JP7023808B2 (enExample) |
| DE (1) | DE102017211443A1 (enExample) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102019206651B4 (de) * | 2019-05-08 | 2022-10-13 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zum dreidimensionalen Bestimmen eines Luftbildes einer Lithographiemaske |
| DE102019206648B4 (de) * | 2019-05-08 | 2021-12-09 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zur Annäherung von Abbildungseigenschaften eines optischen Produktionssystems an diejenigen eines optischen Messsystems sowie Metrologiesystem hierfür |
| DE102019208552B4 (de) * | 2019-06-12 | 2025-10-09 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zum Ermitteln eines Produktions-Luftbildes eines zu vermessenden Objektes |
| KR102866527B1 (ko) | 2020-11-26 | 2025-10-01 | 삼성전자주식회사 | 극자외선 발생 장치와 이의 제조 방법, 및 극자외선 시스템 |
| DE102024205353A1 (de) * | 2024-06-10 | 2025-12-11 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Filter zum Trennen von EUV-Nutzlicht von mit dem EUV-Nutzlicht mitgeführtem Falschlicht und/oder mitgeführten Partikeln |
Family Cites Families (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63140530A (ja) | 1986-08-01 | 1988-06-13 | Fujitsu Ltd | X線マスク |
| JPH02260414A (ja) * | 1989-03-30 | 1990-10-23 | Fujitsu Ltd | X線露光マスク |
| US6404499B1 (en) * | 1998-04-21 | 2002-06-11 | Asml Netherlands B.V. | Lithography apparatus with filters for optimizing uniformity of an image |
| EP0952491A3 (en) | 1998-04-21 | 2001-05-09 | Asm Lithography B.V. | Lithography apparatus |
| DE10220816A1 (de) | 2002-05-10 | 2003-11-20 | Zeiss Carl Microelectronic Sys | Reflektives Röntgenmikroskop und Inspektionssystem zur Untersuchung von Objekten mit Wellenlängen 100 nm |
| DE10220815A1 (de) | 2002-05-10 | 2003-11-20 | Zeiss Carl Microelectronic Sys | Reflektives Röntgenmikroskop und Inspektionssystem zur Untersuchung von Objekten mit Wellenlängen 100 nm |
| JP2006073620A (ja) | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Nikon Corp | Euv露光装置 |
| US7224430B2 (en) * | 2004-10-29 | 2007-05-29 | Asml Netherlands B.V. | Optical component, optical system including such an optical component, lithographic apparatus, method of correcting apodization in an optical system, device manufacturing method, and device manufactured thereby |
| JP2008066345A (ja) | 2006-09-04 | 2008-03-21 | Nikon Corp | 照明光学装置及び露光装置 |
| JP5269079B2 (ja) | 2007-08-20 | 2013-08-21 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 反射コーティングを備えたミラー要素を有する投影対物系 |
| DE102008041436A1 (de) | 2007-10-02 | 2009-04-09 | Carl Zeiss Smt Ag | Optisches Membranelement |
| DE102008021833B4 (de) | 2007-12-19 | 2010-04-22 | Carl Zeiss Smt Ag | Verfahren zur Einstellung einer Beleuchtungswinkelverteilung und gleichzeitig einer Intensitätsverteilung über ein in ein Bildfeld abzubildendes Objektfeld |
| JP6041304B2 (ja) | 2009-03-27 | 2016-12-07 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | Euvマイクロリソグラフィ用の照明光学系、この種の照明光学系用のeuv減衰器、及びこの種の照明光学系を有する照明系及び投影露光装置 |
| WO2010118927A1 (en) * | 2009-04-13 | 2010-10-21 | Asml Holding N.V. | Mask inspection with fourier filtering and image compare |
| DE102010029049B4 (de) | 2010-05-18 | 2014-03-13 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Beleuchtungsoptik für ein Metrologiesystem für die Untersuchung eines Objekts mit EUV-Beleuchtungslicht sowie Metrologiesystem mit einer derartigen Beleuchtungsoptik |
| US8842272B2 (en) | 2011-01-11 | 2014-09-23 | Kla-Tencor Corporation | Apparatus for EUV imaging and methods of using same |
| KR101793316B1 (ko) * | 2011-03-16 | 2017-11-02 | 케이엘에이-텐코 코포레이션 | 박막 스펙트럼 순도 필터 코팅을 갖는 영상 센서를 사용하는 euv 화학선 레티클 검사 시스템 |
| JP2013026424A (ja) * | 2011-07-21 | 2013-02-04 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法 |
| JP2013080810A (ja) | 2011-10-04 | 2013-05-02 | Lasertec Corp | Euvマスク検査装置及びeuvマスク検査方法 |
| DE102012202057B4 (de) | 2012-02-10 | 2021-07-08 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Projektionsobjektiv für EUV-Mikrolithographie, Folienelement und Verfahren zur Herstellung eines Projektionsobjektivs mit Folienelement |
| DE102012204295A1 (de) * | 2012-03-19 | 2013-03-28 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Filterelement |
| DE102012207866A1 (de) | 2012-05-11 | 2013-11-14 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Baugruppe für eine Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-Projektionslithografie |
| JP5711703B2 (ja) | 2012-09-03 | 2015-05-07 | 信越化学工業株式会社 | Euv用ペリクル |
| DE102013202948A1 (de) * | 2013-02-22 | 2014-09-11 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Beleuchtungssystem für eine EUV-Lithographievorrichtung und Facettenspiegel dafür |
| DE102013217146A1 (de) | 2013-08-28 | 2015-03-05 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optisches Bauelement |
| TWI646401B (zh) * | 2013-12-19 | 2019-01-01 | 美商應用材料股份有限公司 | 帶有簡化光學元件的極紫外線(euv)基板檢查系統及其製造方法 |
| CN106233202B (zh) * | 2014-04-17 | 2020-07-10 | 汉阳大学校产学协力团 | 用于euv光刻的防护薄膜组件 |
| KR101882633B1 (ko) | 2014-07-22 | 2018-07-26 | 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하 | 리소그래피 마스크의 3d 에어리얼 이미지를 3차원으로 측정하는 방법 |
| KR102242562B1 (ko) * | 2014-09-04 | 2021-04-20 | 삼성전자주식회사 | 극자외선(euv) 마스크 보호장치 및 그 보호장치를 포함한 euv 노광 장치 |
| DE102015221209A1 (de) * | 2015-10-29 | 2017-05-04 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optische Baugruppe mit einem Schutzelement und optische Anordnung damit |
| JP6371022B1 (ja) * | 2018-02-08 | 2018-08-08 | レーザーテック株式会社 | 照明方法、検査方法、照明装置及び検査装置 |
-
2017
- 2017-07-05 DE DE102017211443.6A patent/DE102017211443A1/de not_active Withdrawn
-
2018
- 2018-07-03 US US16/026,192 patent/US10948637B2/en active Active
- 2018-07-05 JP JP2018128123A patent/JP7023808B2/ja active Active
-
2020
- 2020-07-08 JP JP2020117695A patent/JP7216684B2/ja active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2020197715A5 (enExample) | ||
| KR102344866B1 (ko) | 회절 도광판 | |
| JP2005524096A5 (enExample) | ||
| JP2014508414A5 (enExample) | ||
| WO2003077028A1 (fr) | Ecran de projection et son procede de fabrication | |
| JP2015004919A (ja) | 反射防止膜及びそれを有する光学素子 | |
| CN111542769A (zh) | 扩散板和光学设备 | |
| JP2014122961A5 (enExample) | ||
| JP2017040909A5 (ja) | 光学フィルタおよびそれを有する光学系、撮像装置 | |
| TWI456163B (zh) | 光學影像擷取模組、對位方法及觀測方法 | |
| JP2018063406A5 (enExample) | ||
| CN104656376B (zh) | 远紫外线光刻工艺和掩模 | |
| JP2010066704A (ja) | 光学素子、光学系及び光学機器 | |
| JPWO2016006651A1 (ja) | 光学部材およびその製造方法 | |
| CN204631441U (zh) | 利用同步辐射大面积快速制备颜色滤波器的装置 | |
| JP2013171125A (ja) | プロジェクタ光学系 | |
| TWI684820B (zh) | 具不同霧度的擴散色輪及投影裝置的照明模組 | |
| WO2015011786A1 (ja) | ナノ粒子薄膜を有する光学部品、及びこれを用いた光学応用装置 | |
| JP2006220903A5 (enExample) | ||
| CN104880914B (zh) | 利用同步辐射大面积快速制备颜色滤波器的方法及装置 | |
| CN104714700A (zh) | 光学触控用反射结构 | |
| JP2017187729A5 (enExample) | ||
| KR100659782B1 (ko) | 노광방법 및 하프톤형 위상 시프트 마스크 | |
| JP2018092116A5 (enExample) | ||
| TWI632421B (zh) | 光學合光輪 |