JP2020136541A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施形態1に係る加工装置の構成の一例を示す概略構成図である。図2は、図1に示された加工装置により正規の加工溝が形成された被加工物の要部を示す平面図である。図3は、図1の加工装置による加工溝の幅の許容値のラインの表示の一例を示す撮像画像である。図4は、図1の加工装置による加工溝の位置の許容値のラインの表示の一例を示す撮像画像である。図5は、図1の加工装置による最大許容値のラインの表示の一例を示す撮像画像である。図6は、図1の加工装置による最大許容値のラインの表示の別の一例を示す撮像画像である。
図7は、実施形態2に係る加工装置による加工溝の幅の許容値のラインの表示の一例を示す撮像画像である。図8は、図7の加工装置による加工溝の位置の許容値のラインの表示の一例を示す撮像画像である。図9は、図7の加工装置による最大許容値のラインの表示の一例を示す撮像画像である。図10は、図7の加工装置による最大許容値のラインの表示の別の一例を示す撮像画像である。なお、図7、図8、図9及び図10は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
10 保持テーブル
20 加工手段
30 撮像手段
40 ディスプレイ
41 幅許容値表示部
42 位置許容値表示部
43 最大許容値表示部
50 制御手段
51 加工溝幅検出部
52 加工位置検出部
53 許容値設定部
54 算出部
60 入力手段
100 被加工物
102 表面
103 分割予定ライン
104 デバイス領域
200 加工溝
201−1 位置ずれの許容値のライン
203 幅の許容値
204 位置ずれの許容値
205 最大許容値
203−1 幅の許容値のライン
205−1 最大許容値のライン
300,301,302,303 撮像画像
Claims (5)
- 表面に複数の分割予定ラインによって区画されたデバイス領域を備えた被加工物を保持する保持テーブルと、
該分割予定ラインに沿って被加工物に加工溝を形成する加工手段と、
該保持テーブルに保持された被加工物を撮像する撮像手段と、
該撮像された画像を表示するディスプレイと、
該加工溝の撮像画像をもとに該加工溝の幅を検出する加工溝幅検出部と、
該加工溝の撮像画像をもとに該加工溝の位置を検出する加工位置検出部と、
を備えた加工装置であって、
該加工装置は、
該加工溝について幅の許容値と、位置ずれの許容値とを、設定する許容値設定部と、
該幅の許容値と該位置ずれの許容値とを合算した最大許容値を算出する算出部と、
を更に備え、
該ディスプレイは、
加工前の分割予定ラインを含む撮像画像、または加工後の加工溝を含む撮像画像に、該最大許容値のラインを表示する最大許容値表示部を備えることを特徴とする加工装置。 - 該ディスプレイは、
加工前の分割予定ラインを含む撮像画像、または加工後の加工溝を含む撮像画像に、該幅の許容値のラインを表示する幅許容値表示部をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の加工装置。 - 該ディスプレイは、
加工前の分割予定ラインを含む撮像画像、または加工後の加工溝を含む撮像画像に、該位置ずれの許容値のラインを表示する位置許容値表示部をさらに備えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の加工装置。 - 表面に複数の分割予定ラインによって区画されたデバイス領域を備えた被加工物を保持する保持テーブルと、
該分割予定ラインに沿って被加工物に加工溝を形成する加工手段と、
該保持テーブルに保持された被加工物を撮像する撮像手段と、
該撮像された画像を表示するディスプレイと、
該加工溝の撮像画像をもとに該加工溝の幅を検出する加工溝幅検出部と、
該加工溝の撮像画像をもとに該加工溝の位置を検出する加工位置検出部と、
を備えた加工装置であって、
該加工装置は、
該加工溝について幅の許容値を設定する許容値設定部と、
を更に備え、
該ディスプレイは、
加工前の分割予定ラインを含む撮像画像、または加工後の加工溝を含む撮像画像に、該幅の許容値のラインを表示する幅許容値表示部を備えることを特徴とする加工装置。 - 表面に複数の分割予定ラインによって区画されたデバイス領域を備えた被加工物を保持する保持テーブルと、
該分割予定ラインに沿って被加工物に加工溝を形成する加工手段と、
該保持テーブルに保持された被加工物を撮像する撮像手段と、
該撮像された画像を表示するディスプレイと、
該加工溝の撮像画像をもとに該加工溝の幅を検出する加工溝幅検出部と、
該加工溝の撮像画像をもとに該加工溝の位置を検出する加工位置検出部と、
を備えた加工装置であって、
該加工装置は、
該加工溝について位置ずれの許容値を設定する許容値設定部と、
を更に備え、
該ディスプレイは、
加工前の分割予定ラインを含む撮像画像、または加工後の加工溝を含む撮像画像に、該位置ずれの許容値のラインを表示する位置許容値表示部を備えることを特徴とする加工装置。
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