JP2020131062A - 混合洗浄溶剤を用いた被洗浄物の洗浄方法 - Google Patents

Abstract

【課題】フッ素系溶剤を用いた被洗浄物の洗浄時において、フッ素系溶剤の使用量を少量に抑えて経済性を向上させるとともに、洗浄時の安全性を向上させることができる洗浄溶剤、及び、この洗浄溶剤を用いた洗浄方法を得る。【解決手段】水よりも比重の大きいフッ素系溶剤と、水よりも比重の小さい石油系溶剤とを混合させることにより、水よりも比重の大きい混合洗浄溶剤14,44を生成し、この混合洗浄溶剤14,44と水15,45とを洗浄槽1,31内に収納して、この洗浄槽1,31内の混合洗浄溶剤14,44の液面を水15,45の層にて被覆した状態で、上記混合洗浄溶剤14,44に被洗浄物17,47を浸漬させて洗浄する被洗浄物17,47の液洗浄、及び／又は、上記混合洗浄液を加熱してこの混合洗浄液の洗浄蒸気16,46を発生させ、この洗浄蒸気16,46に被洗浄物17,47を接触させて洗浄する被洗浄物17,47の蒸気洗浄を行う。【選択図】図１

Description

本発明は、機械部品、電子部品、医療機器等の被洗浄物を洗浄する際に用いるフッ素系溶剤と石油系溶剤との混合洗浄溶剤、及びこの混合洗浄溶剤を用いた被洗浄物の洗浄方法に係るものである。

特開２００５−３４７８９号公報 従来より、１９９５年に洗浄溶剤として広く使用されてきたフロン１１３（フッ素系溶剤）、１．１．１トリクロロエタン（塩素系溶剤）は、オゾン層を破壊するという環境への悪影響を及ぼすため世界的に全廃となり、それ以後はフロン代替溶剤及びフロン、エタン全廃から２０年以上が経過し、現在においてフロン代替の主流は石油系溶剤となっている。

しかし、一般的な石油系溶剤は可燃性であることから、常圧下で使用した場合には引火爆発や火災事故が発生するおそれがある。また引火点が高い石油系溶剤も存在するため、このような石油系溶剤を減圧下で使用することも可能であるが、特許文献1に示す如き減圧を行うための装置を必要とするため洗浄装置のコストが高くつくものとなっていた。そのため、このような洗浄方法よりもむしろ既設の洗浄装置を利用して低コストで行うことが可能なトリクロロエチレンや塩化メチレン等（塩素系溶剤）を使用した洗浄が依然として行われているという実情がある。

そこで、上記石油系溶剤に取って替わるものとして、フロン代替として開発されたフッ素系溶剤を用いた洗浄方法が従来より公知となっているが、フッ素系溶剤は一般的に値段が高く、更に沸点が低いため、溶剤の消耗が激しく洗浄コストが高くつくものとなっていた。

そこで、本願の第１〜４発明は上述の如き課題を解決しようとするものであって、フッ素系溶剤を用いた被洗浄物の洗浄時において、フッ素系溶剤の使用量を少量に抑えて経済性を向上させるとともに、洗浄時の安全性を向上させることができる洗浄溶剤、及び、この洗浄溶剤を用いた洗浄方法を得ようとするものである。

本願の第一発明は上述の如き課題を解決するため、水よりも比重の大きいフッ素系溶剤と、水よりも比重の小さい石油系溶剤とを混合させて成るとともに、水よりも比重が大きい混合洗浄溶剤である。

また本願の第二発明は、水よりも比重の大きいフッ素系溶剤と、水よりも比重の小さい石油系溶剤とを混合させて成るとともに、水よりも比重が小さい混合洗浄溶剤である。

また本願の第三発明は、本願の第一発明に係る混合洗浄溶剤を使用した被洗浄物の洗浄方法であって、水よりも比重の大きいフッ素系溶剤と、水よりも比重の小さい石油系溶剤とを混合させることにより、水よりも比重の大きい混合洗浄溶剤を生成し、この混合洗浄溶剤と水とを洗浄槽内に収納して、この洗浄槽内の混合洗浄溶剤の液面を水の層にて被覆した状態で、上記混合洗浄溶剤に被洗浄物を浸漬させて洗浄する被洗浄物の液洗浄、及び／又は、上記混合洗浄液を加熱してこの混合洗浄液の洗浄蒸気を発生させ、この洗浄蒸気に被洗浄物を接触させて洗浄する被洗浄物の蒸気洗浄を行うものである。

また本願の第四発明は、本願の第二発明に係る混合洗浄溶剤を使用した被洗浄物の洗浄方法であって、水よりも比重の大きいフッ素系溶剤と、水よりも比重の小さい石油系溶剤とを混合させることにより、水よりも比重の小さい混合洗浄溶剤を生成し、この混合洗浄溶剤と水とを洗浄槽内に収納して、この水の層の上に混合洗浄溶剤の層を配置した状態で、上記混合洗浄溶剤に被洗浄物を浸漬させて洗浄する被洗浄物の液洗浄、及び／又は、上記混合洗浄液を加熱してこの混合洗浄液の洗浄蒸気を発生させ、この洗浄蒸気に被洗浄物を接触させて洗浄する被洗浄物の蒸気洗浄を行うものである。

また本願の第一〜第四発明に係る混合洗浄溶剤を構成する石油系溶剤は、該混合洗浄溶剤を構成するフッ素系溶剤よりも沸点が高いものであっても良い。このようにフッ素系溶剤よりも沸点の高い石油系溶剤を用いることにより、もともと沸点の低いフッ素系溶剤を単体で洗浄溶剤として使用する場合よりも、混合洗浄溶剤の沸点を高くすることが可能となる。そのため、混合洗浄溶剤の無駄な蒸発を防ぐことができるとともに、安全性を高めることができる。

また本願の第一〜第四発明に係る混合洗浄溶剤を構成するフッ素系溶剤は、該混合洗浄溶剤を構成する石油系溶剤に溶解するものであっても良い。これにより、フッ素系溶剤と石油系溶剤とを混合させた際に、両者が分離することなく混合洗浄溶剤を常時安定的な状態で使用することができる。

また本願の第一〜第四発明に係るフッ素系溶剤は、ＨＦＯであっても良い。ＨＦＯは従来使用されていたフッ素系溶剤と比較して石油系溶剤への溶解力が高いという利点がある。

本願の第一〜第四発明は上述の如く構成したものであるから、比較的高価なフッ素系溶剤と比較的安価な石油系溶剤を混合させることにより、フッ素系溶剤を用いた被洗浄物の洗浄時において、フッ素系溶剤のみを使用する場合よりもフッ素系溶剤の使用量を少なく抑えることができる。従って、全体的な洗浄コストを低く抑えることが可能となる。また、可燃性溶剤の石油系溶剤と不燃性溶剤のフッ素系溶剤とを混合させることにより、引火爆発や火災事故の危険性を低減することができるため、使用時の安全性を向上させることができる。

また本願の第一〜第四発明は、水よりも比重の大きいフッ素系溶剤と、水よりも比重の小さい石油系溶剤とを混合させて混合洗浄溶剤を生成することにより、フッ素系溶剤と石油系溶剤との混合比によってこの混合洗浄溶剤の比重を水の比重よりも大きくしたり小さくしたり調整することが可能となる。

そのため、水よりも比重の大きい混合洗浄溶剤を生成した場合には、この混合洗浄溶剤と水とを洗浄槽内に収納した場合には両者が分離するものとなる。そして、この洗浄槽内の混合洗浄溶剤の液面を水の層にて被覆した状態で、混合洗浄溶剤による液洗浄や蒸気洗浄を行うことができる。従って、上記の如く形成された水の層によって洗浄槽内に収納した混合洗浄溶剤の蒸発を防ぐことが可能となり、混合洗浄溶剤の無駄な消耗を防ぐことができる。

また水よりも比重の小さい混合洗浄溶剤を生成した場合には、この混合洗浄溶剤と水とを洗浄槽内に収納した場合に、この洗浄槽内において水の層と混合洗浄溶剤とが分離し、水の層の上に混合洗浄溶剤が位置するものとなる。そのため、この洗浄槽内の混合洗浄溶剤の液面が水の層によって嵩増しされるものとなるため、洗浄槽内に収納する混合洗浄溶剤の量をより少なくすることができ、経済的である。

また、洗浄槽の底部側に水の層が位置するものとなるため、洗浄槽の底部側にヒーターを設けた場合には、水の層を介して混合洗浄溶剤が温められるものとなる。そのため、可燃性の石油系溶剤を含む混合洗浄溶剤をヒーターで直接加熱する場合と比較して、引火等の危険性がなく安全な使用が可能となる。

ここで、水よりも比重の大きいフッ素系溶剤と、水よりも比重の小さい石油系溶剤とを混合させて混合洗浄溶剤を生成し、両者の配合比率を変えた場合の混合洗浄溶剤の比重の変化についての実験を行った。本実験で用いたフッ素系溶剤は、商品名AS-300(AGC株式会社製)のＨＦＯであってその比重は1.39g/cm3であり、石油系溶剤は 商品名NSクリーン220(JXTGグループ製)であってその比重は0.752である。この実験結果を下記表１に示す。

表1の結果より、水よりも比重の大きいフッ素系溶剤と、水よりも比重の小さい石油系溶剤とを混合させて混合洗浄溶剤を生成する場合において、両者の配合比率を変えることにより、混合洗浄溶剤の比重を適宜変化させることができることが明らかとなった。

本願の第一、三発明を示す実施例１の概念図。 本願の第二、四発明を示す実施例２の概念図。

本願の第一、三発明である実施例１を図１に於いて説明すると、（1）は洗浄槽であって、開口部(2)側の内周には冷却コイル(3)を設けている。そしてこの洗浄槽(1)内の冷却コイル(3)よりも下方には、２枚の隔壁(4)を間隔を介して立設して洗浄槽(1)内を三等分し、図1に示す如く図1の左側から前洗い槽(5)、液洗浄槽(6)、及び蒸気洗浄槽(7)としている。そして、上記液洗浄槽(6)の底部(8)側の内周には冷却コイル(10)を設けている。また蒸気洗浄槽(7)の底部(11)側には、温度センサー(12)及びヒーター(13)を設けている。

また本実施例では、水(15)よりも比重の大きいフッ素系溶剤としてＨＦＯを使用するとともに、石油系溶剤は水(15)よりも比重の小さく、更に上記フッ素系溶剤よりも沸点が高いものを用いている。また、上記フッ素系溶剤は、上記石油系溶剤に溶解する性質を備えている。そして上記フッ素系溶剤と石油系溶剤とを適宜の配合割合にて混合することにより、水(15)よりも比重の大きい混合洗浄溶剤(14)を生成している。

上記の如く、フッ素系溶剤と石油系溶剤とを混合することにより、比較的高価なフッ素系溶剤と比較的安価な石油系溶剤を混合させることにより、フッ素系溶剤を用いた被洗浄物(17)の洗浄時において、フッ素系溶剤のみを使用する場合よりもフッ素系溶剤の使用量を少なく抑えることができる。従って、洗浄コストを抑えることが可能となる。また、可燃性溶剤の石油系溶剤と不燃性溶剤のフッ素系溶剤とを混合させることにより、石油系溶剤のみを洗浄溶剤として使用する場合よりも引火爆発や火災事故の危険性を低減することができるため、洗浄時の安全性を向上させることができる。

そして上記前洗い槽(5)、液洗浄槽(6)、及び蒸気洗浄槽(7)内には、上記の如く生成した混合洗浄溶剤(14)を収納している。そして、液洗浄槽(6)内の混合洗浄溶剤(14)を冷却コイル(10)にて冷却するとともに、蒸気洗浄槽(7)内の混合洗浄溶剤(14)をヒーター(13)にて加熱することにより、この混合洗浄溶剤(14)の洗浄蒸気(16)を発生させる。

また、液洗浄槽(6)、及び蒸気洗浄槽(7)内には、水(15)を収納している。これにより、混合洗浄溶剤(14)と水(15)とが分離するとともに、上記の如く混合洗浄溶剤(14)は水(15)よりも比重が大きいことから、図1に示す如く混合洗浄溶剤(14)の表面には水(15)の層が形成されるものとなる。尚、蒸気洗浄槽(7)では、混合洗浄溶剤(14)を加熱することにより、混合洗浄溶剤(14)の液面上の水(15)の層を介して洗浄蒸気(16)が発生するものとなる。

上記の如く構成したものにおいて、被洗浄物(17)の洗浄方法について以下に説明する。まず、前洗い槽(5)に被洗浄物(17)を挿入配置するとともに、この被洗浄物(17)に付着した汚れを混合洗浄溶剤(14)にて液洗浄にて除去する前洗いを行う。次に前洗いを終えた被洗浄物(17)を、液洗浄槽(6)内に挿入配置し、冷却された混合洗浄溶剤(14)によって液洗浄を行うとともに被洗浄物(17)を冷却する。

そして、上記液洗浄の終了後、被洗浄物(17)を上記の如く蒸気洗浄槽(7)内に発生させた洗浄蒸気(16)の雰囲気下に配置し、被洗浄物(17)の蒸気洗浄を行う。この蒸気洗浄及び液洗浄の際には、図１に示す如く混合洗浄溶剤(14)の表面に水(15)の層を被覆していることから、洗浄時、及び非洗浄時のいずれにおいても混合洗浄溶剤(14)の無駄な蒸発を防ぐことができる。従って、混合溶剤の消耗を低減して洗浄コストを抑えることが可能となる。

尚、本実施例及び下記実施例では、前洗い槽(5)(35)に混合洗浄溶剤(14)(44)のみを収納するとともに、液洗浄槽(6)(36)及び蒸気洗浄槽(7)(37)内に混合洗浄溶剤(14)(44)及び水(15)(45)の両方を収納しているが、他の異なる実施例ではこれに限らず、液洗浄槽又は蒸気洗浄槽のいずれかにのみ混合洗浄槽及び水を収納し、それ以外の槽には混合洗浄溶剤のみを収納したものであっても良いし、前洗い槽、液洗浄槽、及び蒸気洗浄槽の全てに混合洗浄溶剤及び水の両方を収納したものであっても良い。

上記実施例１では水(15)よりも比重の大きいフッ素系溶剤と、水(15)よりも比重の小さい石油系溶剤とを混合させて水(15)よりも比重が大きい混合洗浄溶剤(44)を用いているが、本実施例では逆に、水(45)よりも比重が小さい混合洗浄溶剤(44)を用いた洗浄方法に関するものである。

本発明の実施例２を図２に於いて説明すると、（31）は洗浄槽であって、この洗浄槽(31)の開口部(32)側の内周には冷却コイル(33)を設けている。そしてこの洗浄槽(31)内の冷却コイル(33)よりも下方には、２枚の隔壁(34)を間隔を介して立設して洗浄槽(31)内を三等分し、図２に示す如く左側から前洗い槽(35)、液洗浄槽(36)、及び蒸気洗浄槽(37)としている。そして、上記液洗浄槽(36)の内周にも、底部(38)側よりも上方位置に冷却コイル(40)を設けている。また蒸気洗浄槽(37)の底部(41)側には、温度センサー(42)及びヒーター(43)を設けている。

また本実施例では、水(45)よりも比重の大きいフッ素系溶剤としてＨＦＯと、このフッ素系溶剤よりも沸点が高く、水(45)よりも比重の小さい石油系溶剤を用いている。また、上記フッ素系溶剤は、上記石油系溶剤に溶解する性質を備えている。そして上記フッ素系溶剤と石油系溶剤とを適宜の配合割合にて混合することにより、水(45)よりも比重の小さい混合洗浄溶剤(44)を生成している。

上記の如く、比較的高価なフッ素系溶剤と比較的安価な石油系溶剤を混合させることにより、フッ素系溶剤を用いた被洗浄物(47)の洗浄時において、フッ素系溶剤のみを洗浄溶剤として使用する場合よりもフッ素系溶剤の使用量を少量に抑えることができる。従って、洗浄コストを抑えることが可能となる。また、可燃性溶剤の石油系溶剤と不燃性溶剤のフッ素系溶剤とを混合させることにより、引火爆発や火災事故の危険性を低減することができるため、洗浄時の安全性を向上させることができる。

そして上記前洗い槽(35)、液洗浄槽(36)、及び蒸気洗浄槽(37)内には、上記の如く生成した混合洗浄溶剤(44)をそれぞれ収納している。そして、液洗浄槽(36)内の混合洗浄溶剤(44)を冷却コイル(40)にて冷却するとともに、蒸気洗浄槽(37)内の混合洗浄溶剤(44)をヒーター(43)にて加熱することにより、この混合洗浄溶剤(44)の洗浄蒸気(46)を発生させている。

上記の如く生成した混合洗浄溶剤(44)と水(45)とを液洗浄槽(36)及び蒸気洗浄槽(37)内に収納した場合に、この液洗浄槽(36)及び蒸気洗浄槽(37)内において水(45)の層と混合洗浄溶剤(44)とが分離した状態となるとともに、図２に示す如く水(45)の層の上に混合洗浄溶剤(44)が位置するものとなる。そのため、この液洗浄槽(36)及び蒸気洗浄槽(37)内の混合洗浄溶剤(44)の液面が水(45)の層によって嵩増しされるものとなるため、液洗浄槽(36)及び蒸気洗浄槽(37)内に収納する混合洗浄溶剤(44)の量をより少なくすることができ、経済的である。

また、蒸気洗浄槽(37)の底部(41)側に水(45)の層が位置するものとなるため、蒸気洗浄槽(37)の底部(41)側にヒーター(43)を設けた場合に、混合洗浄溶剤(44)は水(45)の層を介して温められるものとなるため、可燃性の石油系溶剤を含む混合洗浄溶剤(44)をヒーター(43)で直接加熱する場合と比較して、引火などの危険性が少なく安全な使用が可能となる。

上記の如く構成したものにおいて、被洗浄物(47)の洗浄方法について以下に説明する。まず、前洗い槽(35)に被洗浄物(47)を挿入配置するとともに、この被洗浄物(47)に付着した汚れを混合洗浄溶剤(44)にて液洗浄にて除去する前洗いを行う。次に前洗いを終えた被洗浄物(47)を、液洗浄槽(36)内に挿入配置し、冷却された混合洗浄溶剤(44)によって液洗浄を行うとともに被洗浄物(47)を冷却する。

そして、上記液洗浄の終了後、被洗浄物(47)を上記の如く蒸気洗浄槽(7)内に発生させた洗浄蒸気(46)の雰囲気下に配置し、被洗浄物(47)の蒸気洗浄を行う。

１、３１ 洗浄槽
１４、４４ 混合洗浄溶剤
１５、４５ 水
１６、４６ 洗浄蒸気
１７，４７ 被洗浄物

本発明は、機械部品、電子部品、医療機器等の被洗浄物を洗浄する際に使用する、フッ素系溶剤と石油系溶剤との混合洗浄溶剤を用いた被洗浄物の洗浄方法に係るものである。

特開２００５−３４７８９号公報 従来より、１９９５年に洗浄溶剤として広く使用されてきたフロン１１３（フッ素系溶剤）、１．１．１トリクロロエタン（塩素系溶剤）は、オゾン層を破壊するという環境への悪影響を及ぼすため世界的に全廃となり、それ以後はフロン代替溶剤及びフロン、エタン全廃から２０年以上が経過し、現在においてフロン代替の主流は石油系溶剤となっている。

しかし、一般的な石油系溶剤は可燃性であることから、常圧下で使用した場合には引火爆発や火災事故が発生するおそれがある。また引火点が高い石油系溶剤も存在するため、このような石油系溶剤を減圧下で使用することも可能であるが、特許文献1に示す如き減圧を行うための装置を必要とするため洗浄装置のコストが高くつくものとなっていた。そのため、このような洗浄方法よりもむしろ既設の洗浄装置を利用して低コストで行うことが可能なトリクロロエチレンや塩化メチレン等（塩素系溶剤）を使用した洗浄が依然として行われているという実情がある。

そこで、上記石油系溶剤に取って替わるものとして、フロン代替として開発されたフッ素系溶剤を用いた洗浄方法が従来より公知となっているが、フッ素系溶剤は一般的に値段が高く、更に沸点が低いため、溶剤の消耗が激しく洗浄コストが高くつくものとなっていた。

そこで、本願は上述の如き課題を解決しようとするものであって、フッ素系溶剤を用いた被洗浄物の洗浄時において、フッ素系溶剤の使用量を少量に抑えて経済性を向上させるとともに、洗浄時の安全性を向上させることができる洗浄溶剤、及び、この洗浄溶剤を用いた洗浄方法を得ようとするものである。

本願は上述の如き課題を解決するため、水よりも比重の大きいＨＦＯと、このＨＦＯよりも沸点が高いとともに水よりも比重の小さい石油系溶剤とを混合して溶解させることにより、水よりも比重の大きい混合洗浄溶剤を生成し、この混合洗浄溶剤と水とを洗浄槽内に収納して、この洗浄槽内の混合洗浄溶剤の液面を水の層にて被覆した状態で、上記混合洗浄溶剤に被洗浄物を浸漬させて洗浄する被洗浄物の液洗浄、及び／又は、上記混合洗浄液を加熱してこの混合洗浄液の洗浄蒸気を発生させ、この洗浄蒸気に被洗浄物を接触させて洗浄する被洗浄物の蒸気洗浄を行うものである。

また本願発明に係る混合洗浄溶剤を構成する石油系溶剤は、該混合洗浄溶剤を構成するＨＦＯよりも沸点が高いものである。このようにＨＦＯよりも沸点の高い石油系溶剤を用いることにより、もともと沸点の低いＨＦＯ単体で洗浄溶剤として使用する場合よりも、混合洗浄溶剤の沸点を高くすることが可能となる。そのため、混合洗浄溶剤の無駄な蒸発を防ぐことができるとともに、安全性を高めることができる。

また本願発明に係る混合洗浄溶剤を構成するＨＦＯは、該混合洗浄溶剤を構成する石油系溶剤に溶解するものである。これにより、ＨＦＯと石油系溶剤とを混合させた際に、両者が分離することなく混合洗浄溶剤を常時安定的な状態で使用することができる。

また本願発明に係るＨＦＯは従来使用されていたフッ素系溶剤と比較して石油系溶剤への溶解力が高いという利点がある。

本願発明は上述の如く構成したものであるから、比較的高価なフッ素系溶剤と比較的安価な石油系溶剤を混合させることにより、フッ素系溶剤を用いた被洗浄物の洗浄時において、フッ素系溶剤のみを使用する場合よりもフッ素系溶剤の使用量を少なく抑えることができる。従って、全体的な洗浄コストを低く抑えることが可能となる。また、可燃性溶剤の石油系溶剤と不燃性溶剤のフッ素系溶剤とを混合させることにより、引火爆発や火災事故の危険性を低減することができるため、使用時の安全性を向上させることができる。

また本願発明は、水よりも比重の大きいフッ素系溶剤と、水よりも比重の小さい石油系溶剤とを混合させて混合洗浄溶剤を生成することにより、フッ素系溶剤と石油系溶剤との混合比によってこの混合洗浄溶剤の比重を水の比重よりも大きくしたり小さくしたり調整することが可能となる。

そのため、水よりも比重の大きい混合洗浄溶剤を生成した場合には、この混合洗浄溶剤と水とを洗浄槽内に収納した場合には両者が分離するものとなる。そして、この洗浄槽内の混合洗浄溶剤の液面を水の層にて被覆した状態で、混合洗浄溶剤による液洗浄や蒸気洗浄を行うことができる。従って、上記の如く形成された水の層によって洗浄槽内に収納した混合洗浄溶剤の蒸発を防ぐことが可能となり、混合洗浄溶剤の無駄な消耗を防ぐことができる。

ここで、水よりも比重の大きいフッ素系溶剤と、水よりも比重の小さい石油系溶剤とを混合させて混合洗浄溶剤を生成し、両者の配合比率を変えた場合の混合洗浄溶剤の比重の変化についての実験を行った。本実験で用いたフッ素系溶剤は、商品名AS-300(AGC株式会社製)のＨＦＯであってその比重は1.39g/cm3であり、石油系溶剤は 商品名NSクリーン220(JXTGグループ製)であってその比重は0.752である。この実験結果を下記表１に示す。

表1の結果より、水よりも比重の大きいフッ素系溶剤と、水よりも比重の小さい石油系溶剤とを混合させて混合洗浄溶剤を生成する場合において、両者の配合比率を変えることにより、混合洗浄溶剤の比重を適宜変化させることができることが明らかとなった。

本願発明を示す実施例１の概念図。

本願発明の実施例１を図１に於いて説明すると、（1）は洗浄槽であって、開口部(2)側の内周には冷却コイル(3)を設けている。そしてこの洗浄槽(1)内の冷却コイル(3)よりも下方には、２枚の隔壁(4)を間隔を介して立設して洗浄槽(1)内を三等分し、図1に示す如く図1の左側から前洗い槽(5)、液洗浄槽(6)、及び蒸気洗浄槽(7)としている。そして、上記液洗浄槽(6)の底部(8)側の内周には冷却コイル(10)を設けている。また蒸気洗浄槽(7)の底部(11)側には、温度センサー(12)及びヒーター(13)を設けている。

また本実施例では、水(15)よりも比重の大きいフッ素系溶剤としてＨＦＯを使用するとともに、石油系溶剤は水(15)よりも比重の小さく、更に上記フッ素系溶剤よりも沸点が高いものを用いている。また、上記フッ素系溶剤は、上記石油系溶剤に溶解する性質を備えている。そして上記フッ素系溶剤と石油系溶剤とを適宜の配合割合にて混合することにより、水(15)よりも比重の大きい混合洗浄溶剤(14)を生成している。

上記の如く、フッ素系溶剤と石油系溶剤とを混合することにより、比較的高価なフッ素系溶剤と比較的安価な石油系溶剤を混合させることにより、フッ素系溶剤を用いた被洗浄物(17)の洗浄時において、フッ素系溶剤のみを使用する場合よりもフッ素系溶剤の使用量を少なく抑えることができる。従って、洗浄コストを抑えることが可能となる。また、可燃性溶剤の石油系溶剤と不燃性溶剤のフッ素系溶剤とを混合させることにより、石油系溶剤のみを洗浄溶剤として使用する場合よりも引火爆発や火災事故の危険性を低減することができるため、洗浄時の安全性を向上させることができる。

そして上記前洗い槽(5)、液洗浄槽(6)、及び蒸気洗浄槽(7)内には、上記の如く生成した混合洗浄溶剤(14)を収納している。そして、液洗浄槽(6)内の混合洗浄溶剤(14)を冷却コイル(10)にて冷却するとともに、蒸気洗浄槽(7)内の混合洗浄溶剤(14)をヒーター(13)にて加熱することにより、この混合洗浄溶剤(14)の洗浄蒸気(16)を発生させる。

また、液洗浄槽(6)、及び蒸気洗浄槽(7)内には、水(15)を収納している。これにより、混合洗浄溶剤(14)と水(15)とが分離するとともに、上記の如く混合洗浄溶剤(14)は水(15)よりも比重が大きいことから、図1に示す如く混合洗浄溶剤(14)の表面には水(15)の層が形成されるものとなる。尚、蒸気洗浄槽(7)では、混合洗浄溶剤(14)を加熱することにより、混合洗浄溶剤(14)の液面上の水(15)の層を介して洗浄蒸気(16)が発生するものとなる。

上記の如く構成したものにおいて、被洗浄物(17)の洗浄方法について以下に説明する。まず、前洗い槽(5)に被洗浄物(17)を挿入配置するとともに、この被洗浄物(17)に付着した汚れを混合洗浄溶剤(14)にて液洗浄にて除去する前洗いを行う。次に前洗いを終えた被洗浄物(17)を、液洗浄槽(6)内に挿入配置し、冷却された混合洗浄溶剤(14)によって液洗浄を行うとともに被洗浄物(17)を冷却する。

そして、上記液洗浄の終了後、被洗浄物(17)を上記の如く蒸気洗浄槽(7)内に発生させた洗浄蒸気(16)の雰囲気下に配置し、被洗浄物(17)の蒸気洗浄を行う。この蒸気洗浄及び液洗浄の際には、図１に示す如く混合洗浄溶剤(14)の表面に水(15)の層を被覆していることから、洗浄時、及び非洗浄時のいずれにおいても混合洗浄溶剤(14)の無駄な蒸発を防ぐことができる。従って、混合溶剤の消耗を低減して洗浄コストを抑えることが可能となる。

尚、本実施例では、前洗い槽(5)に混合洗浄溶剤(14)のみを収納するとともに、液洗浄槽(6)及び蒸気洗浄槽(7)内に混合洗浄溶剤(14)及び水(15)の両方を収納しているが、他の異なる実施例ではこれに限らず、液洗浄槽又は蒸気洗浄槽のいずれかにのみ混合洗浄槽及び水を収納し、それ以外の槽には混合洗浄溶剤のみを収納したものであっても良いし、前洗い槽、液洗浄槽、及び蒸気洗浄槽の全てに混合洗浄溶剤及び水の両方を収納したものであっても良い。

１ 洗浄槽
１４ 混合洗浄溶剤
１５ 水
１６ 洗浄蒸気
１７ 被洗浄物

Claims (8)

1. 水よりも比重の大きいフッ素系溶剤と、水よりも比重の小さい石油系溶剤とを混合させて成るとともに、水よりも比重が大きいことを特徴とする混合洗浄溶剤。
2. 水よりも比重の大きいフッ素系溶剤と、水よりも比重の小さい石油系溶剤とを混合させて成るとともに、水よりも比重が小さいことを特徴とする混合洗浄溶剤。
3. 水よりも比重の大きいフッ素系溶剤と、水よりも比重の小さい石油系溶剤とを混合させることにより、水よりも比重の大きい混合洗浄溶剤を生成し、この混合洗浄溶剤と水とを洗浄槽内に収納して、この洗浄槽内の混合洗浄溶剤の液面を水の層にて被覆した状態で、上記混合洗浄溶剤に被洗浄物を浸漬させて洗浄する被洗浄物の液洗浄、及び／又は、上記混合洗浄液を加熱してこの混合洗浄液の洗浄蒸気を発生させ、この洗浄蒸気に被洗浄物を接触させて洗浄する被洗浄物の蒸気洗浄を行うことを特徴とする混合洗浄溶剤による被洗浄物の洗浄方法。
4. 水よりも比重の大きいフッ素系溶剤と、水よりも比重の小さい石油系溶剤とを混合させることにより、水よりも比重の小さい混合洗浄溶剤を生成し、この混合洗浄溶剤と水とを洗浄槽内に収納して、この水の層の上に混合洗浄溶剤の層を配置した状態で、上記混合洗浄溶剤に被洗浄物を浸漬させて洗浄する被洗浄物の液洗浄、及び／又は、上記混合洗浄液を加熱してこの混合洗浄液の洗浄蒸気を発生させ、この洗浄蒸気に被洗浄物を接触させて洗浄する被洗浄物の蒸気洗浄を行うことを特徴とする混合洗浄溶剤による被洗浄物の洗浄方法。
5. 上記混合洗浄溶剤を構成する石油系溶剤は、該混合洗浄溶剤を構成するフッ素系溶剤よりも沸点が高いことを特徴とする請求項３、または４の混合洗浄溶剤による被洗浄物の洗浄方法。
6. 上記混合洗浄溶剤を構成するフッ素系溶剤は、該混合洗浄溶剤を構成する石油系溶剤に溶解することを特徴とする請求項３、または４の混合洗浄溶剤による被洗浄物の洗浄方法。
7. 上記フッ素系溶剤は、ＨＦＯであることを特徴とする請求項１、または２の混合洗浄溶剤。
8. 上記フッ素系溶剤は、ＨＦＯであることを特徴とする請求項３、または４の混合洗浄溶剤による被洗浄物の洗浄方法。