JP2020110823A - レーザー加工装置および集光レンズの確認方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】集光レンズの汚れを容易に確認する。【解決手段】集光レンズ65を透過した検出光L2が反射部80によって反射されて、反射光L3が得られる。そして、再び集光レンズ65を透過した反射光L3を受光部77が受光し、その受光量に基づいて、判断部79が、集光レンズ65が汚れているか否か、すなわち、集光レンズ65の汚れの程度を判断する。したがって、レーザー加工装置10では、デブリの付着などによる集光レンズ65の汚れを、容易に確認することができる。【選択図】図3
Description
本発明は、レーザー加工装置および集光レンズの確認方法に関する。
レーザー加工装置は、たとえば、ウェーハに対して透過性の波長を有するレーザー光線をウェーハに照射し、ウェーハの内部にレーザー光線の集光点を形成することによって改質層を形成する。
このようなレーザー加工装置では、薄いウェーハの内部に集光点を位置づけて改質層を形成する場合、集光点がウェーハの上面に近くなるため、ウェーハ上面でアブレーションが起こることがある。この場合、ウェーハの溶融によってデブリが発生し、このデブリが飛散して集光レンズに付着することがある。集光レンズにデブリが付着すると、集光レンズを透過するレーザー光線がデブリによって遮られることとなり、レーザー光線が集光レンズを透過する透過率が低下し、集光点で集光したレーザー光線のエネルギー量が不十分となるため、改質層の形成に影響を及ぼす。このため、改質層に沿ってウェーハを分割することが困難となるという問題がある。
本発明の目的は、デブリの付着などによる集光レンズの汚れを容易に確認することにある。
本発明のレーザー加工装置(本レーザー加工装置)は、被加工物を保持するチャックテーブルと、被加工物に対して透過性の波長を有するレーザー光線を発振するレーザー発振器、および、該レーザー発振器から発振されたレーザー光線を該チャックテーブルに保持された被加工物の内部に集光させる集光レンズを有し、該集光レンズによって集光された該レーザー光線の集光点によって、該被加工物の内部に改質層を形成する加工手段と、を備えるレーザー加工装置であって、該集光レンズの汚れを検出する汚れ検出手段を備え、該汚れ検出手段は、該集光レンズの汚れ検出用の検出光を発光する光源と、該検出光を該集光レンズに導くダイクロイックミラーと、該ダイクロイックミラーによって導かれ該集光レンズを透過した該検出光を反射させる、上面に鏡面を有する反射部と、該反射部によって反射され、該検出光における該集光レンズの透過方向とは逆方向に該集光レンズを透過した反射光を受光する受光部と、該受光部によって受光された該反射光の受光量に基づいて、該集光レンズが汚れているか否かを判断する判断手段と、を備える。
また、本レーザー加工装置は、該チャックテーブルに対して該集光レンズを昇降させる昇降手段をさらに備えてもよく、該昇降手段が、該集光レンズを昇降させることによって、該検出光の集光点を該反射部の上面に位置づけ、該受光部が、該反射部の上面で反射された該反射光を受光し、該判断手段が、該受光部の受光量に基づいて、該集光レンズが汚れているか否かを判断してもよい。
また、本レーザー加工装置では、該検出光の波長は、300nmから1000nmまでの範囲にあってもよい。
本発明の集光レンズの確認方法(本集光レンズの確認方法)は、被加工物に対して透過性の波長を有するレーザー光線の集光点によって該被加工物の内部に改質層を形成するために該被加工物の内部に該レーザー光線を集光させる集光レンズが汚れているか否かを確認する、集光レンズの確認方法であって、該集光レンズの汚れ検出用の検出光を該集光レンズに導き、該集光レンズを透過した該検出光を反射部の上面で反射させることによって得られる反射光を、該集光レンズに導き、該集光レンズを透過した該反射光を受光部によって受光し、該受光部によって受光された該反射光の受光量に基づいて、該集光レンズが汚れているか否かを確認する。
本レーザー加工装置および本集光レンズの確認方法では、集光レンズを透過した検出光が反射部によって反射されて、反射光が得られる。そして、再び集光レンズを透過した反射光を受光部が受光し、受光部の受光量に基づいて、集光レンズが汚れているか否かを判断(確認)する。したがって、デブリの付着などによって集光レンズが汚れているか否かを、容易に確認することができる。
また、検出光の集光点が、昇降手段によって、反射部の上面に位置づけられることにより、反射部からの反射光の光量を多くすることができるので、受光部による受光量も多くすることが可能となる。その結果、集光レンズが汚れているか否かの判断の精度を高められる。
図1に示すように、本実施形態にかかるレーザー加工装置10は、直方体状の基台11、および、基台11の一端に立設された立壁部13を備えている。
基台11の上面には、チャックテーブル43を移動させるチャックテーブル移動機構14が設けられている。チャックテーブル移動機構14は、チャックテーブル43を、X軸方向に加工送りするとともに、Y軸方向に割り出し送りする。チャックテーブル移動機構14は、チャックテーブル43を備えたチャックテーブル部40、チャックテーブル43を割り出し送り方向に移動する割り出し送り部20、および、チャックテーブル43を加工送り方向に移動する加工送り部30を備えている。
割り出し送り部20は、Y軸方向に延びる一対のガイドレール23、ガイドレール23に載置されたY軸テーブル24、ガイドレール23と平行に延びるボールネジ25、および、ボールネジ25を回転させる駆動モータ26を含んでいる。
一対のガイドレール23は、Y軸方向に平行に、基台11の上面に配置されている。Y軸テーブル24は、一対のガイドレール23上に、これらのガイドレール23に沿ってスライド可能に設置されている。Y軸テーブル24上には、加工送り部30およびチャックテーブル部40が載置されている。
ボールネジ25は、Y軸テーブル24の下面側に設けられたナット部(図示せず)に螺合されている。駆動モータ26は、ボールネジ25の一端部に連結されており、ボールネジ25を回転駆動する。ボールネジ25が回転駆動されることで、Y軸テーブル24、加工送り部30およびチャックテーブル部40が、ガイドレール23に沿って、割り出し送り方向(Y軸方向)に移動する。
加工送り部30は、X軸方向に延びる一対のガイドレール31、ガイドレール31上に載置されたX軸テーブル32、ガイドレール31と平行に延びるボールネジ33、および、ボールネジ33を回転させる駆動モータ35を備えている。一対のガイドレール31は、X軸方向に平行に、Y軸テーブル24の上面に配置されている。X軸テーブル32は、一対のガイドレール31上に、これらのガイドレール31に沿ってスライド可能に設置されている。X軸テーブル32上には、チャックテーブル部40および反射部80が載置されている。
ボールネジ33は、X軸テーブル32の下面側に設けられたナット部(図示せず)に螺合されている。駆動モータ35は、ボールネジ33の一端部に連結されており、ボールネジ33を回転駆動する。ボールネジ33が回転駆動されることで、X軸テーブル32およびチャックテーブル部40が、ガイドレール31に沿って、加工送り方向(X軸方向)に移動する。
チャックテーブル部40は、ウェーハ1を保持するために用いられる。図1に示すように、ウェーハ1は、リングフレームF、粘着テープSおよびウェーハ1を含むワークセットWとして、チャックテーブル部40に保持される。
チャックテーブル部40は、ウェーハ1を保持するチャックテーブル43、チャックテーブル43の周囲に設けられたクランプ部45、および、チャックテーブル43を支持するθテーブル47を有している。
θテーブル47は、X軸テーブル32の上面に、XY平面内で回転可能に設けられている。チャックテーブル43は、ウェーハ1を吸着保持するための部材である。チャックテーブル43は、円板状に形成されており、θテーブル47上に設けられている。
チャックテーブル43の上面には、ポーラスセラミックス材を含む保持面が形成されている。この保持面は、吸引源(図示せず)に連通されている。チャックテーブル43の周囲には、支持アームを含む4つのクランプ部45が設けられている。4つのクランプ部45は、エアアクチュエータ(図示せず)により駆動されることで、チャックテーブル43に保持されているウェーハ1の周囲のリングフレームFを、四方から挟持固定する。
レーザー加工装置10の立壁部13は、チャックテーブル移動機構14の後方に立設されている。立壁部13の前面には、レーザーユニット12をZ軸方向に移動するための昇降手段50が設けられている。
昇降手段50は、Z軸方向に延びる一対のガイドレール51、ガイドレール51上に載置されたZ軸テーブル52、ガイドレール51と平行に延びるボールネジ53、および、ボールネジ53を回転させる駆動モータ55を備えている。一対のガイドレール51は、Z軸方向に平行に、立壁部13の前面に配置されている。Z軸テーブル52は、一対のガイドレール51上に、これらのガイドレール51に沿ってスライド可能に設置されている。Z軸テーブル52には、レーザーユニット12が取り付けられている。
レーザーユニット12は、ウェーハ1をレーザー加工するための装置である。レーザーユニット12は、ウェーハ1をレーザー光線によって加工する加工手段18、加工手段18の集光レンズの汚れを検出する汚れ検出手段19、および、加工手段18および汚れ検出手段19を支持するアーム部17を有している。
アーム部17は、Z軸テーブル52から、チャックテーブル移動機構14の方向に突出している。加工手段18および汚れ検出手段19は、チャックテーブル部40のチャックテーブル43に対向するように、アーム部17の先端に支持されている。
加工手段18および汚れ検出手段19内には、レーザーユニット12の光学系が設けられている。
図2に示すように、加工手段18は、固体レーザー光源であるレーザー発振器61、および、レーザー発振器61の下方に設けられたダイクロイックミラー63および集光レンズ65を備えている。
図2に示すように、加工手段18は、固体レーザー光源であるレーザー発振器61、および、レーザー発振器61の下方に設けられたダイクロイックミラー63および集光レンズ65を備えている。
レーザー発振器61は、ウェーハ1に対して透過性の波長を有する、パルスのレーザー光線L1を発振する。レーザー光線L1の波長は、たとえば、1064nm,1099nmあるいは1342nmであってもよい。
ダイクロイックミラー63は、レーザー発振器61から出力されるレーザー光線L1を透過する。ダイクロイックミラー63を透過したレーザー光線L1は、集光レンズ65に向かう。集光レンズ65は、レーザー光線L1を、チャックテーブル43に保持されたウェーハ1の内部に集光させる。
すなわち、加工手段18は、レーザー発振器61から出力されてダイクロイックミラー63を透過したレーザー光線L1を集光レンズ65によって集光し、チャックテーブル43上に保持されたウェーハ1に照射する。これにより、ウェーハ1がレーザー加工される。
このレーザー光線L1を集光させることによって得られる集光点Pの高さ位置は、昇降手段50によって、レーザーユニット12(加工手段18)のZ軸方向における位置、すなわち、チャックテーブル43に対する集光レンズ65の高さ位置を変更することによって、任意の位置に配置されることが可能である。
加工手段18からのレーザー光線L1の照射により、ウェーハ1の内部に、レーザー光線L1の集光点Pが位置づけられる。この集光点Pが、ウェーハ1の内部で相対的に移動することによって、ウェーハ1内に、分割起点となる改質層が形成される。
すなわち、ウェーハ1の材料は、レーザー光線L1の照射によって改質される。ウェーハ1におけるレーザー光線L1の照射部分(集光点Pの通過部分)は、改質されて、密度、屈折率、および機械的強度等の物理的特性が他の部分と異なる改質層となり、他の部分よりも弱い強度を有する。改質層は、たとえば、溶融処理領域、クラック領域、絶縁破壊領域、屈折率変化領域、および、これらが混在する領域を含む。改質層は、このような領域を含むため、他の部分に比べて割れやすい。この改質層をウェーハ1の分割予定ラインに沿って形成し、ウェーハ1を分割予定ラインに沿って分割することによって、複数のチップを得ることができる。
なお、加工手段18によるレーザー加工は、たとえば、以下の加工条件にて行われる。
(加工条件1)
レーザー光線の波長 1064nm
繰り返し周波数 50kHz
平均出力 1W
スポット径 1φμm
加工送り速度 100〜800mm/sec
(加工条件2)
レーザー光線の波長 1342nm
繰り返し周波数 90kHz
平均出力 1W
スポット径 1φμm
加工送り速度 100〜800mm/sec
(加工条件1)
レーザー光線の波長 1064nm
繰り返し周波数 50kHz
平均出力 1W
スポット径 1φμm
加工送り速度 100〜800mm/sec
(加工条件2)
レーザー光線の波長 1342nm
繰り返し周波数 90kHz
平均出力 1W
スポット径 1φμm
加工送り速度 100〜800mm/sec
このように、集光レンズ65は、ウェーハ1に対して透過性の波長を有するレーザー光線L1の集光点Pによってウェーハ1の内部に改質層を形成するために、ウェーハ1の内部にレーザー光線を集光させるものである。そして、図2および図3に示した汚れ検出手段19は、この集光レンズ65の汚れを検出する。すなわち、汚れ検出手段19は、集光レンズ65が汚れているか否かを判断(確認)するために用いられる。
図3に示すように、汚れ検出手段19は、集光レンズ65の汚れ検出用の検出光を発光する検出用光源71と、その下方に設けられた半透過ミラー73およびレーザービームダンパー75とを備えている。さらに、汚れ検出手段19は、反射部80からの反射光を受光する受光部77、および、集光レンズ65が汚れているか否か(集光レンズ65の汚れの程度)を判断する判断部79を備えている。また、加工手段18のダイクロイックミラー63も、汚れ検出手段19の一部として機能する。
以下に、汚れ検出手段19による集光レンズ65の汚れの確認動作(集光レンズ65の確認方法)について説明する。集光レンズ65の汚れを確認する際には、図3に示すように、集光レンズ65の下方に、X軸テーブル32に配置された反射部80が位置するように、X軸テーブル32が配置される。
そして、汚れ検出手段19の検出用光源71は、汚れ検出用のレーザー光線である検出光L2を発光(発振)する。検出光L2の波長は、たとえば、300〜1000nmの範囲にある。
そして、汚れ検出手段19の検出用光源71は、汚れ検出用のレーザー光線である検出光L2を発光(発振)する。検出光L2の波長は、たとえば、300〜1000nmの範囲にある。
半透過ミラー73は、検出光L2の一部を反射する一方、検出光L2の残部を透過する。半透過ミラー73の反射率は、たとえば80%である。レーザービームダンパー75は、半透過ミラー73を透過した検出光L2を吸収する。
半透過ミラー73によって反射された検出光L2は、加工手段18のダイクロイックミラー63に向かう。ここで、ダイクロイックミラー63は、検出用光源71から発光された検出光L2を反射するように構成されている。したがって、ダイクロイックミラー63は、検出光L2を反射して、集光レンズ65に導く。検出光L2は、集光レンズ65によって集光されて、反射部80に照射される。
反射部80は、ダイクロイックミラー63によって集光レンズ65に導かれ、集光レンズ65を透過した検出光L2を反射するものであり、上面に鏡面を有する。すなわち、反射部80は、図3に示すように、X軸テーブル32上に載置されている反射テーブル81、および、反射テーブル81上に備えられているシリコンミラー83を有している。
そして、集光レンズ65の汚れを確認する際には、集光レンズ65によって集光された検出光L2の集光点Pは、昇降手段50によって、シリコンミラー83の上面に位置づけられる。シリコンミラー83は、反射部80における鏡面を有する反射板の一例に相当する。
そして、集光レンズ65の汚れを確認する際には、集光レンズ65によって集光された検出光L2の集光点Pは、昇降手段50によって、シリコンミラー83の上面に位置づけられる。シリコンミラー83は、反射部80における鏡面を有する反射板の一例に相当する。
集光レンズ65を透過した検出光L2は、シリコンミラー83によって反射されて、反射光L3となり、集光レンズ65に導かれる。反射光L3は、検出光L2における集光レンズ65の透過方向とは逆方向に集光レンズ65を透過して、ダイクロイックミラー63に向かう。反射光L3は、ダイクロイックミラー63によって反射されて、汚れ検出手段19の半透過ミラー73に向かう。受光部77は、半透過ミラー73を透過した反射光L3を受光する。受光部77は、たとえば、CCD(Charge-Coupled Device)である。
判断部79は、受光部77によって受光された反射光L3の受光量に基づいて、集光レンズ65が汚れているか否か(集光レンズ65における汚れの有無)を判断する。たとえば、判断部79は、反射光L3の受光量が、予め設定されている閾値以下である場合に、集光レンズ65が汚れていると判断する。判断部79は、判断手段の一例に相当する。
図4に、受光部77の受光量と、加工手段18による加工距離との関係を示すグラフを示す。加工距離とは、加工手段18からウェーハ1に照射されるレーザー光線L1の集光点Pの、ウェーハ1内での相対的な移動距離である。一般に、この加工距離が長いほど、集光レンズ65の汚れが多くなる。つまり、多くの加工をしたことになる。
このグラフに示す例では、上述した閾値が、集光レンズ65が実質的に汚れていない新品である場合における受光部77の受光量、すなわち、初期の受光量に基づいて設定される。具体的には、閾値は、たとえば、初期の受光量(100%)の約72%に設定されていてもよい。あるいは、この閾値は、初期の受光量の90%に設定されてもよい。
初期の受光量または閾値を記憶部に記憶させておき、判断部79が、集光レンズ65が汚れているか否かの判断基準として利用する。
初期の受光量または閾値を記憶部に記憶させておき、判断部79が、集光レンズ65が汚れているか否かの判断基準として利用する。
判断部79は、集光レンズ65が汚れていると判断した場合、図示しない通知装置を用いて、その旨をオペレータに通知し、オペレータに処置を促す。オペレータは、たとえば、レーザー加工装置10による加工を停止し、集光レンズ65の清掃あるいは交換を実施する。
以上のように、レーザー加工装置10では、集光レンズ65を透過した検出光L2が反射部80によって反射されて、反射光L3が得られる。そして、再び集光レンズ65を透過した反射光L3を受光部77が受光し、その受光量に基づいて、判断部79が、集光レンズ65が汚れているか否かを判断(確認)する。したがって、レーザー加工装置10では、デブリの付着などによって集光レンズ65が汚れているか否かを、容易に確認することができる。
また、本実施形態では、集光レンズ65の汚れを検出する際、集光レンズ65によって集光された検出光L2の集光点Pが、昇降手段50によって、反射部80のシリコンミラー83の上面に位置づけられる。これにより、反射部80からの反射光L3の光量を多くすることができるので、受光部77による受光量も多くすることが可能となる。その結果、判断部79による判断の精度を高められる。
なお、レーザー光線L1の波長と検出光L2の波長との差は、大きい方が好ましい。また、ダイクロイックミラー63は、レーザー光線L1の波長と検出光L2の波長とに差が小さい場合でも、レーザー光線L1を透過する一方、検出光L2を反射するものであることが好ましい。また、検出用光源71による検出光L2の出力値は、レーザー発振器61によるレーザー光線L1の出力値よりも小さく設定されていてもよい。
また、本実施形態では、昇降手段50によって、加工手段18から照射されるレーザー光線L1および検出光L2の集光点Pの高さ位置を変更している。これに代えて、加工手段18内の光学系によって、集光点Pの高さ位置を変更してもよい。このために、たとえば、加工手段18内に、集光レンズ65の位置を上下動させるための昇降機構を備えていてもよい。
また、本実施形態では、半透過ミラー73の反射率は80%に設定されている。これに限らず、半透過ミラー73の反射率は、0%および100%に近い値でなければ、任意の値に設定されてよい。
また、本実施形態では、反射部80がシリコンミラー83を有している。これに代えて、反射部80では、反射テーブル81の上面が鏡面となっていてもよい。
1:ウェーハ、F:リングフレーム、S:粘着テープ、W:ワークセット、
10:レーザー加工装置、50:昇降手段、
12:レーザーユニット、18:加工手段、19:検出手段、
61:レーザー発振器、63:ダイクロイックミラー、65:集光レンズ、
71:検出用光源、73:半透過ミラー、75:レーザービームダンパー、
77:受光部、79:判断部、
80:反射部、81:反射テーブル、83:シリコンミラー、
L1:レーザー光線、L2:検出光、L3:反射光、P:集光点
10:レーザー加工装置、50:昇降手段、
12:レーザーユニット、18:加工手段、19:検出手段、
61:レーザー発振器、63:ダイクロイックミラー、65:集光レンズ、
71:検出用光源、73:半透過ミラー、75:レーザービームダンパー、
77:受光部、79:判断部、
80:反射部、81:反射テーブル、83:シリコンミラー、
L1:レーザー光線、L2:検出光、L3:反射光、P:集光点
Claims (4)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、
被加工物に対して透過性の波長を有するレーザー光線を発振するレーザー発振器、および、該レーザー発振器から発振されたレーザー光線を該チャックテーブルに保持された被加工物の内部に集光させる集光レンズを有し、該集光レンズによって集光された該レーザー光線の集光点によって、該被加工物の内部に改質層を形成する加工手段と、を備えるレーザー加工装置であって、
該集光レンズの汚れを検出する汚れ検出手段を備え、
該汚れ検出手段は、
該集光レンズの汚れ検出用の検出光を発光する光源と、
該検出光を該集光レンズに導くダイクロイックミラーと、
該ダイクロイックミラーによって導かれ該集光レンズを透過した該検出光を反射させる、上面に鏡面を有する反射部と、
該反射部によって反射され、該検出光における該集光レンズの透過方向とは逆方向に該集光レンズを透過した反射光を受光する受光部と、
該受光部によって受光された該反射光の受光量に基づいて、該集光レンズが汚れているか否かを判断する判断手段と、
を備えるレーザー加工装置。 - 該チャックテーブルに対して該集光レンズを昇降させる昇降手段をさらに備え、
該昇降手段が、該集光レンズを昇降させることによって、該検出光の集光点を該反射部の上面に位置づけ、
該受光部が、該反射部の上面で反射された該反射光を受光し、
該判断手段が、該受光部の受光量に基づいて、該集光レンズが汚れているか否かを判断する、
請求項1記載のレーザー加工装置。 - 該検出光の波長は、300nmから1000nmまでの範囲にある、
請求項1記載のレーザー加工装置。 - 被加工物に対して透過性の波長を有するレーザー光線の集光点によって該被加工物の内部に改質層を形成するために該被加工物の内部に該レーザー光線を集光させる集光レンズが汚れているか否かを確認する、集光レンズの確認方法であって、
該集光レンズの汚れ検出用の検出光を該集光レンズに導き、
該集光レンズを透過した該検出光を反射部の上面で反射させることによって得られる反射光を、該集光レンズに導き、
該集光レンズを透過した該反射光を受光部によって受光し、
該受光部によって受光された該反射光の受光量に基づいて、該集光レンズが汚れているか否かを確認する、
集光レンズの確認方法。
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