JP2020107630A - 半導体発光素子 - Google Patents
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1.半導体発光素子
図1は、第1の実施形態の発光素子100の概略構成図である。発光素子100は、紫外発光する。紫外線の波長は、100nm以上400nm以下である。発光素子100は、基板側に光取り出し面LE1を有するフリップチップである。図1に示すように、発光素子100は、基板110と、AlN層120と、n型半導体層130と、発光層140と、p型半導体層150と、透明電極160と、nドット電極N1と、n配線電極N2と、nパッド電極N3と、pドット電極P1と、p配線電極P2と、pパッド電極(図示せず)と、分布ブラッグ反射膜DBR1と、絶縁膜IF1と、絶縁膜IF2と、を有する。
2−1.AlN層の構造
図2は、第1の実施形態の発光素子100におけるAlN層120の周辺を拡大した拡大図である。図2に示すように、AlN層120は、低温AlN層121と、中間AlN層122と、高温AlN層123と、を有する。基板110の側から、低温AlN層121、中間AlN層122、高温AlN層123が配置されている。
図2に示すように、中間AlN層122には、組成異常領域CA1が存在する。組成異常領域CA1は、炭素原子または酸素原子の含有量が局所的に多い箇所である。組成異常領域CA1の透過型電子顕微鏡画像は、ボイドに似ている。
図3は、第1の実施形態の発光素子100から基板110とn型半導体層130とnドット電極N1とを抜き出して描いた平面図である。図3に示すように、nドット電極N1は、基板110の板面に対して離散して配置されている。nドット電極N1は、ハニカム状に配置されている。そして、発光層140等の半導体層は、nドット電極N1の端部から45μm以下の範囲内にある。そのため、発光層140の外側面は、nドット電極N1の形状に応じて凹凸形状を有している。
基板110の第1面110aの面積に対する第1の領域R1の面積の比が、20%以上70%以下の場合に、光出力が従来の発光素子より20%以上向上する。
基板110の第1面110aの面積に対する第1の領域R1の面積の比を小さくすると、駆動電圧が上昇する傾向がある。基板110の第1面110aの面積に対する第1の領域R1の面積の比が30%以上80%以下の場合には、駆動電圧の上昇幅は3V以下である。
4−1.第1の実施形態の発光素子
図4は、第1の実施形態の発光素子100における光の経路を説明するための図である。図4には、発光層140から出た紫外線UV1aが光取り出し面LE1で反射し、分布ブラッグ反射膜DBR1で再度反射して素子外部に取り出される場合が示されている。図4に示すように、紫外線UV1aは、光取り出し面LE1で紫外線UV1bの向きに反射する。紫外線UV1bは、分布ブラッグ反射膜DBR1により紫外線UV1cの向きに反射する。
図5は、基板の半導体層形成面の面積とAlN層の面積とが等しい発光素子における光の経路を説明するための図である。図5には、発光層から出た紫外線UV2aが光取り出し面で反射し、分布ブラッグ反射膜で再度反射して素子外部に取り出される場合が示されている。図5に示すように、紫外線UV2aは、光取り出し面で紫外線UV2bの向きに反射する。紫外線UVb2は、分布ブラッグ反射膜により紫外線UV2cの向きに反射する。
第1の実施形態の発光素子100では、従来の発光素子よりも発光層の発光面積が小さい。その代わりに、発光素子100の電流密度は、従来の発光素子よりも高い。電流抵抗値の影響はあるが、発光素子100の電流値は従来の発光素子の電流値と大きく変わらない。
第1の実施形態の発光素子100は、AlN層120が存在する第1の領域R1と、AlN層120が存在しない第2の領域R2と、を有する。このように第2の領域R2では、AlN層120が存在しないため、組成異常領域CA1が従来の発光素子に比べて小さい。そのため、AlN層120の組成異常領域CA1に吸収される紫外線量は少ない。したがって、第1の実施形態の発光素子100の光出力は従来の発光素子の光出力に比べて十分に高い。
7−1.AlN層形成工程
基板110の第1面110aの上にAlN層120を形成する。第1面110aは、光取り出し面LE1の反対側の面である。基板温度を一定にしながら第1面110aの上に低温AlN層121を形成する。次に、基板温度を上昇させながら低温AlN層121の上に中間AlN層122を形成する。次に、基板温度を一定にしながら中間AlN層122の上に高温AlN層123を形成する。もちろん、高温AlN層123の形成温度は低温AlN層121の形成温度よりも高い。
次に、AlN層120の高温AlN層123の上に半導体層を形成する。形成する順序は、n型半導体層130、発光層140、p型半導体層150の順である。
次に、半導体層およびAlN層120を除去する。Cl2 等の塩素系ガスを用いたドライエッチングにより第1の領域R1を残して第2の領域R2に相当する領域の半導体層およびAlN層120を除去する。この際に、n型半導体層130を露出させるエッチングと、AlN層120を除去するエッチングと、の2段階で実施する。なお、ハニカム状に配置されるnドット電極N1の形成位置に合わせてn型半導体層130を露出させる。
次に、p型半導体層150の上に透明電極160を形成する。
次に、分布ブラッグ反射膜DBR1を形成する。その際に、分布ブラッグ反射膜DBR1が第1の領域R1で透明電極160および半導体層を覆い、第2の領域R2で基板110の第1面110aを覆うようにする。
次に、分布ブラッグ反射膜DBR1の一部を開口し、分布ブラッグ反射膜DBR1で覆われているn型半導体層130および透明電極160の一部を露出させる。そして、nドット電極N1およびpドット電極P1を形成する。その後、適宜、絶縁膜IF1を形成しつつ、n配線電極N2、p配線電極P2を形成すればよい。その後、絶縁膜IF2を形成する。そして、nパッド電極N3、pパッド電極を形成する。
その他、熱処理工程を適宜実施すればよい。またその他の工程を実施してもよい。
8−1.反射膜
第1の実施形態の分布ブラッグ反射膜DBR1の代わりに、金属の反射膜を用いてもよい。その場合であっても、金属の反射膜は、第1の領域R1で半導体層を覆い、第2の領域R2で基板110に接触している。この場合であっても、金属の反射膜は、光取り出し面LE1から遠ざかる紫外線を反射できる。
絶縁膜IF1と絶縁膜IF2との少なくとも一方を分布ブラッグ反射膜にしてもよい。
第2の領域R2に予め絶縁膜を形成してもよい。その絶縁膜をマスクとして、第1の領域R1にAlN層120を形成してもよい。この場合には、AlN層120を除去する工程は必要ない。また、マスクとして用いる絶縁膜を分布ブラッグ反射膜DBR1における1層目にしてもよい。ここで1層目とは、基板110の直上の第1面110aに接して形成される膜である。
透明電極150を形成した後に、AlN層120を除去してもよい。
pドット電極P1については、1つであってもよい場合がある。つまり、pドット電極P1は、離散して配置されていなくてもよい場合がある。透明電極160により、電流が比較的拡散するからである。
上記の変形例を自由に組み合わせてもよい。
第2の実施形態について説明する。第2の実施形態の半導体発光素子は、第1の実施形態の半導体発光素子に対して第1の領域R1および第2の領域R2の形成領域が異なっている。そのため、相違点について説明する。
図6は、第2の実施形態の発光素子200における第1の領域R1と第2の領域R2とを示す平面図である。図6に示すように、発光素子200は、4つの第1の領域R1と、第2の領域R2と、を有する。第2の領域R2は、4つの第1の領域R1の周囲を囲んでいる。図6では、複数の第1の領域R1は、正方形に近い形状である。
第1の領域R1の数は、4個以外の複数個であってもよい。また、第1の領域R1の形状は正方形以外の多角形または円形であってもよい。または、その他の形状であってもよい。
第3の実施形態について説明する。第3の実施形態の半導体発光素子は、第1の実施形態の半導体発光素子に対して第1の領域R1および第2の領域R2の形成領域が異なっている。そのため、相違点について説明する。
図7は、第3の実施形態の発光素子300における第1の領域R1と第2の領域R2とを示す平面図である。図7に示すように、発光素子300は、第1の領域R1と第2の領域R2とを有する。第2の領域R2は、素子の中央付近に位置している。第1の領域R1が第2の領域R2の周囲を囲んでいる。第1の領域R1は、枠形状をしている。第2の領域R2は、枠形状の第1の領域R1の内側で正方形に近い形状をしている。
第4の実施形態について説明する。第4の実施形態の半導体発光素子は、第1の実施形態の半導体発光素子に対して第1の領域R1および第2の領域R2の形成領域が異なっている。そのため、相違点について説明する。
図8は、第4の実施形態の発光素子400における第1の領域R1と第2の領域R2とを示す平面図である。図8に示すように、発光素子400は、第1の領域R1と、4つの第2の領域R2と、を有する。第1の領域R1は、4つの第2の領域R2の周囲を囲んでいる。図8では、4つの第2の領域R2は、正方形に近い形状である。
第2の領域R2の数は、4個以外の複数個であってもよい。また、第2の領域R2の形状は正方形以外の多角形または円形であってもよい。または、その他の形状であってもよい。
第5の実施形態について説明する。第5の実施形態の半導体発光素子は、第1の実施形態の半導体発光素子に対して第1の領域R1および第2の領域R2の形成領域が異なっている。そのため、相違点について説明する。
図9は、第5の実施形態の発光素子500における第1の領域R1と第2の領域R2とを示す平面図である。図9に示すように、発光素子500は、第1の領域R1と、内側の第2の領域R2aと、外側の第2の領域R2bと、を有する。内側の第2の領域R2aは、素子の中央付近に位置している。第1の領域R1は、内側の第2の領域R2aの周囲を囲んでいる。外側の第2の領域R2bは、第1の領域R1の周囲を囲んでいる。つまり、第1の領域R1は、内側の第2の領域R2aと外側の第2の領域R2bとに挟まれている。内側の第2の領域R2aは、正方形に近い形状である。第1の領域R1は枠形状である。外側の第2の領域R2bは枠形状である。
内側の第2の領域R2aの形状は、正方形に近い形状である。しかし、正方形以外の多角形または円形であってもよい。
1.炭素濃度および酸素濃度
低温AlN層121と、中間AlN層122と、高温AlN層123とで、炭素濃度および酸素濃度を測定した。そのためにSIMSを用いた。
炭素濃度(cm-3) 酸素濃度(cm-3)
高温AlN層 1×1016 1×1017
中間AlN層 5×1017 5×1018
低温AlN層 1×1017 1×1018
サファイア基板の上にAlN層を形成し、AlN層における光の吸収率を測定した。その結果を表2に示す。表2に示すように、AlN層における波長280nmの光の吸収率は20%程度であった。AlN層における波長220nmの光の吸収率は30%程度であった。このようにAlN層では紫外線の吸収が比較的強い。
波長 吸収率
500nm 5〜10%
280nm 20%
220nm 30%
以下の実験においては、第1の実施形態における図3の発光素子100を用いて、光出力、駆動電圧、発光効率を測定した。
図11は、基板の半導体形成面の面積に対するAlN層の面積の比と光出力との関係を示すグラフである。図11の横軸は、基板の半導体形成面の面積に対するAlN層の面積の比である。つまり、基板の半導体形成面の面積に対する第1の領域R1の面積の比である。ここで、基板の半導体形成面の面積は、第1の領域R1の面積と第2の領域R2の面積との和である。図11の縦軸は、発光素子の光出力(a.u.)である。
図12は、基板の半導体形成面の面積に対するAlN層の面積の比と駆動電圧の上昇量との関係を示すグラフである。図12の横軸は、基板の半導体形成面の面積に対するAlN層の面積の比である。図12の縦軸は、発光素子の駆動電圧の上昇量(V)である。
図13は、基板の半導体形成面の面積に対するAlN層の面積の比と発光効率との関係を示すグラフである。図11の横軸は、基板の半導体形成面の面積に対するAlN層の面積の比である。図11の縦軸は、発光素子の発光効率(a.u.)である。
基板の板面に対してAlN層を小さくすると、それにともなって発光層も小さくなる。しかし、光出力は十分に向上する。発光層に流れる電流密度が高いためである。一方、駆動電圧は上昇してしまう。工業的に紫外発光素子を応用する場合には、光出力の高い紫外発光素子が望まれており、特段、問題は生じない。
第1の態様における半導体発光素子は、第1面を有する基板と、基板の第1面の上のAlN層と、AlN層の上のn型半導体層と発光層とp型半導体層と、n型半導体層と接触する複数のnドット電極と、を有する。複数のnドット電極は、離散して配置されている。基板は、AlN層に覆われている第1の領域と、AlN層に覆われていない第2の領域と、を有する。基板の第1面の面積に対する第1の領域の面積の比が、10%以上80%以下である。
110…基板
110a…第1面
120…AlN層
130…n型半導体層
140…発光層
150…p型半導体層
160…透明電極
P1…pドット電極
N1…nドット電極
DBR1…分布ブラッグ反射膜
LE1…光取り出し面
R1…第1の領域
R2…第2の領域
Claims (8)
- 第1面を有する基板と、
前記基板の前記第1面の上のAlN層と、
前記AlN層の上のn型半導体層と発光層とp型半導体層と、
前記n型半導体層と接触する複数のnドット電極と、
を有し、
前記複数のnドット電極は、
離散して配置されており、
前記基板は、
前記AlN層に覆われている第1の領域と、
前記AlN層に覆われていない第2の領域と、
を有し、
前記基板の前記第1面の面積に対する前記第1の領域の面積の比が、
10%以上80%以下であること
を含む半導体発光素子。 - 請求項1に記載の半導体発光素子において、
反射膜を有し、
前記反射膜は、
前記基板の前記第2の領域に接触していること
を含む半導体発光素子。 - 請求項1または請求項2に記載の半導体発光素子において、
前記第2の領域は、
前記第1の領域の周囲を囲んでいること
を含む半導体発光素子。 - 請求項1または請求項2に記載の半導体発光素子において、
複数の前記第1の領域を有し、
前記第2の領域は、
複数の前記第1の領域の周囲を囲んでいること
を含む半導体発光素子。 - 請求項1または請求項2に記載の半導体発光素子において、
前記第1の領域は、
前記第2の領域の周囲を囲んでいること
を含む半導体発光素子。 - 請求項1または請求項2に記載の半導体発光素子において、
複数の前記第2の領域を有し、
前記第1の領域は、
複数の前記第2の領域の周囲を囲んでいること
を含む半導体発光素子。 - 請求項1または請求項2に記載の半導体発光素子において、
内側の前記第2の領域と外側の前記第2の領域とを有し、
前記第1の領域は、
内側の前記第2の領域の周囲を囲み、
外側の前記第2の領域は、
前記第1の領域の周囲を囲んでいること
を含む半導体発光素子。 - 請求項1から請求項7までのいずれか1項に記載の半導体発光素子において、
前記AlN層は、
前記基板から遠ざかるほど面積が狭くなる向きのテーパを有すること
を含む半導体発光素子。
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