JP2009147071A - 半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】LEDは、キャリアが注入されることにより発光する発光層と、発光層の一方の主面側に形成されたフォトニック結晶層8とを備えている。フォトニック結晶層8は、Siを含む複数の格子点81と、母層82とを有している。母層82は、平面的に見て複数の格子点81の各々を取り囲んでおり、かつGaNを含んでいる。複数の格子点81のうち一つの格子点81aと、格子点81aに最も近い格子点81bとの間隔は130nm以上10μm以下である。
【選択図】図3
Description
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1におけるLEDの構成を示す平面図である。図2は、図1のII−II線に沿った断面図である。図1および図2を参照して、本実施の形態におけるLED1は、基板2と、n型GaN層3と、発光層としての活性層4と、中間層としてのスペーサ層5と、電子ブロック層6と、p型GaN層7と、2次元回折格子としてのフォトニック結晶層8と、p型コンタクト層9と、透明電極10と、p型電極11と、n型電極12とを備えている。
p型電極11側が正となるような電圧をp型電極11とn型電極12との間に加えると、透明電極10、p型コンタクト層9、フォトニック結晶層8、p型GaN層7、電子ブロック層6、およびスペーサ層5を通じて活性層4へ正孔が注入され、基板2およびn型GaN層3を通じて活性層4へ電子が注入される。そして、注入された正孔と電子とが活性層4内においてそれぞれ再結合し、青色の光が発生する。発生した光のうち基板2の上面2a側を進行する光は、フォトニック結晶層8内に到達する。そして、光は各格子点81(図3)において回折され、各格子点81間には定在波が発生する。同時に、光はフォトニック結晶層8の主面の法線方向(図2中上下方向)にも回折される。この光は、LED1(透明電極10)と空気との境界面に対して鋭角で入射するので、この境界面において反射されずに、透明電極10の上面10aから放出される。一方、発生した光のうち活性層4の下面4b側へ進行した光は、n型電極12によって活性層4の方向に反射される。これにより、基板2の下面2b側へ進行した光がフォトニック結晶層8内へ導かれる。
始めに、基板2の上面2aにn型GaN層3と、活性層4と、スペーサ層5をエピタキシャル成長させる。スペーサ層5の成膜の際にはアンドープのGaNを成膜する。続いて、スペーサ層5の上に電子ブロック層6と、p型GaN層7とをエピタキシャル成長させる。ここで、電子ブロック層6やp型GaN層7などの層を成膜する際には、基板2が高温に保持されるので、電子ブロック層6およびp型GaN層7に含まれる不純物(たとえばMg)がスペーサ層5内へ拡散する。その結果、スペーサ層5はp型の導電型を示すようになる。
図6(a)は、本発明の実施の形態2におけるLEDの構成を示す断面図である。図6(a)を参照して、本実施の形態におけるLED1aは、DBR(Distributed Bragg Reflector)層をさらに備えている点において、実施の形態1におけるLEDとは異なっている。DBR層13は、活性層4の下面4b側に形成されており、基板2とn型GaN層3との間に形成されている。DBR層13は、屈折率の異なる2つの層を積層することによって形成されている。図6(b)は、本発明の実施の形態2におけるDBR層の屈折率分布を示す図である。図6(b)を参照して、DBR層13は、活性層4の下面4bの法線(図6(a)中高さ方向)、つまり厚み方向に沿った周期的な屈折率分布を有している。具体的には、DBR層13の屈折率は、厚み方向に沿って屈折率n1と屈折率n2との間で変化する。屈折率の変化の周期はTで表される。
図7は、本発明の実施の形態3におけるLEDの構成を示す断面図である。図7を参照して、本実施の形態におけるLED1bは、基板2の材質およびn型電極12の位置が実施の形態1におけるLEDと異なっている。具体的には、基板2はサファイアよりなっている。n型GaN層3の上面の一部分14は露出されており、この部分14にn型電極12が形成されている。基板2の下面2aにはn電極の代わりにたとえばAlよりなる反射膜12aが形成されている。
実施の形態1〜3では、本発明の半導体発光素子がLEDである場合について示した。しかし、本発明の半導体発光素子は、LEDの他、たとえば以下に説明するような半導体レーザ素子であってもよい。
Claims (9)
- キャリアが注入されることにより発光する発光層と、
前記発光層の一方の主面側に形成された2次元回折格子とを備え、
前記2次元回折格子は、シリコンを含む複数の格子点と、平面的に見て前記複数の格子点の各々を取り囲み、かつ窒化ガリウムを含む母層とを有し、
前記複数の格子点のうち一つの格子点と、前記一つの格子点に最も近い格子点との間隔は130nm以上10μm以下である、半導体発光素子。 - 前記間隔は200nm以上である、請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記2次元回折格子は三角格子または正方格子の形状を有する、請求項1または2に記載の半導体発光素子。
- 前記発光層と前記2次元回折格子との間に形成され、かつ前記発光層よりも広いバンドギャップを有する電子ブロック層をさらに備える、請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
- 前記電子ブロック層はAlxGa1-xN(0<x<1)よりなる、請求項4に記載の半導体発光素子。
- 前記発光層と前記2次元回折格子との間に形成された窒化ガリウムよりなる中間層をさらに備える、請求項1〜5のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
- 前記発光層の他方の主面側に形成され、かつ前記発光層から伝搬する光を前記発光層へ反射する反射層をさらに備える、請求項1〜6のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
- 前記反射層は前記他方の主面の法線に沿った周期的な屈折率分布を有する、請求項7に記載の半導体発光素子。
- 前記発光層の前記他方の主面側に配置されるn型の窒化ガリウムよりなる基板をさらに備える、請求項1〜8のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
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