JP2020098898A - プリント回路基板 - Google Patents

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Abstract

【課題】本発明は、プリント回路基板を提供する。【解決手段】本発明の一側面に係るプリント回路基板は、複数の素子実装部を備えるプリント回路基板であって、複数の絶縁層及び第1回路を含む第1積層体と、上記第1積層体に形成され、上記第1積層体の上面に開放されるキャビティと、上記キャビティ内に積層された複数の樹脂層及び第2回路を含む第2積層体と、を含み、上記第1回路は、上記キャビティにより露出する接続パッドを含み、上記第2積層体は、最下層に位置する上記樹脂層を貫通し、上記接続パッドと接触する接続ビアを含み、上記第2回路は、複数の素子実装部に電気的に接続する。【選択図】図1

Description

本発明は、プリント回路基板(printed circuit board)に関する。
コンピューター産業の発達により、高い性能を有しながらもより低い費用で生産できる集積回路(ダイ、die)に関する技術が発達されている。これにより、多数のダイを含むパッケージ基板に関する技術も開発されている。
米国特許第8754514号明細書
本発明の一側面によれば、複数の素子実装部を備えるプリント回路基板であって、複数の絶縁層及び第1回路を含む第1積層体と、上記第1積層体に形成され、上記第1積層体の上面に開放されたキャビティと、上記キャビティ内に積層された複数の樹脂層及び第2回路を含む第2積層体と、を含み、上記第1回路は、上記キャビティにより露出する接続パッドを含み、上記第2積層体は、最下層に位置する上記樹脂層を貫通し、上記接続パッドと接触する接続ビアを含み、上記第2回路は、複数の素子実装部に電気的に接続されるプリント回路基板が提供される。
上記第2回路の一部は、上記複数の素子実装部を互いに電気的に接続させることができ、上記第2回路の一部は、いずれか1つの上記素子実装部と上記接続ビアとを電気的に接続させることができる。
上記樹脂層は、感光性樹脂を含むことができ、上記樹脂層の厚さは、上記絶縁層の厚さよりも小さいことができる。
上記第1回路の回路幅は、上記第2回路の回路幅よりも大きいことができる。
上記第1積層体の最上層に位置する上記第1回路は、最上層に位置した上記絶縁層の上面に埋め込まれることができ、上記第1積層体の最上層に位置する上記第1回路は、最上層に位置した上記絶縁層よりも突出することができる。
上記第2積層体の上面は、上記第1積層体の上面の高さ以下に位置することができる。
上記第1積層体の上面及び上記第2積層体の上面に形成される第2の樹脂層をさらに含むことができる。最上層に位置した上記絶縁層には、ビアホールが形成され、上記ビアホール内にはビアが形成されて、上記第2の樹脂層が上記ビアを取り囲むように上記ビアホールの内部を充填することができる。
上記第2の樹脂層上に積層されるソルダーレジスト層をさらに含むことができる。上記第2の樹脂層上に形成され、上記第2回路に電気的に接続される第3回路をさらに含むことができる。
上記第1積層体及び上記第2積層体の上に積層されるソルダーレジスト層をさらに含むことができる。上記ソルダーレジスト層を貫通する上記素子実装部を提供する金属ポストをさらに含むことができる。上記金属ポストは、上記ソルダーレジスト層を貫通するポストビアと、上記ソルダーレジスト層よりも突出して上記ポストビア上に形成されるポストパッドと、を含むことができる。
本発明の第1実施例に係るプリント回路基板を示す図である。 本発明の第1実施例に係るプリント回路基板を含むパッケージを示す図である。 本発明の第2実施例に係るプリント回路基板を示す図である。 本発明の第3実施例に係るプリント回路基板を示す図である。 本発明の第4実施例に係るプリント回路基板を示す図である。 本発明の第5実施例に係るプリント回路基板を示す図である。 本発明の第5実施例に係るプリント回路基板を含むパッケージを示す図である。 本発明の第6実施例に係るプリント回路基板を示す図である。 本発明の第7実施例に係るプリント回路基板を示す図である。 本発明の一実施例に係るパッケージの製造方法を示す図である。 本発明の一実施例に係るパッケージの製造方法を示す図である。 本発明の他の実施例に係るパッケージの製造方法を示す図である。 本発明の他の実施例に係るパッケージの製造方法を示す図である。
本発明に係るプリント回路基板の実施例を添付図面を参照して詳細に説明し、添付図面を参照して説明するに当たって、同一または対応する構成要素には同一の図面符号を付し、これに対する重複説明を省略する。
また、以下で使用する「第1」、「第2」等の用語は、同一または対応する構成要素を区別するための識別記号に過ぎず、同一または対応する構成要素が第1、第2等の用語により限定されることはない。
また、「結合」とは、各構成要素間の接触関係において、各構成要素間に物理的に直接接触する場合のみを意味するものではなく、他の構成が各構成要素の間に介在され、その他の構成に構成要素がそれぞれ接触している場合まで包括する概念として使用する。
以下では、プリント回路基板の様々な実施例を区分して説明するが、一実施例に対する説明が他の実施例にも適用できることを排除しない。一実施例についての説明は、両立不可能な関係ではない場合は、他の実施例にも適用できる。
<プリント回路基板>
[第1実施例]
図1は、本発明の第1実施例に係るプリント回路基板を示す図であり、図2は、本発明の第1実施例に係るプリント回路基板を含むパッケージを示す図である。
本発明の実施例に係るプリント回路基板は、複数の電子素子を実装できるように、複数の素子実装部を提供することができる。素子実装部は、電子素子が結合される領域であって、複数の実装パッドを含むことができる。ここで、電子素子は、能動素子、受動素子、集積回路等多様に選択することができ、チップ(chip)、ダイ(die)等を含むことができる。
本発明の実施例に係るプリント回路基板の説明においては、プリント回路基板が第1素子実装部M1及び第2素子実装部M2を備えることに基づいて説明するが、素子実装部が 3つ以上になることを排除しない。
第1素子実装部M1と第2素子実装部M2とは、互いに離隔して区画され、それぞれの素子実装部は、互いに異なる複数の実装パッドを含むことができる。第1素子実装部M1には、第1電子素子E1が実装され、第2素子実装部M2には、第2電子素子E2が実装されて、第1電子素子E1と第2電子素子E2のそれぞれは、能動素子、受動素子、集積回路等から選択することができる。例えば、第1電子素子E1がHBMであり、第2電子素子E2がGPUであることができるが、これに制限されない。
図1を参照すると、本発明の第1実施例に係るプリント回路基板は、第1積層体100、キャビティ120、第2積層体200を含むことができる。
第1積層体100は、複数の絶縁層110が上下に積層されて形成される。絶縁層110は、有機物または無機物の絶縁物質で形成される層であって、樹脂を含むことができる。絶縁層110の樹脂としては、熱硬化性または熱可塑性が挙げられ、具体的には、エポキシ(epoxy)樹脂、イミダゾール(imidazole)樹脂、ポリイミド(polyimide)樹脂、BT(Bismaleimide Triazine)樹脂、フッ素系樹脂のうちの少なくとも1種を含むことができるが、これに制限されない。
絶縁層110は、内部にガラス繊維等の繊維補強材を含むことができ、この具体的な絶縁層110としては、プリプレグ(Prepreg)を用いることができる。また、絶縁層110は、有機フィラーまたは無機フィラー等のフィラーを含有することができる。絶縁層110に含有される無機フィラーとしては、シリカが挙げられる。
互いに同一または異なる材質の複数の絶縁層110が層ごとに積層されて第1積層体100を構成することができる。図1には、2つの絶縁層110が示されているが、絶縁層110の数は、設計等により変更できる。
第1積層体100には、回路を形成でき、第1積層体100に形成された回路を第1回路C1と称する。第1回路C1は、金属で形成することができ、第1回路C1の金属は、銅、銀、ニッケル、パラジウム、白金、金、アルミニウムのうちの少なくとも1種を含むことができる。
第1回路C1は、各絶縁層110の一面に形成できる。絶縁層110が2つである場合、第1回路C1は、3個層に形成されることができる。互いに異なる層に位置する第1回路C1は、ビア(第1ビアV1)を介して電気的に接続することができる。図1を参照すると、第1回路C1のうち、素子実装面に最も近く位置する最外層の第1回路C1'は、最外層の絶縁層110の上面に埋め込まれ、最外層の第1回路C1'において上面を除いた残りの面が最外層の絶縁層110でカバーできる。
第1回路C1は、複数の回路線を含むことができる。それぞれの回路線の端部にはパッドが設けられることができる。このパッドは、第1ビアV1等のビアに接続することができる。
一方、第1回路C1のうち、素子実装面に最も近く位置する最外層の第1回路C1'は、電子素子を実装するための実装パッドを含んで素子実装部を提供することができる。
第1積層体100には、キャビティ120を形成することができる。キャビティ120は、第1積層体100内に形成され、上部に開放される。ただし、キャビティ120の下部は開放されないため、キャビティ120は、第1積層体100の厚さの一部のみを貫通する。図1に示すように、キャビティ120の深さは、第1積層体100の絶縁層110のN個の厚さと一致することができる。また、キャビティ120の底面は、二つの絶縁層11間の境界面に位置することができる。
キャビティ120により、第1回路C1のうちの一部が露出することができる。複数の絶縁層110のうち、キャビティ120に接している絶縁層110に位置した第1回路C1がキャビティ120により露出することができ、上記第1回路C1の端部に設けられたパッドが露出することができる。キャビティ120により露出した第1回路C1のパッドを接続パッド300と言える。言い換えると、キャビティ120により第1回路C1の接続パッド300が露出され、上記接続パッド300は、キャビティ120 の下側に位置する第1回路C1のパッドである。
第2積層体200は、キャビティ120内に形成され、複数の樹脂層210が上下に積層されて形成されることができる。複数の樹脂層210は、キャビティ1200内に順次に積層されることができる。
樹脂層210は、樹脂を含み、具体的に、エポキシ(epoxy)樹脂、イミダゾール(imidazole)樹脂、ポリイミド(polyimide)樹脂、液晶ポリマー(LCP)、BT(Bismaleimide Triazine)樹脂、フッ素系樹脂のうちの少なくとも1種を含むことができるが、これらに制限されない。
樹脂層210は、感光性樹脂を含むことができる。この場合、樹脂層210は、光に反応することができ、フォトリソグラフィ(photolithography)工程で加工することができる。
感光性樹脂を含む樹脂層210は、PID(photo imageable dielectric)であることができる。また、感光性樹脂は、ポジ型(positive type)またはネガ型(negative type)であることができる。
ポジ型の樹脂層210の場合、露光工程で光を受けた部分の光重合体ポリマー結合が切れる。以後、現像工程を行うと、光を受けて光重合体ポリマー結合の切れた部分が除去される。
ネガ型の樹脂層210の場合、露光工程で光を受けた部分が光重合反応を起こして単一構造から鎖構造の3次元網状構造になり、現像工程を行うと、光を受けていない部分が除去される。
感光性樹脂を含む樹脂層210によれば、フォトリソグラフィ工程により回路及びビア形成工程が可能となるので、微細パターンの加工が容易となることができる。
樹脂層210の厚さは、絶縁層110の厚さよりも小さいことができる。すなわち、複数の樹脂層210のうちの1つの厚さは、複数の絶縁層110のうちの1つの厚さよりも小さいことができる。これによれば、キャビティ120の深さが絶縁層110の1つの厚さと同一である場合は、上記キャビティ120内に複数の樹脂層210が形成されることができる。
樹脂層210の最上面、すなわち、第2積層体200の上面は、第1積層体100の上面と同一平面上に位置することができる。
第2積層体200には、回路を形成することができ、第2積層体200に形成された回路を第2回路C2と称する。第2回路C2は、金属で形成することができ、第2回路C2の金属は、銅、銀、ニッケル、パラジウム、白金、金、アルミニウムのうちの少なくとも1種を含むことができる。
第2回路C2は、各樹脂層210の一面(上面)に形成されることができる。素子実装面に最も近く位置する最外層(最上層)の第2回路C2'は、最外層(最上層)の樹脂層210に埋め込まれ、素子実装面に最も近く位置する最外層の第2回路C2'の上面は、素子実装面に最も近く位置する最外層の第1回路C1'の上面と同一平面上に位置することができる。
互いに異なる層に位置した第2回路C2は、ビア(第2ビアV2)を介して互いに接続することができる。一方、第2積層体200には、最下層の樹脂層211を貫通して上述の接続パッド300と接触する接続ビア400が形成されることができる。すなわち、接続ビア400は、接続パッド300と第2回路C2とを電気的に接続させることができる。
本発明は、第1積層体100のキャビティ120内に樹脂層210が直接形成されることに特徴がある。すなわち、第1積層体100のキャビティ120内に複数の樹脂層210が順次に積層されて第2積層体200が形成されるため、これは、第2積層体200が別に製造された後にキャビティ120に挿入され、第1積層体100に付着される構造と区別される。
また、接続ビア400が接続パッド300と接触するようにキャビティ120の底面に形成され、接続ビア400により第1積層体100と第2積層体200とが電気的に接続されることができる。これにより、第1積層体100と第2積層体200との接続のためのソルダリングの作業や、接着剤の使用が不要となる。
第1回路C1の回路幅は、第2回路C2の回路幅よりも大きいことができる。第1回路C1の回路厚さは、第2回路C2の回路厚さよりも大きいことができる。第1回路C1よりも第2回路C2が微細ピッチを有することができる。第1回路C1の回路密度よりも第2回路C2の回路密度が大きいことができる。
第1回路C1及び第2回路C2は、SAP工程(Semi−Additive Process)、M−SAP工程(Modified Semi−Additive Process)またはテンティング(tenting)工程等の基板工程で形成することができる。ここで、第2回路C2は、SAP工程で形成し、第1回路C1は、テンティング工程等で形成することができるが、これに制限されない。
第1ビアV1の大きさは、第2ビアV2の大きさよりも大きく、第1ビアV1のピッチは、第2ビアV2のピッチよりも大きいことができる。また、接続ビア400は、第2ビアV2と同一の規模を有することができる。
第2回路C2は、複数の回路線を含むことができる。それぞれの回路線の端部には、パッドが設けられることができる。このパッドは、第2ビアV2に接続されることができる。一方、第2回路C2のうち、素子実装面に最も近く位置する最外層の第2回路C2'は、電子素子を実装するための実装パッドを含んで素子実装部を提供することができる。
複数の素子実装部のそれぞれは、第1積層体100と第2積層体200の両方にかけて形成される。すなわち、第1素子実装部M1は、第1積層体100及び第2積層体200上に設けられ、第2素子実装部M2も第1積層体100及び第2積層体200上に設けられる。第2積層体200の上面は、複数の素子実装部を提供するために複数に区画できる。
図2(a)を参照すると、第1素子実装部M1上に第1電子素子E1が実装され、第2素子実装部M2上に第2電子素子E2が実装される。
第1電子素子E1は、第1積層体100と第2積層体200の両方にかけて位置し、第2電子素子E2も、第1積層体100と第2積層体200の両方にかけて位置する。
第1電子素子E1は、電極端子T1を含み、上記電極端子T1は、低融点金属部材LMによりプリント回路基板の第1素子実装部M1の実装パッドに結合することができる。第1電子素子E1とプリント回路基板との間は、アンダーフィル材料Fで充填することができる。
第2電子素子E2は、電極端子T2を含み、上記電極端子T2は、低融点金属部材LMによりプリント回路基板の第2素子実装部M2の実装パッドに結合することができる。第2電子素子E2とプリント回路基板との間は、アンダーフィル材料Fで充填することができる。
上述したように、第2回路C2は、複数の回路線を含むことができる。第2回路C2は、接続ビア400に電気的に接続する回路線を含むことができる。また、第2回路C2は、接続ビア400と電気的に絶縁され、複数の素子実装部を電気的に接続する回路線を含むことができる。この場合、第2回路C2は、多様な信号伝達経路を提供することができる(図2(a)の矢印参照)。
図2(b)は、第2回路C2の特定信号の伝達経路を提供する回路線を示している。図2(b)を参照すると、第2回路C2は、i)第1素子実装部M1と第1回路C1とを接続する回路線(図示せず)、ii)第2素子実装部M2と第2回路C2とを接続する回路線C23、iii)第1素子実装部M1と第2素子実装部M2とを接続する回路線C21、C22を含むことができる。上記回路線は、i)及びii)の場合は、接続ビア400に電気的に接続され、iii)の場合は、接続ビア400と電気的に絶縁することができる。
ここで、第1素子実装部M1と第2素子実装部M2とを接続する回路線C21、C22は、ブリッジ(bridge)回路であって、第1電子素子E1と第2電子素子E2との電気的接続(これを、ダイ間のインターコネクション(die to die interconnection)と言える)を担うことができる。ブリッジ回路は、複数形成されることができ、第2ビアV2を経由して2つの電子素子E1、E2を接続することができる。
すなわち、第2回路C2の一部は、複数の素子実装部のうちの少なくとも2つを電気的に接続することができ、第2回路C2の他の一部は、いずれか1つの素子実装部と接続ビア400とを電気的に接続することができる。
第1積層体100の上面及び第2積層体200の上面には、ソルダーレジスト層500を積層することができる。ソルダーレジスト層500には開口が形成され、開口を介して最外層の回路C1'、C2'が露出することができる。特に、開口を介して最外層の回路 C1'、C2'のパッドが露出され、露出されたパッドは、実装パッドとして機能することができる。
一方、ソルダーレジスト層500は、第1積層体100の下面にも積層できる。
[第2実施例]
図3は、本発明の第2実施例に係るプリント回路基板を示す図である。
図3を参照すると、第2実施例に係るプリント回路基板において最外層(最上層)に位置する第2回路C2'は、樹脂層210よりも突出する。ここで、最外層(最上層)に位置する第2回路C2'は、第1積層体100よりも突出する。これは、第1実施例において最外層(最上層)に位置する第2回路C2'が樹脂層210に埋め込まれ、第1積層体100よりも突出しないことと区別される。
[第3実施例]
図4は、本発明の第3実施例に係るプリント回路基板を示す図である。
図4を参照すると、第3実施例に係るプリント回路基板において第2積層体200の上面は、第1積層体100の上面よりも下に(低く)位置する。これにより、樹脂層210は、キャビティ120の全体を充填せず、ソルダーレジスト層500がキャビティ120の内部の一部を充填することができる。本実施例は、キャビティ120が第2積層体200により完全に充填された第1実施例と区別される。
一方、最外層(最上層)に位置する第2回路C2'は、樹脂層210よりも突出するが、第1積層体100よりは突出しない。
[第4実施例]
図5は、本発明の第4実施例に係るプリント回路基板を示す図である。
図5を参照すると、第4実施例に係るプリント回路基板は、第1積層体100、キャビティ120、第2積層体200を含み、第2の樹脂層220をさらに含むことができる。
第2の樹脂層220は、第2積層体200上に積層されるように、キャビティ120の内部を充填し、第1積層体100の上面まで延長して形成されることができる。第2の樹脂層220は、第2積層体200の樹脂層210と同一の材料で形成することができ、第2の樹脂層220は、感光性樹脂を含むことができる。
図5(a)を参照すると、第2積層体200の最外層の第2回路C2'上に、第2の樹脂層220を貫通するビア(第3ビアV3)が形成され、第2の樹脂層220上に第3回路C3が形成される。ここで、第3回路C3のパッドは、実装パッドとして機能することができる。上記第3回路C3は、第2回路C2と同一のスペック(spec)を有することができる。
また、図5(a)に示すように、ソルダーレジスト層500は、第2の樹脂層220上に積層され、ソルダーレジスト層500の開口は、第2の樹脂層220を貫通することができる。ソルダーレジスト層500と第2の樹脂層220が両方とも感光性樹脂を含む場合、ソルダーレジスト層500の開口は、フォトリソグラフィ工程で形成することができる。
図5(b)を参照すると、第1積層体100の最外層の絶縁層110に位置したビアホールVH内に第1ビアV1'が形成されることができる。すなわち、上記第1ビアV1'は、最外層の第1回路C1'の下に形成される。ここで、第2の樹脂層220は、第1ビアV1'を取り囲むようにビアホールVHの内部を充填することができる。
最外層の第1回路C1'は、第2の樹脂層220上に形成され、実装パッドを提供することができる。
また、第2積層体200の最外層の第2回路C2'上に、第2の樹脂層220を貫通するビア(第3ビアV3)が形成され、第2の樹脂層220上に第3回路C3が形成される。ここで、第3回路C3のパッドは、実装パッドとして機能することができる。
図5に示すように、第2の樹脂層220を用いると、第1積層体100と第2積層体200との密着力を高めることができる。
[第5実施例]
図6は、本発明の第5実施例に係るプリント回路基板を示す図である。また、図7は、図6のプリント回路基板を用いたパッケージを示す図である。
図6を参照すると、第5実施例に係るプリント回路基板は、第1積層体100、キャビティ120、第2積層体200を含み、金属ポスト(post)600をさらに含むことができる。
金属ポスト600は、ソルダーレジスト層500を貫通して形成されることができ、実装パッドを提供することができる。金属ポスト600は、ソルダーレジスト層500よりも突出するため、プリント回路基板と電子素子との距離が狭くなり、電子素子を実装するための低融点金属部材LMの高さを低減できる(図7参照)。
金属ポスト600は、ポストビア610とポストパッド620とを含むことができる。ポストビア610は、ソルダーレジスト層500を貫通し、最外層の第1回路C1'、最外層の第2回路C2'または第3回路C3上に形成されることができる。ポストパッド620は、ソルダーレジスト層500よりも突出して実装パッドを提供する。
一方、図6(a)は、図3を参照して説明したプリント回路基板に金属ポスト600を追加したものであり、図6(b)は、図4を参照して説明したプリント回路基板に金属ポスト600を追加したものである。また、図6(c)は、図5(b)を参照して説明したプリント回路基板に金属ポスト600を追加したものである。一方、図7は、図6(a)のプリント回路基板を用いたパッケージを示している。
[第6実施例]
図8は、本発明の第6実施例に係るプリント回路基板を示す図である。
図8を参照すると、本発明の第6実施例に係るプリント回路基板は、第1積層体100、キャビティ120、第2積層体200を含むことができる。
第1積層体100は、複数の絶縁層110が上下に積層されて形成される。絶縁層110は、有機物または無機物の絶縁物質で形成される層であって、樹脂を含むことができる。絶縁層110の樹脂としては、熱硬化性または熱可塑性が挙げられ、具体的には、エポキシ(epoxy)樹脂、イミダゾール(imidazole)樹脂、ポリイミド(polyimide)樹脂、BT(Bismaleimide Triazine)樹脂、フッ素系樹脂のうちの少なくとも1種を含むことができ、これに制限されない。
絶縁層110は、内部にガラス繊維等の繊維補強材を含むことができ、具体的な絶縁層110としては、プリプレグ(Prepreg)を用いることができる。また、絶縁層110は、有機フィラーまたは無機フィラー等のフィラーを含むことができる。絶縁層110に含有される無機フィラーとしては、シリカが挙げられる。
互いに同一または異なる材質の複数の絶縁層110が層ごとに積層されて第1積層体100を構成することができる。図1には、2つの絶縁層110が示されているが、絶縁層110の数は、設計等によって変更できる。
第1積層体100には、回路を形成することができ、第1積層体100に形成された回路を第1回路C1と称する。第1回路C1は、金属で形成することができ、第1回路C1の金属としては、銅、銀、ニッケル、パラジウム、白金、金、アルミニウムのうちの少なくとも1種を含むことができる。
第1回路C1は、各絶縁層110の一面に形成できる。互いに異なる層に位置する第1回路C1は、ビア(第1ビアV1)を介して電気的に接続することができる。図8を参照すると、第1回路C1のうち、素子実装面に最も近く位置する最上層の第1回路C1'は、最上層の絶縁層110よりも突出し、素子実装面から最も遠く位置する最下層の第1回路C1"は、最下層の絶縁層110の下面に埋め込まれ、最下層の第1回路C1"において下面を除いた残りの面は最下層の絶縁層110でカバーできる。
第1回路C1は、複数の回路線を含むことができる。それぞれの回路線の端部にはパッドが設けられることができる。このパッドは、第1ビアV1等のビアに接続することができる。
一方、第1回路C1のうち、素子実装面に最も近く位置する最外層の第1回路C1'は、電子素子を実装するための実装パッドを含んで素子実装部を提供することができる。
第1積層体100にはキャビティ120を形成することができる。キャビティ120は、第1積層体100内に形成され、上部に開放される。ただし、キャビティ120の下部は開放されないため、キャビティ120は、第1積層体100の厚さの一部のみを貫通する。図1に示されているように、キャビティ120の深さは、第1積層体100の絶縁層110のN個の厚さ以上になることができ、キャビティ120の底面は、2つの絶縁層110間の境界面と同一平面上に位置しないこともある。
キャビティ120により第1回路C1のうちの一部が露出できる。複数の絶縁層110のうちのキャビティ120と接している絶縁層110に位置した第1回路C1がキャビティ120により露出することができ、上記第1回路C1の端部に設けられたパッドが露出することができる。キャビティ120により露出された第1回路C1のパッドを接続パッド300と言える。言い換えると、キャビティ120により第1回路C1の接続パッド300が露出され、上記接続パッド300は、キャビティ120の下側に位置する第1回路C1のパッドである。
第2積層体200は、キャビティ120内に形成され、複数の樹脂層210が上下に積層されて形成できる。複数の樹脂層210は、キャビティ120内に順次に積層されることができる。
樹脂層210は、樹脂を含み、具体的には、エポキシ(epoxy)樹脂、イミダゾール(imidazole)樹脂、ポリイミド(polyimide)樹脂、液晶ポリマー(LCP)、BT(Bismaleimide Triazine)樹脂、フッ素系樹脂のうちの少なくとも1種を含むことができ、これに制限されない。
樹脂層210は、感光性樹脂を含むことができる。この場合、樹脂層210は、光に反応することができ、フォトリソグラフィ(photolithography)工程で加工することができる。感光性樹脂を含む樹脂層210は、PID(photo imageable dielectric)であり得る。また、感光性樹脂は、ポジ型(positive type)またはネガ型(negative type)であることができる。
ポジ型の樹脂層210の場合は、露光工程で光を受けた部分の光重合体ポリマー結合が切れる。以後、現像工程を行うと、光を受けて光重合体ポリマー結合の切れた部分が除去される。
ネガ型の樹脂層210の場合は、露光工程で光を受けた部分が光重合反応を起こして単一構造から鎖構造の3次元網状構造となり、現像工程を行うと、光を受けていない部分が除去される。
感光性樹脂を含む樹脂層210によれば、フォトリソグラフィ工程で回路及びビアの形成工程が可能となるので、微細パターン加工が容易となることができる。
樹脂層210の厚さは、絶縁層110の厚さよりも小さいことができる。すなわち、複数の樹脂層210のうちの1つの厚さは、複数の絶縁層110のうちの1つの厚さよりも小さいことができる。
樹脂層210の最上面、すなわち、第2積層体200の上面は、第1積層体100の上面と同一平面上に位置することができる。
第2積層体200には回路を形成することができ、第2積層体200に形成された回路を第2回路C2と称する。第2回路C2は、金属で形成することができ、第2回路C2の金属は、銅、銀、ニッケル、パラジウム、白金、金、アルミニウムのうちの少なくとも1種を含むことができる。
第2回路C2は、各樹脂層210の一面(上面)に形成できる。素子実装面に最も近く位置する最外層(最上層)の第2回路C2'は、最外層(最上層)の樹脂層210よりも突出し、素子実装面に最も近く位置する最外層の第2回路C2'の上面は、素子実装面に最も近く位置する最外層の第1回路C1'の上面と同一平面上に位置することができる。ただし、図8とは異なって、最外層の第2回路C2'の厚さが最外層の第1回路C1'の厚さよりも小さいことができる。この場合、2つの最外層の回路C1'、C2'の上面は、同一平面上に位置しない。
互いに異なる層に位置した第2回路C2は、ビア(第2ビアV2)を介して互いに接続することができる。
一方、第2積層体200には、最下層の樹脂層211を貫通し、上述の接続パッド300と接触する接続ビア400を形成できる。すなわち、接続ビア400は、接続パッド300と第2回路C2とを電気的に接続することができる。
第1回路C1の回路幅は、第2回路C2の回路幅よりも大きいことができる。第1回路C1の回路厚さは、第2回路C2の回路厚さよりも大きいことができる。第1回路C1よりも第2回路C2が微細ピッチを有することができる。第1回路C1の回路密度よりも第2回路C2の回路密度が大きいことができる。
第1ビアV1の大きさは、第2ビアV2の大きさよりも大きく、第1ビアV1のピッチは、第2ビアV2のピッチよりも大きいことができる。また、接続ビア400は、第2ビアV2と同一の規模を有することができる。
第2回路C2は、複数の回路線を含むことができる。それぞれの回路線の端部には、パッドが設けられることができる。このパッドは、第2ビアV2に接続することができる。 一方、第2回路C2のうちの素子実装面に最も近く位置する最外層の第2回路C2'は、電子素子を実装するための実装パッドを含んで素子実装部を提供することができる。
複数の素子実装部のそれぞれは、第1積層体100と第2積層体200の両方にかけて形成される。すなわち、第1素子実装部M1は、第1積層体100と第2積層体200上に設けられ、第2素子実装部M2も第1積層体100と第2積層体200上に設けられる。第2積層体200の上面は、複数の素子実装部を提供するために複数に区画できる。
第1素子実装部M1上に第1電子素子E1が実装され、第2素子実装部M2上に第2電子素子E2が実装される。第1電子素子E1は、第1積層体100と第2積層体200の両方にかけて位置し、第2電子素子E2も第1積層体100と第2積層体200の両方にかけて位置する。
第1電子素子E1は、電極端子T1を含み、上記電極端子T1は、低融点金属部材LMによりプリント回路基板の第1素子実装部M1の実装パッドに結合することができる。第1電子素子E1とプリント回路基板との間はアンダーフィル材料Fで充填することができる。第2電子素子E2は、電極端子T2を含み、上記電極端子T2は、低融点金属部材LMによりプリント回路基板の第2素子実装部M2の実装パッドに結合することができる。第2電子素子E2とプリント回路基板との間はアンダーフィル材料Fで充填することができる。
上述したように、第2回路C2は、複数の回路線を含むことができる。第2回路C2は、接続ビア400に電気的に接続する回路線を含むことができる。また、第2回路C2は、接続ビア400とは電気的に絶縁され、複数の素子実装部を電気的に接続する回路線を含むことができる。この場合、第2回路C2は、様々な信号伝達経路を提供することができる。
第2回路C2は、i)第1素子実装部M1と第1回路C1とを接続する回路線、ii)第2素子実装部M2と第2回路C2とを接続する回路線、iii)第1素子実装部M1と第2素子実装部M2とを接続する回路線を含むことができる。上記回路線は、i)及びii)の場合は、 接続ビア400に電気的に接続され、iii)の場合は、接続ビア400と電気的に絶縁することができる。
すなわち、第2回路C2の一部は、複数の素子実装部のうちの少なくとも2つを電気的に接続することができ、第2回路C2の他の一部は、いずれか1つの素子実装部と接続ビア400とを電気的に接続することができる。
第1積層体100の上面、また第2積層体200の上面には、ソルダーレジスト層500を積層できる。ソルダーレジスト層500には、開口が形成され、開口を介して最外層の回路C1'、C2'が露出することができる。特に、開口を介して最外層の回路C1'、C2'のパッドが露出され、露出されたパッドは、実装パッドとして機能することができる。一方、ソルダーレジスト層500は、第1積層体100の下面にも積層され、最下層の第1回路C1"をカバーできる。
[第7実施例]
図9は、本発明の第7実施例に係るプリント回路基板を示す図である。
図9を参照すると、第7実施例に係るプリント回路基板は、第1積層体100、キャビティ120、第2積層体200を含み、第2の樹脂層220及び/または金属ポスト600をさらに含むことができる。
第2の樹脂層220は、第2積層体200上に積層されるようにキャビティ120の内部を充填し、第1積層体100の上面まで延長して形成されることができる。第2の樹脂層220は、第2積層体200の樹脂層210と同一の材料で形成することができ、第2の樹脂層220は、感光性樹脂を含むことができる。
第1積層体100の最外層の絶縁層110に位置したビアホールVH内に第1ビアV1'が形成されることができる。すなわち、上記第1ビアV1'は、最外層の第1回路C1'の下に形成される。ここで、第2の樹脂層220は、第1ビアV1'を取り囲むようにビアホールVHの内部を充填することができる。
最外層の第1回路C1'は、第2の樹脂層220上に形成されることができる。第2積層体200の最外層の第2回路C2'上に第2の樹脂層220を貫通するビア(第3ビアV3)が形成され、第2の樹脂層220上に第3回路C3が形成される。
ソルダーレジスト層500は、第2の樹脂層220上に積層され、第1積層体100の下面にも積層されることができる。
金属ポスト600は、ソルダーレジスト層500を貫通して形成されることができ、実装パッドを提供することができる。金属ポスト600は、ソルダーレジスト層500よりも突出するので、プリント回路基板と電子素子との距離が狭くなり、電子素子を実装するための低融点金属部材LMの高さを低減できる。
金属ポスト600は、ポストビア610とポストパッド620とを含むことができる。ポストビア610は、ソルダーレジスト層500を貫通し、最外層の第1回路C1'、最外層の第2回路C2'または第3回路C3上に形成されることができる。ポストパッド620は、ソルダーレジスト層500よりも突出して実装パッドを提供する。
<プリント回路基板の製造方法>
図10及び図11は、本発明の一実施例に係るプリント回路基板、及びこれを含むパッケージの製造方法を示す図である。
図10及び図11は、図3に示されたプリント回路基板を製造する方法を示しているが、上記製造方法は、他のプリント回路基板を製造する方法にも適用できる。
図10(a)を参照すると、複数の絶縁層110が上下に積層され、第1回路C1が形成されて第1積層体100が形成される。
図に示されていないが、キャリアを用いて第1積層体100を形成することができる。すなわち、キャリア上に複数の絶縁層110を順次積層しながら、各層の一面ごとに第1回路C1を形成した後に、キャリアを除去すれば、第1積層体100を形成できる。ここで、a面は、キャリア付着面であり、キャリア付着面側にある第1回路C1は、埋め込み型回路となり得る。また、ここで、a面が素子実装面となる。
図10(b)を参照すると、第1積層体100にキャビティ120が形成される。キャビティ120は、レーザー加工で形成することができる。キャビティ120により第1回路C1の一部が露出でき、特に、第1回路C1のパッドが露出することができ、露出されたパッドは、接続パッド300となる。
図10(c)及び図10(d)を参照すると、キャビティ120内に複数の樹脂層210を上下に積層し、第2回路C2を形成することで第2積層体200を形成する。
先ず、図10(c)に示すように、最下層の樹脂層211をキャビティ120の底面に形成する。樹脂層210は、スプレー工法で形成することができる。図10(d)に示すように、最下層の樹脂層211を加工してビアホールを形成し、ビアホールをめっきして接続ビア400、そして第2回路C2を形成する。樹脂層210が感光性樹脂を含む場合、ビアホールはフォトリソグラフィ工法で形成することができる。接続ビア400は、キャビティ120により露出された接続パッド300と直接接触するように形成される。
図11(a)を参照すると、上述した図10(c)及び図10(d)の工程を繰り返すことで第2積層体200を形成することができる。ここで、形成された第1積層体100と第2積層体200は、図3に示されたプリント回路基板と同様な形態であるが、図1から図5に示されたすべてのプリント回路基板に代替可能である。
図11(b)を参照すると、ソルダーレジスト層500が形成され、ソルダーレジスト層500に開口が形成されることで、最外層の回路C1'、C2'のパッドが露出される。露出されたパッドは、実装パッドとして機能することができる。
図11(c)を参照すると、露出された実装パッド上に低融点金属部材LMが位置し、上記低融点金属部材LMに、第1電子素子E1の電極端子T1と第2電子素子E2の電極端子T2が結合することができる。第1電子素子E1と第2電子素子E2の下部はアンダーフィル材料Fで充填されることができる。
第1電子素子E1は、第1積層体100の第1回路C1に電気的に接続するとともに、第2積層体200の第2回路C2とも電気的に接続する。同様に、第2電子素子E2は、第1積層体100の第1回路C1に電気的に接続するとともに、第2積層体200の第2回路C2とも電気的に接続する。特に、第2回路C2のうちの第1素子実装部M1と第2素子実装部M2とを接続させるブリッジ回路は、第1電子素子E1と第2電子素子E2とを接続させる。
図12及び図13は、本発明の他の実施例に係るパッケージの製造方法を示す図である。 図12及び図13は、図9に示されたプリント回路基板を製造する方法を示している。
図12(a)及び図12(b)を参照すると、複数の絶縁層110が上下に積層され、第1回路C1が形成されて第1積層体100が形成される。図示されていないが、キャリアを用いて第1積層体100を形成することができる。すなわち、キャリア上に複数の絶縁層110を順次積層しながら、各層の一面ごとに第1回路C1を形成した後にキャリアを除去すれば、第1積層体100が形成される。ここで、b面は、キャリア付着面であり、キャリア付着面側にある第1回路C1は、埋め込み型回路となり得る。また、ここで、b面が素子実装面の反対面となる。
図12(c)を参照すると、第1積層体100にキャビティ120が形成される。キャビティ120は、レーザー加工で形成することができる。キャビティ120により第1回路C1の一部が露出することができ、特に、第1回路C1のパッドが露出することができ、露出したパッドは、接続パッド300となる。
一方、最外層の絶縁層110にビアホールVHが形成される。ビアホールVHは、レーザー加工で形成することができる。
図12(d)を参照すると、キャビティ120内に第2積層体200が形成されるが、第2積層体200を形成する方法は、図10(c)及び図10(d)を参照して説明した内容と同一である。
図12(e)を参照すると、第2積層体200上に第2の樹脂層220が形成される。第2の樹脂層220は、第1積層体100の上面にも形成され、ビアホールVHの内部を充填する。
図13(a)を参照すると、第2の樹脂層220にビアホールVH'が形成される。絶縁層110のビアホールVHの内部に第2の樹脂層220のビアホールVH'が形成され、第1回路C1のパッドを露出させることができる。また、第2の樹脂層220のビアホールVH'は、最外層の第2回路C2'のパッドを露出させることができる。
図13(b)を参照すると、最外層に位置する第1ビアV1'及び最外層の第1回路C1'が形成されるとともに、第3ビアV3及び第3回路C3が形成される。これらはすべてめっきで形成されることができる。
図13(c)を参照すると、ソルダーレジスト層500が第2の樹脂層220上に積層され、第1積層体100の下面に積層される。また、金属ポスト600が形成される。ここで、ソルダーレジスト層500に開口を形成した後に、開口をめっきしてポストビア610を形成することができ、上記開口を過めっきしてポストパッド620を形成することができる。ポストパッド620は、ソルダーレジスト層500よりも突出し、実装パッドとして機能する。
図13(d)を参照すると、金属ポスト600上に低融点金属部材LMが位置し、上記低融点金属部材LMに、第1電子素子E1の電極端子T1と第2電子素子E2の電極端子T2が結合することができる。第1電子素子E1と第2電子素子E2の下部は、アンダーフィル材料Fで充填されることができる。
第1電子素子E1は、第1積層体100の第1回路C1に電気的に接続するとともに、第2積層体200の第2回路C2とも電気的に接続する。同様に、第2電子素子E2は、第1積層体100の第1回路C1に電気的に接続するとともに、第2積層体200の第2回路C2とも電気的に接続する。特に、第2回路C2のうち、第1素子実装部M1と第2素子実装部M2とを接続させるブリッジ回路は、第1電子素子E1と第2電子素子E2とを接続させる。
以上では、本発明の一実施例について説明したが、当該技術分野で通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載した本発明の思想から逸脱しない範囲内で、構成要素の付加、変更、削除または追加等により本発明を様々に修正及び変更することができ、これも本発明の権利範囲内に含まれるものといえよう。
100 第1積層体
110 絶縁層
120 キャビティ
200 第2積層体
210 樹脂層
220 第2の樹脂層
300 接続パッド
400 接続ビア
C1 第1回路
C2 第2回路
500 ソルダーレジスト層
600 金属ポスト
610 ポストビア
620 ポストパッド
M1 第1素子実装部
M2 第2素子実装部

Claims (16)

  1. 複数の素子実装部を備えるプリント回路基板であって、
    複数の絶縁層及び第1回路を含む第1積層体と、
    前記第1積層体に形成され、前記第1積層体の上面に開放されたキャビティと、
    前記キャビティ内に積層された複数の樹脂層及び第2回路を含む第2積層体と、
    を含み、
    前記第1回路は、前記キャビティにより露出される接続パッドを含み、
    前記第2積層体は、最下層に位置する前記樹脂層を貫通し、前記接続パッドと接触する接続ビアを含み、
    前記第2回路は、複数の素子実装部に電気的に接続する、プリント回路基板。
  2. 前記第2回路の一部は、前記複数の素子実装部を互いに電気的に接続する請求項1に記載のプリント回路基板。
  3. 前記第2回路の一部は、いずれか1つの前記素子実装部と前記接続ビアとを電気的に接続する請求項1または2に記載のプリント回路基板。
  4. 前記樹脂層は、感光性樹脂を含む請求項1〜3の何れか一項に記載のプリント回路基板。
  5. 前記樹脂層の厚さは、前記絶縁層の厚さよりも小さい請求項1〜4の何れか一項に記載のプリント回路基板。
  6. 前記第1回路の回路幅は、前記第2回路の回路幅よりも大きい請求項1〜5の何れか一項に記載のプリント回路基板。
  7. 前記第1積層体の最上層に位置する前記第1回路は、最上層に位置した前記絶縁層の上面に埋め込まれた請求項1〜6の何れか一項に記載のプリント回路基板。
  8. 前記第1積層体の最上層に位置する前記第1回路は、最上層に位置した前記絶縁層よりも突出した請求項1〜7の何れか一項に記載のプリント回路基板。
  9. 前記第2積層体の上面は、前記第1積層体の上面の高さ以下に位置する請求項1〜8の何れか一項に記載のプリント回路基板。
  10. 前記第1積層体の上面及び前記第2積層体の上面に形成される第2の樹脂層をさらに含む請求項1〜9の何れか一項に記載のプリント回路基板。
  11. 最上層に位置した前記絶縁層には、ビアホールが形成され、
    前記ビアホール内には、ビアが形成され、
    前記第2の樹脂層は、前記ビアを取り囲むように前記ビアホールの内部を充填する請求項10に記載のプリント回路基板。
  12. 前記第2の樹脂層上に積層されるソルダーレジスト層をさらに含む請求項10に記載のプリント回路基板。
  13. 前記第2の樹脂層上に形成され、前記第2回路に電気的に接続する第3回路をさらに含む請求項10に記載のプリント回路基板。
  14. 前記第1積層体及び前記第2積層体の上に積層されるソルダーレジスト層をさらに含む請求項1〜13の何れか一項に記載のプリント回路基板。
  15. 前記ソルダーレジスト層を貫通して前記素子実装部を提供する金属ポストをさらに含む請求項14に記載のプリント回路基板。
  16. 前記金属ポストは、
    前記ソルダーレジスト層を貫通するポストビアと、
    前記ソルダーレジスト層よりも突出して前記ポストビア上に形成されるポストパッドと、を含む請求項15に記載のプリント回路基板。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102628149B1 (ko) * 2020-11-27 2024-01-24 주식회사 심텍 브릿지 패턴을 구비하는 인쇄회로기판 및 이의 제조 방법

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011159855A (ja) * 2010-02-02 2011-08-18 Panasonic Corp 局所多層回路基板、および局所多層回路基板の製造方法
JP2013183015A (ja) * 2012-03-01 2013-09-12 Fujikura Ltd 電子部品内蔵多層配線基板及びその製造方法
US20140049928A1 (en) * 2012-08-17 2014-02-20 Taiyo Yuden Co., Ltd. Substrate with built-in electronic component
JP2016081961A (ja) * 2014-10-10 2016-05-16 イビデン株式会社 多層配線板及びその製造方法
JP2016122790A (ja) * 2014-12-25 2016-07-07 イビデン株式会社 多層配線板
JP2017505539A (ja) * 2014-02-26 2017-02-16 インテル コーポレイション ブリッジ貫通導電ビア信号接続を有する埋込マルチデバイスブリッジ

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100367491C (zh) * 2004-05-28 2008-02-06 日本特殊陶业株式会社 中间基板
US8754514B2 (en) 2011-08-10 2014-06-17 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Multi-chip wafer level package

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011159855A (ja) * 2010-02-02 2011-08-18 Panasonic Corp 局所多層回路基板、および局所多層回路基板の製造方法
JP2013183015A (ja) * 2012-03-01 2013-09-12 Fujikura Ltd 電子部品内蔵多層配線基板及びその製造方法
US20140049928A1 (en) * 2012-08-17 2014-02-20 Taiyo Yuden Co., Ltd. Substrate with built-in electronic component
JP2017505539A (ja) * 2014-02-26 2017-02-16 インテル コーポレイション ブリッジ貫通導電ビア信号接続を有する埋込マルチデバイスブリッジ
JP2016081961A (ja) * 2014-10-10 2016-05-16 イビデン株式会社 多層配線板及びその製造方法
JP2016122790A (ja) * 2014-12-25 2016-07-07 イビデン株式会社 多層配線板

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