JP2020088364A - 半導体素子テストのための多層セラミック基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
それぞれのセラミックシートの上面に設けられた導電性回路パターンおよびそれぞれの導電性回路パターンを電気的に連結して、テスト信号およびパワーを垂直方向に伝達する導電性ビアが設けられたメインセラミックシートと、
メインセラミックシートの上面または下面のうち少なくともいずれか一つの面に積層されたダミーセラミックシートとを含み、
ダミーセラミックシートは、
端部の領域のうち互いに対向する一部の領域にガイドビアが設けられた多層セラミック基板を構成する。
1100 メインセラミックシート
1111 導電性回路パターン
1112 導電性ビア
1200 ダミーセラミックシート
1210 第1のダミーセラミックシート
1220 第2のダミーセラミックシート
1230 第3のダミーセラミックシート
1211、1221、1231 ガイドビア
1300 電極
2000 テストPCB
3000 プローブカード
4000 半導体素子
Claims (10)
- 半導体素子テスト用多層セラミック基板において、
それぞれのセラミックシートの上面に設けられた導電性回路パターン、およびそれぞれの導電性回路パターンを電気的に連結して、テスト信号およびパワーを垂直方向に伝達する導電性ビアが設けられたメインセラミックシートと;
前記メインセラミックシートの上面または下面のうち少なくともいずれか一つの面に積層されたダミーセラミックシートと;を含み、
前記ダミーセラミックシートは、
端部の領域のうち互いに対向する一部の領域にガイドビアが設けられる多層セラミック基板。 - 前記ガイドビアは、前記導電性回路パターンと電気的に絶縁されている請求項1に記載の多層セラミック基板。
- 前記ダミーセラミックシートは、多層からなり、各層に設けられた前記ガイドビアの個数は、層ごとに異なる請求項2に記載の多層セラミック基板。
- 前記ダミーセラミックシートの各層に設けられた前記ガイドビアの個数は、層ごとに順次に減少または増加する請求項3に記載の多層セラミック基板。
- 前記ダミーセラミックシートは、各層の厚さが互いに異なり、各層の厚さは、層ごとに順次に減少または増加する請求項3に記載の多層セラミック基板。
- 請求項1に記載の多層セラミック基板が締結されたプローブカード。
- 半導体素子テスト用多層セラミック基板を製造する方法において、
それぞれのセラミックグリーンシートの上面に設けられた導電性回路パターン、およびそれぞれの導電性回路パターンを電気的に連結してテスト信号およびパワーを垂直方向に伝達する導電性ビアが設けられたメインセラミックグリーンシートを形成する段階と;
端部の領域のうち互いに対向する一部の領域にN個のガイドビアが設けられた第1のダミーセラミックグリーンシートを前記メインセラミックグリーンシートの上面または下面のうち少なくともいずれか一つの面に積層する段階と;
前記第1のダミーセラミックグリーンシートの前記ガイドビアが設けられた領域と対応する領域にM個のガイドビアが設けられた第2のダミーセラミックグリーンシートを前記第1のダミーセラミックグリーンシート上に積層する段階と;
前記メインセラミックグリーンシート、前記第1のダミーセラミックグリーンシート、および前記第2のダミーセラミックグリーンシートを低温同時焼成(Low Temperature Co−firing)する段階と;を含む多層セラミック基板の製造方法。 - 前記第1のダミーセラミックグリーンシートの前記ガイドビアが設けられた領域と対応する領域にL個のガイドビアが設けられた第3のダミーセラミックグリーンシートを前記第2のダミーセラミックグリーンシート上に積層する段階;をさらに含む請求項7に記載の多層セラミック基板の製造方法。
- 前記多層セラミック基板が目標の厚さを有するように、焼成した前記第2のダミーセラミックグリーンシートまたは前記第3のダミーセラミックグリーンシートを化学機械研磨(CMP;Chemical Mechanical Polishing)面加工する段階;をさらに含む請求項8に記載の多層セラミック基板の製造方法。
- CMP面加工された前記第2のダミーセラミックグリーンシートまたは前記第3のダミーセラミックグリーンシートの前記導電性ビア上に電極を積層し、はんだ付けする段階;をさらに含む請求項9に記載の多層セラミック基板の製造方法。
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