JP2009222597A - 電気特性測定用配線基板、及び電気特性測定用配線基板の製造方法 - Google Patents
電気特性測定用配線基板、及び電気特性測定用配線基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009222597A JP2009222597A JP2008068343A JP2008068343A JP2009222597A JP 2009222597 A JP2009222597 A JP 2009222597A JP 2008068343 A JP2008068343 A JP 2008068343A JP 2008068343 A JP2008068343 A JP 2008068343A JP 2009222597 A JP2009222597 A JP 2009222597A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- electrode pad
- insulating substrate
- wiring board
- protective layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
【解決手段】熱膨張率が3.5〜20/Kである絶縁基板の面上に複数の樹脂層を積層するとともにそれらの樹脂層間に配線層を配置し、次いで、前記複数の樹脂層の最上層に位置する樹脂層上に、前記配線層と電気的に接続された第1の電極パッドを形成するとともに、前記第1の電極パッドを露出させるようにして第1の保護層を形成し、さらに、前記絶縁基板の他方の面上に、前記配線層と電気的に接続された第2の電極パッドを形成するとともに、前記絶縁基板の側面、前記複数の樹脂層の側面、及び前記配線層の側面を覆うともに、前記絶縁基板の前記他方の面を前記第2の電極パッドが形成された部分を含んで第2の保護層を形成して電気特性測定用配線基板を得る。
【選択図】図1
Description
絶縁基板と、
前記絶縁基板の一方の面上に積層される複数の樹脂層と、
前記複数の樹脂層間に配置される配線層と、
前記複数の樹脂層の最上層に位置する樹脂層上に形成され、前記配線層と電気的に接続された第1の電極パッドと、
前記最上層に位置する前記樹脂層に、前記第1の電極パッドを露出させるようにして積層された第1の保護層と、
前記絶縁基板の他方の面の上方に形成され、前記配線層と電気的に接続された第2の電極パッドと、
前記絶縁基板の側面、前記複数の樹脂層の側面、及び前記配線層の側面を覆うともに、前記絶縁基板の前記他方の面の上方に、前記第2の電極パッドが形成された部分を含んで形成された第2の保護層とを具え、
1辺の長さが10cm以上であることを特徴とする、電気特性測定用配線基板(第1の配線基板)に関する。
絶縁基板と、
前記絶縁基板の一方の面上に積層される複数の樹脂層と、
前記複数の樹脂層間に配置される配線層と、
前記複数の樹脂層の最上層に位置する樹脂層上に形成され、前記配線層と電気的に接続された第1の電極パッドと、
前記最上層に位置する前記樹脂層に、前記第1の電極パッドを露出させるようにして積層された第1の保護層と、
前記絶縁基板の他方の面の上方に形成され、前記配線層と電気的に接続された第2の電極パッドと、
前記絶縁基板の側面、前記複数の樹脂層の側面、及び前記配線層の側面を覆うともに、前記絶縁基板の前記他方の面の上方に、前記第2の電極パッドが形成された部分を露出するようにして形成された第2の保護層とを具え、1辺の長さが10cm以上であることを特徴とする、電気特性測定用配線基板(第2の配線基板)に関する。
絶縁基板の一方の面上において、層間に配線層を介在させるようにして複数の樹脂層を形成する工程と、
前記複数の樹脂層の最上層に位置する樹脂層上に、前記配線層と電気的に接続された第1の電極パッドを形成する工程と、
前記最上層に位置する前記樹脂層上に、前記第1の電極パッドを覆うようにして第1の保護層を形成する工程と、
前記絶縁基板の他方の面の上方に、前記配線層と電気的に接続された第2の電極パッドを形成する工程と、
前記絶縁基板の側面、前記複数の樹脂層の側面、及び前記配線層の側面を覆うともに、前記絶縁基板の前記他方の面の上方に、前記第2の電極パッドが形成された部分を含んで第2の保護層を形成する工程と、
前記第1の保護層に対してレーザ加工を施し、前記第1の電極パッドを露出させる工程と、
を具えることを特徴とする、1辺の長さが10cm以上である電気特性測定用配線基板の製造方法(第1の製造方法)に関する。
絶縁基板の一方の面上において、層間に配線層を介在させるようにして複数の樹脂層を形成する工程と、
前記複数の樹脂層の最上層に位置する樹脂層上に、前記配線層と電気的に接続された第1の電極パッドを形成する工程と、
前記最上層に位置する前記樹脂層上に、前記第1の電極パッドを覆うようにして第1の保護層を形成する工程と、
前記絶縁基板の他方の面の上方に、前記配線層と電気的に接続された第2の電極パッドを形成する工程と、
前記絶縁基板の側面、前記複数の樹脂層の側面、及び前記配線層の側面を覆うともに、前記絶縁基板の前記他方の面の上方に、前記第2の電極パッドが形成された部分を露出するようにして第2の保護層を形成する工程と、
前記第1の保護層に対してレーザ加工を施し、前記第1の電極パッドを露出させる工程と、
前記第2の保護層を部分的に除去し、前記第2の電極パッドを露出させる工程と、を具えることを特徴とする、1辺の長さが10cm以上である電気特性測定用配線基板の製造方法(第2の製造方法)に関する。
図1〜4は、本実施形態における電気特性測定用配線基板の一例を示す構成図である。本実施形態では、上記第1の配線基板、すなわち前記特性測定用配線基板を製品として出荷する場合を考慮したものについて説明する。図1は、前記電気特性測定用配線基板の断面図であり、図2は、前記電気特性測定用配線基板の表面側から見た場合の平面図であり、図3は、前記電気特性測定用配線基板の裏面側から見た場合の平面図である。
図4及び5は、本実施形態における電気特性測定用配線基板の一例を示す構成図である。本実施形態では、上記第2の配線基板、すなわち前記電気特性測定用配線基板を実際に使用する場合を考慮した構成について説明する。図4は、前記電気特性測定用配線基板の断面図であり、図5は、前記電気特性測定用配線基板の裏面側から見た場合の平面図である。なお、前記電気特性測定用配線基板の表面側から見た場合の平面図は図2と同様である。
また、同一あるいは類似の構成要素に関しては、同じ参照数字を用いている。
図7は、本実施形態における電気特性測定用配線基板の一例を示す構成図である。本実施形態では、第1の実施形態における絶縁基板11の、第2の電極パッド17(第2の保護層18)側の面上に2層の樹脂層が形成されている場合を示す。図7は、前記電気特性測定用配線基板の断面図である。なお、前記電気特性測定用配線基板の表面側から見た場合の平面図は図2と同様であり、前記電気特性測定用配線基板の表面側から見た場合の平面図は図3と同様である。また、同一あるいは類似の構成要素に関しては、同じ参照数字を用いている。
次に、上述した第1の実施形態及び第2の実施形態における電気特性測定用配線基板10及び20の製造方法について説明する。
11 絶縁基板
12 第1の樹脂層
13 第2の樹脂層
14 配線層
15 第1の電極パッド
16 第1の保護層
17 第2の電極パッド
18 第2の保護層
19 プローブピン
Claims (14)
- 絶縁基板と、
前記絶縁基板の一方の面上に積層される複数の樹脂層と、
前記複数の樹脂層間に配置される配線層と、
前記複数の樹脂層の最上層に位置する樹脂層上に形成され、前記配線層と電気的に接続された第1の電極パッドと、
前記最上層に位置する前記樹脂層に、前記第1の電極パッドを露出させるようにして積層された第1の保護層と、
前記絶縁基板の他方の面の上方に形成され、前記配線層と電気的に接続された第2の電極パッドと、
前記絶縁基板の側面、前記複数の樹脂層の側面、及び前記配線層の側面を覆うともに、前記絶縁基板の前記他方の面の上方に、前記第2の電極パッドが形成された部分を含んで形成された第2の保護層とを具え、
1辺の長さが10cm以上であることを特徴とする、電気特性測定用配線基板。 - 絶縁基板と、
前記絶縁基板の一方の面上に積層される複数の樹脂層と、
前記複数の樹脂層間に配置される配線層と、
前記複数の樹脂層の最上層に位置する樹脂層上に形成され、前記配線層と電気的に接続された第1の電極パッドと、
前記最上層に位置する前記樹脂層に、前記第1の電極パッドを露出させるようにして積層された第1の保護層と、
前記絶縁基板の他方の面の上方に形成され、前記配線層と電気的に接続された第2の電極パッドと、
前記絶縁基板の側面、前記複数の樹脂層の側面、及び前記配線層の側面を覆うともに、前記絶縁基板の前記他方の面の上方に、前記第2の電極パッドが形成された部分を露出するようにして形成された第2の保護層とを具え、
1辺の長さが10cm以上であることを特徴とする、電気特性測定用配線基板。 - 前記第2の電極パッドに電気的に接続されるようにして形成されたプローブピンを具えることを特徴とする、請求項2に記載の電気特性測定用配線基板。
- 前記絶縁基板の前記他方の面と、前記第2の電極パッドとの間に、少なくとも1層の樹脂層を具えることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一に記載の電気特性測定用配線基板。
- 前記絶縁基板の前記熱膨張率は、3.5〜4.2ppm/Kであることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一に記載の電気特性測定用配線基板。
- 前記第1の保護層は、耐薬品性を有することを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一に記載の電気特性測定用配線基板。
- 前記第1の保護層は、レーザ光によって加工可能な材料からなることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一に記載の電気特性測定用配線基板。
- 前記第1の保護層は、露光現像によって加工可能な材料からなることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一に記載の電気特性測定用配線基板。
- 前記第2の保護層は、耐薬品性を有することを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一に記載の電気特性測定用配線基板。
- 前記第2の保護層は、3点曲げ試験において10GPa以上の強度を有することを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一に記載の電気特性測定用配線基板。
- 前記第2の保護層は、3.5〜4.2ppm/Kの熱膨張率を有することを特徴とする、請求項1〜10のいずれか一に記載の電気特性測定用配線基板。
- 前記電気特性測定用配線基板は、3点曲げ試験において10GPa以上の強度を有することを特徴とする、請求項1〜11のいずれか一に記載の電気特性測定用配線基板。
- 絶縁基板の一方の面上において、層間に配線層を介在させるようにして複数の樹脂層を形成する工程と、
前記複数の樹脂層の最上層に位置する樹脂層上に、前記配線層と電気的に接続された第1の電極パッドを形成する工程と、
前記最上層に位置する前記樹脂層上に、前記第1の電極パッドを覆うようにして第1の保護層を形成する工程と、
前記絶縁基板の他方の面の上方に、前記配線層と電気的に接続された第2の電極パッドを形成する工程と、
前記絶縁基板の側面、前記複数の樹脂層の側面、及び前記配線層の側面を覆うともに、前記絶縁基板の前記他方の面の上方に、前記第2の電極パッドが形成された部分を含んで第2の保護層を形成する工程と、
前記第1の保護層に対してレーザ加工を施し、前記第1の電極パッドを露出させる工程と、
を具えることを特徴とする、1辺の長さが10cm以上である電気特性測定用配線基板の製造方法。 - 絶縁基板の一方の面上において、層間に配線層を介在させるようにして複数の樹脂層を形成する工程と、
前記複数の樹脂層の最上層に位置する樹脂層上に、前記配線層と電気的に接続された第1の電極パッドを形成する工程と、
前記最上層に位置する前記樹脂層上に、前記第1の電極パッドを覆うようにして第1の保護層を形成する工程と、
前記絶縁基板の他方の面の上方に、前記配線層と電気的に接続された第2の電極パッドを形成する工程と、
前記絶縁基板の側面、前記複数の樹脂層の側面、及び前記配線層の側面を覆うともに、前記絶縁基板の前記他方の面の上方に、前記第2の電極パッドが形成された部分を露出するようにして第2の保護層を形成する工程と、
前記第1の保護層に対してレーザ加工を施し、前記第1の電極パッドを露出させる工程と、
前記第2の保護層を部分的に除去し、前記第2の電極パッドを露出させる工程と、
を具えることを特徴とする、1辺の長さが10cm以上である電気特性測定用配線基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008068343A JP5145089B2 (ja) | 2008-03-17 | 2008-03-17 | 電気特性測定用配線基板、及び電気特性測定用配線基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008068343A JP5145089B2 (ja) | 2008-03-17 | 2008-03-17 | 電気特性測定用配線基板、及び電気特性測定用配線基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009222597A true JP2009222597A (ja) | 2009-10-01 |
JP5145089B2 JP5145089B2 (ja) | 2013-02-13 |
Family
ID=41239536
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008068343A Expired - Fee Related JP5145089B2 (ja) | 2008-03-17 | 2008-03-17 | 電気特性測定用配線基板、及び電気特性測定用配線基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5145089B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017150232A1 (ja) * | 2016-03-03 | 2017-09-08 | 株式会社村田製作所 | プローブカード用積層配線基板およびこれを備えるプローブカード |
JP2021071472A (ja) * | 2019-10-30 | 2021-05-06 | 巨擘科技股▲ふん▼有限公司Princo Corp. | プローブカード装置 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7228164B2 (ja) | 2020-01-27 | 2023-02-24 | 王子ホールディングス株式会社 | パッケージ |
JP7228162B2 (ja) | 2019-12-13 | 2023-02-24 | 王子ホールディングス株式会社 | パッケージ |
-
2008
- 2008-03-17 JP JP2008068343A patent/JP5145089B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017150232A1 (ja) * | 2016-03-03 | 2017-09-08 | 株式会社村田製作所 | プローブカード用積層配線基板およびこれを備えるプローブカード |
JPWO2017150232A1 (ja) * | 2016-03-03 | 2018-08-30 | 株式会社村田製作所 | プローブカード用積層配線基板およびこれを備えるプローブカード |
CN108713354A (zh) * | 2016-03-03 | 2018-10-26 | 株式会社村田制作所 | 探针卡用层叠布线基板以及具备它的探针卡 |
CN108713354B (zh) * | 2016-03-03 | 2020-12-11 | 株式会社村田制作所 | 探针卡用层叠布线基板以及具备它的探针卡 |
US11067600B2 (en) | 2016-03-03 | 2021-07-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Multilayer circuit board used for probe card and probe card including multilayer circuit board |
JP2021071472A (ja) * | 2019-10-30 | 2021-05-06 | 巨擘科技股▲ふん▼有限公司Princo Corp. | プローブカード装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5145089B2 (ja) | 2013-02-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4145293B2 (ja) | 半導体検査装置および半導体装置の製造方法 | |
JP4862017B2 (ja) | 中継基板、その製造方法、プローブカード | |
US8378704B2 (en) | Substrate for a probe card assembly | |
JP2008504559A (ja) | パターン化された導電層を有する基板 | |
US20110063066A1 (en) | Space transformer for probe card and method of repairing space transformer | |
JP5445985B2 (ja) | プローブカード及びその製造方法 | |
WO2005114228A1 (ja) | 積層基板及びプローブカード | |
US11067600B2 (en) | Multilayer circuit board used for probe card and probe card including multilayer circuit board | |
JP5145089B2 (ja) | 電気特性測定用配線基板、及び電気特性測定用配線基板の製造方法 | |
JP2010021362A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2020088364A (ja) | 半導体素子テストのための多層セラミック基板およびその製造方法 | |
JP2004347591A (ja) | 集積回路用プローブ・カード | |
KR20130039462A (ko) | 프로브 카드 및 이의 제조 방법 | |
KR100903291B1 (ko) | 스루 비아를 갖는 스페이스 트랜스포머와 그 제조 방법 | |
JP2006275579A (ja) | 検査基板および検査装置 | |
JP2010256371A (ja) | 半導体ウェハの検査方法および半導体装置の製造方法 | |
JP4789675B2 (ja) | 貫通孔を有する配線基板、その製造方法、ならびに該配線基板を有するプローブカード。 | |
JP2008135574A (ja) | 配線基板およびそれを用いた半導体装置とプローブカード | |
JP2010038899A (ja) | セラミックプローブカードの製造方法 | |
JP2006292726A (ja) | 検査基板 | |
JP4492976B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2008241594A (ja) | プローブカード・アセンブリ用基板およびそれを用いたプローブカード | |
KR101047009B1 (ko) | 프로브용 기판 제조방법 | |
JP2006098146A (ja) | 配線基板およびそれを用いた半導体素子検査装置 | |
JP5702068B2 (ja) | 半導体検査用プローブカードおよびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101013 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120629 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120703 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120830 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120918 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121015 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121030 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121126 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151130 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5145089 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |