KR100997986B1 - 세라믹 프로브 카드 및 그의 제조 방법 - Google Patents

세라믹 프로브 카드 및 그의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

세라믹 프로브 카드의 제조 방법이 개시된다. 본 세라믹 프로브 카드의 제조 방법은, 비아 전극을 포함하는 세라믹 그린시트를 적어도 하나 이상 적층한 세라믹 블럭을 복수 개 마련하는 단계, 복수의 세라믹 블럭을 소성하는 단계, 소성된 복수의 세라믹 블럭들 간의 비아 전극 위치를 매칭시키는 단계, 복수의 세라믹 블럭 중 서로 마주하는 세라믹 블럭의 어느 일 면에 위치한 비아 전극 상에 비아 접합 패드를 형성하는 단계, 비아 접합 패드가 형성된 세라믹 블럭 중 비아 접합 패드가 형성되지 않은 부분에 비아 접합 패드에 대응되는 높이로 탄성 접합층을 형성하는 단계, 복수의 세라믹 블럭을 접합하는 단계, 접합된 복수의 세라믹 블럭 중 최표층에 노출된 비아 전극 상에 프로브 패드를 형성하는 단계 및, 프로브 패드 상에 프로브 탐침을 형성하는 단계를 포함한다.
세라믹, 프로브 카드, 접합 패드, 탄성 패드

Description

세라믹 프로브 카드 및 그의 제조 방법 {Ceramic probe card and manufacturing method thereof}
본 발명은 세라믹 프로브 카드 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 저온 소성 처리된 복수의 세라믹 블럭을 포함하는 세라믹 프로브 카드 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적인 반도체 테스트 장치는 테스터(Tester), 퍼포먼스 보드(Performance board), 프로브 카드(Probe card), 척(Chuck) 및 프로버(Prober)를 구비하여, 웨이퍼(Wafer)에 제조된 칩(Chip)들의 전기적인 특성을 테스트한다. 그리고, 반도체 테스트 장치의 프로브 카드는 테스터에서 발생한 신호(Signal)를 퍼포먼스 보드를 통해 전달받아 이를 웨이퍼 내 칩의 패드(Pad)들로 전달하고, 칩의 패드들로부터 출력되는 신호를 퍼포먼스 보드를 통해 테스터로 전달하는 역할을 수행한다.
종래 프로브 카드는 고온 동시 소성 처리된 세라믹 기판을 이용하였다. 구체적으로, 세라믹 그린시트에 전기 신호 패턴과 비아 전극을 형성하여 적층하고, 고온 소성하는 방법에 의해 제조된 세라믹 기판을 프로브 카드로 이용하였다. 이 경 우, 소성 과정에서 세라믹 그린시트가 수축됨에 따라 비아 전극의 위치가 변경된다.
도 1은 종래 세라믹 프로브 카드의 프로브 패드 형성면을 도시한 도면이다. 도 1을 참조하면, 세라믹 프로브 카드의 표층면에 소정 패턴의 프로브 패드(1)를 형성하였다. 하지만, 소성 과정에서 비아 전극(2)의 위치가 변경됨에 따라 프로브 패드(1)와 비아 전극(2)이 접합되지 않는 부분이 발생하여 세라믹 프로드 카드의 제조 수율이 저하된다는 문제점이 있었다. 이 경우, 비아 전극(2)은 0.2~1.2㎜의 직경을 갖는 것으로, 비아 전극(2)의 위치 변경을 고려할 때, 프로브 패드(1)는 최소한 0.4㎜의 직경을 가져야만 프로브 카드의 제조 수율을 10% 정도 구현할 수 있게 되었다. 이에 따라, 프로브 패드(1)의 크기를 감소시켜 고집적화하는 것이 어려웠다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위한 방안으로, 무수축 공법을 이용한 저온 소성 처리한 세라믹 프로브 카드를 제조하였다. 그러나, 무수축 공법을 이용하더라도, 세라믹 프로브 카드를 제조하기 위한 세라믹 그린시트가 1.5㎜ 이상의 두께를 가지는 경우에는 면 방향으로 수축이 발생되어 비아 전극의 위치가 변경된다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 저온 소성 처리된 복수의 세라믹 블럭들에 포함된 비아 전극 상에 비아 접합 패드를 형성하여 복수의 세라믹 블럭들을 접합함으로써, 비아 전극의 위치 정확도를 향상시킬 수 있는 세라믹 프로브 카드 및 그 제조 방법을 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은, 복수의 세라믹 블럭들에 형성된 비아 접합 패드 주변에 탄성 접합층을 형성함으로써, 접합시 복수의 세라믹 블럭들 간에 갭(gap)이 형성되는 것을 방지할 수 있는 세라믹 프로브 카드 및 그 제조 방법을 제공하기 위한 것이다.
이상과 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 프로브 카드의 제조 방법은, 비아 전극을 포함하는 세라믹 그린시트를 적어도 하나 이상 적층한 세라믹 블럭을 복수 개 마련하는 단계, 상기 복수의 세라믹 블럭을 소성하는 단계, 상기 소성된 복수의 세라믹 블럭들 간의 비아 전극 위치를 매칭시키는 단계, 상기 복수의 세라믹 블럭 중 서로 마주하는 세라믹 블럭의 어느 일 면에 위치한 비아 전극 상에 비아 접합 패드를 형성하는 단계, 상기 비아 접합 패드가 형성된 세라믹 블럭 중 상기 비아 접합 패드가 형성되지 않은 부분에 상기 비아 접합 패드에 대응되는 높이로 탄성 접합층을 형성하는 단계, 상기 복수의 세라믹 블럭을 접합하는 단계, 상기 접합된 복수의 세라믹 블럭 중 최표층에 노출된 비아 전극 상에 프로브 패드를 형성하는 단계 및, 상기 프로브 패드 상에 프로브 탐침을 형성하는 단계를 포함한다.
이 경우, 상기 복수의 세라믹 블럭을 소성하는 단계는, 상기 복수의 세라믹 블럭 각각의 양면에 상기 복수의 세라믹 블럭의 소성 온도에서 소성되지 않는 구속층을 형성하는 단계, 상기 구속층이 형성된 복수의 세라믹 블럭을 개별 소성하는 단계 및, 상기 소성된 복수의 세라믹 블럭 상에서 상기 구속층을 제거하는 단계를 포함한다. 또한, 상기 복수의 세라믹 블럭 각각은 1.5㎜ 이하의 두께를 갖는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 복수의 세라믹 블럭을 접합하는 단계는, 웰딩(welding) 접합 방법, 브레이징(brazing) 접합 방법 및 솔더링(soldering) 접합 방법 중 어느 하나를 이용하여 수행될 수 있다.
본 발명에서, 상기 비아 접합 패드는 Au-Sn을 포함하며, 상기 탄성 접합층은 에폭시 수지를 포함할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 프로브 카드의 제조 방법은, 비아 전극을 포함하는 세라믹 그린시트를 적어도 하나 이상 포함하는 복수의 세라믹 블럭, 상기 복수의 세라믹 블럭들 사이에 형성되며 서로 마주하는 세라믹 블럭의 비아 전극에 형성된 비아 접합 패드 및 상기 복수의 세라믹 블럭들 사이에 형성되며 상기 비아 접합 패드가 형성되지 않은 부분에 상기 비아 접합 패드에 대응되는 높이로 형성된 탄성 접합층을 포함하는 세라믹 기판, 상기 세라믹 기판의 최표층 비아 전극에 접촉하며, 일정 간격으로 형성된 프로브 패드 및, 상기 프로브 패드 상에 형성된 프로브 탐침을 포함한다.
이 경우, 상기 세라믹 기판에 포함된 상기 복수의 세라믹 블럭 각각은 1.5㎜ 이하의 두께를 가질 수 있다.
또한, 상기 비아 접합 패드는 Au-Sn을 포함하며, 상기 탄성 접합층은 에폭시 수지를 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 복수의 세라믹 블럭들을 무수축 공법을 이용하여 저온 소성하고, 소성된 복수의 세라믹 블럭들에 포함된 비아 전극 상에 비아 접합 패드를 형성하여 복수의 세라믹 블럭들을 접합하여 세라믹 프로브 카드를 제조한다. 이에 따라, 복수의 세라믹 블럭들에 포함된 비아 전극들의 위치 정확도가 향상되어 프로브 패드의 면적을 감소시킬 수 있게 된다. 또한, 프로브 패드의 면적을 감소시킴에 따라, 프로브 패드들 간의 배치 간격을 감소시켜 고집적화를 달성할 수 있게 된다.
또한, 복수의 세라믹 블럭 접합시, 비아 전극 상에 접합 물질을 형성하고 복수의 세라믹 블럭 중 접합 물질이 형성되지 않은 부분에 탄성 물질을 도포함으로써, 접합된 복수의 세라믹 블럭들 간에 갭(gap)이 형성되는 것을 방지할 수 있게 된다. 이에 따라, 복수의 세라믹 블럭들 간의 접합성을 향상시켜 세라믹 프로브 카드의 제품 신뢰성을 향상시킬 수 있게 된다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 보다 자세하게 설명한다.
도 2a 내지 도 2h는 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 프로브 카드의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다. 우선, 도 2a에 도시된 바와 같이, 복수의 세라믹 블럭을 마련한다. 구체적으로, 제1 세라믹 블럭(11), 제2 세라믹 블럭(12), 제3 세라믹 블럭(13), 제4 세라믹 블럭(14) 및 제5 세라믹 블럭(15)을 마련한다. 각 세라믹 블럭은 제1 및 제2 세라믹 그린시트를 포함하며, 제1 및 제2 세라믹 그린시트는 비아 전극 및 전기 신호 패턴을 포함한다. 즉, 제1 세라믹 블럭(11)은 제1 및 제2 세라믹 그린시트(11a, 11b), 비아 전극(11c) 및 전기 신호 패턴(11d)를 포함하며, 제2 세라믹 블럭(12)은 제1 및 제2 세라믹 그린시트(12a, 12b), 비아 전극(12c) 및 전기 신호 패턴(12d)를 포함한다. 또한, 제3 세라믹 블럭(13)은 제1 및 제2 세라믹 그린시트(13a, 13b), 비아 전극(13c) 및 전기 신호 패턴(13d)을 포함하며, 제4 세라믹 블럭(14)은 제1 및 제2 세라믹 그린시트(14a, 14b), 비아 전극(14c) 및 전기 신호 패터(14d)를 포함한다. 그리고, 제5 세라믹 블럭(15)은 제1 및 제2 세라믹 그린시트(15a, 15b), 비아 전극(15c) 및 전기 신호 패턴(15d)을 포함한다. 이 경우, 제1 내지 제5 세라믹 블럭(11-15)은 각각 1.5㎜ 이하의 두께로 제조될 수 있다.
도 2a에서는 제1 내지 제5 세라믹 블럭(11-15)이 2개의 그린시트로 구성되는 것으로 도시 및 설명되었으나, 제1 내지 제5 세라믹 블럭(11-15)을 구성하는 그린시트의 수는 3개 또는 그 이상이 될 수도 있다.
한편, 도 2b에 도시된 바와 같이, 제1 내지 제5 세라믹 블럭(11-15)의 상부면 및 하부면 상에, 상기 제1 내지 제5 세라믹 블럭(11-15)의 소성 온도에서 소결되지 않는 구속층(20a, 20b)을 형성한다. 이 경우, 제1 내지 제5 세라믹 블럭(11-15)의 소성 온도는 약 700~900℃이며, 구속층(20a, 20b)의 소성 온도는 약 1000℃ 이상인 것이 바람직하다. 이와 같은 조건을 만족하는 물질로는, 알루미나(Al2O3) 및 지르코니아(ZrO2) 등이 있을 수 있다.
이 후, 구속층(20a, 20b)이 형성된 제1 내지 제5 세라믹 블럭(11-15)을 약 700~900℃의 온도에서 소성한다. 이 경우, 제 1 내지 제5 세라믹 블럭(11-15)은 구속층(20a, 20b)에 의해 면방향 수축이 억제되고, 두께 방향으로 수축이 발생된다. 본 발명의 제1 내지 제5 세라믹 블럭(11-15)은 1.5㎜ 이하의 두께로 제조되기 때문에, 소성 과정에서 수축되더라도 각 세라믹 블럭의 비아 전극 및 전기 신호 패턴의 위치가 크게 변경되지 않는다. 또한, 소성 완료된 제1 내지 제5 세라믹 블럭(11-15)은 소성 과정에서의 두께 방향 수축에 의해 약 1.0mm의 두께를 가질 수 있다.
다음, 도 2c에 도시된 바와 같이, 제1 내지 제5 세라믹 블럭(11-15)의 소성이 완료되면, 구속층(20a, 20b)을 제거한다. 또한, 구속층(20a, 20b)이 제거되면, 제1 내지 제5 세라믹 블럭(11-15)의 표면을 통해 노출되어 있는 비아 전극의 표면 거칠기를 감소시키기 위해 연마를 수행할 수 있다. 그리고, 연마된 비아 전극을 Ni/Au 도금할 수 있다.
이 후, 제1 내지 제5 세라믹 블럭(11-15)들 간의 비아 전극 위치를 매칭시켜 정렬한다. 구체적으로, 점선으로 표시된 바와 같이, 제1 세라믹 블럭(11)의 비아 전극(11c)에 제2 세라믹 블럭(12)의 비아 전극(12c)을 매칭시키고, 제2 세라믹 블럭(12)의 비아 전극(12c)에 제3 세라믹 블럭(13)의 비아 전극(13c)을 매칭시킨다. 그리고, 제3 세라믹 블럭(13)의 비아 전극(13c)에 제4 세라믹 블럭(14)의 비아 전극(14c)을 매칭시키고, 제4 세라믹 블럭(14)의 비아 전극(14c)에 제5 세라믹 블럭(15)의 비아 전극(15c)을 매칭시킨다.
상기와 같은 방법으로, 각 세라믹 블럭 간의 비아 전극 위치를 매칭시켜 정렬한 후, 도 2d에 도시된 바와 같이, 서로 마주하는 세라믹 블럭 중 어느 하나의 세라믹 블럭에 포함된 비아 전극 상에 비아 접합 패드(30)를 형성한다. 구체적으로, 제1 세라믹 블럭(11)과 마주하는 제2 세라믹 블럭(12)의 상부 비아 전극(12c) 상에 비아 접합 패드(30)를 형성하고, 제2 세라믹 블럭(12)과 마주하는 제3 세라믹 블럭(13)의 상부 비아 전극(13c) 상에 비아 접합 패드(30)를 형성할 수 있다. 또한, 제3 세라믹 블럭(13)과 마주하는 제4 세라믹 블럭(14)의 상부 비아 전극(14c) 상에 비아 접합 패드(30)를 형성할 수 있으며, 제4 세라믹 블럭(14)과 마주하는 제5 세라믹 블럭(15)의 상부 비아 전극(15c) 상에 비아 접합 패드(30)를 형성할 수 있다.
한편, 비아 접합 패드(30)는 제1 내지 제5 세라믹 블럭(11-15) 접합시, 서로 마주하는 세라믹 블럭들의 비아 전극 부분을 접합시키는 기능을 한다. 이를 위해, 비아 접합 패드(30)는 금속을 포함하는 접합 물질을 솔더 볼 방법 또는 인쇄 방법을 이용하여 비아 전극 상에 도포함으로써 형성될 수 있다. 본 발명에 적용 가능한 접합 물질로는 Au-Sn이 있을 수 있다. 이 경우, Au-Sn은 7:3의 조성비를 가질 수 있다. 또한, 비아 접합 패드(30)는 비아 전극(11c, 12c, 13c, 14c, 15c)의 크기(예 를 들어, 면적)에 따라 높이 또는 면적을 상이하게 조절하여 형성될 수 있다.
도 2e에 도시된 바와 같이, 서로 마주하는 세라믹 블럭 중 어느 하나의 세라믹 블럭에 탄성 접합층(40)을 형성한다. 이 경우, 탄성 접합층(40)은 세라믹 블럭 중 비아 접합 패드(30)가 형성되지 않은 위치에 형성될 수 있으며, 비아 접합 패드(30)에 대응되는 높이로 형성될 수 있다. 구체적으로, 제1 세라믹 블럭(11)과 마주하는 제2 세라믹 블럭(12) 중 비아 접합 패드(30)가 형성되지 않은 부분에 탄성 접합층(40)을 형성한다. 또한, 제2 내지 제4 세라믹 블럭(12-14)과 마주하는 각각의 제3 내지 제5 세라믹 블럭(13-15)에서 비아 접합 패드(30)가 형성되지 않은 부분에 탄성 접합층(40)을 형성한다.
이 경우, 탄성 접합층(40)은 제1 내지 제5 세라믹 블럭(11-15)을 접합하는 경우, 비아 접합 패드(30)의 높이에 의해 제1 내지 제5 세라믹 블럭들(11-15) 사이에 갭이 형성되는 것을 방지하기 위한 기능을 한다. 이를 위해, 탄성 접합층(40)은 서로 마주하는 세라믹 블럭들을 접합하고 보호하기 위해 접착성 및 탄성을 가지는 접합 물질을 비아 접합 패드(30)가 형성되지 않은 부분에 인쇄함으로써 형성될 수 있다. 이 경우, 접착성 및 탄성을 모두 가지는 접합 물질로는 에폭시 수지가 있을 수 있다.
한편, 탄성 접합층(40)은 세라믹 블럭 상에 비아 접합 패드(30)가 형성되고 난 후, 에폭시 수지를 인쇄하여 형성하는 방법 외에, 도 2f에서와 같이, 제1 내지 제5 세라믹 블럭들(11-15)을 접합한 후에 제1 내지 제5 세라믹 블럭들(11-15) 사이 에 형성된 갭을 통해 접합 물질을 주입하여 형성하는 방법을 이용할 수도 있다.
한편, 도 2f에 도시된 바와 같이, 제1 내지 제5 세라믹 블럭(11-15)를 접합하여 세라믹 기판을 형성한다. 이 경우, 제1 내지 제5 세라믹 블럭(11-15)은 비아 접합 패드(30) 및 탄성 접합층(40)에 의해 접착되는 것으로, 웰딩(welding) 접합, 브레이징(brazing) 접합 및 솔더링(soldering) 접합 중 어느 하나의 접합 방법을 통해 이루어질 수 있다. 그러나, 이 중에서도 브레이징 접합 방법을 이용하는 것이 바람직하다. 구체적으로, 웰딩 접합 방법은 복수의 세라믹 블럭 접합 후, 각 세라믹 블럭 및 비아 전극에 변형을 발생시킬 수 있다. 또한, 솔더링 접합 방법은 다른 접합 방법들에 비해 접합 강도가 떨어진다. 따라서, 세라믹 블럭의 접합 과정에서, 세라믹 블럭 및 비아 전극의 손상이 없고, 접합의 고강도, 내고온성, 내부식성 및 세척성이 뛰어난 브레이징 접합 방법을 이용하는 것이 바람직하다. 이 경우, 브레이징 접합 방법은 약 300℃ 내외의 저온에서 이루어질 수 있다.
한편, 제1 내지 제5 세라믹 블럭(11-15) 접합시, 비아 접합 패드(30) 및 탄성 접합층(40)은 제2 내지 제5 세라믹 블럭(12-15)의 일 면 상에서 하나의 층을 형성하게 된다. 이에 따라, 제1 내지 제5 세라믹 블럭(11-15) 중 서로 마주하는 면이 전체적으로 접합할 수 있게 되어, 서로 마주하는 세라믹 블럭들 간에 접합 강도가 증가하게 된다.
또한, 제1 내지 제5 세라믹 블럭(11-15)은 각각 1.5㎜의 두께로 제조되어, 무수축 소성되는 것에 의해 비아 전극의 위치 변형이 감소된다. 이에 따라, 제1 내지 제5 세라믹 블럭(11-15)을 접합하여 형성된 세라믹 기판은 비아 전극의 위치 정 확도가 향상될 수 있게 된다.
이 후, 도 2g에 도시된 바와 같이, 제1 세라믹 블럭(11) 상에 프로브 패드(50)를 형성한다. 이 경우, 비아 전극의 위치 정확도 향상에 따라, 상하 좌우로 일정 패턴을 갖는 복수의 프로브 패드(50)를 형성하는 경우, 프로브 패드(50) 영역 내에 비아 전극이 위치할 수 있게 된다. 이에 따라, 프로브 패드(50)와 비아 전극의 접속 불량을 감소시켜 세라믹 프로브 카드의 제조 수율을 증가시킬 수 있게 된다.
다음, 도 2h에 도시된 바와 같이, 프로브 패드(50) 상에 테스트 탐침(60)을 형성하여 세라믹 프로브 카드(100)를 제조할 수 있게 된다. 이와 같은 방법으로 제조된 세라믹 프로브 카드(100)는 도 2h에 도시된 바와 같이, 제1 내지 제5 세라믹 블럭(11-15), 제1 내지 제5 세라믹 블럭(11-15) 사이에 형성된 비아 접합 패드(30) 및 탄성 접합층(40), 제1 세라믹 블럭(11) 상에 위치한 프로브 패드(50) 및 테스트 탐침(60)을 포함하는 형태로 제조된다. 이 경우, 제1 내지 제5 세라믹 블럭(11-15) 각각은 1.5㎜ 이하의 두께를 가지나, 이를 접합하여 형성된 세라믹 프로브 카드(100)는 5㎜ 이상의 두께를 가지게 된다. 이에 따라, 비아 전극의 위치 정확도가 향상되어 프로브 패드와의 접속 불량을 감소시킬 수 있으며, 면적이 넓고 두꺼운 세라믹 프로브 카드(100)를 제조할 수 있게 된다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 세라믹 프로브 카드의 프로브 패드 형성면을 도시한 도면이다. 도 3a는 본 발명에 의해 제조된 세라믹 프로브 카드에 일반적으로 이용되는 프로브 패드를 형성한 도면이다. 도 3a를 참조하면, 세라믹 프로브 카드의 표층(11a)에는 프로브 패드(50)가 형성되어 있으며, 프로브 패드(50) 아래에는 비아 전극(11c)이 형성되어 있다. 이 경우, 비아 전극(11c)은 약 0.2~1.2㎜의 직경을 갖는 것으로, 0.4㎜의 직경을 갖는 프로브 패드(40) 영역 내에 위치한다. 이와 같이, 비아 전극(11c)의 위치 정확도 향상에 따라, 비아 전극(11c)은 프로브 패드(40) 영역을 벗어나지 않게 된다. 따라서, 세라믹 프로브 카드의 제조 수율이 증가된다.
도 3b는 본 발명에 의해 제조된 세라믹 프로브 카드에 고집적도의 프로브 패드를 형성한 도면이다. 도 3b를 참조하면, 세라믹 프로브 카드의 표면에는 프로브 패드(220)가 형성되어 있으며, 도 3a에 도시된 프로브 패드(50)와 비교할 때, 프로브 패드(220)는 그 크기가 감소되었으며, 상하 좌우의 프로브 패드(220)와의 간격이 감소된 것을 알 수 있다. 즉, 프로브 패드(220)가 고집적화된 것을 알 수 있다. 이는, 비아 전극(210)의 위치 정확도 향상에 의한 것으로, 도 3a에 도시된 것보다 작은 크기를 갖는 프로브 패드(220)를 이용하더라도, 비아 전극(210)과 프로브 패드(220)의 접속이 용이해진다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가 진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 될 것이다.
도 1은 종래 세라믹 프로브 카드의 프로브 패드 형성면을 도시한 도면,
도 2a 내지 도 2h는 본 발명의 일 실시예에 따른 세라믹 프로브 카드의 제조 방법을 설명하기 위한 도면, 그리고,
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 세라믹 프로브 카드의 프로브 패드 형성면을 도시한 도면이다.

Claims (10)

  1. 비아 전극을 포함하는 세라믹 그린시트를 적어도 하나 이상 적층한 세라믹 블럭을 복수 개 마련하는 단계;
    상기 복수의 세라믹 블럭을 소성하는 단계;
    상기 소성된 복수의 세라믹 블럭들 간의 비아 전극 위치를 매칭시키는 단계;
    상기 복수의 세라믹 블럭 중 서로 마주하는 세라믹 블럭의 어느 일 면에 위치한 비아 전극 상에 비아 접합 패드를 형성하는 단계;
    상기 비아 접합 패드가 형성된 세라믹 블럭 중 상기 비아 접합 패드가 형성되지 않은 부분에 상기 비아 접합 패드에 대응되는 높이로 탄성 접합층을 형성하는 단계;
    상기 복수의 세라믹 블럭을 접합하는 단계;
    상기 접합된 복수의 세라믹 블럭 중 최표층에 노출된 비아 전극 상에 프로브 패드를 형성하는 단계; 및,
    상기 프로브 패드 상에 프로브 탐침을 형성하는 단계;를 포함하는 세라믹 프로브 카드의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 세라믹 블럭을 소성하는 단계는,
    상기 복수의 세라믹 블럭 각각의 양면에 상기 복수의 세라믹 블럭의 소성 온도에서 소성되지 않는 구속층을 형성하는 단계;
    상기 구속층이 형성된 복수의 세라믹 블럭을 개별 소성하는 단계; 및,
    상기 소성된 복수의 세라믹 블럭 상에서 상기 구속층을 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 프로브 카드의 제조 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 세라믹 블럭 각각은 1.5㎜ 이하의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 세라믹 프로브 카드의 제조 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 세라믹 블럭을 접합하는 단계는,
    웰딩(welding) 접합 방법, 브레이징(brazing) 접합 방법 및 솔더링(soldering) 접합 방법 중 어느 하나를 이용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 세라믹 프로브 카드의 제조 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 비아 접합 패드는, Au-Sn을 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 프로브 카드의 제조 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 탄성 접합층은, 에폭시 수지를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 프 로브 카드의 제조 방법.
  7. 비아 전극을 포함하는 세라믹 그린시트를 적어도 하나 이상 포함하는 복수의 세라믹 블럭, 상기 복수의 세라믹 블럭들 사이에 형성되며 서로 마주하는 세라믹 블럭의 비아 전극에 형성된 비아 접합 패드 및 상기 복수의 세라믹 블럭들 사이에 형성되며 상기 비아 접합 패드가 형성되지 않은 부분에 상기 비아 접합 패드에 대응되는 높이로 형성된 탄성 접합층을 포함하는 세라믹 기판;
    상기 세라믹 기판의 최표층 비아 전극에 접촉하며, 일정 간격으로 형성된 프로브 패드; 및,
    상기 프로브 패드 상에 형성된 프로브 탐침;을 포함하는 세라믹 프로브 카드.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 세라믹 기판에 포함된 상기 복수의 세라믹 블럭 각각은 1.5㎜ 이하의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 세라믹 프로브 카드.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 비아 접합 패드는, Au-Sn을 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 프로브 카드.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 탄성 접합층은, 에폭시 수지를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 프로브 카드.
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