JP2020063490A - 成膜装置 - Google Patents
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Abstract
Description
成膜用ガスが導入及び排気され、前記成膜用ガスにより被処理体に成膜するチャンバーと、
前記チャンバー内に配置され、前記被処理体である長尺フィルムをロール・ツー・ロールで搬送するフィルム搬送部と、
を有し、
前記フィルム搬送部は、
前記長尺フィルムが周面の一部に接触する回転可能なローラーと、
前記ローラーのうち前記長尺フィルムに覆われていない領域に不活性ガスを吹き付けるノズル管と、
を含む成膜装置に関する。
成膜用ガスが導入及び排気され、前記成膜用ガスにより被処理体に成膜するチャンバーと、
前記チャンバー内に配置され、前記被処理体である長尺フィルムをロール・ツー・ロールで搬送するフィルム搬送部と、
を有し、
前記フィルム搬送部は、
前記長尺フィルムが周面の一部に接触する回転可能なローラーと、
前記ローラーの軸を回転可能に支持する軸受部と、
前記成膜用ガスが前記軸に付着しない温度に前記軸受部を昇温するヒーターと、
を含む成膜装置に関する。
成膜用ガスが導入及び排気され、前記成膜用ガスにより被処理体に成膜するチャンバーと、
前記チャンバー内に配置され、前記被処理体である長尺フィルムをロール・ツー・ロールで搬送するフィルム搬送部と、
を有し、
前記フィルム搬送部は、
前記長尺フィルムが周面の一部に接触する回転可能なテンション検出ローラーと、
前記テンション検出ローラーに作用する外力に基づいて前記長尺フィルムのテンションを検出するテンションセンサーと、
前記テンション検出ローラーの前記周面の一部を露出させるスリットを含み、前記周面の一部を除く前記テンション検出ローラーと、前記テンションセンサーとを包囲するケースと、
を含み、
前記ケースには、前記チャンバー内の圧力よりも高い圧力で不活性ガスが導入される成膜装置に関する。
図1において、成膜装置1はチャンバー10を有する。チャンバー10は例えば真空チャンバーであり、排気部20及びガス導入部30が接続される。排気部20は、真空チャンバー10を真空引きし、あるいは導入済ガスを排気する。ガス導入部30は、真空チャンバー10内に、一種または複数種のガスを導入する。複数種のガスは、同時及び/又は切り替えて導入することができる。また、例えば成膜装置1がプラズマCVD装置である場合には、チャンバー10の外部でプラズマ化されたガスがガス導入部30によりチャンバー10内に導入される。
図1に示すローラー130は、長尺フィルムFが周面の一部に接触する回転可能なローラーである。つまり、ローラー130が駆動又は従動により回転されると、ローラー130の周面のうち長尺フィルムFに接触していない周面が次々と成膜用ガスと接触する。よって、ローラー130の全周面が成膜される可能性がある。
図1に示すローラー130は、図5に示すように、ローラー130の軸132が回転可能に支持される軸受部300を含む。軸受部300は、チャンバー10のチャンバー壁12の内外に突出する軸受本体310を有する。軸受本体310は、チャンバー壁12に気密に固定される。軸受本体310がチャンバー10内に突出している先端に、軸132を支持するベアリング320が設けられる。
図1に示すテンション検出ローラー140は、長尺フィルムFが周面の一部に接触する回転可能なローラーである。つまり、テンション検出ローラー140が従動回転されると、テンション検出ローラー140の周面のうち長尺フィルムFに接触していない周面が次々と成膜用ガスと接触する。よって、テンション検出ローラー140の全周面が成膜される可能性がある。
Claims (5)
- 成膜用ガスが導入及び排気され、前記成膜用ガスにより被処理体に成膜するチャンバーと、
前記チャンバー内に配置され、前記被処理体である長尺フィルムをロール・ツー・ロールで搬送するフィルム搬送部と、
を有し、
前記フィルム搬送部は、
前記長尺フィルムが周面の一部に接触する回転可能なローラーと、
前記ローラーのうち前記長尺フィルムに覆われていない領域に不活性ガスを吹き付けるノズル管と、
を含むことを特徴とする成膜装置。 - 請求項1において、
前記フィルム搬送部は、
前記ローラーの軸を回転可能に支持する軸受部と、
前記成膜用ガスが前記軸に付着しない温度に前記軸受部を昇温するヒーターと、
をさらに有することを特徴とする成膜装置。 - 請求項1または2において、
前記フィルム搬送部は、
前記長尺フィルムが周面の一部に接触する回転可能なテンション検出ローラーと、
前記テンション検出ローラーに作用する外力に基づいてテンションを検出するテンションセンサーと、
前記テンション検出ローラーの前記周面の一部を露出させるスリットを含み、前記周面の一部を除く前記テンション検出ローラーと、前記テンションセンサーとを包囲するケースと、
をさらに有し、
前記ケースには、前記チャンバー内の圧力よりも高い圧力で不活性ガスが導入されることを特徴とする成膜装置。 - 成膜用ガスが導入及び排気され、前記成膜用ガスにより被処理体に成膜するチャンバーと、
前記チャンバー内に配置され、前記被処理体である長尺フィルムをロール・ツー・ロールで搬送するフィルム搬送部と、
を有し、
前記フィルム搬送部は、
前記長尺フィルムが周面の一部に接触する回転可能なローラーと、
前記ローラーの軸を回転可能に支持する軸受部と、
前記成膜用ガスが前記軸に付着しない温度に前記軸受部を昇温するヒーターと、
を含むことを特徴とする成膜装置。 - 成膜用ガスが導入及び排気され、前記成膜用ガスにより被処理体に成膜するチャンバーと、
前記チャンバー内に配置され、前記被処理体である長尺フィルムをロール・ツー・ロールで搬送するフィルム搬送部と、
を有し、
前記フィルム搬送部は、
前記長尺フィルムが周面の一部に接触する回転可能なテンション検出ローラーと、
前記テンション検出ローラーに作用する外力に基づいて前記長尺フィルムのテンションを検出するテンションセンサーと、
前記テンション検出ローラーの前記周面の一部を露出させるスリットを含み、前記周面の一部を除く前記テンション検出ローラーと、前記テンションセンサーとを包囲するケースと、
を含み、
前記ケースには、前記チャンバー内の圧力よりも高い圧力で不活性ガスが導入されることを特徴とする成膜装置。
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