JP2020054949A - 真空配管トラップ装置、真空配管トラップシステム及び配管清掃方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記真空配管トラップ装置は、
連結部により互いに分離可能に連結される上筐体及び下筐体と、
前記下筐体に収納される有底の捕集筒と、
前記捕集筒内に収納されるフィルタと、を備え、
前記上筐体には、前記真空炉からの気体を取り込むことができる吸気口が設けられ、
前記下筐体には、前記捕集筒から気体を排出するための排気口が設けられ、
前記上筐体及び下筐体には、液体の給入口および排出口が設けられ、
前記フィルタは、前記捕集筒の底部に軸支された円筒の周面から該円筒の各径方向に延在するようにそれぞれ配設された短冊状の複数の不燃性ブレードフィルタを有する。
前記配管清掃方法は、
上述の本発明に係る真空配管トラップ装置を、単結晶成長装置の真空炉から真空ポンプへ延びる真空配管に取り付け、前記真空配管の清掃を行う前に、前記給入口から洗浄水を注入して前記捕集筒内に付着した酸化珪素(SiO)を前記真空配管および前記真空配管トラップ装置内で水洗し、前記吸気口から前記排気口へ熱風を流して前記真空配管及び捕集筒を乾燥させた後に前記真空配管の開放作業を行なうことを備える。
前記配管清掃方法は、
上述の本発明に係る真空配管トラップ装置を、単結晶成長装置の真空炉から真空ポンプへ延びる不燃性の真空配管に取り付け、前記真空配管の清掃を行う前に、内部部品の燃焼温度を下回る温度のガスを前記吸気口から前記排気口へ流すことにより前記捕集筒内の酸化珪素を酸化して二酸化珪素(SiO2)とし、前記給入口から高圧水を注入して前記捕集筒内の二酸化珪素(SiO2)を前記排出口から排出することを備える。
前記配管は、一端が前記真空炉に接続される第1配管と、対応する複数の湾曲部を介して前記第1配管の他端と前記真空配管トラップ装置とを接続する複数の第2配管と、を含む。
図1は、本発明の第1実施形態による真空配管トラップシステムの設置状態を真空炉と真空ポンプとの関係で示す概略図の一例である。
図2に示すように、真空配管トラップ装置59は、加熱部11と、加熱部11の下流側に配置される捕集部12を備えている。
(2)第2実施形態
本実施形態の真空配管トラップシステム79を利用した配管清掃方法について、配管清掃方法の第2実施形態として以下に説明する。
2真空ポンプ
3真空配管
4機台(土台)
5架台
9,10,79,80真空配管トラップシステム
11加熱部
12捕集部
13ベローズ管
14ヒータ
15バタフライバルブ
20捕集筐体
21上筐体
22下筐体
23,43センターリング
24レデューサ
26,28液体排出口
27液体給入口
29,129捕集筒
32排気口
41筒部
42有底筒部
50クランプ
51環状体
52接続用挿通棒
53切離部
54棒材
55筒材
65フィルタ天蓋
59,109真空配管トラップ装置
70回転フィルタ
152掃除トレー(有底筒部)
BFブレードフィルタ
Claims (10)
- 単結晶成長装置の真空炉と真空ポンプとの間に真空配管を介して接続され、単結晶成長により発生する粉塵を捕集して回収する真空配管トラップ装置であって、
連結部により互いに分離可能に連結される上筐体及び下筐体と、
前記下筐体に収納される有底の捕集筒と、
前記捕集筒内に収納されるフィルタと、を備え、
前記上筐体には、前記真空炉からの気体を取り込むことができる吸気口が設けられ、
前記下筐体には、前記捕集筒から気体を排出するための排気口が設けられ、
前記上筐体及び下筐体には、液体の給入口および排出口が設けられ、
前記フィルタは、前記捕集筒の底部に軸支された円筒の周面から該円筒の各径方向に延在するようにそれぞれ配設された短冊状の複数の不燃性ブレードフィルタを有することを特徴とする真空配管トラップ装置。 - 前記フィルタは、前記捕集筒内に回転可能に収納された回転フィルタを含み、前記円筒は、前記捕集筒の底部に枢設された回転軸に軸支されることを特徴とする請求項1に記載の真空配管トラップ装置。
- 前記真空炉の直下に配置されることを特徴とする請求項1または2に記載の真空配管トラップ装置。
- 前記連結部は、対向するフランジで構成され、1点で切り離された環状体の内周面に前記フランジの縁に接する溝部が設けられ、前記環状体の切離部において対向する前記環状体の端部の一方に固定した棒材の自由端側を、前記環状体の他方の端部に設けた挿通部に通し、前記棒材の自由端に嵌められた筒材を前記棒材の軸線方向に進退させ、前記環状体の切離部の間隔を変えることにより前記環状体の径を調整するクランプにより、手動で接離自在とされていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の真空配管トラップ装置。
- 前記下筐体は、前記上筐体との連結部から底面側において流れ方向に分離可能とされていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の真空配管トラップ装置。
- 前記下筐体において分離可能とされている連結部は、対向するフランジで構成され、1点で切り離された環状体の内周面に前記フランジの縁に接する溝部が設けられ、前記環状体の切離部において対向する前記環状体の端部の一方に固定した棒材の自由端側を、前記環状体の他方の端部に設けた挿通部に通し、前記棒材の自由端に嵌められた筒材を前記棒材の軸線方向に進退させ、前記環状体の切離部の間隔を変えることにより前記環状体の径を調整するクランプにより、手動で接離自在とされていることを特徴とする請求項5に記載の真空配管トラップ装置。
- 前記真空炉からの排気を加熱して該真空配管トラップ装置へ通す加熱部との連結部にバタフライバルブが介装されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の真空配管トラップ装置。
- 請求項1乃至7のいずれか一項に記載の真空配管トラップ装置を、単結晶成長装置の真空炉から真空ポンプへ延びる真空配管に取り付け、前記真空配管の清掃を行う前に、前記給入口から洗浄水を注入して前記捕集筒内に付着した酸化珪素(SiO)を前記真空配管および前記真空配管トラップ装置内で水洗し、前記吸気口から前記排気口へ熱風を流して前記前記真空配管及び捕集筒を乾燥させた後に前記真空配管の開放作業を行なうことを特徴とする配管清掃方法。
- 請求項1乃至7のいずれか一項に記載の真空配管トラップ装置を、単結晶成長装置の真空炉から真空ポンプへ延びる不燃性の真空配管に取り付け、前記真空配管の清掃を行う前に、内部部品の燃焼温度を下回る温度のガスを前記吸気口から前記排気口へ流すことにより前記捕集筒内の酸化珪素を酸化して二酸化珪素(SiO2)とし、前記給入口から高圧水を注入して前記捕集筒内の二酸化珪素(SiO2)を前記排出口から排出することを特徴とする配管清掃方法。
- 請求項1乃至7のいずれか一項に記載の真空配管トラップ装置と、
該真空配管トラップ装置と前記真空炉とを接続する配管と、を備え、
前記配管は、一端が前記真空炉に接続される第1配管と、対応する複数の婉曲部を介して前記第1配管の他端と前記真空配管トラップ装置とを接続する複数の第2配管と、を含むことを特徴とする真空配管トラップシステム。
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