JP2020047872A - 基板保持部材 - Google Patents
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Abstract
Description
(構成)
また、通気路22は直線状凹部から複数の円弧状凹部が分岐していてもよく、基体1の周方向に延びるリング状の凹部であってもよく、リング状の凹部に直線状凹部が接続されていてもよい。
(機能)
(第2実施形態)
(構成)
2つの略平板状の成形体(または仮焼結体)のそれぞれの接合面に中空空間に相当する溝が形成され、かつ、少なくとも一方の成形体の当該溝の底から突出する凸条が形成された上で、当該2つの成形体が接合面同士で接合された状態で焼成一体化されることにより、第2実施形態の基板保持部材が作製される。
通気路22および凸条121の構成を除く他の構成は、第1実施形態の基板保持部材と同様なので、同一の符号を用いるとともに説明を省略する。
(機能)
Claims (4)
- 上面および下面を有する平板状の基体と、前記基体の上面から上方に向って突出する複数の上面凸部と、前記基体の下面から窪んでいる凹部により構成されている通気路と、前記通気路に連通し、かつ、前記基体の上面に開口部を有する一または複数の通気孔と、を備える基板保持部材であって、
前記基体の上面に平行な指定方向に延在する、前記基体において前記通気路の上方にある天井部から下方に突出する凸条を有し、かつ、前記凸条の下端部が前記基体の下面または下端部と同じ高さに位置することを特徴とする基板保持部材。 - 請求項1記載の基板保持部材において、
前記基体の上面において、前記天井部に配置されている前記上面凸部のうち前記凸条の存在領域に少なくとも一部の前記上面凸部が配置されていることを特徴とする基板保持部材。 - 上面および下面を有する平板状の基体と、前記基体の上面から上方に向って突出する複数の上面凸部と、
前記基体の上面および下面の間に位置する前記基体の天井面と前記天井面と対向する前記基体の床面とにより少なくとも部分的に画定される中空空間により構成されている通気路と、前記通気路に連通し、かつ、前記基体の上面に開口部を有する一または複数の通気孔と、を備える基板保持部材であって、
前記基体の上面に平行な指定領域方向に延在する、前記基体において前記通気路の上方にある天井部から下方に突出する凸条を有し、かつ、前記凸条の下端部が前記床面と当接または一体化している、あるいは、
前記指定方向に延在する、前記基体において前記通気路の下方にある床部から上方に突出する凸条を有し、かつ、前記凸条の上端部が前記天井面と当接していることを特徴とする基板保持部材。 - 請求項3記載の基板保持部材において、
前記基体の上面において、前記天井部に配置されている前記上面凸部のうち前記凸条の存在領域に少なくとも一部の前記上面凸部が配置されていることを特徴とする基板保持部材。
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WO2013129599A1 (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-06 | 株式会社タンケンシールセーコウ | 非接触吸着盤 |
JP2016189387A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | 国立大学法人東北大学 | プローバチャック、磁気メモリ用プローバチャック及びプローバ |
JP2017212343A (ja) * | 2016-05-25 | 2017-11-30 | 日本特殊陶業株式会社 | 基板保持装置 |
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WO2013129599A1 (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-06 | 株式会社タンケンシールセーコウ | 非接触吸着盤 |
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