JP2020047711A - 記憶素子製造方法 - Google Patents
記憶素子製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020047711A JP2020047711A JP2018173733A JP2018173733A JP2020047711A JP 2020047711 A JP2020047711 A JP 2020047711A JP 2018173733 A JP2018173733 A JP 2018173733A JP 2018173733 A JP2018173733 A JP 2018173733A JP 2020047711 A JP2020047711 A JP 2020047711A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- sputtering
- oxygen
- electrode layer
- partial pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
Description
本発明は、アルゴンガスとN2ガスとを含有する含窒素スパッタリングガスの全圧100%に対してN2ガスを30%以上の分圧にした前記含窒素スパッタリングガス雰囲気中でチタンターゲットをスパッタリングし、前記記憶層上に窒化チタンの前記第二電極層を形成する記憶素子製造方法である。
本発明は、前記含酸素スパッタリングガス雰囲気のO2ガスの分圧を35%以下の範囲にする記憶素子製造方法である。
本発明は、前記含酸素スパッタリングガス雰囲気のO2ガスの分圧を23%以下の範囲にする記憶素子製造方法である。
本発明は、前記含酸素スパッタリングガス雰囲気のO2ガスの分圧を15%以上30%以下の範囲にして前記記憶層を形成し、前記記憶層上に白金の前記第二電極層を形成する記憶素子製造方法である。
本発明は、前記第一電極層は、窒化チタン、白金、又はタングステンのうちのいずれか一種の導電性材料の薄膜にする記憶素子製造方法である。
成膜対象物21を、真空槽5の中に配置された台31上に置き、真空排気装置29によって真空槽5の内部を真空排気する。真空槽5の内部が所定の圧力まで真空排気されると、ガス導入装置25からアルゴンガス(Arガス)と酸素ガス(O2ガス)とから成る含酸素スパッタリングガスを、アルゴンガスと酸素ガスとを流量制御しながら真空槽5の内部に導入し、所定の分圧値で酸素ガス(O2ガス)を含有する含酸素スパッタリングガス雰囲気を形成する。
PO2 = 酸素ガス流量/(アルゴンガス流量+酸素ガス流量)……(1)
記憶層14が形成された成膜対象物22を、金属Tiから成るスパッタリングターゲット18を有するスパッタリング装置2の真空槽5の内部に搬入し、ガス導入装置26から、アルゴンガス(Arガス)と窒素ガス(N2ガス)とから成る含窒素スパッタリングガスを、アルゴンガスと窒素ガスとを流量制御しながら真空槽5の内部に導入し、所定の分圧値で窒素ガスを含有する含窒素スパッタリングガス雰囲気を形成する。
PN2 = 窒素ガス流量/(アルゴンガス流量+窒素ガス流量)……(2)
10% ≦ PO2 ≦ 23%
の範囲で形成された記憶層14を有する記憶素子20が最も好ましいことが確認された。
14……記憶層
15……第二電極層
Claims (6)
- 第一電極層と、
前記第一電極層上に配置された記憶層と、
前記記憶層上に配置された第二電極層とを有し、
前記第一、第二電極層間の抵抗値は、前記第一、第二電極層間にオン電圧が印加されると低抵抗にされ、前記第一、第二電極層間に前記オン電圧とは逆極性のオフ電圧が印加されると高抵抗にされ、前記第一、第二電極層間の抵抗値によって記憶内容が保持される記憶素子を製造する記憶素子製造方法であって、
アルゴンガスとO2ガスとを含有する含酸素スパッタリングガスの全圧100%に対してO2ガスを10%以上の分圧にした前記含酸素スパッタリングガス雰囲気中でアモルファスカーボンターゲットをスパッタリングして前記記憶層を形成する記憶素子製造方法。 - アルゴンガスとN2ガスとを含有する含窒素スパッタリングガスの全圧100%に対してN2ガスを30%以上の分圧にした前記含窒素スパッタリングガス雰囲気中でチタンターゲットをスパッタリングし、前記記憶層上に窒化チタンの前記第二電極層を形成する請求項1記載の記憶素子製造方法。
- 前記含酸素スパッタリングガス雰囲気のO2ガスの分圧を35%以下の範囲にする請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の記憶素子製造方法。
- 前記含酸素スパッタリングガス雰囲気のO2ガスの分圧を23%以下の範囲にする請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の記憶素子製造方法。
- 前記含酸素スパッタリングガス雰囲気のO2ガスの分圧を15%以上30%以下の範囲にして前記記憶層を形成し、
前記記憶層上に白金の前記第二電極層を形成する請求項1記載の記憶素子製造方法。 - 前記第一電極層は、窒化チタン、白金、又はタングステンのうちのいずれか一種の導電性材料の薄膜にする請求項1乃至請求項5のいずれか1項記載の記憶素子製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018173733A JP2020047711A (ja) | 2018-09-18 | 2018-09-18 | 記憶素子製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018173733A JP2020047711A (ja) | 2018-09-18 | 2018-09-18 | 記憶素子製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020047711A true JP2020047711A (ja) | 2020-03-26 |
Family
ID=69901833
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018173733A Pending JP2020047711A (ja) | 2018-09-18 | 2018-09-18 | 記憶素子製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2020047711A (ja) |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05174369A (ja) * | 1991-12-24 | 1993-07-13 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 磁気記録媒体 |
JPH07258845A (ja) * | 1994-03-25 | 1995-10-09 | Ulvac Japan Ltd | スパッタ装置及びスパッタ方法 |
JPH10214897A (ja) * | 1996-12-12 | 1998-08-11 | Applied Materials Inc | プラグ及びニアゼロオーバラップ相互接続線の製造 |
EP0908935A2 (en) * | 1997-10-09 | 1999-04-14 | Nec Corporation | Fabrication method of semiconductor device equipped with silicide layer |
EP0923104A2 (en) * | 1997-11-14 | 1999-06-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Electron-emitting device and production method thereof |
JPH11354303A (ja) * | 1998-06-12 | 1999-12-24 | Nec Corp | 薄膜抵抗体及びその製造方法並びに当該薄膜抵抗体を内蔵した配線基板 |
JP2009218260A (ja) * | 2008-03-07 | 2009-09-24 | Fujitsu Ltd | 抵抗変化型素子 |
WO2010029634A1 (ja) * | 2008-09-11 | 2010-03-18 | 株式会社 東芝 | 抵抗変化素子及び情報記録再生装置 |
US20150036413A1 (en) * | 2013-07-31 | 2015-02-05 | International Business Machines Corporation | Resistive memory element based on oxygen-doped amorphous carbon |
-
2018
- 2018-09-18 JP JP2018173733A patent/JP2020047711A/ja active Pending
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05174369A (ja) * | 1991-12-24 | 1993-07-13 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 磁気記録媒体 |
JPH07258845A (ja) * | 1994-03-25 | 1995-10-09 | Ulvac Japan Ltd | スパッタ装置及びスパッタ方法 |
JPH10214897A (ja) * | 1996-12-12 | 1998-08-11 | Applied Materials Inc | プラグ及びニアゼロオーバラップ相互接続線の製造 |
EP0908935A2 (en) * | 1997-10-09 | 1999-04-14 | Nec Corporation | Fabrication method of semiconductor device equipped with silicide layer |
JPH11121399A (ja) * | 1997-10-09 | 1999-04-30 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
EP0923104A2 (en) * | 1997-11-14 | 1999-06-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Electron-emitting device and production method thereof |
JP2000188058A (ja) * | 1997-11-14 | 2000-07-04 | Canon Inc | 電子放出素子及びその製造方法 |
JPH11354303A (ja) * | 1998-06-12 | 1999-12-24 | Nec Corp | 薄膜抵抗体及びその製造方法並びに当該薄膜抵抗体を内蔵した配線基板 |
JP2009218260A (ja) * | 2008-03-07 | 2009-09-24 | Fujitsu Ltd | 抵抗変化型素子 |
WO2010029634A1 (ja) * | 2008-09-11 | 2010-03-18 | 株式会社 東芝 | 抵抗変化素子及び情報記録再生装置 |
US20150036413A1 (en) * | 2013-07-31 | 2015-02-05 | International Business Machines Corporation | Resistive memory element based on oxygen-doped amorphous carbon |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI393191B (zh) | 低溫薄膜電晶體製程、裝置特性、和裝置穩定性改進 | |
US6989573B2 (en) | Lanthanide oxide/zirconium oxide atomic layer deposited nanolaminate gate dielectrics | |
US6897513B2 (en) | Perovskite-type material forming methods, capacitor dielectric forming methods, and capacitor constructions | |
US8894827B2 (en) | Electrochromic tungsten oxide film deposition | |
JP2013542583A (ja) | 可変抵抗記憶要素および製造方法 | |
KR20080076747A (ko) | 산화물 반도체층 형성 방법 및 이를 이용한 반도체 소자제조방법 | |
JP2007158318A (ja) | 有機金属化学気相成長法によるPrMnO3/CaMnO3超格子構造を有するPrxCa1−xMnO3薄膜の形成方法 | |
US11233194B2 (en) | Memristor electrode material preparation method and apparatus, and memristor electrode material | |
CN110344013A (zh) | 溅射方法 | |
JP2009529789A (ja) | 低エネルギープラズマシステムを用いた高誘電率トランジスタゲートを製造するための方法及び装置 | |
JP2020047711A (ja) | 記憶素子製造方法 | |
JPH0874034A (ja) | Ito透明導電膜の作製方法 | |
JP4360716B2 (ja) | 銅薄膜製造方法、及びその方法に用いるスパッタ装置 | |
CN113088912B (zh) | 改善TaOx基阻变存储器可靠性的硅掺杂磁控溅射工艺 | |
KR101275801B1 (ko) | 산화물 반도체 타겟 | |
JPH05279846A (ja) | スパッタ用ターゲット及びスパッタTiON膜成膜方法 | |
JP7247546B2 (ja) | 薄膜トランジスタの製造方法 | |
JP5785660B2 (ja) | 成膜方法および成膜装置 | |
JPS6358843A (ja) | 半導体装置 | |
JP6825085B2 (ja) | 抵抗変化素子の製造方法及び抵抗変化素子 | |
JP2002322528A (ja) | 電極配線材料およびその製造方法 | |
CN117355146A (zh) | 阻变存储器和阻变存储器的制备方法 | |
JP6230184B2 (ja) | 成膜装置、成膜方法及び金属酸化物薄膜の製造方法 | |
Lau | The Effect of Interfacial and Bulk Free Energies on the Leakage Current vs Voltage Charcteristics of High-K MIM Capacitors Prepared by Atomic Layer Deposition | |
JPS59182207A (ja) | 高融点金属窒化膜の形成方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20200727 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20200805 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210812 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20210812 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220629 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220712 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20230124 |