JP2020047634A - パターン形成方法、マスタテンプレートおよびテンプレートの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1−1〜図1−2は、第1の実施形態によるパターン形成方法の手順の一例を模式的に示す上面図である。図2は、第1の実施形態によるレジストパターンの一例を示す図であり、(a)は上面図を示し、(b)は斜視図を示している。図3−1〜図3−2は、第1の実施形態によるパターン形成方法の手順の一例を模式的に示す断面図であり、図2(b)に示される1つのレジスト芯材中の断面CS−Aの部分、断面CS−Bの部分、および断面CS−Cの部分を示している。なお、図1−1〜図1−2では、テンプレート基板上の側壁転写プロセスを用いて形成される一部の領域のみを示している。
E=T1×(100+ΔT1)/100 ・・・(1)
Rp<T1×(100+ΔT1)/100 ・・・(2)
図7は、第2の実施形態によるパターン形成方法の手順の一例を模式的に示す断面図である。この図7は、図3−1および図3−2と同様に、図2(b)に示される1つのレジスト芯材120中の断面CS−A,CS−B,CS−Cの部分を同時に示している。
上記した説明では、側壁転写プロセスを用いてマスタテンプレートを作製する過程で生じるループを、ループカット工程を用いることなくカットすることができるパターン形成方法について説明した。しかし、マスタテンプレート上ではなく、レプリカテンプレート上で生じるループをループカット工程を用いることなくカットすることができるようにしてもよい。
Claims (15)
- 本体パターン部と、前記本体パターン部から前記本体パターン部よりもサイズが小さくなるように形状が変調されたパターン変調部と、を有するラインパターンを含む第1膜を加工対象上に形成し、
前記第1膜が形成された前記加工対象上に第2膜を形成し、
前記第1膜の上面が露出するように前記第2膜をエッチバックし、
前記第1膜を除去し、
前記第2膜をマスクにして前記加工対象を加工するパターン形成方法。 - 前記第1膜の形成では、前記本体パターン部の高さよりも前記パターン変調部の高さが低くなるように前記パターン変調部が形成される請求項1に記載のパターン形成方法。
- 前記第1膜の形成では、前記第2膜のエッチバック時でのエッチング量以下の高さとなる領域を含むように前記パターン変調部が形成される請求項2に記載のパターン形成方法。
- 前記第1膜の形成では、前記パターン変調部が前記本体パターン部から連続的に幅が減少するように形成される請求項1から3のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
- 前記第1膜の形成の後で前記第2膜の形成の前に、前記ラインパターンの延在方向に垂直な方向で前記パターン変調部での前記第1膜を、丸みを帯びた形状に加工する請求項1から4のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
- 前記第1膜は、前記ラインパターンの延在方向に垂直な方向における前記パターン変調部の断面形状は微分可能な関数f(x)によって表される請求項5に記載のパターン形成方法。
- 前記関数f(x)の接線と前記加工対象の上面とのなす角度をθ(x)とし、前記第1膜の持つスパッタイールドをY(θ(x))としたときに、前記パターン変調部は、Y(θ(x))≧Y(90°)となる箇所を含む請求項6に記載のパターン形成方法。
- 前記第1膜の加工では、前記第1膜をエッチバックする請求項5から7のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
- 前記第1膜の加工では、所定の位置の前記第1膜に親水化処理を行い、薬液を用いて前記第1膜を溶解させる請求項5から7のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
- 前記第1膜の加工では、ガラス転移温度を超える温度まで前記第1膜を加熱する請求項5から7のいずれか1つに記載のパターン形成方法。
- 前記第1膜の加工は、
前記加工対象上に電子線レジストを塗布し、
前記本体パターン部と、前記パターン変調部と、を有する前記ラインパターンが配置されるように前記電子線レジストに描画し、
前記電子線レジストを現像して前記ラインパターンを含む前記第1膜を形成する請求項1から10のいずれか1つに記載のパターン形成方法。 - 前記描画では、前記本体パターン部の第1幅よりも小さい幅が前記パターン変調部に含まれるように、前記パターン変調部が描画される請求項11に記載のパターン形成方法。
- 前記第1膜の加工は、
前記加工対象上にレジストを塗布し、
前記本体パターン部と、前記パターン変調部と、を有する前記ラインパターンに対応する凹部を含むテンプレートを前記レジストに接触させた状態で前記レジストを固化して前記第1膜を形成する請求項1から10のいずれか1つに記載のパターン形成方法。 - テンプレート基板上に電子線レジストを塗布し、
本体パターン部と、前記本体パターン部の幅よりも小さくなるように幅が変調されたパターン変調部と、を有するラインパターンが前記電子線レジストに形成されるように、描画領域を2次元的に配置した描画データを用いて、前記電子線レジストに描画し、
前記電子線レジストを現像してレジストパターンを形成し、
前記レジストパターンを用いて前記テンプレート基板を加工するテンプレートの製造方法。 - テンプレート基板に、本体パターン部と、前記本体パターン部から幅および深さが連続的に小さくなるパターン変調部と、を有するラインパターンの凹部が配置されるマスタテンプレート。
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