JP2020009868A - 半導体モジュール - Google Patents
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- H01L2224/3318—Disposition being disposed on at least two different sides of the body, e.g. dual array
- H01L2224/33181—On opposite sides of the body
Abstract
Description
請求項に記載の構成を採用する。
図1は、本発明の第一の実施形態の構造を示す断面図である。パワー半導体素子1は、パワー半導体素子2と、パワー半導体素子2の両側に設けられた第一金属部材3と、第一金属部材3の前記パワー半導体素子2との接続面の反対側の面で接続される絶縁部材6と、前記絶縁部材6の第一金属部材3との接続面の反対側の面で接続される第三金属部材5と、第三金属部材5と接続され、フィン40が形成される第二金属部材4と、を備え、樹脂材料1により第二金属部材のフィン40が少なくとも露出するように封止される構成を有する。半導体モジュールは、パワー半導体素子2を起点に積層方向(回路面鉛直方向)に略対称形状であり、両面冷却機能を有している。
図2は、本発明の第二の実施形態の構造を示す断面図である。第一の実施形態と同様の構成については説明を省略する。
図3は、本発明の第三の実施形態の構造を示す断面図である。なお、第一の実施形態と同様の構成については説明を省略する。
図4は、本発明の第四の実施形態の構造を示す断面図である。なお、第一の実施形態と同様の構成については説明を省略する。
図5は、本発明の第五の実施形態の構造を示す断面図である。なお、第一の実施形態と同様の構成については説明を省略する。
2:パワー半導体素子
3:第一金属部材
4:第二金属部材
5:第三金属部材
6:絶縁部材
10:第一接合材料
11:第二接合材料
12:第三接合材料
40:フィン
50:熱伝導材
Claims (12)
- パワー半導体素子と、
前記パワー半導体素子と接合する第一金属部材と、
一面側にフィンが形成される第二金属部材2と、
前記第一金属部材と前記第に金属部材の間に存在する絶縁部材と、を備え、
少なくとも前記フィンが露出するように、前記パワー半導体素子、前記第一金属部材、前記第二金属部材、前記絶縁部材を封止する封止部材と、を備えた半導体モジュールであって、
前記第二金属部材と前記絶縁材料の間に、前記第二金属部材よりも線膨張係数の小さい第三金属部材を備え、
前記絶縁材料と前記第三金属部材とが接合部材で接合されている半導体モジュール - 前記第二金属部材に設けられた凹部に前記第三金属部材が設けられている請求項1に記載の半導体モジュール
- 前記第三金属部材と前記凹部を複数有し、複数の前記金属部材が前記絶縁部材に接合されている請求項2に記載の半導体モジュール
- 前記第三金属部材に設けられた凹部に、前記第二金属部材が設けられている請求項1に記載の半導体モジュール
- 前記第三金属部材の面積が、前記絶縁部材の面積よりも大きい請求項4に記載の半導体モジュール
- 前記第一金属部材と前記第三金属部材が同じ線膨張係数である請求項1乃至5の何れかに記載の半導体モジュール
- 前記第二金属部材と前記第三金属部材の間に熱伝導材が設けられている請求項1乃至5の何れかに記載の半導体モジュール
- 前記第二金属部材と前記第三金属部材は圧入により固定されている請求項1乃至5の何れかに記載の半導体モジュール
- 前記接合部材は焼結材料である請求項1乃至5の何れかに半導体モジュール
- 前記パワー半導体素子と前記第一金属部材を接続する接合部材は、前記第三金属部材と前記絶縁部材を接合する接合部材よりも、融点が高い材料で構成される請求項1乃至5の何れかに記載の半導体モジュール
- 前記第二の金属部材の前記第三金属部材が設けられていない部分と、前記絶縁部材の間は、前記封止部材で充填されている請求項3に記載の半導体モジュール
- 前記パワー半導体素子を起点に積層方向に略対称形状を備え、両面冷却機能を備える請求項1乃至11の何れかに記載の半導体モジュール
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2018
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