JP2019528583A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. センサー基板と、
   前記センサー基板の第１の表面上の複数のセンサー回路と、
   前記複数のセンサー回路および前記センサー基板の前記第１の表面の上に位置するトランシーバ層とを備え、前記トランシーバ層が、
   実質的に共面な一又は複数の圧電層と、
   前記一又は複数の圧電層の上に配置された一又は複数のトランシーバ電極とを備え、前記実質的に共面な一又は複数の圧電層および前記一又は複数のトランシーバ電極は、１つまたは複数の超音波を生成し、１つまたは複数の超音波を受け取るように構成される、指紋センサーデバイス。
2. 前記センサー基板は少なくとも１つのビアを含み、前記ビアはスルー基板ビア（ＴＳＶ）又は成形されたビアバーを備える、請求項１に記載の指紋センサーデバイス。
3. 前記センサー基板に結合されたキャップと、前記センサー基板と前記キャップとの間に形成されたキャビティとをさらに備える、請求項１に記載の指紋センサーデバイス。
4. 前記キャビティは前記センサー基板の前記第１の表面と反対の第２の表面の間であり、前記センサー基板の前記第２の表面とキャビティ領域との間の界面は遮音壁として働く、請求項３に記載の指紋センサーデバイス。
5. 前記キャビティは、高さが０．０５ミクロンから１５０ミクロンの間である、請求項３又は４に記載の指紋センサーデバイス。
6. 前記キャップは、ウエハ、基板、パネル、サブパネル、プリント回路板（ＰＣＢ）、フレキシブルプリント回路（ＦＰＣ）、カプセル化層、金属層、およびプラスチック層からなるグループから選択される、請求項３から５のいずれか一項に記載の指紋センサーデバイス。
7. 前記センサー基板は、プラテン接着剤によってプラテンに結合され、前記トランシーバ電極は、複数のセンサー回路と前記プラテンとの間に配置される、請求項１に記載の指紋センサーデバイス。
8. 前記センサー基板は、前記第１の表面の反対側に第２の表面を備え、前記センサー基板の前記第２の表面は、プラテン接着剤によってプラテンに結合される、請求項１に記載の指紋センサーデバイス。
9. 前記センサー基板はシリコンまたはガラスを含む、又は、
   前記指紋センサーデバイスが前記トランシーバ電極の上に配設されたコーティング層を更に備える、請求項１に記載の指紋センサーデバイス。
10. 前記センサー基板は、厚さが５０ミクロンから５００ミクロンの間である、請求項１に記載の指紋センサーデバイス。
11. 前記実質的に共面な一又は複数の圧電層は、第１のセグメント化圧電層と前記第１のセグメント化圧電層と実質的に共面である第２のセグメント化圧電層とを備え、前記一又は複数のトランシーバ電極は、前記第１のセグメント化圧電層に結合されたトランスミッタ電極と前記第２のセグメント化圧電層に結合されたレシーバ電極とを備える、請求項１に記載の指紋センサーデバイス。
12. 前記第１のセグメント化圧電層および前記トランスミッタ電極は、１つまたは複数の超音波を生成するように構成され、前記第２のセグメント化圧電層および前記レシーバ電極は１つまたは複数の超音波を受け取るように構成される、請求項１１に記載の指紋センサーデバイス。
13. 前記指紋センサーデバイスは、音楽プレーヤ、ビデオプレーヤ、エンターテイメントユニット、ナビゲーションデバイス、通信デバイス、モバイルフォン、スマートフォン、携帯情報端末、固定ロケーション端末、タブレットコンピュータ、コンピュータ、装着型デバイス、モノのインターネット（ＩｏＴ）デバイス、ラップトップコンピュータ、サーバ、および自動車車両内のデバイスからなるグループから選択されるデバイスに組み込まれる、請求項１に記載の指紋センサーデバイス。
14. プラテンをさらに備え、前記プラテンは、画面カバーガラス、ＬＣＤディスプレイパネル、ＯＬＥＤディスプレイパネル、ディスプレイモジュール、モバイルデバイスエンクロージャ、または超音波認証ボタンのカバーの少なくとも一部を備える、請求項１に記載の指紋センサーデバイス。
15. 指紋センサーデバイスを製作するための方法であって、
    センサー基板を設けるステップと、
    前記センサー基板の第１の表面の上に複数のセンサー回路を形成するステップと、
    前記複数のセンサー回路および前記センサー基板の前記第１の表面の上にトランシーバを設けるステップとを含み、前記トランシーバを設ける前記ステップが、
    実質的に共面な一又は複数の圧電層を設けるステップと、
    前記一又は複数の圧電層の上に配置された一又は複数のトランシーバ電極を設けるステップとを含み、前記実質的に共面な一又は複数の圧電層および前記一又は複数のトランシーバ電極は、１つまたは複数の超音波を生成し、１つまたは複数の超音波を受け取るように構成される、方法。