CN111403461B - 一种柔性显示面板及其制备方法 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种柔性显示面板及其制备方法，属于显示技术领域。显示面板包括衬底基板和设于衬底基板内的发声单元，以及设于衬底基板上的驱动电路层和发光器件。其中，衬底基板包括依次层叠设置的第一衬底层和第二衬底层，发声单元位于第二衬底层内，包括第一电极层、与第一电极层相对设置的第二电极层，以及设于第一电极层和第二电极层之间的压电材料层。本申请柔性显示面板利用压电材料的逆压电效应引起振动，从而产生声音，由此使柔性显示面板同时具备了显示功能和发声功能，同时还保证声音传递方向面向用户。

Description

一种柔性显示面板及其制备方法

技术领域

本申请涉及显示技术领域，具体而言，涉及一种柔性显示面板及其制备方法。

背景技术

柔性有机电致发光显示(OLED)技术凭借其低功耗、宽色域、轻薄化、可异形化优势逐渐占领了消费者的市场，广泛应用于携带电子、穿戴设备、即时通讯、虚拟现实等领域。人们对屏的要求从窄边框、全面屏、边缘弯曲到四角曲面包覆等转变，与传感器、功能器件等的集成逐渐成为显示屏幕的发展趋势。

用户对手机等设备的轻薄和便携性提出了越来越高的要求，外置扬声器已经逐渐淘汰，目前多采用类似扬声器的发声功能性器件。但由于设备的屏占比越来越高，发声功能性器件的设置位置逐渐从手机正面向侧面或背面转移。由于声音具有一定指向性(频率越高越明显)，放置于侧面或背面的扬声器对音量和音质及用户的隐私都有不利的影响。

需要说明的是，在上述背景技术部分发明的信息仅用于加强对本申请的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本申请的目的在于提供一种柔性显示面板及其制备方法，解决现有技术存在的一种或多种问题。

根据本申请的一个方面，提供一种柔性显示面板，包括：

衬底基板，包括依次层叠设置的第一衬底层和第二衬底层；

发声单元，设于所述第二衬底层内，所述发声单元包括第一电极层、与所述第一电极层相对设置的第二电极层，以及设于所述第一电极层和第二电极层之间的压电材料层；

驱动电路层，设于所述第二衬底层远离所述第一衬底层的一侧；

发光器件，设于所述驱动电路层远离所述衬底基板的一侧。

在本申请的一种示例性实施例中，所述柔性显示面板包括开孔区和非开孔区，所述非开孔区包括多个像素岛和连接所述多个像素岛的桥，所述发声单元位于所述像素岛内。

在本申请的一种示例性实施例中，所述发声单元的数量为多个，且各所述发声单元分别设于不同的所述像素岛内。

在本申请的一种示例性实施例中，所述柔性显示面板具有曲面部，所述发声单元设于所述曲面部，且所述发声单元还包括：支撑层，所述支撑层设于所述第一衬底层和所述第一电极层之间，且所述支撑层远离所述第一衬底层的表面与所述第一衬底层表面具有夹角，以使所述第一电极层、压电材料层和第二电极层相对于所述第一衬底层均倾斜设置。

在本申请的一种示例性实施例中，所述柔性显示面板具有曲面部，所述发声单元位于所述曲面部，所述第二衬底层设置有凹槽，所述凹槽底面与所述第一衬底层表面具有一夹角，所述发声单元位于所述凹槽内；所述衬底基板还包括：平坦层，设于所述第二衬底层和驱动电路层之间，且覆盖所述发声单元。

在本申请的一种示例性实施例中，所述压电材料层的材料为锆钛酸铅或石英。

在本申请的一种示例性实施例中，所述第二衬底层还包括：第一过孔，连接所述第一电极层，用于向所述第一电极层提供电信号；第二过孔，连接所述第二电极层，用于向所述第二电极层提供电信号。

根据本申请的另一个方面，提供一种柔性显示面板的制备方法，包括：

提供第一衬底层；

在所述第一衬底层上形成第二衬底层和发声器件，所述发声器件包括依次层叠设置的第一电极层、覆盖所述第一电极层的压电材料层和覆盖所述压电材料层的第二电极层，且所述发声器件位于所述第二衬底层内；

在所述第二衬底层上形成驱动电路层；

在所述驱动电路层上形成发光器件。

在本申请的一种示例性实施例中，形成所述第二衬底层和所述发声器件，包括：

在所述第一衬底层上形成支撑层，且使所述支撑层远离所述第一衬底层的表面与所述第一衬底层表面具有一夹角

在所述支撑层上依次形成第一电极层、覆盖所述第一电极层的压电材料层和覆盖所述压电材料层的第二电极层，使所述第一电极层、压电材料层和第二电极层相对于所述第一衬底层均倾斜设置；

在所述第一衬底层上形成第二衬底层，且使所述第二衬底层覆盖所述发声器件。

在本申请的一种示例性实施例中，形成所述第二衬底层和所述发声器件，包括：

在所述第一衬底层上形成第二衬底层；

在所述第二衬底层上开设凹槽，使所述凹槽底面与所述第一衬底层表面具有一夹角；

在所述凹槽内依次形成第一电极层、覆盖所述第一电极层的压电材料层和覆盖所述压电材料层的第二电极层，使所述第一电极层、压电材料层和第二电极层相对于所述第一衬底层均倾斜设置；

在所述第二衬底层上形成平坦层，且使所述平坦层覆盖所述发声器件。

本申请的柔性显示面板在衬底基板内设置发声单元，发声单元包括相对设置的两个电极层和电极层中间的压电材料层，利用压电材料的逆压电效应引起面板振动，从而产生声音，由此使OLED显示面板同时具备了显示功能和发声功能。相比传统设置在设备侧面或背面的扬声器，本申请柔性显示面板的声音可垂直向上传递至用户，保证了音量和音质的传递效果，也有利于保护用户隐私。另外，该结构的发声单元与传统的动圈式扬声器相比，具有轻薄化的特点，适用于对轻薄和便携度要求越来越高的电子产品。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施方式中柔性显示面板的第一种结构示意图；

图2为本申请实施方式中柔性显示面板部分像素岛和桥的结构示意图；

图3为图2中A-A’处的截面示意图；

图4为显示面板整体的俯视图；

图5为本申请实施方式中柔性显示面板曲面部的第一种结构示意图；

图6为本申请实施方式中柔性显示面板曲面部的第二种结构示意图；

图7为本申请实施方式中柔性显示面板的制备方法流程图。

图中：1、衬底基板；2、发声单元；3、驱动电路层；4、发光器件；11、第一衬底层；12、第二衬底层；13、平坦层；21、第一电极层；22、第二电极层；23、压电材料层；24、支撑层；121、第一过孔；122、第二过孔；123、凹槽；1a、开孔区；1b、像素岛；1c、桥。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本申请将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。

本申请实施方式中提供了一种能够自发声的柔性显示面板，该柔性显示面板可以是柔性OLED显示面板。如图1所示，本申请实施方式的柔性显示面板包括衬底基板1和设于衬底基板1内的发声单元2，以及设于衬底基板1上的驱动电路层3和发光器件4。其中，衬底基板1包括依次层叠设置的第一衬底层11和第二衬底层12，发声单元2位于第二衬底层12内，包括第一电极层21、与第一电极层21相对设置的第二电极层22，以及设于第一电极层21和第二电极层22之间的压电材料层23。驱动电路层3设于第二衬底层12远离第一衬底层11的一侧；发光器件4设于驱动电路层3远离衬底基板1的一侧。

压电材料层23是指由压电材料制备的膜层，压电材料具有正压电效应和逆压电效应。正压电效应是指：某些电介质材料在沿一定方向上受到外力的作用而变形时，其内部会产生极化现象，同时在它的两个相对表面上出现正负相反的电荷。当外力去掉后，它又会恢复到不带电的状态，这种现象称为正压电效应。当作用力的方向改变时，电荷的极性也随之改变。相反，当在压电材料的极化方向上施加电场，压电材料也会发生变形，电场去掉后，压电材料的变形随之消失，这种现象称为逆压电效应。

由于压电材料具有以上特性，当声音信号通过电信号输入到压电材料中，由于逆压电效应压电材料随着电信号产生振动，并推动附近大气振动，产生声音并传播出去。由于OLED显示面板属于全固态显示屏幕，可以变形，且对声音(即振动)具有良好的传导性，因此可以发出声音并实现声音外放。

具体而言，图1示例性的示出了一种柔性显示面板的剖视图，衬底基板1由下至上依次为第一衬底层11和第二衬底层12，第二衬底层12内由下至上依次设置有第一电极层21、压电材料层23和第二电极层22。当向第一电极层21和第二电极层22施加电信号使二者之间形成电场时，中间的压电材料层23会发生变形，从而带动整个显示面板变形。撤销电场，则压电材料层23会带动整个显示面板恢复原始状态。由此可以通过施加不断变换的电场，使整个显示面板发生振动。通过改变电场的大小可以改变振动的强度，通过改变电场变换频率可以改变振动频率，从而发出不同的声音。

需要说明的是，显示面板振动发出的声音方向并不是唯一的，但由于设备中显示面板背面和两侧还会设置其他结构，例如背板、侧板或其他结构层，可以对向下或向两侧的声音进行反射或吸收，因此可以使出声方向向上，以便于用户接听。

将上述利用逆压电效应制作的发声器件设置在OLED显示面板的衬底基板内，可以使显示面板实现自发声，且不会影响正常显示，使OLED显示面板同时具备了显示功能和发声功能。相比传统设置在设备侧面或背面的扬声器，由于发声单元设置于衬底基板内，也就是说位于设备显示面板上，能够使声音垂直向上传递至用户，保证了音量和音质的传递效果，也有利于保护用户隐私。另外，上述发声器件与传统的动圈式扬声器相比，具有轻薄化的特点，适用于对轻薄和便携度要求越来越高的电子产品。该柔性显示面板的类型包括但不限于异形面板、可弯折面板、可卷曲面板或可拉伸面板。

下面对本申请实施方式的柔性显示面板进行详细说明：

本申请中，衬底基板1的第一衬底层11作为衬底基板1的主要基底层，第二衬底层12用于设置发声单元2。第一衬底层11和第二衬底层12均需采用柔性材料，例如聚酰亚胺(PI)、聚对苯二甲酸(PET)等，二者可以采用相同的材料或不同的材料。为了增强衬底基板1的水氧阻隔能力，第一衬底层11和第二衬底层12之间和第二衬底层12表面均可以进一步设置阻挡层。

压电材料层23的压电材料可以是压电陶瓷，具体可以是钛酸钡压电陶瓷、锆钛酸铅压电陶瓷、偏铌酸盐系压电陶瓷等。压电材料还可以是有机高分子材料，如聚偏氟乙烯等。本申请优选锆钛酸铅压电陶瓷作为压电材料，该材料特性敏感，易于实现声音传导，同时较容易制备。第一电极层21和第二电极层22的材料可以是常见的Mo、Ti、Al等金属或合金材料，也可以是有机导电材料，如离子凝胶等，还可以是和金属材料的复合材料，如Mo/Al/Mo、Ti/Al/Ti、TiN/Al/TiN、ITO/Ag/ITO等。

驱动电路层3内设置有用于驱动发光器件4发光的各种电路结构，例如栅极信号线、源极信号线、TFT晶体管等。发光器件4包括阴极层、阳极层以及设于阴极层和阳极层之间的有机发光功能层，图中用R、G、B简要的表示发光器件4。

本实施方式中，第二电极层22设置有过孔，用于向第一电极层21和第二电极层22提供电信号。具体如图1所示，过孔包括第一过孔121和第二过孔122，第一过孔121连接第一电极层21，用于向第一电极层21提供电信号，第二过孔122连接第二电极层22，用于向第二电极层22提供电信号。过孔另一端连接的电信号传导层可以是单独在衬底基板1表面制作的引线层，也可以利用驱动电路层3自带的导电材料层作为引线层，例如栅极层和源漏极层等。图中虽未示出引线，但本领域技术人员完全可以理解引线和过孔的连接方式。

图2示例性的示出了一种柔性显示面板的俯视图，衬底基板1包括开孔区1a和非开孔区，开孔区1a用于提高柔性显示面板的可拉伸或可弯折性，非开孔区用于设置像素结构。在本实施例中，开孔区1a形状为如图所示的工字形，多个工字形开孔区1a依次排列，且相邻的开孔区1a相互垂直。衬底基板1在开孔区1a的间隔下形成由多个岛和桥1c组成的非开孔区，桥1c用于将多个岛连接为一个整体，岛用于设置发光器件4，本申请称之为像素岛1b。本实施例中，发声单元2也设置于像素岛1b中，使得可拉伸性或可弯折性较高的柔性OLED显示面板具备了发声功能。同时由于显示面板抗拉伸和弯折性能高，可以耐受发声单元引起的振动，面板不容易受损。

图3示意性地示出了图2中A-A’处的剖视图中，图中仅用一个膜层表示了整个驱动电路层3，实际上，TFT晶体管可以设置于像素岛1b内，栅极信号线、源极信号线等走线可以同时在像素岛1b和桥1c中进行布置。图中仅在像素岛1b上示出了发光器件4，实际上发光器件4的阴极层可以同时覆盖像素岛1b和桥1c。图3仅为简要示意，本领域技术人员可以理解的是，无论采用怎样的设置，只要驱动电路层3能够驱动发光器件4正常显示即可，本申请不对具体设置进行特殊限定。

需要说明的是，用于使柔性显示面板更易拉伸或弯折的开孔区1a形状可以有多种，不限于如图所示的工字形，也可以是十字形、弓字形等其他多种形状。相应的，像素岛1b的形状也不限于图中所示的矩形，也可以是圆形、菱形或其他多边形，此处不再一一列举。同时，像素岛1b内的发光器件4根据需要可以设置一个也可以设置多个。

在本实施方式中，发声单元2的数量为多个，且各发声单元2分别设于不同的像素岛1b内，也就是说，显示面板内可以设置多个压电扬声器，每一个发声器件单独设置于一个像素岛1b，由此可以使显示面板的多个像素岛1b均可以实现发声，提高了发声的音量，还使得用户可以从显示面板的多个位置接收到声音信息。

对于曲面显示面板，以如图4所示的结构为例，该面板边缘部分为曲面部。发声单元2还可以设置在显示面板的曲面部，但此种情况下出声方向会发生倾斜，为了解决这一问题，本实施方式设计了补偿结构，以控制出声方向始终为垂直向上的方向。

参考图5，为本实施方式的一种补偿方式，该图示出了图4中曲面部在X-X’向的一种截面结构示意图，图中箭头所指曲线表示曲面部相对于平面部而言为倾斜状态，因此截面图也呈倾斜状态，该曲线不表示任何实体结构。在该结构中，发声单元2还包括支撑层24，支撑层24设于第一衬底层11和第一电极层21之间，且支撑层24上表面与第一衬底层11上表面(支撑层24下表面)具有夹角，也就是说，支撑层24上表面为一斜面，因此，设置在支撑层24上方的第一电极层21、压电材料层23和第二电极层22相对于第一衬底层11均为倾斜状态。由于显示面板的曲面部相对于平面部而言为倾斜状态，利用具有斜面的支撑层24可以使发声单元2的各个膜层仍然保持水平设置，进而使出声方向仍然向上。支撑层24上表面与第一衬底层11上表面之间的夹角根据曲面部的倾斜角度设置，曲面部倾斜角越大，支撑层24夹角越大。

支撑层24的材料可以是感光树脂材料，通过灰阶掩膜板曝光出不同厚度；也可以采用其他材料通过光刻工艺制备出不同厚度。

参考图6，为本实施方式的另一种补偿方式，该图示出了图4中曲面部在X-X’向的另一种截面结构示意图，图中箭头所指曲线表示曲面部相对于平面部而言为倾斜状态，因此截面图也呈倾斜状态。在该结构中，第二衬底层12上表面设置有凹槽123，凹槽123底面与第一衬底层11上表面具有一夹角，也就是说，介质层上开设了一底面倾斜的凹槽123，发声单元2位于该凹槽123内，因此其第一电极层21、压电材料层23和第二电极层22相对于第一衬底层11均为倾斜状态。由于显示面板的曲面部相对于平面部而言为倾斜状态，利用底面为斜面的凹槽123结构可以使发声单元2的各个膜层仍然保持水平设置，进而使出声方向仍然向上。同理，凹槽123底面与第一衬底层11表面之间的夹角根据曲面部的倾斜角度设置，曲面部倾斜角越大，该夹角越大。

应当理解的是，上述显示面板曲面部的倾斜方向和角度仅为示意性说明，各发声单元与衬底之间的夹角根据面板倾斜角度变化而具有变化，只要使各发声单元总体保持水平设置即可。

由于该结构下第二衬底层12和第二电极层22的上表面不再平齐，为了不影响上方膜层，本实施方式的衬底基板1还包括平坦层13，平坦层13设于第二衬底层12和驱动电路层3之间，且覆盖在发声单元2上，使第二衬底层12及发声单元2的上表面平坦化。平坦层13的材料可以是含硅材料，也可以是光刻胶等。需要说明的是，在该结构中，第二衬底层12的过孔还需要贯穿平坦化层，以实现与上方的引线连接。

本实施方式不限制该柔性显示面板的具体应用，其可以用于手机、电视、电脑、广告牌、灯箱、电子书、导航仪等多种设备中。

本申请实施方式还提供一种柔性显示面板的制备方法，该显示面板可以是一整面的柔性面板，也可以是具有开孔区1a的拉伸性或弯折性更高的柔性面板。参考图7，该方法包括以下步骤：

S100，提供第一衬底层11；

S200，第一衬底层11上形成第二衬底层12和发声器件，发声器件包括依次形成第一电极层21、覆盖第一电极层21的压电材料层23、覆盖压电材料层23的第二电极层22，且发声器件位于第二衬底层12内；

S300，在第二衬底层12上形成驱动电路层3；

S400，在驱动电路层3上形成发光器件4。

步骤S300中，第一电极层21和第二电极层22的形成可以采用真空溅射、磁控溅射等工艺。对于压电陶瓷类压电材料，可以采用化学气相沉积法制备。步骤S400和S500中驱动电路层3和发光器件4采用常规方法形成，此处不再赘述。

在一种实施方式中，为了形成如图5所示的面板结构，步骤S200具体可以包括：

S210，在第一衬底层11上形成支撑层24，且使支撑层24远离第一衬底层11的表面与第一衬底层11表面具有一夹角。支撑层24形成时可以采用灰度掩模板(Gray ToneMask)，利用灰度曝光实现厚度逐渐变化的膜层制作。

S220，在支撑层24上依次形成第一电极层21、覆盖第一电极层21的压电材料层23和覆盖压电材料层23的第二电极层22，使第一电极层21、压电材料层23和第二电极层22相对于第一衬底层11均倾斜设置。

S230，在第一衬底层11上形成第二衬底层12，第二衬底层12所采用的材料为有机树脂材料，可以通过旋涂等涂覆工艺形成，其在涂覆过程中会覆盖在发声器件上且表面可自动平坦化。

在另一种实施方式中，为了制备如图6所示的面板结构，步骤S200具体可以包括：

S210，先在第一衬底层11上通过旋涂等涂覆工艺形成第二衬底层12。

S220，然后在第二衬底层12上开设凹槽123，使凹槽123底面与第一衬底层11表面具有一夹角。由于第二衬底层12所采用的材料可以为柔性感光树脂材料，因此倾斜的凹槽123可通过灰度掩模板进行曝光显影得到，当然也可以采用其他的方法实现。

S230，在凹槽123内依次形成第一电极层21、覆盖第一电极层21的压电材料层23和覆盖压电材料层23的第二电极层22，使第一电极层21、压电材料层23和第二电极层22相对于第一衬底层11均倾斜设置。

S240，在第二衬底层12上形成平坦层13，且使平坦层13覆盖发声器件。平坦层13可以采用化学气相沉积等方法制备。

除此之外，本实施方式的柔性显示面板的制备方法还可以包括在第一衬底层11和第二衬底层12上开设开孔区1a形成像素岛1b和桥1c结构、在第二衬底层12(以及平坦化层)上开设过孔等步骤，上述结构均可以采用本领域的常规手段进行，此处不再一一赘述。

虽然本说明书中使用相对性的用语，例如“上”“下”来描述图标的一个组件对于另一组件的相对关系，但是这些术语用于本说明书中仅出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。能理解的是，如果将图标的装置翻转使其上下颠倒，则所叙述在“上”的组件将会成为在“下”的组件。当某结构在其它结构“上”时，有可能是指某结构一体形成于其它结构上，或指某结构“直接”设置在其它结构上，或指某结构通过另一结构“间接”设置在其它结构上。

用语“一个”、“一”、“该”、“所述”和“至少一个”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本申请的其它实施方案。本申请旨在涵盖本申请的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本申请的一般性原理并包括本申请未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本申请的真正范围和精神由所附的权利要求指出。

Claims (10)

1.一种柔性显示面板，其特征在于，包括：

衬底基板，包括依次层叠设置的第一衬底层和第二衬底层；

发声单元，设于所述第二衬底层内，所述发声单元包括第一电极层、与所述第一电极层相对设置的第二电极层，以及设于所述第一电极层和第二电极层之间的压电材料层；

驱动电路层，设于所述第二衬底层远离所述第一衬底层的一侧；

发光器件，设于所述驱动电路层远离所述衬底基板的一侧；

所述柔性显示面板具有曲面部，所述发声单元设于所述曲面部，所述曲面部设有补偿结构，所述补偿结构用于调整所述发声单元的出声方向。

2.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板包括开孔区和非开孔区，所述非开孔区包括多个像素岛和连接所述多个像素岛的桥，所述发声单元位于所述像素岛内。

3.根据权利要求2所述的柔性显示面板，其特征在于，所述发声单元的数量为多个，且各所述发声单元分别设于不同的所述像素岛内。

4.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述发声单元还包括：

支撑层，所述支撑层设于所述第一衬底层和所述第一电极层之间，且所述支撑层远离所述第一衬底层的表面与所述第一衬底层表面具有夹角，以使所述第一电极层、压电材料层和第二电极层相对于所述第一衬底层均倾斜设置。

5.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述第二衬底层设置有凹槽，所述凹槽底面与所述第一衬底层表面具有一夹角，所述发声单元位于所述凹槽内；所述衬底基板还包括：

平坦层，设于所述第二衬底层和驱动电路层之间，且覆盖所述发声单元。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的柔性显示面板，其特征在于，所述压电材料层的材料为锆钛酸铅或石英。

7.根据权利要求1-5中任一项所述的柔性显示面板，其特征在于，所述第二衬底层还包括：

第一过孔，连接所述第一电极层，用于向所述第一电极层提供电信号；

第二过孔，连接所述第二电极层，用于向所述第二电极层提供电信号。

8.一种柔性显示面板的制备方法，其特征在于，所述柔性显示面板具有曲面部，所述方法包括：

提供第一衬底层；

在所述第一衬底层上形成第二衬底层和发声器件，所述发声器件包括依次层叠设置的第一电极层、覆盖所述第一电极层的压电材料层和覆盖所述压电材料层的第二电极层，所述发声器件位于所述第二衬底层内对应所述曲面部的位置，且所述第一电极层、所述压电材料和所述第二电极层相对于所述第一衬底层均倾斜设置；

在所述第二衬底层上形成驱动电路层；

在所述驱动电路层上形成发光器件。

9.根据权利要求8所述的柔性显示面板的制备方法，其特征在于，形成所述第二衬底层和所述发声器件，包括：

在所述第一衬底层上形成支撑层，且使所述支撑层远离所述第一衬底层的表面与所述第一衬底层表面具有一夹角；

在所述支撑层上依次形成第一电极层、覆盖所述第一电极层的压电材料层和覆盖所述压电材料层的第二电极层，使所述第一电极层、压电材料层和第二电极层相对于所述第一衬底层均倾斜设置；

在所述第一衬底层上形成第二衬底层，且使所述第二衬底层覆盖所述发声器件。

10.根据权利要求8所述的柔性显示面板的制备方法，其特征在于，形成所述第二衬底层和所述发声器件，包括：

在所述第一衬底层上形成第二衬底层；

在所述第二衬底层上开设凹槽，使所述凹槽底面与所述第一衬底层表面具有一夹角；

在所述凹槽内依次形成第一电极层、覆盖所述第一电极层的压电材料层和覆盖所述压电材料层的第二电极层，使所述第一电极层、压电材料层和第二电极层相对于所述第一衬底层均倾斜设置；

在所述第二衬底层上形成平坦层，且使所述平坦层覆盖所述发声器件。

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