CN108989959B - 驻极体麦克风及其制造方法、显示装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种驻极体麦克风及其制造方法、显示装置，属于薄膜技术领域。驻极体麦克风包括：相对设置的第一衬底基板和第二衬底基板，第一衬底基板朝向第二衬底基板的一侧依次设置有第一支撑薄膜和驻极体薄膜，且驻极体薄膜与第一衬底基板之间形成第一空腔；第二衬底基板朝向第一衬底基板的一侧设置有背电极薄膜、开关晶体管以及绝缘的第二支撑薄膜，且背电极薄膜与开关晶体管中的栅极连接，驻极体薄膜与背电极薄膜之间形成第二空腔。本申请解决了相关技术中的驻极体麦克风无法适用于轻薄型的显示装置的问题，且提供了一种能够适用于轻薄型显示装置的驻极体麦克风，本申请用于驻极体麦克风。

Description

驻极体麦克风及其制造方法、显示装置

技术领域

本申请涉及薄膜技术领域，特别涉及一种驻极体麦克风及其制造方法、显示装置。

背景技术

驻极体麦克风是一种常用在显示装置中的麦克风，驻极体麦克风能够将声波转换为电信号，驻极体麦克风通常包括：金属外壳，以及在金属外壳内依次排布的金属垫、驻极体结构、塑料支架、金属背电极和场效应晶体管。

其中，驻极体分别与金属背电极和金属外壳之间形成空腔，金属背电极与场效应晶体管的栅极连接，场效应晶体管的源极和漏极的引脚均伸出金属外壳之外。需要说明的是，驻极体能够在电场的作用下聚集电荷，且在电场消失时，驻极体上的电荷不会消失。当声波传入驻极体麦克风内时，驻极体会在声波的作用下发生振动，且在其振动过程中驻极体上的电荷会在金属背电极上产生相应的感应电荷，从而使场效应晶体管的栅极在感应电荷的作用下形成相应的电压，使场效应晶体管的源极和漏极导通或关断。因此，根据场效应晶体管的源极和漏极的导通状况，就可以生成与声波相关的电信号。

但是，相关技术驻极体麦克风由多种结构组装而成，使得驻极体麦克风的体积较大，因此相关技术中的驻极体麦克风无法适用于轻薄型的显示装置。

发明内容

本申请提供了一种驻极体麦克风及其制造方法、显示装置，可以解决相关技术中的驻极体麦克风无法适用于轻薄型的显示装置的问题，所述技术方案如下：

一方面，提供了一种驻极体麦克风，所述驻极体麦克风包括：相对设置的第一衬底基板和第二衬底基板，

所述第一衬底基板朝向所述第二衬底基板的一侧依次设置有第一支撑薄膜和驻极体薄膜，且所述驻极体薄膜在所述第一支撑薄膜的支撑作用下，与所述第一衬底基板之间形成第一空腔；

所述第二衬底基板朝向所述第一衬底基板的一侧设置有背电极薄膜、开关晶体管以及绝缘的第二支撑薄膜，且所述背电极薄膜与所述开关晶体管中的栅极连接，所述驻极体薄膜在所述第二支撑薄膜的支撑作用下，与所述背电极薄膜之间形成第二空腔。

可选的，所述第一支撑薄膜呈环形，

所述第一支撑薄膜所包围的开口区域在所述第一衬底基板上的正投影位于所述背电极薄膜在所述第一衬底基板上的正投影内，且与所述驻极体薄膜在所述第一衬底基板上的正投影存在重叠。

可选的，所述驻极体薄膜呈条状，且在所述驻极体薄膜的宽度方向上，所述驻极体薄膜的宽度小于所述开口区域的宽度。

可选的，所述第二支撑薄膜在所述第一衬底基板上的正投影位于所述第一支撑薄膜在所述第一衬底基板上的正投影内。

可选的，所述驻极体薄膜在所述第一衬底基板上的正投影与所述开关晶体管在所述第一衬底基板上的正投影不重叠。

可选的，所述第一支撑薄膜的材质为金属。

可选的，所述第一衬底基板和所述第二衬底基板均为柔性基板。

可选的，所述驻极体麦克风在垂直于所述第一衬底基板的方向上的厚度小于10微米。

可选的，所述开关晶体管为场效应晶体管，所述场效应晶体管包括：与所述背电极薄膜同层设置的源极、漏极和栅极，以及设置在所述源极、所述漏极和所述栅极上的有源层。

另一方面，提供了一种显示装置，所述显示装置包括：上述驻极体麦克风。

可选的，所述驻极体麦克风中的第一衬底基板和第二衬底基板之间未设置有第一支撑薄膜、驻极体薄膜、背电极薄膜、开关晶体管以及第二支撑薄膜的区域内，设置有阵列排布的多个像素单元。

可选的，所述显示装置还包括：叠加在所述驻极体麦克风中的第二衬底基板远离第一衬底基板一侧的显示面板，

所述显示面板包括阵列排布的多个像素单元，所述驻极体麦克风中的第一支撑薄膜、驻极体薄膜、背电极薄膜、开关晶体管以及第二支撑薄膜在所述显示面板上的正投影位于每个所述像素单元外。

可选的，所述第一衬底基板中设置有连通所述第一空腔的通孔。

又一方面，提供了一种驻极体麦克风的制造方法，用于制造上述驻极体麦克风，所述方法包括：

在第一衬底基板上形成第一支撑薄膜和驻极体薄膜，所述第一支撑薄膜和所述驻极体薄膜沿远离所述第一衬底基板的方向依次设置，且所述驻极体薄膜在所述第一支撑薄膜的支撑作用下，与所述第一衬底基板之间形成第一空腔；

在第二衬底基板上形成背电极薄膜和开关晶体管，且所述背电极薄膜与所述开关晶体管中的栅极连接；

在所述第二衬底基板上形成绝缘的第二支撑薄膜；

将所述第一衬底基板和所述第二衬底基板相对设置，以使得所述驻极体薄膜位于所述第一支撑薄膜和所述第二支撑薄膜之间，且所述驻极体薄膜在所述第二支撑薄膜的支撑作用下，与所述背电极薄膜之间形成第二空腔。

可选的，所述在第一衬底基板上形成第一支撑薄膜和驻极体薄膜，包括：

在所述第一衬底基板上依次形成第一支撑材质层和驻极体材质层；

对所述驻极体材质层进行图案化处理，以得到所述驻极体薄膜；

对所述第一支撑材质层进行图案化处理，以得到所述第一支撑薄膜。

可选的，所述在第二衬底基板上形成第一支撑薄膜和驻极体薄膜，包括：

在所述第一衬底基板上形成第一支撑材质层；

对所述第一支撑材质层进行图案化处理，以得到所述第一支撑薄膜；

采用转印法在所述第一支撑薄膜上形成所述驻极体薄膜。

由于本申请提供的驻极体麦克风包括第一衬底基板和第二衬底基板，以及设置在这两个衬底基板上的多个薄膜，且通常薄膜的厚度较小，因此，本发明实施例提供的驻极体麦克风的厚度较小，该驻极体麦克风能够适用于轻薄型的显示装置。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种驻极体麦克风的截面示意图；

图2为本发明实施例提供的一种驻极体麦克风的俯视图；

图3为本发明实施例提供的一种驻极体麦克风中第一衬底基板和第二衬底基板之间的区域划分示意图；

图4为本发明实施例提供的第一种显示装置的结构示意图；

图5为本发明实施例提供的第二种驻极体麦克风的制造方法的流程图

图6为本发明实施例提供的第三种驻极体麦克风的制造过程示意图；

图7为本发明实施例提供的第四种驻极体麦克风的制造过程示意图；

图8为本发明实施例提供的第五种驻极体麦克风的制造过程示意图；

图9为本发明实施例提供的第六种驻极体麦克风的制造过程示意图；

图10为本发明实施例提供的第七种驻极体麦克风的制造过程示意图；

图11为本发明实施例提供的第八种驻极体麦克风的制造过程示意图；

图12为本发明实施例提供的第九种驻极体麦克风的制造过程示意图；

图13为本发明实施例提供的第十种驻极体麦克风的制造过程示意图。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本申请实施方式作进一步地详细描述。

相关技术驻极体麦克风由多种结构组装而成，使得驻极体麦克风的体积较大，因此相关技术中的驻极体麦克风无法适用于轻薄型的显示装置。本发明实施例提供了一种能够适用于轻薄型显示装置的驻极体麦克风。

图1为本发明实施例提供的一种驻极体麦克风的截面示意图，图2为本发明实施例提供的一种驻极体麦克风的俯视图，且图1示出了图2中截面WW的示意图，图2中未示出驻极体麦克风中的衬底基板。请结合图1和图2，该驻极体麦克风0可以包括：相对设置的第一衬底基板01和第二衬底基板02。

第一衬底基板01朝向第二衬底基板02的一侧依次设置有第一支撑薄膜03和驻极体薄膜04，且驻极体薄膜04在第一支撑薄膜03的支撑作用下，与第一衬底基板01之间形成第一空腔A1；

第二衬底基板02朝向第一衬底基板01的一侧设置有背电极薄膜05、开关晶体管06和绝缘的第二支撑薄膜07，且背电极薄膜05与开关晶体管06中的栅极G连接，驻极体薄膜04在第二支撑薄膜07的支撑作用下，与背电极薄膜05之间形成第二空腔A2。

需要说明的是，当声波传入驻极体麦克风内时，驻极体薄膜04会在声波的作用下在第一空腔A1和第二空腔A2内振动，且在其振动过程中驻极体薄膜04上的电荷会在背电极薄膜05上产生相应的感应电荷，从而使开关晶体管06的栅极在感应电荷的作用下形成相应的电压，使开关晶体管06的源极和漏极导通或关断。因此，根据开关晶体管的源极和漏极的导通状况，就可以生成与声波相关的电信号，从而实现麦克风的功能。

综上所述，由于本发明实施例提供的驻极体麦克风包括第一衬底基板和第二衬底基板，以及设置在这两个衬底基板上的多个薄膜，且通常薄膜的厚度较小，因此，本发明实施例提供的驻极体麦克风的厚度较小，该驻极体麦克风能够适用于轻薄型的显示装置。

可选的，驻极体薄膜04的材质可以包括：蜡、树脂、松香、磁化物、陶瓷、有机玻璃及高分子聚合物中的至少一种。

可选的，驻极体麦克风在垂直于第一衬底基板01的方向X1上的厚度B可以小于10微米，也即该驻极体麦克风的厚度可以达到微米级。

需要说明的是，本发明实施例中以第二支撑薄膜07设置在第二衬底基板02上的背电极薄膜05上为例，可选的，第二支撑薄膜07也可以直接设置在第二衬底基板02上，并与该背电极薄膜05位于同层，本发明实施例对此不作限定。

可选的，请结合图1和图2，该第一支撑薄膜03可以呈环形。示例的，第一支撑薄膜03所包围的开口区域在第一衬底基板01上的正投影位于背电极薄膜05在第一衬底基板01上的正投影内；第一支撑薄膜03所包围的开口区域在第一衬底基板01上的正投影与驻极体薄膜04在第一衬底基板01上的正投影存在重叠。可选的，第二支撑薄膜07在第一衬底基板01上的正投影位于第一支撑薄膜03在第一衬底基板01上的正投影内。

可选的，为了防止在驻极体薄膜04振动过程中，开关晶体管06上产生感应电荷，可以设置驻极体薄膜04在第一衬底基板01上的正投影与开关晶体管06在第一衬底基板01上的正投影不重叠，从而避免了驻极体薄膜04的振动对开关晶体管06的影响。

可选的，由于金属具有较好的散热效果，以及较强的硬度，因此，可以将该第一支撑薄膜03的材质设置为金属，从而能够提升驻极体麦克风的散热效果和稳固效果。

可选的，驻极体薄膜04可以呈条状，且在驻极体薄膜04的宽度方向X2上，驻极体薄膜04的宽度C1小于该第一支撑薄膜03所包围的开口区域的宽度C2。这样一来，在声波传入驻极体麦克风内后，驻极体薄膜04就能够更加自由的振动。

可选的，第二支撑薄膜07可以包括两个支撑条071，驻极体薄膜04的两端可以分别搭接在两个支撑条071上。可选的，第二支撑薄膜07还可以不包括两个支撑条071，而是包括多个支撑块(图1和图2中未示出这种情况)，驻极体薄膜04可以搭接在这些支撑块上。

可选的，第二支撑薄膜07的材质可以有机物，如第二支撑薄膜07的材质可以与显示面板中的支撑柱(也称PS)的材质相同。

可选的，第一衬底基板01和第二衬底基板02均可以为柔性基板，此时，假设第一衬底基板01中朝向第二衬底基板02表面为第一衬底基板01的承载面，若驻极体麦克风中的其他结构在第一衬底基板01的承载面上的正投影远小于该承载面，则该驻极体麦克风为可弯曲的柔性麦克风。其中，该其他结构为驻极体麦克风中除第一衬底基板01和第二衬底基板02之外的结构。

可选的，开关晶体管06可以为场效应晶体管，场效应晶体管可以包括：与背电极薄膜05同层设置的源极S、漏极D和栅极G，以及设置在源极S、漏极D和栅极G上的有源层Y。可选的，有源层Y还可以设置在源极S、漏极S和栅极G下，开关晶体管06还可以为其他具有开关作用的晶体管，如薄膜晶体管(英文：Thin Film Transistor；简称：TFT)，本发明实施例对此不做限定。

可选的，为了提高驻极体麦克风感知声波的效果，该驻极体麦克风中的第一衬底基板01中还可以设置有连通第一空腔A1的通孔(图1和图2中均未示出)，从而便于声波从该通孔传入驻极体麦克风内。

综上所述，由于本发明实施例提供的驻极体麦克风包括第一衬底基板和第二衬底基板，以及设置在这两个衬底基板上的多个薄膜，且通常薄膜的厚度较小，因此，本发明实施例提供的驻极体麦克风的厚度较小，该驻极体麦克风能够适用于轻薄型的显示装置。

本发明实施例提供了一种显示装置，该显示装置可以包括：图1和图2所示的驻极体麦克风。

需要说明的是，该显示装置还可以包括显示面板，驻极体麦克风可以集成在显示面板内，也可以设置在显示面板外，本发明实施例对此不作限定。以下将分别对驻极体麦克风的这两种设置方式进行说明。

一方面，驻极体麦克风可以集成在显示面板内。

示例的，图3为本发明实施例提供的一种驻极体麦克风中第一衬底基板和第二衬底基板之间的区域划分示意图。如图3所示，该第一衬底基板和第二衬底基板可以复用为显示面板的两个衬底基板，且第一衬底基板和第二衬底基板之间的区域可以划分为多个像素区域D1，每个像素区域D1内可以设置有一个像素单元。可选的，每个像素单元可以发出一种颜色的光。

第一衬底基板和第二衬底基板之间未设置有像素单元的区域D2(如多个像素区域D1之间的区域，或多个像素区域D1所在的有效显示区域之外的非有效显示区域)内，可以设置有驻极体麦克风中的第一支撑薄膜、驻极体薄膜、背电极薄膜、开关晶体管以及第二支撑薄膜。

另一方面，驻极体麦克风可以设置在显示面板外。

示例的，图4为本发明实施例提供的一种显示装置的结构示意图，如图4所示，在显示装置1中，显示面板2可以叠加在驻极体麦克风0中的第二衬底基板02远离第一衬底基板01的一侧。

显示面板2可以包括相对设置的两个衬底基板21，以及设置在这两个衬底基板21之间且阵列排布的多个像素单元22(图4中仅示出了一个像素单元22)。驻极体麦克风0中的第一支撑薄膜03、驻极体薄膜04、背电极薄膜05、开关晶体管06以及第二支撑薄膜07在显示面板2上的正投影位于每个像素单元22外。

综上所述，由于本发明实施例提供的显示装置中，驻极体麦克风包括第一衬底基板和第二衬底基板，以及设置在这两个衬底基板上的多个薄膜，且通常薄膜的厚度较小，因此，本发明实施例提供的驻极体麦克风的厚度较小，该驻极体麦克风能够适用于轻薄型的显示装置，显示装置的厚度较小。

图5为本发明实施例提供的一种驻极体麦克风的制造方法的流程图，该方法可以用于制造图1和图2所示的驻极体麦克风，如图5所示，该制造方法可以包括：

步骤501、在第一衬底基板上形成第一支撑薄膜和驻极体薄膜，其中，第一支撑薄膜和驻极体薄膜沿远离第一衬底基板的方向依次设置，且驻极体薄膜在第一支撑薄膜的支撑作用下，与第一衬底基板之间形成第一空腔。

可选的，步骤501可以有多种可实现方式，以下将对其中的两种可实现方式进行说明。

在步骤501的第一种可实现方式中，如图6所示，可以首先在第一衬底基板01上依次形成第一支撑材质层61和驻极体材质层62，如采用涂覆、磁控溅射、热蒸发或者等离子体增强化学气相沉积法(英文：Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition；简称：PECVD)等方法形成该第一支撑材质层61和驻极体材质层62。之后，可以对图6中的驻极体材质层62进行图案化处理，以得到图7和图2中的驻极体薄膜04，以及对第一支撑材质层61进行图案化处理，以得到图7和图2中的第一支撑薄膜03。

在步骤501的第二种可实现方式中，如图8所示，可以首先在第一衬底基板01上形成第一支撑材质层61。然后，可以对图8中的第一支撑材质层61进行图案化处理，以得到图9中的第一支撑薄膜03。最后，可以采用转印法在第一支撑薄膜03上形成如图8所示的驻极体薄膜04。

其中，对每种材质层进行图案化处理的过程可以包括：在材质层上涂覆一层光刻胶，然后采用掩膜版对光刻胶进行曝光，使光刻胶形成完全曝光区和非曝光区，之后采用显影工艺进行处理，使完全曝光区的光刻胶被去除，非曝光区的光刻胶保留，之后对完全曝光区在材质层上的对应区域进行刻蚀，刻蚀完毕后剥离非曝光区的光刻胶即可。

步骤502、在第二衬底基板上形成背电极薄膜和开关晶体管，且背电极薄膜与开关晶体管中的栅极连接。

可选的，开关晶体管可以为场效应晶体管，在步骤502中，如图10所示，可以首先在第二衬底基板上形成导电材质层63，该导电材质层63可以为金属材质层。之后，可以对图10中的导电材质层63进行图案化处理，以得到图11中的背电极薄膜05，以及场效应晶体管中的源极S、漏极D和栅极G，且栅极G与背电极薄膜05连接。最后，如图12所示，可以在源极S、漏极D和栅极G上形成场效应晶体管中的有源层Y。

步骤503、在第二衬底基板上形成绝缘的第二支撑薄膜。

示例的，第二支撑薄膜可以设置在第二衬底基板上的背电极薄膜上。如图13所示，可以在背电极薄膜05上采用转印、直接旋涂、刮涂、蒸镀或图案化等方式，在背电极薄膜上形成第二支撑薄膜07。

可选的，第二支撑薄膜也可以直接形成在第二衬底基板上，本发明实施例对此不作限定。

步骤504、将第一衬底基板和第二衬底基板相对设置，以使得驻极体薄膜位于第一支撑薄膜和第二支撑薄膜之间，且驻极体薄膜在第二支撑薄膜的支撑作用下，与背电极薄膜之间形成第二空腔。

综上所述，由于本发明实施例提供的方法所制造的驻极体麦克风包括第一衬底基板和第二衬底基板，以及设置在这两个衬底基板上的多个薄膜，且通常薄膜的厚度较小，因此，本发明实施例提供的驻极体麦克风的厚度较小，该驻极体麦克风能够适用于轻薄型的显示装置，显示装置的厚度较小。

以上所述仅为本申请的可选实施例，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (15)

1.一种驻极体麦克风，其特征在于，所述驻极体麦克风包括：相对设置的第一衬底基板和第二衬底基板，

所述第一衬底基板朝向所述第二衬底基板的一侧依次设置有第一支撑薄膜和驻极体薄膜，且所述驻极体薄膜在所述第一支撑薄膜的支撑作用下，与所述第一衬底基板之间形成第一空腔；

所述第二衬底基板朝向所述第一衬底基板的一侧设置有背电极薄膜、开关晶体管以及绝缘的第二支撑薄膜，且所述背电极薄膜与所述开关晶体管中的栅极连接，所述驻极体薄膜在所述第二支撑薄膜的支撑作用下，与所述背电极薄膜之间形成第二空腔；

所述第二支撑薄膜与所述背电极薄膜同层。

2.根据权利要求1所述的驻极体麦克风，其特征在于，所述第一支撑薄膜呈环形，

所述第一支撑薄膜所包围的开口区域在所述第一衬底基板上的正投影位于所述背电极薄膜在所述第一衬底基板上的正投影内，且与所述驻极体薄膜在所述第一衬底基板上的正投影存在重叠。

3.根据权利要求2所述的驻极体麦克风，其特征在于，所述驻极体薄膜呈条状，且在所述驻极体薄膜的宽度方向上，所述驻极体薄膜的宽度小于所述开口区域的宽度。

4.根据权利要求3所述的驻极体麦克风，其特征在于，所述第二支撑薄膜在所述第一衬底基板上的正投影位于所述第一支撑薄膜在所述第一衬底基板上的正投影内。

5.根据权利要求1所述的驻极体麦克风，其特征在于，所述驻极体薄膜在所述第一衬底基板上的正投影与所述开关晶体管在所述第一衬底基板上的正投影不重叠。

6.根据权利要求1至5任一所述的驻极体麦克风，其特征在于，所述第一衬底基板和所述第二衬底基板均为柔性基板。

7.根据权利要求1至5任一所述的驻极体麦克风，其特征在于，所述驻极体麦克风在垂直于所述第一衬底基板的方向上的厚度小于10微米。

8.根据权利要求1至5任一所述的驻极体麦克风，其特征在于，所述开关晶体管为场效应晶体管，所述场效应晶体管包括：与所述背电极薄膜同层设置的源极、漏极和栅极，以及设置在所述源极、所述漏极和所述栅极上的有源层。

9.根据权利要求1至5任一所述的驻极体麦克风，其特征在于，所述第一衬底基板中设置有连通所述第一空腔的通孔。

10.一种显示装置，其特征在于，所述显示装置包括：权利要求1至9任一所述的驻极体麦克风。

11.根据权利要求10所述的显示装置，其特征在于，

所述驻极体麦克风中的第一衬底基板和第二衬底基板之间未设置有第一支撑薄膜、驻极体薄膜、背电极薄膜、开关晶体管以及第二支撑薄膜的区域内，设置有阵列排布的多个像素单元。

12.根据权利要求10所述的显示装置，其特征在于，所述显示装置还包括：叠加在所述驻极体麦克风中的第二衬底基板远离第一衬底基板一侧的显示面板，

所述显示面板包括阵列排布的多个像素单元，所述驻极体麦克风中的第一支撑薄膜、驻极体薄膜、背电极薄膜、开关晶体管以及第二支撑薄膜在所述显示面板上的正投影位于每个所述像素单元外。

13.一种驻极体麦克风的制造方法，其特征在于，用于制造权利要求1至9任一所述的驻极体麦克风，所述方法包括：

在第一衬底基板上形成第一支撑薄膜和驻极体薄膜，所述第一支撑薄膜和所述驻极体薄膜沿远离所述第一衬底基板的方向依次设置，且所述驻极体薄膜在所述第一支撑薄膜的支撑作用下，与所述第一衬底基板之间形成第一空腔；

在第二衬底基板上形成背电极薄膜和开关晶体管，且所述背电极薄膜与所述开关晶体管中的栅极连接；

在所述第二衬底基板上形成绝缘的第二支撑薄膜；

将所述第一衬底基板和所述第二衬底基板相对设置，以使得所述驻极体薄膜位于所述第一支撑薄膜和所述第二支撑薄膜之间，且所述驻极体薄膜在所述第二支撑薄膜的支撑作用下，与所述背电极薄膜之间形成第二空腔，所述第二支撑薄膜与所述背电极薄膜同层。

14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述在第一衬底基板上形成第一支撑薄膜和驻极体薄膜，包括：

在所述第一衬底基板上依次形成第一支撑材质层和驻极体材质层；

对所述驻极体材质层进行图案化处理，以得到所述驻极体薄膜；

对所述第一支撑材质层进行图案化处理，以得到所述第一支撑薄膜。

15.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述在第二衬底基板上形成第一支撑薄膜和驻极体薄膜，包括：

在所述第一衬底基板上形成第一支撑材质层；

对所述第一支撑材质层进行图案化处理，以得到所述第一支撑薄膜；

采用转印法在所述第一支撑薄膜上形成所述驻极体薄膜。

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