JP2019523969A - エネルギー効率の良い通信及びディスプレイデバイス - Google Patents

エネルギー効率の良い通信及びディスプレイデバイス Download PDF

Info

Publication number
JP2019523969A
JP2019523969A JP2018563178A JP2018563178A JP2019523969A JP 2019523969 A JP2019523969 A JP 2019523969A JP 2018563178 A JP2018563178 A JP 2018563178A JP 2018563178 A JP2018563178 A JP 2018563178A JP 2019523969 A JP2019523969 A JP 2019523969A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
electrode
chamber
liquid crystal
backlight module
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
JP2018563178A
Other languages
English (en)
Inventor
マイケル ピー. スチュワート,
マイケル ピー. スチュワート,
ハン−チン チャオ,
ハン−チン チャオ,
ダニエル ポール フォスター,
ダニエル ポール フォスター,
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Applied Materials Inc
Original Assignee
Applied Materials Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Applied Materials Inc filed Critical Applied Materials Inc
Publication of JP2019523969A publication Critical patent/JP2019523969A/ja
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21LIGHTING
    • F21VFUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21V14/00Controlling the distribution of the light emitted by adjustment of elements
    • F21V14/003Controlling the distribution of the light emitted by adjustment of elements by interposition of elements with electrically controlled variable light transmissivity, e.g. liquid crystal elements or electrochromic devices
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21LIGHTING
    • F21VFUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21V9/00Elements for modifying spectral properties, polarisation or intensity of the light emitted, e.g. filters
    • F21V9/14Elements for modifying spectral properties, polarisation or intensity of the light emitted, e.g. filters for producing polarised light
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/0001Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
    • G02B6/0011Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being planar or of plate-like form
    • G02B6/0033Means for improving the coupling-out of light from the light guide
    • G02B6/005Means for improving the coupling-out of light from the light guide provided by one optical element, or plurality thereof, placed on the light output side of the light guide
    • G02B6/0051Diffusing sheet or layer
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/0001Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
    • G02B6/0011Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being planar or of plate-like form
    • G02B6/0033Means for improving the coupling-out of light from the light guide
    • G02B6/005Means for improving the coupling-out of light from the light guide provided by one optical element, or plurality thereof, placed on the light output side of the light guide
    • G02B6/0053Prismatic sheet or layer; Brightness enhancement element, sheet or layer
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/0001Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
    • G02B6/0011Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being planar or of plate-like form
    • G02B6/0033Means for improving the coupling-out of light from the light guide
    • G02B6/0056Means for improving the coupling-out of light from the light guide for producing polarisation effects, e.g. by a surface with polarizing properties or by an additional polarizing elements
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/0001Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
    • G02B6/0011Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being planar or of plate-like form
    • G02B6/0065Manufacturing aspects; Material aspects
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/1336Illuminating devices
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1343Electrodes
    • G02F1/13439Electrodes characterised by their electrical, optical, physical properties; materials therefor; method of making
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/137Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells characterised by the electro-optical or magneto-optical effect, e.g. field-induced phase transition, orientation effect, guest-host interaction or dynamic scattering
    • G02F1/13781Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells characterised by the electro-optical or magneto-optical effect, e.g. field-induced phase transition, orientation effect, guest-host interaction or dynamic scattering using smectic liquid crystals
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/1336Illuminating devices
    • G02F1/133626Illuminating devices providing two modes of illumination, e.g. day-night
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/137Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells characterised by the electro-optical or magneto-optical effect, e.g. field-induced phase transition, orientation effect, guest-host interaction or dynamic scattering
    • G02F1/13756Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells characterised by the electro-optical or magneto-optical effect, e.g. field-induced phase transition, orientation effect, guest-host interaction or dynamic scattering the liquid crystal selectively assuming a light-scattering state

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Planar Illumination Modules (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Polarising Elements (AREA)

Abstract

適応型バックライトモジュール、並びに適応型バックライトモジュールを製作するための方法及びシステムが、本明細書に記載される。1つの例では、適応型バックライトモジュールは、光源、偏光子、光源と偏光子との間に配置された少なくとも1つの増強フィルム、及び光源と増強フィルムとの間に配置されたディフューザーを含む。ディフューザーは、第1の基板に連結された第1の電極、及び第2の基板に連結された第2の電極を含む。液晶層は、ディフューザーの第1の電極と第2の電極との間に配置される。【選択図】図6

Description

本開示の実施形態は、概して、ディスプレイのための適応型バックライトモジュール、並びにそれを製造するための方法及びシステムに関する。
ディスプレイデバイスのためのバックライトユニットは、電力消費を最大に引き出すものの1つであることが多く、モバイル電子機器ではバッテリの耐久性が制限される。多くの場合、ディスプレイスクリーンを出る光の大部分は、一人のユーザには不要であり、視線における非ユーザにより見られることに対して脆弱である。ラップトップ、モニタ、及びいくつかのモバイルデバイスのための現在の多くのプライバシーフィルタ及びフィルムは光を吸収し、それによってデバイスのエネルギー効率が低下する。加えて、これらの現在のプライバシーフィルタ及びフィルムは高価であり、それらがタッチスクリーン機能を妨害し、ディスプレイの広角視聴を可能にするために物理的に取り除かれなければならないという点で面倒である。
したがって、過剰な光の放射による電力消費を低減し、ユーザにプライバシーを提供するための技術が必要とされている。
適応型バックライトモジュール、並びに適応型バックライトモジュールを製作するための方法及びシステムが、本明細書に記載される。一実施形態では、適応型バックライトモジュールは、光源、偏光子、光源と偏光子との間に配置された少なくとも1つの増強フィルム、及び光源と増強フィルムとの間に配置されたディフューザーを含む。ディフューザーは、第1の基板に連結された第1の電極、及び第2の基板に連結された第2の電極を含む。液晶層は、ディフューザーの第1の電極と第2の電極との間に配置される。
別の実施形態では、第1の電極を第1の基板の上に形成すること、第2の電極を第2の基板の上に形成すること、少なくとも1つの増強フィルムを第1の基板の上に形成すること、及び偏光子を増強フィルムの上に形成することを含む、適応型バックライトモジュールを製作する方法が提供される。方法は、第1の基板の上の第1の電極と第2の基板の上の第2の電極との間に液晶層を形成することによって、ディフューザーを形成することを更に含む。方法はまた、ディフューザーを光源に連結することを含む。
別の実施形態では、適応型バックライトモジュールを製作する方法増するためのシステムは、第1の電極を第1の基板の上に形成し、第2の電極を第2の基板の上に形成するように構成された第1のチャンバと、第1の基板の上の第1の電極と第2の基板の上の第2の電極との間に液晶層を形成することによって、ディフューザーを形成するように構成された第2のチャンバとを含む。
本開示の上述の特徴を詳しく理解できるように、上記で簡単に要約されている本開示のより詳細な説明が、実施形態を参照することによって得られ、実施形態の一部は添付する図面に示されている。しかし、本開示は他の等しく有効な実施形態も許容しうることから、添付する図面は本開示の典型的な実施形態のみを示しており、したがって、本開示の範囲を限定すると見なすべきではないことに、留意されたい。
一実施形態による、適応型バックライトモジュールを製作するためのシステムである。 図1のシステムの一実施形態による、化学気相堆積処理チャンバの概略側断面図である。 図1のシステムの一実施形態による、物理的気相堆積処理チャンバの概略側断面図である。 図1のシステムの一実施形態による、ロールツーロールの物理的気相堆積処理チャンバの概略側断面図である。 図1のシステムの1つの実施形態による、物理的気相堆積処理チャンバの回転ターゲットアセンブリの概略側断面図である。 異なる実施形態による、適応型バックライトモジュールの概略図である。 異なる実施形態による、適応型バックライトモジュールの概略図である。 1つの実施形態による、適応型バックライトモジュールの切り替え可能なディフューザースタックの概略図である。 1つの実施形態による、適応型バックライトモジュールを形成する方法を示すフローチャートである。 1つの実施形態による、適応型バックライトモジュールの切り替え可能なディフューザーに、ディスプレイデバイス内に印加されうる交番電場の周波数レベルを示す。 一実施形態による、適応型バックライトモジュールのディフューザーに、ディスプレイデバイス内に印加されうる電場の周波数に対応する視野角を示す。
理解を容易にするため、可能な場合には、図に共通する同一の要素を示すのに同一の参照番号を使用した。一実施形態の要素及び特徴は、更なる記述がなくとも、他の実施形態に有益に組み込まれうると想定される。
本開示の実施形態は、一般に、ディスプレイのための適応型バックライトモジュール、並びに適応型バックライトモジュールを製造するための方法及びシステムを含む。
図1は、1つの実施形態による、適応型バックライトモジュールを製造するためのシステムである。システム100は、物理的気相堆積(PVD)チャンバ102、化学気相堆積(CVD)チャンバ104、エンボス加工/印刷チャンバ108、及び液晶堆積チャンバ106を含みうる。一実施形態によれば、適応型バックライトモジュール製作のために、基板はまず、以下の図3A−図3Cに関して説明するように、処理のためにPVDチャンバ102、又は以下の図2に関して説明するように、処理のためにCVDチャンバ104に進入しうる。一実施形態では、基板がまずCVDチャンバ104に入ると、基板は、次に処理のために液晶堆積チャンバ106に直接進入することになる。基板がまずPVDチャンバ102に入る場合、基板は、次にそれが処理のために液晶堆積チャンバ106に入る前に、続いて処理のためにエンボス加工/印刷チャンバ108に進入することがあり、又は代替的には、基板は、処理のためにPVDチャンバ102から液晶堆積チャンバ106に直接進入してもよい。代替実施形態では、予め形成された基板は、最初に任意の他のチャンバに進入せずに、液晶堆積チャンバに進入してもよい。基板は、次に、液晶堆積チャンバ106から取り外され、導光板、リフレクタ、及び光源に連結されて、適応型バックライトモジュールが形成されうる。代替的実施形態では、システム100は、PVDチャンバ102を含まなくてもよく、システムは、エンボス加工/印刷チャンバ108を含まなくてもよく、及び/又はシステムは、CVDチャンバ104を含まなくてもよい。
図2は、一実施形態によるCVD処理チャンバ104の概略側断面図である。プラズマ化学気相堆積(PECVD)システム、例えば、カリフォルニア州サンタクララにあるApplied Materials, Inc.,から入手可能なPECVDシステムなど、について説明する。しかしながら、他の化学気相堆積チャンバが利用できるであろうことを理解すべきである。
CVDチャンバ104は、大面積基板214上に回路を製造するためのPECVDプロセスを実行するのに適している。大面積基板214は、ガラス、ポリマー、又は他の適切な基板から作られてもよい。CVDチャンバ104は、液晶ディスプレイ(LCD)又はフラットパネルディスプレイ、太陽電池アレイ用の光起電デバイス、又は他の構造の製造に使用するための構造及びデバイスを大面積基板214上に形成するように構成される。構造は、他の構造の間で、光起電セル用のダイオードを形成するのに利用される薄膜トランジスタ及びpn接合を含みうる。
CVDチャンバ104は、チャンバ側壁230、底部232、及び基板支持体224を含む。サセプタなどの基板支持体224は、処理中に基板214を支持する。基板支持体224内に配置された抵抗加熱器などのヒータ素子226は、プラズマ源202に連結され、基板支持体224及びその上に配置された大面積基板214を所定の温度に制御可能に加熱するために利用される。CVDチャンバ104はまた、リッド構造208、バッキング板212、カバー板210、及びガス分配シャワーヘッド218を含む。ガス分配シャワーヘッド218は、基板支持体224及び大面積基板214の反対側に配置される。
CVDチャンバ104は、ガス源206とプラズマ源202とに連結されたガス入口204を有する。プラズマ源202は、直流電源、高周波(RF)電源、又は遠隔プラズマ源でありうる。ガス入口204は、ガス源206からガス分配シャワーヘッド218の下方かつ基板支持体224の上方の領域に画定された処理領域216まで処理ガス及び/又は洗浄ガスを供給する。処理領域216内に存在するガスは、プラズマを形成するために、プラズマ源202によって励起されうる。プラズマは、基板214上に材料の層を堆積するために利用される。プラズマ源202は、この実施形態では、ガス入口204に連結されて示されているが、プラズマ源202は、ガス分配シャワーヘッド218又はCVDチャンバ104の他の部分に連結されてもよい。
図3Aは、第1の実施形態による図1のPVD処理チャンバ102の概略側断面図である。図3Aに示される第1の実施形態は、PVD処理チャンバ102aである。本開示から利益を得るように適応されうるPVDチャンバ102aの一例は、カリフォルニア州サンタクララにあるApplied Materials, Inc.,から入手可能な物理的気相堆積(PVD)プロセスチャンバである。しかしながら、他の物理的気相堆積ャンバが利用できるであろうことを理解すべきである。
PVDチャンバ102aは、チャンバ本体308及びリッドアセンブリ304を含み、プロセス量336を画定する。チャンバ本体308は、典型的には、アルミニウムの単一ブロック又は溶接されたステンレス鋼板から製造される。チャンバ本体308は、一般に、側壁310と底部314とを含む。側壁310及び/又は底部314は、一般に、アクセスポート318及びポンピングポート(図示せず)などの複数の開孔を含む。ポンピングポートは、プロセス量336内の圧力を排出及び制御するポンピングデバイス(また図示せず)に連結される。ポンピング装置は、PVDチャンバ102aの圧力を特定の真空レベルに維持することができる。
リッドアセンブリ304は、一般的に、ターゲット334と、それに連結された接地シールドアセンブリ322とを含む。ターゲット334は、PVDプロセス中に基板340の表面に堆積することができる材料源を提供する。ターゲット334又はターゲット板は、堆積核種となる材料から製造されてもよく、又は堆積核種のコーティングを含んでもよい。スパッタリングを容易にするために、電源316などの高電圧電供給が、ターゲット334に接続される。
ターゲット334は、一般的に、周辺部分324及び中心部分338を含む。周辺部分324は、チャンバの側壁310の上に配置される。ターゲット334の中心部分338は、突出していてもよく、又は基板支持体328に向かう方向に延びていてもよい。基板支持体328は、一般に、チャンバ本体308の底部314に配置され、PVDチャンバ102a内での基板処理中にその上に基板340を支持する。基板支持体328は、板状の本体支持体内に埋め込まれた一又は複数の電極及び/又は加熱素子を含みうる。
基板340の上に材料を堆積するためのスパッタリングプロセスの間、ターゲット334及び基板支持体328は、電源316によって互いに対してバイアスがかけられる。不活性ガス及び他のガス、例えば、アルゴン及び窒素などのプロセスガスが、典型的にはPVDチャンバ102aの側壁310に形成された、一又は複数の開孔(図示せず)を通して、ガス源320からプロセス量336に供給される。プロセスガスがプラズマに点火され、プラズマ内のイオンがターゲット334に向かって加速され、ターゲット材料をターゲット334から除去して粒子内に移す。除去された材料又は粒子は、印加されたバイアスを通して基板340に引き寄せられ、基板340上に材料のフィルムが堆積する。
図3Bは、第2の実施形態によるPVD処理チャンバ102の概略側断面図である。図3Bに示す第2の実施形態は、インラインのロールツーロールPVD処理チャンバ102bである。しかしながら、他のインライン物理的気相堆積チャンバが利用できるであろうことを理解すべきである。
ロールツーロールPVDチャンバ102bは、フレキシブル基板344上に材料378を堆積するように構成される。ロールツーロールPVDチャンバ102bは、少なくとも1つのガス分離ユニット370によって互いから分離されうる少なくとも第1の真空処理領域366及び第2の真空処理領域368を含んでもよく、フレキシブル基板344のための通路として構成されたガス分離通路376が、それらの間に設けられる。
ロールツーロールPVDチャンバ102bは、真空チャンバ372を含む。フレキシブル基板344上に材料を堆積するために、様々な真空堆積技術を使用することができる。フレキシブル基板344は、矢印Xで示すように、真空チャンバ372内に案内される。例えば、フレキシブル基板344は、巻き出しステーションから真空チャンバ372内に案内することができる。フレキシブル基板344は、処理及び/又は堆積中にフレキシブル基板344を支持するように構成された基板支持体にローラ358によって向けられる。図3Bに示すように、特にロールツーロール堆積装置について、基板支持体は、回転軸356周囲を回転可能なコーティングドラム354とすることができる。コーティングドラム354から、フレキシブル基板344は、第2の矢印Xによって示されるように、更なるローラ360へと案内され、真空チャンバ372から出る。
図3Bに示す実施形態は、第1の真空処理領域366に設けられた第1の堆積源362と、第2の真空処理領域368に設けられた第2の堆積源364とを含む。真空処理領域366、368では、フレキシブル基板344は、処理されている間に、コーティングドラム354によって支持される。しかし、本明細書に記載の他の実施形態と組み合わせることができる更なる実施形態によれば、3つ以上の堆積源を設けることができると理解すべきである。例えば、4、5、6、又はそれ以上の堆積源を設けることができる。
フレキシブル基板344は、剥離ライナーとして構成された保護層342で覆うことができる自己接着性の第1の主要面348を有する。フレキシブル基板344は、回転可能なコーティングドラム354の支持面352上に案内されてもよく、第1の主要面348は、回転可能なコーティングドラム354の方を向いている。しかしながら、第1の主要面348は、保護層342で覆われうるため、第1の主要面348は、支持面352と直接接触しなくなる。
堆積された材料378は、第1の真空処理領域366内の第1の堆積源362を介して、かつ第2の真空処理領域368内の第2の堆積源364を介して、回転可能なコーティングドラム354から離れた方向に向けられているフレキシブル基板344の第2の主要面350上に真空堆積される。真空堆積後、第1の主要面348を覆う保護層342が除去され、多層基板346の使用準備が整いうる。
図3Cは、第3の実施形態によるPVD処理チャンバ102の回転可能なターゲットアセンブリの概略図である。しかしながら、他の回転可能なターゲットアセンブリ又はカソードが物理的気相堆積チャンバ内で利用できるであろうと理解すべきである。
図3Cは回転可能なターゲットアセンブリ382の概略図である。図3Cは、放出された粒子384の分布を矢印として示す。回転可能なターゲットアセンブリ382は、ターゲット支持体386といくつかのターゲット要素388、390を有する。ターゲットアセンブリ382及びターゲット支持体386は、回転可能である。
堆積材料の分布フィールドは、ターゲット要素388、390から放出された実質的に全ての粒子384を含むと理解することができる。矢印は、ターゲット要素388、390の放出された粒子384の方向を示す。例えば、ターゲット要素388の堆積材料の分布フィールドは、ターゲット要素388から発生する全ての粒子384を含む。いくつかの実施形態によれば、分布フィールドは、実質的に余弦関数の形状を有しうる。矢印の長さは、およそ、矢印の方向に放出された粒子384の数を示す。例えば、真っ直ぐ上向きの矢印は、規定数の放出された粒子384の方向を表し、一方、真っ直ぐな矢印の左右への矢印は、より少数の粒子384を表す。ターゲット−基板の距離392は、ターゲット要素388及び390から基板表面の平面394に達する。
いくつかの実施形態によれば、ターゲット支持体386及び堆積チャンバの基板支持体は、互いに対して移動可能に適応されうる。例えば、ターゲット支持体386及び/又は基板支持体は、基板表面の平面394とターゲット要素388、390との間の距離を調整するように適応されうる。典型的には、基板表面の平面394と回転可能ターゲットアセンブリ382のターゲット要素388、390との間の距離は、堆積プロセスにおける回転可能ターゲットアセンブリ382の使用前に、回転可能ターゲットアセンブリ382のターゲット要素388、390間の間隙396に応じて調整されうる。
図4Aは、一実施形態による適応型バックライトモジュール400Aの概略図である。適応型バックライトモジュール400Aは、リフレクタ410を有する。光源及び導光板408は、リフレクタ410の上にある。光源は、一又は複数の冷陰極蛍光ランプ(CCFL)、一又は複数の発光ダイオード(LED)、一又は複数の有機発光ダイオード(OLED)、又はディスプレイデバイスのための任意の他の適切な点源でありうる。
切り替え可能なディフューザー406は、光源及び導光板408の上にある。少なくとも1つの増強フィルム404は、切り替え可能なディフューザー406の上にある。例えば、増強フィルム404は、光再利用フィルム、又は特定のデバイスの発光パターンに対して調整された任意の他の輝度増強フィルムでありうる。偏光子402は、増強フィルム404の上にある。例えば、一実施形態では、偏光子は、ワイヤグリッド偏光子でありうる。
図4Bは、異なる実施形態による適応型バックライトモジュール400Bの概略図である。適応型バックライトモジュール400A、400Bは、ラップトップ、モニタ、又はモバイルデバイスなどのディスプレイデバイス内で利用されうる。適応型バックライトモジュール400Bは、図4Aに示す適応型バックライトモジュール400Aの実施形態の偏光子402、増強フィルム404、及び切り替え可能なディフューザー406を有する。しかしながら、適応型バックライトモジュール400Bは、適応型バックライトモジュール400Aの光源及び導光板408並びにリフレクタ410を有する代わりに、光源412を備える高効率導光体を有する。例えば、光源412を含む高効率導光体は、ポリメチルメタクリレート(PMMA)、ZEONOR(登録商標)又はポリカーボネート(PC)などの導光体材料に埋め込まれたLEDを有する単一成形部品でありうる。高効率導光体412はまた、単一の成形部品に一体化されたリフレクタを有してもよい。例えば、リフレクタは、高効率導光体412上にPVDプロセスを使用して形成されうる。
図5は、一実施形態による、適応型バックライトモジュール内の切り替え可能なディフューザースタック500の概略図を含む。切り替え可能なディフューザースタック500は、図4Aの適応型バックライトモジュール400A又は図4Bの適応型バックライトモジュール400Bの切り替え可能なディフューザー406を含みうる。切り替え可能なディフューザースタック500は、その上に電極504を有する第1の基板502と、その上に電極508を有する第2の基板510とを有する。電極504、508は各々、酸化インジウムスズ(ITO)フィルムなどの実質的に透明な電極でありうる。第1の基板502上の電極504は、第2の基板510上の電極508の方を向く。液晶層506は、第1の基板502上の電極504と第2の基板510上の電極508との間に配置される。いくつかの実施形態では、誘電体バリア層は、電極504と第1の基板502との間、及び電極508と第2の基板510との間に配置されうる。例えば、誘電体バリア層は、酸窒化ケイ素、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化スズ、酸化チタン、又は酸化ジルコニウムからなりうる。液晶層506は、液晶とスペーサ要素から構成されうる。一実施形態では、スペーサ要素の材料は、光がスペーサ要素から散乱するのを防ぐために可能な限り厳密に液晶の屈折率と一致するように選択されうる。一実施形態では、スペーサ要素は、5〜200ミクロンのスペーサビーズでありうる。液晶は、異なる周波数の電場を印加すると散乱する任意の液晶でありうる。一実施形態では、液晶は、スメクチックA(SmA)相液晶のようなスメクチック相液晶であってもよく、これは広範囲の曇りに対して透過率を維持することができる。例えば、一実施形態では、スメクチック相液晶は、3%〜95%のいずれかの曇り度に対して95%以上の透過率を可能にしうる。
図6は、一実施形態による適応型バックライトモジュールを形成する方法600を示すフローチャートである。方法600は、2つの基板の各々に電極を形成することによって、工程602で始まる。電極は、第1の基板の下面と第2の基板の上面に形成されうる。電極は、基板に対して平面に形成されてもよく、又は基板上にパターン形成されてもよい。いくつかの実施形態において、誘電体バリア層が各基板とその上に形成された電極との間にあるように、電極がその上に形成される前に、誘電体バリア層を各基板上に形成してもよい。電極は、図3A−図3Cに関して上述したように、PVDプロセスを使用して形成されうる。例えば、ガラス基板上に、図3A又は図3Cに関して上述したPVDプロセスを使用して電極を形成してもよい。別の例では、プラスチック基板上に、図3Bに関して上述したようにロールツーロールPVDプロセスを使用して電極を形成してもよい。例えば、各電極は、ポリエチレンテレフタレート(PET)上にコーティングされたITOフィルムを含みうる。代替的には、電極は、図2に関して上述したようにCVDプロセスを使用して形成されてもよい。誘電体バリア層が形成される場合、誘電体バリア層は、電極を形成するために使用されるのと同じCVD又はPVDプロセスを使用して形成されうる。代替的には、誘電体バリア層は、電極を形成するために使用されるプロセスとは異なるCVD又はPVDプロセスを使用して形成されてもよい。したがって、工程602は、図1に示されるPVDチャンバ102などのPVDチャンバ、図1に示されるCVDチャンバ104などのCVDチャンバ、又はその両方で(誘電体層が、電極を形成するために使用されるプロセスとは異なるプロセスを使用して形成される場合に)起こりうる。別の実施形態では、適応型バックライトモジュールを形成するために、電極が既にその上に形成されている予め形成された基板が使用されてもよい。この代替的実施形態では、方法600は、その上に電極層が予め形成されている予め形成された基板を使用して、工程604で開始するだろう。
工程604において、工程602で電極が形成される第1の基板上に少なくとも1つの増強フィルムが形成されうる。増強フィルムは、工程602で、電極が形成される第1の基板の下面とは反対側の、第1の基板の上面に形成されてもよい。増強フィルムは、エンボス加工、印刷、又は任意の他のパターニングプロセスを使用して、基板上に形成されうる。代替的には、増強フィルムは、図2に関して上述したようにCVDプロセスを使用して形成されてもよい。したがって、工程604は、図1に示されるチャンバ108などのエンボス加工/印刷チャンバ内、又は図1に示されるCVDチャンバ104などのCVDチャンバ内で起こりうる。
工程606において、増強フィルムが工程604で第1の基板上に形成された後に、偏光子が増強フィルム上に形成されてもよい。偏光子は、エンボス加工、印刷、又は任意の他のパターニングプロセスを使用して、増強フィルム上に形成されうる。代替的には、偏光子は、ワイヤグリッドプロセスを使用して増強フィルム上に形成されてもよく、ワイヤグリッドプロセスでは、ワイヤが増強フィルム内に配置される。代替的には、偏光子は、図2に関して上述したようにCVDプロセスを使用して増強フィルム上に形成されてもよい。したがって、工程606は、図1に示されるチャンバ108のようなエンボス加工/印刷チャンバ、メタライゼーションチャンバ(図1には示されない)、又は図1に示されるCVDチャンバ104のようなCVDチャンバにおいて起こりうる。
工程602において、ロールツーロール又はシートツーシートPVDプロセスが基板上に電極を形成するために使用される場合、基板は、複数の個々の基板を形成するために最終的に切断される基板のロール又はシートでありうる。工程602で形成された電極、工程604で形成された増強フィルム、及び/又は工程606で形成された偏光子はすべて、1つの基材ロール又はシート上に形成されうる。ロール又はシートはその後、操作608の前に個々のディスプレイのサイズに切断されうる。代替的実施形態では、工程606で形成された偏光子は、工程602で電極がその上に形成される基板とは独立した基板上に形成されてもよい。別の代替的実施形態では、工程604で形成された増強フィルムはまた、工程602で電極がその上に形成される基板とは独立した基板上に形成されてもよい。
工程608において、工程602で電極がその上に形成される2つの基板の間に液晶層が形成されて、ディフューザーを形成する。工程608において、液晶層が形成されるとき、第1の基板(その上に電極を有する)の下面は第2の基板(その上に電極を有する)の上面の方を向く。液晶層は、第1の基板上の電極と第2の基板上の電極との間に形成される。液晶層を形成するために、スペーサビーズのような複数のスペーサ要素が電極間に配置される。スペーサ要素は、電極間に液晶が均一に堆積されうるように使用される。電極間に液晶を堆積させ、スペーサ要素を取り囲み、2つの基板を互いに結合させ、これにより1つのディフューザー要素が形成される。液晶は、インクジェット印刷プロセス、スロットダイコーティングプロセス、スクリーン印刷プロセス、スタンプ転写プロセス、真空充填プロセス、又は任意の他の適切な液体若しくは固体注入又は堆積プロセスを使用して、堆積されうる。図1に示されるシステムの実施形態において、液晶堆積チャンバ106によって示されるように、液晶層は、CVDチャンバ104、PVDチャンバ102、及びエンボス加工/印刷チャンバ108から独立したチャンバ内に形成されうる。
工程608においてディフューザーが形成された後、工程610において、光源がディフューザーに結合されて、適応型バックライトモジュールを形成する。例えば、適応型バックライトモジュールは、図4Aに示す適応型バックライトモジュール400A又は図4Bに示す適応型バックライトモジュール400Bでありうる。一実施形態では、工程610において、積層アセンブリプロセスを使用して、ディフューザーが、光源、導光板、及びリフレクタに結合される。代替的実施形態では、ディフューザーは、工程610において、積層アセンブリプロセスを使用して、光源を含む高効率導光体に結合される。増強フィルム及び/又は偏光子が、ディフューザーを形成する電極を上に有する基板とは独立した基板上に形成される代替的実施形態では、工程610において、積層アセンブリプロセスを使用して、ディフューザーが、増強フィルムを有する基板及び/又は偏光子を有する基板に結合される。
本明細書に記載の適応型バックライトモジュール、並びにそれを製作するための方法及びシステムは、液晶ディスプレイデバイスなどのディスプレイデバイスで使用されるときに電力効率の向上を可能にしうる。適応型バックライトモジュールのディフューザー上の電極は、ディスプレイデバイス内の電源に電気的に接続されうる。例えば、図5に示す切り替え可能なディフューザースタック500内の電極504、508は、電源に電気的に接続されうる。ディフューザーの外観及びデバイスディスプレイの視野角を変えるために、交番電場が電極に印加されうる。
図7Aは、一実施形態による、ディスプレイデバイスで使用される適応型バックライトモジュール内の切り替え可能なディフューザー上の電極に印加されうる交番電場の周波数レベルを示す。例えば、図7Aに示す周波数レベルを有する交流電場は、ディフューザーの外観を切り替えるために、適応型バックライトモジュール400A又は400Bに実装される切り替え可能なディフューザースタック500に印加されうる。図7Aは、範囲の第1の端部における低周波F1から範囲の第2の端部における高周波F2まで印加されうる周波数の範囲を示す。低周波F1の電場がディフューザーに印加されると、ディフューザーは半透明に見えることになる。高周波F2の電場がディフューザーに印加されると、ディフューザーは透明に見えることになる。一実施形態では、180度位相でサイクルされた、+/−55Vの交流電場又はおよそ100〜400V/mの強さの電場が、5〜60Hzの範囲の低周波F1で、又は500〜5000Hzの範囲の高周波F2で、印加されうる。一実施形態では、高周波F2への切り替えに必要な時間は、0〜1秒であり、低周波F1への切り替えに必要な時間は、0〜3秒である。
図7Bは、図7Aに示される範囲内の周波数を有する電場がディフューザーに印加されるときのデバイス700上のディスプレイの視野角の範囲を示す。低周波F1の電場が印加され、ディフューザーが半透明に見えるとき、ディスプレイは、第1の視野角V1から見られうる。高周波F2の電場が印加され、ディフューザーが透明に見えるとき、ディスプレイは、第1の視野角V1よりも狭い第2の視野角V2から見られうる。一人のユーザがデバイス700を使用して、その一人のユーザに必要とされない発光量を制限し、非ユーザのディスプレイを見る能力を制限することによって一人のユーザにプライバシーを提供するときに、第2のより狭い視野角V2は、使用されうる。第1のより広い視野角V1は、複数の視聴者がデバイス700のディスプレイを見ているときに使用されうる。第2の視野角V2は、第1の視野角V1と見かけは同じ輝度を有しうるが、必要な電力は少ないだろう。例えば、一実施形態では、低周波F1又は高周波F2のいずれかの電場が印加されると、ディフューザー透過率が95%を超えることがあるが、低周波F1の電場を印加すると、90%を超える曇りが生じ、低周波F2の電場を印加すると、5%未満の曇りが生じる。したがって、一人のユーザだけがデバイスを見ているとき、より狭い視野角V2を有する高周波F2の電場を印加することによって、電力を節約することができ、プライバシーを得ることができる。しかしながら、複数の視聴者がディスプレイを見る必要がある場合、より広い視野角V1を設定するために低周波F1の電場を印加することができる。視野角は、自動的に切り替わるように構成されてもよく、又は視ユーザが選択すると切り替わるように構成されてもよい。
加えて、図7Aに示すように、低周波F1と高周波F2との間の任意の周波数Fxの電場が、ディフューザーに印加されてもよく、それによってディフューザーが半透明状態と透明状態との間のどこかに現れる。周波数Fxの電場がディフューザーに印加されるときの視野角は、図7Bの斜線領域に示されるように、第1の視野角V1と第2の視野角V2との間にあるだろう。一実施形態では、中間周波数Fxの範囲は60〜500Hzの間であり、中間周波数Fxへの切り替えに必要な時間は、低周波F1及び/又は高周波F2への切り替えに必要な時間よりも短くなりうる。
図4A及び図4Bに示される切り替え可能なディフューザー406の実施形態では、切り替え可能なディフューザー406は、各切り替え可能なディフューザーモジュール400a、400b内の唯一のディフューザーである。このように、高周波F2が切り替え可能なディフューザー406に印加され、切り替え可能なディフューザー406が透明に見えるとき、実質的に光の拡散はないだろう。対照的に、切り替え可能ディフューザー406が、典型的な受動ディフューザーに加えて使用された場合、切り替え可能ディフューザーが透明に見えるときでも、受動ディフューザーは、依然として光を拡散させるだろう。一人の視聴者だけがディスプレイを見ているとき、高周波F2の電場を印加することができ、その結果、切り替え可能なディフューザー406は透明状態になり、他のディフューザーは不要な拡散又は光の浪費を引き起こさない。
以上の説明は本開示の実施形態を対象としているが、本開示の基本的な範囲から逸脱することなく本開示の他の実施形態及び更なる実施形態が考案されてもよく、本開示の範囲は、以下の特許請求の範囲によって決定される。

Claims (15)

  1. 光源と、
    偏光子と、
    前記光源と前記偏光子との間に配置された少なくとも1つの増強フィルムと、
    前記光源と前記増強フィルムとの間に配置されたディフューザーと、
    第1の基板に連結された第1の電極と、
    第2の基板に連結された第2の電極と、
    前記第1の電極と前記第2の電極との間に配置された液晶層と
    を含む、適応型バックライトモジュール。
  2. 前記光源が、一又は複数の冷陰極蛍光ランプ(CCFL)、一又は複数の発光ダイオード(LED)、及び一又は複数の有機発光ダイオード(OLED)のうちの1つを含む、請求項1に記載の適応型バックライトモジュール。
  3. 導光板と、
    リフレクタと
    を更に含む、請求項1に記載の適応型バックライトモジュール。
  4. 前記液晶層が、
    スメクチック相液晶と、
    複数のスペーサ要素と
    を含む、請求項1に記載の適応型バックライトモジュール。
  5. 前記第1の電極が、前記第1の基板の下面に配置され、かつ第1の酸化インジウムスズ(ITO)フィルムを含み、
    前記第2の電極が、前記第2の基板の上面に配置され、かつ第1の酸化インジウムスズ(ITO)フィルムを含み、
    前記第1の基板の前記下面が、前記第2の基板の前記上面の方を向く、請求項1に記載の適応型バックライトモジュール。
  6. 第1の基板の上に少なくとも1つの増強フィルムを形成することと、
    前記増強フィルムの上に偏光子を形成することと、
    前記第1の基板の上の第1の電極と第2の基板の上の第2の電極との間に液晶層を形成することによって、ディフューザーを形成することと、
    前記ディフューザーを光源に連結することと
    を含む、適応型バックライトモジュールを製作する方法。
  7. 前記光源を導光板及びリフレクタに連結することと、
    前記第1の電極を前記第1の基板の上に形成することと、
    前記第2の電極を前記第2の基板の上に形成することと
    を更に含む、請求項6に記載の方法。
  8. 前記液晶層が、
    スメクチック相液晶と、
    複数のスペーサ要素と
    を含む、請求項6に記載の方法。
  9. 前記第1の電極を前記第1の基板の上に形成することが、前記第1の基板を第1の酸化インジウムスズ(ITO)フィルムでコーティングすることを含み、前記第1の電極が、前記第1の基板の下面に形成され、
    前記第2の電極を前記第2の基板の上に形成することが、前記第2の基板を第2の酸化インジウムスズ(ITO)フィルムでコーティングすることを含み、前記第2の電極が、前記第2の基板の上面に形成される、請求項7に記載の方法。
  10. 前記液晶層が、インクジェット印刷プロセス、スロットダイコーティングプロセス、スクリーン印刷プロセス、スタンプ転写プロセス、及び真空充填プロセスのうちの1つを使用して形成される、請求項6に記載の方法。
  11. 第1の電極を第1の基板の上に形成し、第2の電極を第2の基板の上に形成するように構成された第1のチャンバと、
    前記第1の基板の上の前記第1の電極と前記第2の基板の上の前記第2の電極との間に液晶層を形成することによって、ディフューザーを形成するように構成された第2のチャンバと
    を含む、適応型バックライトモジュールを製作するためのシステム。
  12. 前記液晶層が、インクジェット印刷プロセス、スロットダイコーティングプロセス、スクリーン印刷プロセス、スタンプ転写プロセス、及び真空充填プロセスのうちの1つを使用して、前記第2のチャンバ内に形成される、請求項11に記載のシステム。
  13. 前記第1のチャンバが、化学気相堆積(CVD)チャンバを含む、請求項11に記載のシステム。
  14. 前記ディフューザーの上に増強フィルムを形成するように構成された第3のチャンバ
    を更に含む、請求項11に記載のシステム。
  15. 前記第1のチャンバが、物理的気相堆積(PVD)チャンバを含む、請求項14に記載のシステム。
JP2018563178A 2016-06-03 2017-05-09 エネルギー効率の良い通信及びディスプレイデバイス Ceased JP2019523969A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US15/173,231 US10215368B2 (en) 2016-06-03 2016-06-03 Energy efficient communication and display device
US15/173,231 2016-06-03
PCT/US2017/031736 WO2017209908A1 (en) 2016-06-03 2017-05-09 Energy efficient communication and display device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2019523969A true JP2019523969A (ja) 2019-08-29

Family

ID=60478907

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018563178A Ceased JP2019523969A (ja) 2016-06-03 2017-05-09 エネルギー効率の良い通信及びディスプレイデバイス

Country Status (6)

Country Link
US (2) US10215368B2 (ja)
EP (1) EP3465292A4 (ja)
JP (1) JP2019523969A (ja)
CN (1) CN109313290A (ja)
TW (1) TWI725186B (ja)
WO (1) WO2017209908A1 (ja)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07253582A (ja) * 1994-03-15 1995-10-03 Canon Inc 液晶表示素子及びそれを用いた情報伝達装置
JPH0854644A (ja) * 1994-08-12 1996-02-27 Sharp Corp 液晶ライトバルブの製造方法
JP2003029245A (ja) * 2001-07-16 2003-01-29 Minolta Co Ltd 表示パネル及び該パネルを備えた表示装置
JP2006318668A (ja) * 2005-05-10 2006-11-24 Sony Corp 面状照明装置及び液晶表示装置
JP2007264321A (ja) * 2006-03-28 2007-10-11 Sanyo Electric Co Ltd 映像表示装置
JP2011170278A (ja) * 2010-02-22 2011-09-01 Lintec Corp 光散乱型液晶シート、液晶表示シート、及び液晶表示装置
JP2012063761A (ja) * 2010-08-17 2012-03-29 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 液晶装置および液晶装置の作製方法

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5978320A (ja) * 1982-10-27 1984-05-07 Canon Inc 電気光学素子の製造法
JPH0527210A (ja) * 1991-07-23 1993-02-05 Toshiba Corp 液晶表示器の製造方法
JP2777758B2 (ja) * 1991-10-28 1998-07-23 シャープ株式会社 液晶表示装置の製造方法
US5877829A (en) 1995-11-14 1999-03-02 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display apparatus having adjustable viewing angle characteristics
US6122032A (en) * 1996-07-31 2000-09-19 Canon Kabushiki Kaisha Wedge shaped LCD with change in dispersion density of spacers
US5831698A (en) 1996-08-20 1998-11-03 International Business Machines Corporation Electrically variable diffuser
JP3939571B2 (ja) 2002-03-14 2007-07-04 ナノックス株式会社 光通信用液晶スイッチと光変調素子
JP4376014B2 (ja) 2003-07-01 2009-12-02 富士通株式会社 光伝送装置
US7436469B2 (en) * 2004-10-15 2008-10-14 3M Innovative Properties Company Composite diffuser plates and direct-lit liquid crystal displays using same
US7282245B2 (en) * 2004-10-26 2007-10-16 Xerox Corporation Device with multiple liquid crystal layers
KR100719923B1 (ko) * 2005-03-10 2007-05-18 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 액정표시모듈
JP2008203475A (ja) 2007-02-20 2008-09-04 Citizen Holdings Co Ltd 液晶光学素子とその製造方法
JP2009059498A (ja) * 2007-08-30 2009-03-19 Sony Corp 照明装置および液晶表示装置
JP4938632B2 (ja) * 2007-12-07 2012-05-23 日東電工株式会社 液晶パネル及び液晶表示装置
TW200933263A (en) * 2008-01-17 2009-08-01 Chi Mei Optoelectronics Corp Liquid crystal panel and application and assembling method thereof
EP2249197A4 (en) 2008-02-15 2011-10-26 Sharp Kk BACKLIGHT UNIT AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE
US9330525B2 (en) 2009-07-29 2016-05-03 Bally Gaming, Inc. Transmissive display having multiple switchable regions of a diffuser film layer assembly
KR20110138585A (ko) 2010-06-21 2011-12-28 이미지랩(주) 스위칭 기능을 구비한 엘시디 백라이트 유닛
JP2012109207A (ja) * 2010-10-18 2012-06-07 Meitaku Kogyo Kk 面照明体
JP5991053B2 (ja) * 2011-10-04 2016-09-14 ソニー株式会社 表示装置および照明装置
KR101933455B1 (ko) * 2011-11-23 2019-01-02 삼성전자주식회사 입체영상 디스플레이 장치
JP6202828B2 (ja) * 2012-02-17 2017-09-27 学校法人慶應義塾 液晶表示装置
WO2013179679A1 (ja) * 2012-06-01 2013-12-05 パナソニック株式会社 バックライト装置及びこれを用いた画像表示装置
US20140055717A1 (en) 2012-08-24 2014-02-27 Apple Inc. Systems and Methods for Preventing Light Guide Plate Scratching Artifacts

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07253582A (ja) * 1994-03-15 1995-10-03 Canon Inc 液晶表示素子及びそれを用いた情報伝達装置
JPH0854644A (ja) * 1994-08-12 1996-02-27 Sharp Corp 液晶ライトバルブの製造方法
JP2003029245A (ja) * 2001-07-16 2003-01-29 Minolta Co Ltd 表示パネル及び該パネルを備えた表示装置
JP2006318668A (ja) * 2005-05-10 2006-11-24 Sony Corp 面状照明装置及び液晶表示装置
JP2007264321A (ja) * 2006-03-28 2007-10-11 Sanyo Electric Co Ltd 映像表示装置
JP2011170278A (ja) * 2010-02-22 2011-09-01 Lintec Corp 光散乱型液晶シート、液晶表示シート、及び液晶表示装置
JP2012063761A (ja) * 2010-08-17 2012-03-29 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 液晶装置および液晶装置の作製方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20170350576A1 (en) 2017-12-07
WO2017209908A1 (en) 2017-12-07
US20190170328A1 (en) 2019-06-06
CN109313290A (zh) 2019-02-05
EP3465292A4 (en) 2020-03-25
US10215368B2 (en) 2019-02-26
EP3465292A1 (en) 2019-04-10
TWI725186B (zh) 2021-04-21
TW201809542A (zh) 2018-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102299045B (zh) 气体分配装置及包括该气体分配装置的基板处理设备
EP2990860B1 (en) Light controlling apparatus and method of fabricating the same
EP2174169B1 (en) Organic light emitting diode device with light extraction film
TW200920170A (en) Illumination apparatus and liquid crystal display apparatus
CN1957274A (zh) 带有表面保护薄膜的光学薄膜和图像显示装置
CN108022943B (zh) 有机发光二极管显示面板及其制作方法、掩模板
US20070053205A1 (en) Reflective plate and method for manufacturing the same and backlight unit for liquid crystal display device using the same
CN106814496B (zh) 光学膜和包括光学膜的液晶显示器
US20120169972A1 (en) Liquid crystal display panel and apparatus including the same
JP2005353597A (ja) 液晶表示装置及びそのバックライトモジュール
US10177346B2 (en) Substrate unit, display device and method for manufacturing display device
US20140231244A1 (en) Method for producing film member
US10215368B2 (en) Energy efficient communication and display device
KR20180103163A (ko) 기판을 마스킹하기 위한 마스크 어레인지먼트 및 마스크를 기판에 대해 정렬하기 위한 방법
CN110197838B (zh) 显示面板的制造方法、显示面板及显示装置
KR100830237B1 (ko) 대면적 기판 처리 시스템의 서셉터 구조물
US20140158531A1 (en) Sputtering apparatus
KR102422770B1 (ko) 액정 표시 장치 및 그 제조방법
TWI409358B (zh) 電漿輔助化學氣相沉積裝置
KR101955005B1 (ko) 터치 스크린 패널에서 사용하기 위한 층 시스템, 터치 스크린 패널에서 사용하기 위한 층 시스템을 제조하기 위한 방법, 및 터치 스크린 패널
US9110331B2 (en) Ultra-thin backlight for LCD displays through use of field-induced polymer electro luminescence panels including integrated light guide
KR20150083066A (ko) 기판 온도 상승을 억제하는 선형 증착 시스템
US20130306466A1 (en) Target for sputtering and apparatus including the same
US11088172B2 (en) Array substrate and manufacturing method thereof, liquid crystal display panel and liquid crystal apparatus
US20070110922A1 (en) Alignment Film, Method of Forming the Same, and Liquid Crystal Display Including the Same

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190204

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190204

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20191226

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200128

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20200417

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200728

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20201215

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210311

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20210817

A045 Written measure of dismissal of application [lapsed due to lack of payment]

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A045

Effective date: 20211221