JP2019517017A5 - - Google Patents

Claims (19)

1. ターゲットデザイン方法であって、ピッチｐを有する周期パターンに属する要素を、置換されるその要素に対し少なくとも一通りの幾何学的差異を有するアシスト要素により置換し、それによりターゲット要素を画定することで、そのピッチｐが単一ピッチとして維持される混成周期構造を形成するステップを、有する方法。
2. 請求項１に記載の方法であって、上記少なくとも一通りの幾何学的差異が限界寸法である方法。
3. 請求項１に記載の方法であって、更に、禁制リソグラフィピッチが回避されるよう上記ターゲット要素間のスペース及び／又はピッチｐを調整するステップを有する方法。
4. 請求項１に記載の方法であって、更に、リソグラフィシミュレーションを用い上記ターゲット要素のエッジ配置をデザインするステップを有する方法。
5. 請求項１に記載の方法であって、更に、上記混成周期構造複数個を素材にして計量オーバレイイメージングターゲットをデザインするステップを有する方法。
6. 請求項５に記載の方法であって、更に、モデルデバイスに対する上記ターゲットの回折パターンにて密整合が得られるよう上記ターゲット要素間のスペース及び／又はピッチｐを調整するステップを有する方法。
7. 請求項５に記載の方法であって、更に、モデルデバイスに対する上記ターゲットの回折パターンにて密整合が得られるよう構成されたアシスト要素を上記混成周期構造に付加するステップを有する方法。
8. 請求項１に記載の方法であって、少なくとも１個のコンピュータプロセッサにより実行される方法。
9. 請求項１に記載の方法に係る混成周期ターゲット構造デザイン。
10. 請求項９に記載の混成周期ターゲット構造デザインを複数個備える計量オーバレイイメージングターゲット。
11. 非一時的コンピュータ可読格納媒体を備えるコンピュータプログラム製品であり、その非一時的コンピュータ可読格納媒体で以てコンピュータ可読プログラムが体現されており、請求項１に記載の方法を実行するようそのコンピュータ可読プログラムが構成されているコンピュータプログラム製品。
12. ターゲット要素及びアシスト要素を備え、それらが少なくとも１個の幾何学的特徴による相違を有し且つ単一のピッチｐにて配置されており、それにより混成周期ターゲット構造が形成されている混成周期ターゲット構造デザイン。
13. 請求項１２に記載の混成周期ターゲット構造デザインであって、上記少なくとも１個の幾何学的特徴が限界寸法である混成周期ターゲット構造デザイン。
14. 請求項１２に記載の混成周期ターゲット構造デザインであって、禁制リソグラフィピッチが回避されるよう上記ターゲット要素間のスペース及び／又はピッチｐが調整された混成周期ターゲット構造デザイン。
15. 請求項１２に記載の混成周期ターゲット構造デザインであって、上記ターゲット要素のエッジ配置がリソグラフィシミュレーションを用いデザインされた混成周期ターゲット構造デザイン。
16. 請求項１２に記載の混成周期ターゲット構造デザインを複数個備える計量ターゲットデザイン。
17. 請求項１６に記載の計量ターゲットデザインであって、モデルデバイスに対する上記ターゲットデザインの回折パターンにて密整合が得られるよう上記ターゲット要素間のスペース及び／又はピッチｐが調整された計量ターゲットデザイン。
18. 請求項１６に記載の計量ターゲットデザインであって、上記混成周期構造が、更に、モデルデバイスに対する上記ターゲットデザインの回折パターンにて密整合が得られるよう構成された少なくとも１個のアシスト要素を備える計量ターゲットデザイン。
19. 請求項１２に記載の計量ターゲットデザインから多重パターニングによりもたらされるターゲット。