JP2016076654A5 - - Google Patents
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Claims (5)
- マルチ荷電粒子ビーム描画装置で用いられる描画データをコンピュータに生成させるプログラムであって、
設計データに含まれている多角形図形を、それぞれ１組の対辺が第１方向に沿って平行であり、該第１方向と平行な辺を共通辺として該第１方向と直交する第２方向に沿って連結する複数の台形図形、を含む複数の図形に分割するステップと、
第１台形と該第１台形に隣接する第２台形との共通の頂点の位置を、該第２台形と該第２台形に隣接する第３台形との共通の頂点の位置からの前記第１方向及び前記第２方向の変位で表現して、前記描画データを生成するステップと、
を前記コンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。 - 前記描画データは、各台形に対応する属性情報を含むことを特徴とする請求項１に記載のプログラム。
- マルチ荷電粒子ビーム描画装置で用いられる描画データを生成する描画データ生成方法であって、
設計データに含まれている多角形図形を、それぞれ１組の対辺が第１方向に沿って平行であり、該第１方向と平行な辺を共通辺として該第１方向と直交する第２方向に沿って連結する複数の台形図形、を含む複数の図形に分割し、
第１台形と該第１台形に隣接する第２台形との共通の頂点の位置を、該第２台形と該第２台形に隣接する第３台形との共通の頂点の位置からの前記第１方向及び前記第２方向の変位で表現して、前記描画データを生成することを特徴とする描画データ生成方法。 - 複数の荷電粒子ビームからなるマルチビームを形成し、前記マルチビームのうち、それぞれ対応するビームに対して個別にビームのオン／オフを行い、対象物上に荷電粒子ビームを照射してパターンを描画する描画部と、
設計データに含まれている多角形図形を、それぞれ１組の対辺が第１方向に沿って平行であり、該第１方向と平行な辺を共通辺として該第１方向と直交する第２方向に沿って連結する複数の台形図形、を含む複数の図形に分割し、第１台形と該第１台形に隣接する第２台形との共通の頂点の位置を、該第２台形と該第２台形に隣接する第３台形との共通の頂点の位置からの前記第１方向及び前記第２方向の変位で表現して描画データを生成し、該描画データに基づいて前記描画部を制御する制御部と、
を備えるマルチ荷電粒子ビーム描画装置。 - 設計データに含まれている多角形図形を、それぞれ１組の対辺が第１方向に沿って平行であり、該第１方向と平行な辺を共通辺として該第１方向と直交する第２方向に沿って連結する複数の台形図形、を含む複数の図形に分割し、第１台形と該第１台形に隣接する第２台形との共通の頂点の位置を、該第２台形と該第２台形に隣接する第３台形との共通の頂点の位置からの前記第１方向及び前記第２方向の変位で表現して第１描画データを生成する変換部と、
前記第１描画データと、対象物上に荷電粒子ビームが照射されて描画されたパターンに基づいて作成された第２描画データとを比較し、該パターンの検査を行う検査部と、
を備えるパターン検査装置。
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