JP2019200048A - Ｘ線検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】Ｘ線発生器の高さを容易に調整でき、被検査物の底部まで精度よく検査することができるＸ線検査装置を提供すること。【解決手段】Ｘ線検査装置は、Ｘ線発生器の高さ方向の位置を調整する高さ調整機構と、高さ調整機構を制御する制御部と、を備えており、制御部は、Ｘ線検出器で検出した検出素子配列方向の検出量の変化を示す波形に基づいて、Ｘ線発生器が発生するＸ線の発生位置の高さがコンベアの上面の延長線上に位置するように高さ調整機構を制御する。また、制御部は、波形において、所定の検出量範囲内で抽出される、Ｘ線発生器が発生するＸ線が載置部材を透過することにより検出量が低下する区間の長さに基づいて、コンベア上面に対するＸ線発生器の高さ方向の位置を判定する。制御部は、高さ調整機構を制御してＸ線発生器の移動を開始する際に、区間の長さが短くなる方向にＸ線発生器を移動させる。【選択図】図３

Description

本発明は、肉、魚、加工食品、医薬品等の被検査物に対してＸ線発生器で発生したＸ線を照射し、被検査物を透過したＸ線をＸ線検出器により検出することで、被検査物の異物の有無や欠陥等について検査するＸ線検査装置に関するものである。

例えば食品などの被検査物への異物の混入の有無を検出するために、従来からＸ線検査装置が用いられている。Ｘ線検査装置は、搬送される被検査物にＸ線を照射し、被検査物を透過したＸ線の透過量から被検査物中の異物の有無や欠陥等について検査している。

従来のこの種のＸ線検査装置にあっては、特許文献１に記載されたものが知られている。特許文献１に記載のものは、コンベア上の搬送路を幅方向に跨ぐようにＸ線発生器およびＸ線検出器を対向して配置し、Ｘ線発生器から被検査物に対してＸ線を横向きに照射している。

特開２００１−２７２３５７号公報

ここで、特許文献１に記載されているような横照射型のＸ線検査装置において、被検査物の底部まで精度よく検査をするためには、Ｘ線画像上で被検査物の底部にコンベアが重ならないようにすることが望ましい。そのためには、コンベアの上面の延長線上にＸ線発生器を配置し、Ｘ線発生器で発生したＸ線がコンベアを通過することなくコンベアの上面に沿って進むようにする必要がある。

特許文献１に記載の従来のＸ線検査装置にあっては、ボールねじ等からなる高さ調整機構を装置の脚部等に設けることによって、コンベアに対するＸ線発生器の上下位置を相対的に調整することは可能になる。しかし、この場合、Ｘ線発生器を最適な高さに調整するためにユーザが何度も試行錯誤を行う必要があり、Ｘ線発生器の高さを容易に調整することができなかった。また、横照射型のＸ線検査装置として、コンベアを自機に備えず、生産設備の既設のコンベアに組み込んで用いられる組み込み型のＸ線検査装置が多くなっており、Ｘ線発生器の最適な高さ調整を容易に行うことがより求められている。

そこで、本発明は、前述のような従来の問題を解決するためになされたもので、Ｘ線発生器の高さを容易に調整でき、被検査物の底部まで精度よく検査することができるＸ線検査装置を提供することを目的とする。

本発明に係るＸ線検査装置は、Ｘ線を発生するＸ線発生器と、Ｘ線を検出するＸ線検出器と、を備え、前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線検出器とが、被検査物が載置される載置部材の上面に沿う幅方向に対向して配置され、前記Ｘ線検出器の複数の検出素子が前記載置部材の上面に直交する高さ方向に配列されたＸ線検査装置であって、前記Ｘ線発生器の高さ方向の位置を調整する高さ調整機構と、前記高さ調整機構を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記Ｘ線検出器で検出した前記検出素子配列方向の検出量の変化を示す波形に基づいて、前記Ｘ線発生器が発生するＸ線の発生位置の高さが前記載置部材の上面の延長線上に位置するように前記高さ調整機構を制御することを特徴とする。

この構成により、検出素子配列方向のＸ線の検出量の変化を示す波形は、Ｘ線発生器と載置部材との位置関係ごとに異なるため、この波形に基づいてＸ線発生器の高さを最適位置に容易に調整することができる。また、Ｘ線発生器が最適位置にあるときは、被検査物の底部を通過するＸ線は載置部材を通過せずにＸ線検出器に検出されるため、被検査物の底部まで精度よく検査することができる。この結果、Ｘ線発生器の高さを容易に調整でき、被検査物の底部まで精度よく検査することができる。

本発明に係るＸ線検査装置において、前記制御部は、前記波形において、所定の検出量範囲内で抽出される、前記Ｘ線発生器が発生するＸ線が前記載置部材を透過することにより前記検出量が低下する区間の長さに基づいて、前記載置部材の上面に対する前記Ｘ線発生器の前記高さ方向の位置を判定することを特徴とする。

この構成により、検出量が低下する区間の長さは、載置部材の上面に対するＸ線発生器の高さ方向の位置と相関があるため、その区間の長さに基づいてＸ線発生器の高さ方向の位置を判定することで、Ｘ線発生器を最適位置に調整することができる。

本発明に係るＸ線検査装置において、前記制御部は、前記高さ調整機構を制御して前記Ｘ線発生器の移動を開始する際に、前記区間の長さが短くなる方向に前記Ｘ線発生器を移動させることを特徴とする。

この構成により、検出量が低下する区間の長さは、Ｘ線発生器が最適位置に近いほど短くなるため、Ｘ線検出器を確実に最適位置に向けて移動させることができる。

本発明に係るＸ線検査装置において、前記制御部は、前記高さ調整機構を制御して、前記区間の長さが最も短くなる位置で前記Ｘ線発生器の移動を停止することを特徴とする。

この構成により、検出量が低下する区間の長さが最も短くなる位置はＸ線発生器の最適位置であるため、Ｘ線発生器を確実に最適位置に調整することができる。

本発明に係るＸ線検査装置は、前記載置部材に対する前記Ｘ線発生器の基準位置を表示する基準位置表示部材が、前記Ｘ線発生器と前記載置部材との間に設けられ、前記制御部は、前記高さ調整機構を制御して前記Ｘ線発生器の移動を開始する際に、前記基準位置より低い位置を移動開始位置として、前記Ｘ線発生器を上方向に移動させることを特徴とする。

この構成により、Ｘ線発生器の高さ調整前は、基準位置表示部材で表示された基準位置と概ね同じ高さにＸ線発生器の高さが設定されているため、その基準位置より低い位置を移動開始位置としてＸ線発生器を上方向に移動させることにより、Ｘ線発生器を速やかに最適位置に移動させることができる。

本発明は、Ｘ線発生器の高さを容易に調整でき、被検査物の底部まで精度よく検査することができるＸ線検査装置を提供することができる。

本発明の一実施の形態に係るＸ線検査装置の側面図である。 （Ａ）は、本発明の一実施の形態に係るＸ線検査装置のＸ線発生器が適正位置より高く配置された状態を示す側面図であり、（Ｂ）は、本発明の一実施の形態に係るＸ線検査装置のＸ線発生器が適正位置に配置された状態を示す側面図であり、（Ｃ）は、本発明の一実施の形態に係るＸ線検査装置のＸ線発生器が適正位置より低く配置された状態を示す側面図である。 本発明の一実施の形態に係るＸ線検査装置において、Ｘ線の輝度とＸ線検出器の画素番号との関係を表わす波形図である。

以下、本発明の一実施の形態について、図面を参照して説明する。まず構成について説明する。

図１において、Ｘ線検査装置１は筐体４を備えている。筐体４は、被検査物Ｗを搬送するコンベア２に組み込まれている。コンベア２は、被検査物Ｗの生産設備の一部であり、Ｘ線検査装置１と別体に構成されている。このように、Ｘ線検査装置１は、別体のコンベア２に組み込まれる組み込み型のＸ線検査装置であり、図１で示すようなボトル搬送でよく使用されるトップチェーンコンベアやベルトコンベア等の被検査物Ｗを水平方向に搬送する既設のコンベアに組み込まれる。トップチェーンコンベアは、無端状のチェーンに複数のプレートを設けたものであり、被検査物Ｗがプレートの上面に載置されて搬送される。また、ベルトコンベアでは、被検査物Ｗがベルトの上面に載置されて搬送される。本実施例では、被検査物Ｗは、飲料容器と液体内容物からなる飲料ボトルである。

Ｘ線検査装置１は、Ｘ線を発生するＸ線発生器９と、Ｘ線を検出するＸ線検出器１０と、制御部４０とを備えている。これらのＸ線発生器９、Ｘ線検出器１０および制御部４０は筐体４の内部に収納されている。

Ｘ線発生器９およびＸ線検出器１０は、コンベア２上の被検査物Ｗが搬送される搬送路３を挟むように、コンベア２の幅方向に対向して配置されている。

Ｘ線発生器９は、その内部に設けられた図示しないＸ線管の陰極からの電子ビームを陽極のターゲットに照射させてＸ線を生成し、生成したＸ線を図示しないスリットによりＸ線の発生位置から略三角形状のスクリーン状に成形するようになっている。また、Ｘ線発生器９は、Ｘ線の発生位置からスクリーン状のＸ線照射野に成形したＸ線を、コンベア２上の搬送路３を幅方向に横切るようにして、Ｘ線検出器１０に向けて照射するようになっている。

Ｘ線検出器１０は、複数の検出素子１０Ａをライン状に整列したＸ線ラインセンサからなる。Ｘ線検出器１０の検出素子１０Ａは、図示しないフォトダイオードと、このフォトダイオード上に設けられた図示しないシンチレータとからなり、Ｘ線をシンチレータにより光に変換し、この光をフォトダイオードにより検出している。

Ｘ線検出器１０の複数の検出素子１０Ａは、コンベア２の上面を通る平面に直交する直線に沿って配置されている。本明細書では、各検出素子１０Ａおよび各検出素子１０Ａから得られた画像情報を画素という。図１において、検出素子１０Ａは、Ｘ線検出器１０の下端側から１、２、３、・・・の画素番号を付して区別している。

このように構成されたＸ線検出器１０は、被検査物ＷがＸ線ラインセンサを通過することで被検査物Ｗを透過するＸ線の量（検出量）に応じたＸ線画像を出力する。Ｘ線検出器１０は、図示しないＡ／Ｄ変換部を備えており、このＡ／Ｄ変換部によりフォトダイオードからの検出量をデジタルデータに変換するようになっている。

なお、Ａ／Ｄ変換部から出力されるデータは、検出量を示す輝度値により明暗で表されるＸ線画像（明暗画像）であってもよいし、輝度値を所望の濃度となるように変換した濃度値により濃淡で表されるＸ線画像（濃淡画像）であってもよい。また、本実施の形態ではＸ線画像から検出素子配列方向の検出量の変化を示す波形を求めるようにしているが、検出量のアナログデータから波形を求めるようにしてもよい。

本実施の形態において、Ｘ線検査装置１は、生産ラインへの設置作業持に、Ｘ線発生器９のＸ線照射野がコンベア２の上方となるような高さに予め調整されている。

Ｘ線検査装置１は、表示部５、設定操作部４５および制御部４０を備えている。表示部５は、平面ディスプレイ等から構成されており、ユーザに対する表示出力を行うようになっている。表示部５は、制御部４０による検査結果等の画像を表示するようになっている。

また、表示部５は、被検査物Ｗの良否判定結果を「ＯＫ」や「ＮＧ」等の文字または記号で表示するようになっている。また、表示部５は、総検査数、良品数、ＮＧ総数等の統計値を表示するようになっている。

表示部５の表示内容および表示態様は、既定設定、または設定操作部４５からの所定のキー操作による要求に基づいて決定される。

設定操作部４５は、制御部４０への各種パラメータ等の設定入力を行うものである。設定操作部４５は、ユーザが操作する複数のキーやスイッチ等で構成され、制御部４０への各種パラメータ等の設定入力や動作モードの選択を行うものである。なお、表示部５と設定操作部４５とをタッチパネル式表示器として一体化してもよい。Ｘ線検査装置１の動作モードとしては、例えば、被検査物Ｗの検査を行う通常の検査モードと、Ｘ線検査装置１の各種の調整や状態確認等を行うメンテナンスモードとがある。

制御部４０は、Ｘ線検出器１０から受け取ったＸ線画像を一時的に記憶し、そのＸ線画像に対して各種の画像処理アルゴリズム等を適用して画像処理を施すようになっている。ここで、画像処理アルゴリズムは、複数の画像処理フィルタを組み合わせたものからなる。そして、制御部４０は、画像処理を施したＸ線画像に対して、被検査物Ｗと異物との判別を行って異物の混入の有無を判定し、また、被検査物Ｗの形状の良否を判定するようになっている。

また、制御部４０は、Ｘ線検査装置１の全体を制御するようになっている。制御部４０の制御内容には、被検査物Ｗの良否判定結果の統計処理に関する制御、表示部５の表示内容および表示形態に関する制御等が含まれる。

ここで、図２（Ｂ）は、コンベア２に対してＸ線発生器９の高さ方向の位置を最適位置に設定した場合のＸ線照射状態を示している。コンベア２とＸ線発生器９との高さ方向の位置関係は、図２（Ｂ）に示すように、Ｘ線の発生位置からコンベア２の上面２Ａに沿ってＸ線が進むように設定することが望ましい。このようにすることで、Ｘ線の発生位置からのＸ線が被検査物Ｗ（図１参照）とコンベア２の両方を通過してＸ線検出器１０に到達してしまうことがなくなり、被検査物Ｗの底部まで精度よく検査を行うことができる。

一方、図２（Ａ）に示すようにＸ線発生器９を最適位置より高い位置に設定した場合、又は図２（Ｃ）に示すようにＸ線発生器９を最適位置より低い位置に設定した場合は、Ｘ線の発生位置からのＸ線が被検査物Ｗの底部とコンベア２の上面との両方を通過してＸ線検出器１０に到達してしまい、被検査物Ｗの底部まで精度よく検査を行うことができない。

本実施例のＸ線検査装置１は、設置作業持に装置の脚部の長さを作業者が調整すること等によって、コンベア２に対するＸ線発生器９の高さを設定できるようになっている。コンベア２に対するＸ線発生器９の高さは、コンベア２へのＸ線検査装置１の設置作業時に、Ｘ線発生器９によるＸ線照射野がコンベア２の上方となるように、Ｘ線検査装置１の高さを調整することで、調整することができる。ただし、この場合、Ｘ線発生器を最適な高さに調整するためにユーザが何度も試行錯誤を行う必要がある。

このような事情に対し、本実施の形態では、Ｘ線検査装置１は、Ｘ線発生器９の高さ方向の位置を、図２（Ｂ）の最適位置に自動的に調整するようになっている。

Ｘ線検査装置１は、Ｘ線発生器９の高さ方向の位置を調整する高さ調整機構６０を備えている。高さ調整機構６０は、Ｘ線発生器９を支持する図示しないボールねじと、このボールねじを駆動する図示しないモータと、を有している。高さ調整機構６０は、モータが制御部４０により制御されることにより、ボールねじがＸ線発生器９の高さ方向の位置を上下に変更するようになっている。

ここで、Ｘ線検出器１０で検出した検出素子配列方向の検出量の変化を示す波形は、コンベア２に対するＸ線発生器９の高さ方向の位置により異なるものとなる。図３に示すように、この波形は、Ｘ線発生器９が最適位置にある場合の波形Ｌ（Ｂ）と、Ｘ線発生器９が最適位置よりも高い位置にある場合の波形Ｌ（Ａ）と、Ｘ線発生器９が最適位置よりも低い位置にある場合の波形Ｌ（Ｃ）とで異なる。この波形は、横軸が検出量、縦軸が最下端に位置する検出素子からの距離を表わすことになるが、本実施の形態ではＸ線画像から波形を求めるため、図３において、横軸は輝度を表わし、縦軸はＸ線検出器１０の検出素子１０Ａの画素番号を表わしている。

また、本実施の形態では複数の検出素子１０Ａにそれぞれ対応する画素が存在し、載置部材を透過することにより検出量が低下する区間の長さは、これらの画素の数で求めている。この区間の長さ、すなわち、コンベア２がＸ線画像に映り込む部分の画素の画素数（以下、映り込み部分の画素数という）は、Ｘ線発生器９が最適位置にある場合の波形Ｌ（Ｂ）では、Ｎ（Ｂ）で最も少なく、Ｘ線発生器９が最適位置よりも高い位置にある場合の波形Ｌ（Ａ）またはＸ線発生器９が最適位置よりも低い位置にある場合の波形Ｌ（Ｃ）では、それぞれＮ（Ａ）、Ｎ（Ｃ）となり、Ｎ（Ａ）、Ｎ（Ｃ）はＢ（Ｂ）よりも多い。なお、所定の検出量範囲としての輝度範囲は、輝度がＢ１以上Ｂ２以下の範囲である。Ｂ１以上Ｂ２以下の輝度範囲は、輝度が高くなるほどコンベア２の映り込み部分の画素番号が大きくなる関係が保たれる輝度範囲となっている。

Ｎ（Ａ）は、波形Ｌ（Ａ）における輝度Ｂ１、Ｂ２に対応する画素番号Ｐ（Ａ）１とＰ（Ａ）２の差分である。Ｎ（Ｂ）は、波形Ｌ（Ｂ）における輝度Ｂ１、Ｂ２に対応する画素番号Ｐ（Ｂ）１とＰ（Ｂ）２の差分である。Ｎ（Ｃ）は、波形Ｌ（Ｃ）における輝度Ｂ１、Ｂ２に対応する画素番号Ｐ（Ｃ）１とＰ（Ｃ）２の差分である。

このように、Ｘ線発生器９が最適位置にある場合、Ｘ線がコンベア２の上面２Ａに沿って進むため、映り込み部分の画素数は最も少なくなる。また、Ｘ線発生器９が最適位置より高くなるに従い、コンベア２の上面２Ａをその上側から下側に斜めに横切るＸ線の幅が大きくなるため、映り込み部分の画素数は多くなる。同様に、Ｘ線発生器９が最適位置より低くなるに従い、コンベア２の上面２Ａをその下側から上側に斜めに横切るＸ線の幅が大きくなるため、映り込み部分の画素数は多くなる。

制御部４０は、Ｘ線検出器１０で検出したＸ線の検出素子配列方向のＸ線の検出量の変化を示す波形に基づいて、Ｘ線発生器９がコンベア２の上面２Ａの延長線上に位置するように高さ調整機構６０を制御する。

詳しくは、制御部４０は、Ｘ線検出器１０で検出したＸ線の検出素子配列方向のＸ線の検出量の変化を示す波形における、複数の検出素子１０Ａにそれぞれ対応する複数の画素のうち、所定の輝度範囲内のコンベア２の映り込み部分の画素の画素数に基づいて、コンベア２の上面に対するＸ線発生器９の高さ方向の位置を判定する。

制御部４０は、高さ調整機構を制御してＸ線発生器９の移動を開始する際に、画素数が少なくなる方向にＸ線発生器を移動させる。そして、制御部４０は、高さ調整機構６０を制御してＸ線発生器９の移動を終了する際に、画素数が最も少なくなる位置でＸ線発生器９の移動を停止する。

また、Ｘ線検査装置１は、基準位置表示部材６を備えており、この基準位置表示部材６は、コンベア２に対するＸ線発生器９の基準位置を表示する。基準位置表示部材６は、筐体４におけるＸ線発生器９とコンベア２との間に設けられている。本実施例では、筐体４における、コンベア２のＸ線発生器９側の面に、基準位置表示部材６が配置されている。ここで、基準位置とは、コンベア２へのＸ線検査装置１の設置作業持に、コンベア２に対するＸ線検査装置１の高さを設定する際の目安となる位置である。

Ｘ線検査装置１の設置作業時に、作業者が、基準位置表示部材６により表示される基準位置とコンベア２の位置とが概ね等しい高さとなるように、Ｘ線検査装置１の高さを調整しておくことにより、Ｘ線発生器９を図２（Ｂ）の最適位置に近い位置に配置することができる。これにより、Ｘ線発生器９によるＸ線照射野をコンベア２の上方に容易に設定できる効果、およびＸ線検査装置１内の搬送路３からのＸ線の漏洩を防止する効果が得られる。

また、制御部４０は、高さ調整機構６０を制御してＸ線発生器９の移動を開始する際に、基準位置より低い位置を移動開始位置として、Ｘ線発生器９を上方向に移動させる。これにより、高さ調整前のＸ線発生器９の位置が最適位置より高いのか低いのかを判別する必要をなくすことができ、Ｘ線発生器９をより速やかに最適に位置に調整できる。

なお、基準位置表示部材６は省略することもできる。制御部４０は、基準位置表示部材６が設けられていない場合は、Ｘ線発生器９の移動を開始する際に、画素数が少なくなる方向にＸ線発生器を移動させ、基準位置表示部材６が設けられている場合は、Ｘ線発生器９の移動を開始する際に、基準位置より低い位置を移動開始位置として、Ｘ線発生器９を上方向に移動させる。

以上説明したように、本実施の形態のＸ線検査装置１は、Ｘ線発生器９の高さ方向の位置を調整する高さ調整機構６０と、高さ調整機構６０を制御する制御部４０と、を備えており、制御部４０は、Ｘ線検出器１０で検出した検出素子配列方向の検出量の変化を示す波形に基づいて、Ｘ線発生器９が発生するＸ線の発生位置の高さがコンベア２の上面の延長線上に位置するように高さ調整機構６０を制御する。

この構成により、検出素子配列方向のＸ線の検出量の変化を示す波形は、Ｘ線発生器９とコンベア２との位置関係ごとに異なるため、この波形に基づいてＸ線発生器９の高さを最適位置に容易に調整することができる。また、Ｘ線発生器９が最適位置にあるときは、被検査物Ｗの底部を通過するＸ線はコンベア２を通過せずにＸ線検出器１０に検出されるため、被検査物Ｗの底部まで精度よく検査することができる。この結果、Ｘ線発生器９の高さを容易に調整でき、被検査物Ｗの底部まで精度よく検査することができる。

本実施の形態のＸ線検査装置１において、制御部４０は、波形において、所定の検出量範囲内で抽出される、Ｘ線発生器９が発生するＸ線がコンベア２を透過することにより検出量が低下する区間の長さに基づいて、コンベア２の上面に対するＸ線発生器９の高さ方向の位置を判定する。

この構成により、検出量が低下する区間の長さは、コンベア２の上面に対するＸ線発生器９の高さ方向の位置と相関があるため、その区間の長さに基づいてＸ線発生器９の高さ方向の位置を判定することで、Ｘ線発生器９を最適位置に調整することができる。

本実施の形態のＸ線検査装置１において、制御部４０は、高さ調整機構を制御してＸ線発生器９の移動を開始する際に、区間の長さが短くなる方向にＸ線発生器９を移動させる。

この構成により、検出量が低下する区間の長さは、Ｘ線発生器９が最適位置に近いほど短くなるため、Ｘ線発生器９を確実に最適位置に向けて移動させることができる。

本実施の形態のＸ線検査装置１において、制御部４０は、高さ調整機構６０を制御して、区間の長さが最も短くなる位置でＸ線発生器９の移動を停止する。

この構成により、検出量が低下する区間の長さが最も短くなる位置はＸ線発生器９の最適位置であるため、Ｘ線発生器９を確実に最適位置に調整することができる。

本実施の形態のＸ線検査装置１において、コンベア２に対するＸ線発生器９の基準位置を表示する基準位置表示部材６が、Ｘ線発生器９とコンベア２との間に設けられている。そして、制御部４０は、高さ調整機構６０を制御してＸ線発生器９の移動を開始する際に、基準位置より低い位置を移動開始位置として、Ｘ線発生器９を上方向に移動させる。

この構成により、Ｘ線発生器９の高さ調整前は、基準位置表示部材で表示された基準位置と概ね同じ高さにＸ線発生器９の高さが設定されているため、その基準位置より低い位置を移動開始位置としてＸ線発生器９を上方向に移動させることにより、Ｘ線発生器９を速やかに最適位置に移動させることができる。

以上のように、本発明に係るＸ線検査装置は、Ｘ線発生器の高さを容易に調整でき、被検査物の底部まで精度よく検査することができるという効果を有し、被検査物の異物の有無や欠陥等について検査するＸ線検査装置として有用である。

１ Ｘ線検査装置
２ コンベア（載置部材）
２Ａ 上面
６ 基準位置表示部材
９ Ｘ線発生器
１０ Ｘ線検出器
１０Ａ 検出素子
４０ 制御部
６０ 高さ調整機構
Ｗ 被検査物

Claims (5)

1. Ｘ線を発生するＸ線発生器（９）と、
   Ｘ線を検出するＸ線検出器（１０）と、を備え、
   前記Ｘ線発生器と前記Ｘ線検出器とが、被検査物（Ｗ）が載置される載置部材（２）の上面に沿う幅方向に対向して配置され、
   前記Ｘ線検出器の複数の検出素子（１０Ａ）が前記載置部材の上面に直交する高さ方向に配列されたＸ線検査装置であって、
   前記Ｘ線発生器の前記高さ方向の位置を調整する高さ調整機構（６０）と、
   前記高さ調整機構を制御する制御部（４０）と、を備え、
   前記制御部は、前記Ｘ線検出器で検出した前記検出素子配列方向の検出量の変化を示す波形に基づいて、前記Ｘ線発生器が発生するＸ線の発生位置の高さが前記載置部材の上面の延長線上に位置するように前記高さ調整機構を制御することを特徴とするＸ線検査装置。
2. 前記制御部は、前記波形において、所定の検出量範囲内で抽出される、前記Ｘ線発生器が発生するＸ線が前記載置部材を透過することにより前記検出量が低下する区間の長さに基づいて、前記載置部材の上面に対する前記Ｘ線発生器の前記高さ方向の位置を判定することを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
3. 前記制御部は、前記高さ調整機構を制御して前記Ｘ線発生器の移動を開始する際に、前記区間の長さが短くなる方向に前記Ｘ線発生器を移動させることを特徴とする請求項２に記載のＸ線検査装置。
4. 前記制御部は、前記高さ調整機構を制御して、前記区間の長さが最も短くなる位置で前記Ｘ線発生器の移動を停止することを特徴とする請求項２または請求項３に記載のＸ線検査装置。
5. 前記載置部材に対する前記Ｘ線発生器の基準位置を表示する基準位置表示部材（６）が、前記Ｘ線発生器と前記載置部材との間に設けられ、
   前記制御部は、前記高さ調整機構を制御して前記Ｘ線発生器の移動を開始する際に、前記基準位置より低い位置を移動開始位置として、前記Ｘ線発生器を上方向に移動させることを特徴とする請求項１、請求項２または請求項４に記載のＸ線検査装置。

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