JP2019192853A - Cleaning apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ウェーハ等の被洗浄物を洗浄するための洗浄装置に関する。 The present invention relates to a cleaning apparatus for cleaning an object to be cleaned such as a wafer.
切削加工又は研削加工等が施されたウェーハは、例えば、枚葉式のスピンナー洗浄機構(例えば、特許文献1参照)において洗浄されることで、被加工面に残った切削屑等の異物が除去される。
そして、洗浄装置の収容ケースには吸引源に接続された排気口が形成されており、洗浄中に発生する汚染された噴霧(切削屑等を含む噴霧)を排気口から吸引して排気している。
A wafer subjected to cutting or grinding is cleaned by, for example, a single-wafer type spinner cleaning mechanism (see, for example, Patent Document 1), thereby removing foreign matters such as cutting waste remaining on the processing surface. Is done.
An exhaust port connected to a suction source is formed in the storage case of the cleaning device, and contaminated sprays (sprays including cutting waste) generated during cleaning are sucked and exhausted from the exhaust ports. Yes.
被洗浄物が切削されたウェーハの場合、洗浄液及び切削でウェーハに形成された端材(例えば、外周部に形成された三角チップ)等が洗浄中に受ける水圧及び受ける遠心力により飛散する場合がある。そこで、飛散物が収容ケース外に飛び散らないようにするために、収容ケースの開口を密閉することが考えられる。しかし、開口を密閉して収容ケース内に外気が全く取り込まれなくしてしまうと、収容ケース内が減圧されて噴霧が上手く排気されなくなるという問題がある。 In the case of a wafer in which the object to be cleaned is cut, the cleaning liquid and the end material formed on the wafer by cutting (for example, a triangular chip formed on the outer periphery) may be scattered due to the water pressure and the centrifugal force received during cleaning. is there. In view of this, it is conceivable to seal the opening of the housing case in order to prevent the scattered matter from scattering outside the housing case. However, if the opening is sealed and no outside air is taken into the housing case, there is a problem that the inside of the housing case is decompressed and the spray is not exhausted well.
よって、洗浄装置においては、洗浄中に飛散物が洗浄装置の収容ケース外へと飛散することを防止するとともに、より効率よく汚れた噴霧を排気し続けることができるようにするという課題がある。 Therefore, in the cleaning device, there is a problem in that the scattered matter is prevented from scattering out of the housing case of the cleaning device during cleaning, and the dirty spray can be continuously exhausted more efficiently.
上記課題を解決するための本発明は、洗浄装置であって、被洗浄物を保持するスピンナテーブルと、該スピンナテーブルで保持された被洗浄物に洗浄液を噴射する洗浄ノズルと、該スピンナテーブルと該洗浄ノズルとを収容し、被洗浄物を上方から内部に搬入又は内部から上方に搬出させるための開口を有するとともに吸引源に接続された排気口が形成された収容ケースと、該開口の一部を除いて該開口を覆う開閉自在シートと、被洗浄物の洗浄時に該開閉自在シートの下方に配置され、該開口の一部を覆うサイズの固定シートと、を備え、該固定シートは、該収容ケースの上端部に一端が固定されるとともに該一端に対する他端側が垂れ下がり該開閉自在シートと該固定シートとの間に隙間が形成されることで該開口の上方から該収容ケース内へ向かう通気口を形成し外気が該収容ケースへ流入することを許容するとともに、洗浄液及び洗浄中の被洗浄物の端材が該収容ケース外へ飛散するのを防止する、洗浄装置である。 The present invention for solving the above problems is a cleaning apparatus, a spinner table for holding an object to be cleaned, a cleaning nozzle for injecting a cleaning liquid onto the object to be cleaned held by the spinner table, and the spinner table, A housing case that accommodates the cleaning nozzle and has an opening for carrying an object to be washed in from above or carrying it out from above and an exhaust port connected to a suction source; An openable and closable sheet that covers the opening except for the portion, and a fixed sheet that is disposed below the openable and closable sheet when the object to be cleaned is cleaned and covers a part of the opening. One end is fixed to the upper end of the storage case, and the other end side of the storage case hangs down to form a gap between the openable / closable sheet and the fixed sheet, so that the storage case is viewed from above the opening. A cleaning device that forms a vent opening inward and allows outside air to flow into the housing case, and prevents the cleaning liquid and the end material of the object being cleaned from scattering outside the housing case. .
本発明に係る洗浄装置は、収容ケースの開口の一部を除いて開口を覆う開閉自在シートと、被洗浄物の洗浄時に開閉自在シートの下方に配置され、開口の一部を覆うサイズの固定シートと、を備え、固定シートは、収容ケースの上端部に一端が固定されるとともに一端に対する他端側が垂れ下がっているため、開閉自在シートと固定シートとの間に隙間が形成される。そのため、開口の上方から収容ケース内へ向かう通気口を形成し外気が収容ケース内部へ流入することを許容して収容ケース内が減圧されてしまうことを防ぎ、効率よく汚れた噴霧を排気し続けることができる。また、収容ケースの開口は全面が覆われた状態となっているため、洗浄液及び洗浄中の被洗浄物の端材が収容ケース外へ飛散するのを防止できる。 The cleaning apparatus according to the present invention includes an openable / closable sheet that covers the opening except for a part of the opening of the housing case, and a fixed size that is disposed below the openable / closable sheet when cleaning the object to be cleaned and covers a part of the opening. The fixed sheet has one end fixed to the upper end of the housing case and the other end hanging from the one end, so that a gap is formed between the openable / closable sheet and the fixed sheet. Therefore, a vent is formed from above the opening into the housing case, allowing outside air to flow into the housing case, preventing the inside of the housing case from being depressurized, and continuing to exhaust the dirty spray efficiently. be able to. Moreover, since the opening of the storage case is in a state where the entire surface is covered, it is possible to prevent the cleaning liquid and the end material of the object to be cleaned from being scattered outside the storage case.
図1、2に示す加工装置1は、例えば、チャックテーブル30に保持された被加工物Wに対して切削手段6によって切削加工を施す切削装置であり、本発明に係る洗浄装置9を備えている。なお、洗浄装置9は、レーザー照射によって被加工物Wに所望の加工を施すレーザー加工装置、回転する研削砥石で被加工物Wを研削して薄化する研削装置、又は研磨パッドで被加工物Wを研磨する研磨装置に配設されていてもよいし、洗浄装置9単体で使用可能となっていてもよい。
The
被加工物Wは、例えば、円形板状の半導体ウェーハであり、被加工物Wの表面Wa上には、分割予定ラインSによって区画された格子状の領域にデバイスDが形成されている。例えば、被加工物Wの裏面WbはダイシングテープTの貼着面に貼着され、ダイシングテープTの外周部は環状フレームFに貼着されている。これにより、被加工物Wは、ダイシングテープTを介して環状フレームFに支持され、環状フレームFを用いたハンドリングが可能となっている。なお、被加工物Wは上記例に限定されるものではない。 The workpiece W is, for example, a circular plate-like semiconductor wafer. On the surface Wa of the workpiece W, devices D are formed in a lattice-like region partitioned by the division lines S. For example, the back surface Wb of the workpiece W is stuck to the sticking surface of the dicing tape T, and the outer peripheral part of the dicing tape T is stuck to the annular frame F. Thereby, the workpiece W is supported by the annular frame F via the dicing tape T, and can be handled using the annular frame F. The workpiece W is not limited to the above example.
図1に示すように、加工装置1の基台10上には、筐体11及び装置カバー15が配設されており、筐体11内には加工室12が画成されている。
加工室12内には、チャックテーブル30及び切削手段6が配設されており、チャックテーブル30は、カバー31によって周囲から囲まれ、カバー31の下方に配設された図示しない回転手段によりZ軸方向の軸心周りに回転可能に支持されている。カバー31には、X軸方向に伸縮する蛇腹カバー311が連結しており、カバー31及び蛇腹カバー311の下方には、チャックテーブル30を切削送り方向(X軸方向)に往復移動させる図示しない切削送り手段が配設されている。切削送り手段は、モータによりボールネジを回動させることでチャックテーブル30を切削送りするボールネジ機構である。
As shown in FIG. 1, a
A chuck table 30 and a cutting means 6 are disposed in the
図1に示すチャックテーブル30は、例えば、その外形が円形板状であり、図示しない吸引源に連通する保持面30a上で被加工物Wを吸引保持する。また、チャックテーブル30の周囲には、環状フレームFを挟持固定する固定クランプ32が例えば4つ周方向に等間隔を空けて均等に配設されている。
The chuck table 30 shown in FIG. 1 has a circular plate shape, for example, and sucks and holds the workpiece W on a
チャックテーブル30のX軸方向の移動経路の上方に配設された切削手段6は、割り出し送り手段69によってY軸方向へ移動可能となっており、また、切り込み送り手段68によってZ軸方向に移動可能となっている。切削手段6は、軸方向がY軸方向であるスピンドル61と、スピンドル61を回転可能に支持するスピンドルハウジング62と、スピンドル61を回転させる図示しないモータと、スピンドル61に固定されている切削ブレード63とを備えており、モータがスピンドル61を回転駆動することに伴って切削ブレード63も高速回転する。
The cutting means 6 disposed above the movement path of the chuck table 30 in the X-axis direction can be moved in the Y-axis direction by the index feeding means 69 and moved in the Z-axis direction by the cutting feed means 68. It is possible. The
例えば、スピンドルハウジング62の側面には、被加工物Wの切削すべき分割予定ラインSを撮像画像を用いたパターンマッチングを実施して検出するアライメント手段67が配設されている。切削手段6とアライメント手段67は連動してY軸方向及びZ軸方向へと移動する。
For example, on the side surface of the
筐体11の正面側(−X方向側)には、切削加工が施されている最中の被加工物Wの状態を筐体11外部から確認するためのガラス等の透明部材からなる覗き窓110が設けられている。
筐体11の+Y方向側の側面には、作業者が加工装置1に対して加工条件等を入力するための操作画面が表示されるタッチパネル等を備える操作手段111が配設されている。
On the front side (−X direction side) of the
On the side surface of the
加工装置1の基台10上の+Y方向側の一角には、カセット載置台13が設置されており、カセット載置台13は、その下方に配設された図示しない昇降エレベータによりZ軸方向に上下動可能となっている。そして、環状フレームFで支持された被加工物Wを収容した図示しないカセットがカセット載置台13上に載置された状態で、昇降エレベータによりカセット載置台13が昇降されることでカセットから被加工物Wを出し入れする際の高さ位置が調整される。
装置カバー15の+Y方向側の側面には、図示しない被加工物搬入口が形成されており、カセットから引き出された被加工物Wは、該被加工物搬入口から装置カバー15内部に搬入される。
A cassette mounting table 13 is installed at one corner on the + Y direction side on the
A workpiece carry-in port (not shown) is formed on the side surface of the
図2に示すように、カセット載置台13と隣接する位置において、チャックテーブル30は、装置カバー15(図2には不図示)の内部と筐体11の内部との間を筐体11の側面下部に設けられた搬入出口116を通りX軸方向に往復移動可能となっている。なお、チャックテーブル30は、図1では筐体11の内部に位置付けられており、図2では、装置カバー15内部に位置付けられている。
As shown in FIG. 2, at a position adjacent to the cassette mounting table 13, the chuck table 30 is located between the inside of the device cover 15 (not shown in FIG. 2) and the inside of the
加工装置1は、チャックテーブル30に被加工物Wを搬入する搬送手段4を装置カバー15の内部に備えており、搬送手段4は、被加工物Wを環状フレームFを介して保持する搬送パッド40と、搬送パッド40をY軸方向に移動させる搬送パッド移動手段41と、搬送パッド40を昇降させるロアアーム42とを具備している。
The
搬送パッド40は、例えば平面視H形状の外形を有しており、その上面にロアアーム42の下端側が取り付けられている。搬送パッド40は、被加工物Wを支持する環状フレームFを吸着する4個の吸着盤401をその下面に有している。各吸着盤401は、吸着力を生み出す図示しない吸引源に連通している。
The
搬送パッド移動手段41は、例えば、筐体11の+X方向側面の中段部分に配設されており、Y軸方向の軸心を有するボールネジ410と、ボールネジ410と平行に配設された一対のガイドレール411と、ボールネジ410の一端に連結されたモータ412と、ボールネジ410に螺合するナットを内部に備えロアアーム42を支持する可動ブロック413とを備えている。
モータ412がボールネジ410を回動させると、これに伴い可動ブロック413が一対のガイドレール411にガイドされつつガイドレール411上をY軸方向に摺動し、ロアアーム42の下端側に取り付けられた搬送パッド40がY軸方向に移動する。
The transport pad moving means 41 is disposed, for example, in the middle portion of the side surface of the
When the
側面視L字状の外形を備えるロアアーム42は、ボールネジ機構又は電動シリンダ等で構成されており、搬送パッド40をZ軸方向に昇降させる。
The
例えば、搬送パッド40の下面中央部分には、カセット載置台13に載置された図示しないカセットから環状フレームFを上下方向から把持した状態で加工前の被加工物Wを引き出すクランプ46が設けられている。クランプ46は、搬送パッド移動手段41及びロアアーム42によって、搬送パッド40と共にY軸方向及びZ軸方向に移動可能となっている。
For example, a
図2に示すように、装置カバー15内に位置するチャックテーブル30の上方には、クランプ46によりカセットから引き出された被加工物Wを一定の位置に位置合わせする一対のガイドレールからなるセンタリングガイド36が配設されている。断面がL字状に形成されY軸方向に延在する各ガイドレールは、X軸方向に相互に離間又は接近可能であり、段状のガイド面(内側面)が対向するように配置されている。チャックテーブル30に被加工物Wが搬入される際には、クランプ46によりカセット載置台13に載置された図示しないカセットから被加工物Wが引き出されてセンタリングガイド36に載置される。また、加工後の被加工物Wの洗浄が完了すると、搬送パッド40によってセンタリングガイド36に載置された被加工物Wが、クランプ46によりカセットに押し入れられる。
センタリングガイド36の一対のガイドレールは、被加工物Wの載置時には相互に接近して環状フレームFの外周縁部を支持してチャックテーブル30に対する位置決め(センタリング)をし、被加工物Wの非載置時にはチャックテーブル30の保持面30a上を空けるように相互に離間する。
As shown in FIG. 2, above the chuck table 30 located in the
The pair of guide rails of the centering
図2に示すように加工装置1は、チャックテーブル30から切削加工後の被加工物W(筐体11内部の加工室12から出てきた被洗浄物W)を搬出すると共に、該被洗浄物Wを後述するスピンナテーブル90上に搬入する搬入手段5を備えている。搬入手段5は、例えば、チャックテーブル30により保持されている被洗浄物Wを環状フレームFを介して保持する搬入パッド50と、搬入パッド50をY軸方向に移動させる搬入パッド移動手段51と、搬入パッド50を昇降させるアッパーアーム52と、を具備している。
As shown in FIG. 2, the
搬入パッド50は、例えば平面視H形状の外形を有しており、その下面側に被洗浄物Wを支持する環状フレームFを吸着する4個の吸着盤501を備えている。各吸着盤501は、吸着力を生み出す図示しない吸引源に連通している。搬入パッド50の上面には、アッパーアーム52の下端側が固定されている。
The carry-in
搬入パッド移動手段51は、例えば、筐体11の+X方向側面の上段部分に配設されており、Y軸方向の軸心を有するボールネジ510と、ボールネジ510と平行に配設された一対のガイドレール511と、ボールネジ510の一端に連結されたモータ512と、ボールネジ510に螺合するナットを内部に備えアッパーアーム52を支持する可動ブロック513とを備えている。
モータ512がボールネジ510を回動させると、これに伴い可動ブロック513が一対のガイドレール511にガイドされつつガイドレール511上をY軸方向に摺動し、アッパーアーム52の下端側に取り付けられた搬入パッド50がY軸方向に移動する。
The carry-in pad moving means 51 is disposed, for example, in the upper portion of the side surface of the
When the
アッパーアーム52は、ボールネジ機構又は電動シリンダ等で構成されており、搬入パッド50をZ軸方向に昇降させる。
例えば、可動ブロック513は、搬送パッド移動手段41の可動ブロック413に比べて、X軸方向における寸法が長く形成されており、このように長く形成された可動ブロック513の+X方向側の下面にアッパーアーム52は取り付けられている。そのため、アッパーアーム52の下端側に接続されている搬入パッド50の動線上から搬送手段4のロアアーム42はX軸方向においてずれている。これにより、チャックテーブル30から被加工物Wを搬出する際に、搬入手段5は搬送手段4に衝突することなく被加工物WをY軸方向に搬送できる。
The
For example, the
図2、3に示す本発明に係る洗浄装置9は、被洗浄物Wを保持するスピンナテーブル90と、スピンナテーブル90で保持された被洗浄物Wに洗浄液を噴射する洗浄ノズル91と、スピンナテーブル90と洗浄ノズル91とを収容し、被洗浄物Wを上方から内部に搬入又は内部から上方に搬出させるための開口929を有するとともに吸引源928に接続された排気口920aが形成された収容ケース92と、を備えている。
2 and 3, a
図2に示すように、円形の開口929を有する収容ケース92は、例えば、搬入パッド50の移動経路下における基台10上の−Y方向側の一角に配設されている。
図3に示すように、スピンナテーブル90は、例えば、その外形が円形板状であり、ポーラス部材等からなり被洗浄物Wを吸着する吸着部900と、吸着部900を支持する枠体901とを備える。吸着部900は図示しない吸引源に連通し、吸引源が吸引することで生み出された吸引力が、吸着部900の露出面であり枠体901と面一に形成された保持面900aに伝達されることで、スピンナテーブル90は保持面900a上で被洗浄物Wを吸引保持することができる。また、枠体901の周囲には、環状フレームFを固定する固定クランプ901aが、例えば4つ周方向に均等間隔を空けて配設されている。
As shown in FIG. 2, the
As shown in FIG. 3, the spinner table 90 has, for example, a circular plate shape, and is composed of a porous member or the like, and adsorbing
スピンナテーブル90の下側には回転手段94が配設されており、回転手段94によってスピンナテーブル90はZ軸方向の軸心周りに回転可能となっている。また、スピンナテーブル90は、図示しない上下動手段によって上下動可能となっており、被洗浄物Wの搬入搬出時には、スピンナテーブル90が上昇して搬入・搬出高さ位置に位置付けられ、また、洗浄前の被洗浄物Wを保持した状態のスピンナテーブル90は、下降して収容ケース92内における洗浄作業高さ位置に位置付けられる。
A rotating
図3においては、収容ケース92の側壁920等の一部を切欠いて内部が把握できるように示している。円柱状の内部空間を備える収容ケース92は、スピンナテーブル90を囲繞する側壁920と、側壁920の下部に一体的に形成された底921と、から構成されている。底921には、図示しない洗浄液排出口が形成されており、スピンナテーブル90の保持面900a上から底921に流下した洗浄液は洗浄液排出口から装置外へと排出される。
In FIG. 3, a part of the
収容ケース92の側壁920には、排気口920aが貫通形成されており、排気口920aには、金属配管又は樹脂ホースからなる排気路926の一端が連通している。排気路926の他端は、真空発生装置等の吸引源928に連通している。
An
図3に示すように、外形が側面視略L字状である洗浄ノズル91は、例えば、収容ケース92の底921上に立設されており、その先端部分に形成された噴射口910がスピンナテーブル90の保持面900aに向かって開口している。洗浄ノズル91は、モータ及びロータリジョイント等からなる図示しない回転手段によりZ軸方向の軸心周りに回転可能となっており、スピンナテーブル90の上方から退避位置まで噴射口910を移動することができる。洗浄ノズル91は、被洗浄物Wの表面Waに洗浄液(例えば、純水)を供給する図示しない洗浄液供給手段に連通している。
As shown in FIG. 3, the cleaning
例えば、洗浄装置9は、洗浄後の被洗浄物Wをエアブローにより乾燥させるエアノズル96を備えている。外形が側面視略L字状であるエアノズル96は、洗浄ノズル91に並べて配設されており、その先端部分に形成された噴射口960がスピンナテーブル90の保持面900aに向かって開口している。エアノズル96は、洗浄ノズル91と共に図示しない回転手段によりZ軸方向の軸心周りに回転可能となっており、スピンナテーブル90の上方から退避位置まで噴射口960を移動することができる。エアノズル96は、被洗浄物Wの表面Waにエアを供給するコンプレッサー等からなる図示しないエア供給手段に連通している。
For example, the
図4〜5に示すように、洗浄装置9は、被洗浄物Wの洗浄時に収容ケース92の開口929の一部を除いて開口929を覆う開閉自在シート931と、被洗浄物Wの洗浄時に開閉自在シート931の下方に配置され、開口929の一部を覆うサイズの固定シート951と、を備えている。
As shown in FIGS. 4 to 5, the
図5に示す開閉自在シート931は、合成樹脂シート(例えば、形状記憶樹脂シートであるポリエステルシート等)をその中間部で折り曲げて第1のシート片931aと第2のシート片931bとを形成し、該両シート片を重ね合わせて折り曲げた中間部からカールして巻き癖を形状記憶させることにより巻取り部が形成されており、該巻き取り部には巻き取り棒935が挿通されている。
図4に示すように、開閉自在シート931の幅(X軸方向長さ)は、収容ケース92の開口929の直径以上の大きさとなっている。
開閉自在シート931の全長(Y軸方向長さ)は、被洗浄物Wの洗浄時において開閉自在シート931が開口929の一部を除いて開口929を覆うとともに固定シート951に対して上方からその一部が所定長さだけ重なる長さである。
なお、開閉自在シート931は、本実施形態に示す中央から両シート片の伸長又は巻き取りが開始されるダブルタイプのものに限定されず、片側から第2のシート片931bの伸長又は巻き取りが開始されるシングルタイプのものであってもよい。
The openable /
As shown in FIG. 4, the width (length in the X-axis direction) of the openable /
The total length (Y-axis direction length) of the openable /
The openable /
例えば、図4に示すように、収容ケース92の側壁920の上端部(本実施形態においては上面)の+Y方向側の領域には、開閉自在シート931が固定される開閉自在シート固定台930が配設されている。開閉自在シート固定台930上には、例えば、図示しない取り付けブラケットを介して開閉自在シート931の第1のシート片931a側が固定されている。
For example, as shown in FIG. 4, an openable / closable
例えば、収容ケース92の側壁920の上端部(上面)のX方向両側の領域には、開口929を挟むようにしてY軸方向に平行に一対のガイドレール934が延在している。ガイドレール934上には、開閉自在シート931を開閉する移動部932が配設されている。
For example, a pair of
移動部932は、開閉自在シート931の第2のシート片931b側が固定され開口929の上方を横断するようにX軸方向に延在するバー状の外形を備えている。移動部932の両端の底面は、ガイドレール934に緩嵌合してガイドレール934上を摺動可能となっている。移動部932は、図示しない電動シリンダやエアシリンダによってY軸方向にガイドレール934でガイドされつつ往復移動し、これに伴って、開閉自在シート931の開閉が行われる。
The moving
例えば、収容ケース92の側壁920の上端部(上面)の−Y方向側の領域には、固定シート951が貼り付けられた固定シート装着台950が配設されている。固定シート装着台950の高さは、開閉自在シート固定台930の高さよりも低く設定されている。
固定シート951は、ある程度の柔軟性を備える樹脂シート(例えば、塩ビシート)であり、平面視矩形状の外形を備えている。本実施形態においては、固定シート951は、長手方向をX軸方向に平行にして固定シート装着台950の上面にその一端951aが適宜の接着剤等によって貼着されているが、固定シート951は一端951aが上下方向から把持クランプで把持された状態となっていてもよい。
なお、固定シート951はある程度の柔軟性を備えているため、スピンナテーブル90の上下動に応じて動くため、スピンナテーブル90の上下動動作等を妨げない。
For example, in a region on the −Y direction side of the upper end (upper surface) of the
The fixed
Since the fixed
固定シート951の長手方向(X軸方向)長さは、例えば、収容ケース92の開口929の直径以上の大きさとなっている。図4、5に示すように、固定シート951の一端951aに対する他端951b側は自重で垂れ下がるようにして、収容ケース92の開口929の一部(例えば、約1/6程度)を覆っている。
図4、5に示す例において、固定シート951は平面視矩形状の一枚シートであるが、これに限定されるものではない。固定シート951は、例えば、X軸方向に所定間隔を空けてY軸方向に延びる切れ目が複数形成された暖簾状のシートであってもよい。また、固定シート装着台950をY軸方向に移動可能として、固定シート951の他端951bのY軸方向における位置を変更可能としてもよい。
The length in the longitudinal direction (X-axis direction) of the fixed
4 and 5, the fixed
以下に、図1、2に示す加工装置1により被加工物Wを切削してから、洗浄装置9により被加工物Wを洗浄する場合について説明する。
まず、環状フレームFに支持された被加工物Wを複数枚収容した図示しないカセットが、図2に示すカセット載置台13に載置され、その後、昇降エレベータによりカセットの高さ調整が行われる。
The case where the workpiece W is cut by the
First, a cassette (not shown) containing a plurality of workpieces W supported by the annular frame F is placed on the cassette placing table 13 shown in FIG. 2, and then the height of the cassette is adjusted by a lift elevator.
次に、搬送パッド移動手段41がクランプ46を+Y方向に移動させてカセット内部に進入させる。さらに、クランプ46により環状フレームFが把持され、カセットから被加工物Wが1枚クランプ46により引き出され、センタリングガイド36上に環状フレームFが載置される。そして、センタリングガイド36の一対のガイドレールが、X軸方向において相互に接近し環状フレームFの外周縁部を支持しつつ、被加工物Wのセンタリングを行う。
Next, the transport pad moving means 41 moves the
搬送パッド移動手段41により搬送パッド40がY軸方向に移動し、各吸着盤401がセンタリングガイド36上の環状フレームFの上方に位置付けられる。さらに、ロアアーム42が搬送パッド40を降下させ、吸着盤401が環状フレームFに接触して吸着を行うことで、搬送パッド40が被加工物Wをピックアップする。
The
被加工物Wがピックアップされると、センタリングガイド36の一対のガイドレールは、相互に離間する方向に移動し、一対のガイドレールの間には被加工物Wの通る隙間ができる。そして、ロアアーム42が搬送パッド40を降下させ、被加工物Wをチャックテーブル30の保持面30a上に載置する。固定クランプ32が環状フレームFを挟持固定し、また、チャックテーブル30が保持面30a上で被加工物Wを吸引保持した後、搬送パッド40による環状フレームFの吸着が解除される。
When the workpiece W is picked up, the pair of guide rails of the centering
次いで、被加工物Wを吸引保持するチャックテーブル30は、図示しない切削送り手段により−X方向に送られ筐体11内部に移動する。
被加工物Wが−X方向に送られるとともに、図1に示すアライメント手段67によって切削すべき分割予定ラインSの位置が検出される。分割予定ラインSが検出されるのに伴って、切削手段6がY軸方向に割り出し送りされ、分割予定ラインSと切削ブレード63とのY軸方向における位置合わせがなされる。
切り込み送り手段68が切削手段6を降下させ、例えば、切削ブレード63が被加工物WをフルカットしてダイシングテープTに切り込む高さ位置に切削手段6を位置付ける。
Next, the chuck table 30 that sucks and holds the workpiece W is fed in the −X direction by a cutting feed means (not shown) and moves into the
The workpiece W is sent in the −X direction, and the position of the division line S to be cut is detected by the alignment means 67 shown in FIG. As the planned division line S is detected, the cutting means 6 is indexed and fed in the Y-axis direction, and the planned division line S and the
The cutting feed means 68 lowers the cutting means 6, and for example, the cutting means 63 is positioned at a height position where the
図示しない切削送り手段がチャックテーブル30を−X方向に送り出すとともに、切削ブレード63が高速回転をしながら被加工物Wに切り込み、分割予定ラインSを切削する。
切削ブレード63が分割予定ラインSを切削し終えるX軸方向の所定の位置まで被加工物Wが−X方向に進行すると、図示しない切削送り手段が被加工物Wの切削送りを一度停止させ、切り込み送り手段68が切削手段6を上昇させて切削ブレード63を被加工物Wから離間させる。そして、図示しない切削送り手段がチャックテーブル30を+X方向へ送り出して元の位置に戻す。隣り合う分割予定ラインSの間隔ずつ切削手段6がY軸方向に割り出し送りされて順次同様の切削が行われ、同方向の全ての分割予定ラインSが切削される。さらに、チャックテーブル30が90度回転されて同様の切削が行われることで、全ての分割予定ラインSが縦横に全てカットされて被加工物WがデバイスDを備えるチップへと分割される。また、被加工物Wの外周部分に端材となる三角チップが形成される。
A cutting feed means (not shown) feeds the chuck table 30 in the −X direction, and the
When the workpiece W advances in the -X direction to a predetermined position in the X-axis direction where the
図示しない切削送り手段によりチャックテーブル30が+X方向に送られて、チャックテーブル30が筐体11の内部から装置カバー15内へと移動する。
次いで、搬入手段5がチャックテーブル30から被加工物W(以下、被洗浄物Wとする)を搬出する。即ち、図2に示す搬入パッド移動手段51により搬入パッド50がY軸方向に移動し、各吸着盤501が被洗浄物Wを支持する環状フレームFの上方に位置付けられる。さらに、アッパーアーム52が搬入パッド50を降下させ、吸着盤501が環状フレームFに接触して吸着を行い、搬入パッド50が被洗浄物Wをピックアップする。
The chuck table 30 is fed in the + X direction by a cutting feed means (not shown), and the chuck table 30 moves from the inside of the
Next, the loading means 5 unloads the workpiece W (hereinafter, referred to as the workpiece W) from the chuck table 30. That is, the carry-in
チャックテーブル30による被洗浄物Wの吸引保持及び固定クランプ32による環状フレームFの固定が解除される。そして、アッパーアーム52が搬入パッド50を上昇させ、次いで、搬入パッド移動手段51が搬入パッド50を−Y方向に移動させて洗浄装置9へ被洗浄物Wを搬送する。
The object to be cleaned W is sucked and held by the chuck table 30 and the fixing of the annular frame F by the fixing
洗浄装置9の収容ケース92の開口929は、図4に示すように被洗浄物Wを搬入できるように開いた状態になっている。
搬入パッド移動手段51によって、被洗浄物Wがスピンナテーブル90の上方に搬送され、被洗浄物Wの中心がスピンナテーブル90の保持面900aの中心におおよそ合致するように、搬入パッド50の位置の調整が行われる。
The
The object W to be cleaned is transported above the spinner table 90 by the carry-in pad moving means 51, and the position of the carry-in
次いで、アッパーアーム52が搬入パッド50を降下させ、被洗浄物Wがスピンナテーブル90の保持面900a上に載置される。そして、図5に示すように、固定クランプ901aが環状フレームFを挟持固定し、また、図示しない吸引源が生み出す吸引力がスピンナテーブル90の保持面900a上に伝達されることで、スピンナテーブル90が被洗浄物Wを吸引保持する。また、搬入パッド50による環状フレームFの吸着が解除される。
そして、被洗浄物Wを吸引保持するスピンナテーブル90が、図5に示すように、収容ケース92内における洗浄作業高さ位置まで下降する。
Next, the
Then, the spinner table 90 that sucks and holds the workpiece W is lowered to the cleaning work height position in the
次いで、図6、7に示すように、移動部932が−Y方向に移動するのに伴って、第1のシート片931aおよび第2のシート片931bが巻き取り棒935から引き出されることにより、開閉自在シート931が−Y方向に向かって略水平に延びていく。そして、移動部932が−Y方向側の所定位置まで移動することで、開閉自在シート931が、開口929の一部を除いて開口929を覆うと共に、第2のシート片931bが固定シート951の他端951b側を上方から所定面積だけ覆った状態、即ち、固定シート951が、被洗浄物Wの洗浄時に開閉自在シート931の下方に配置された状態になる。
Next, as shown in FIGS. 6 and 7, the
固定シート951の他端951b側は垂れ下がっているため、開閉自在シート931と固定シート951との間に隙間が形成されることで開口929の上方から収容ケース92内へ向かう通気口954が形成される。また、収容ケース92の開口929は、その全面が固定シート951と開閉自在シート931とで覆われた状態となる。
Since the
次いで、洗浄ノズル91が旋回移動し、洗浄ノズル91の噴射口910がスピンナテーブル90により吸引保持された被洗浄物Wの表面Waの中央領域上方に位置付けられる。そして、洗浄ノズル91の噴射口910から被洗浄物Wの表面Waの中心部に向かって洗浄液(例えば、純水)が噴射される。さらに、洗浄液を噴射する洗浄ノズル91が、被洗浄物Wの上方をZ軸方向の軸心周りに所定角度で往復するように旋回移動する。また、スピンナテーブル90が所定の回転速度で回転することで、被洗浄物Wの表面Wa全面に洗浄ノズル91から洗浄液が噴射される。
Next, the cleaning
これにより、被洗浄物Wが洗浄され、スピンナテーブル90の回転により発生する遠心力によって、洗浄液が、被洗浄物Wの表面Wa上を中心側から外周側に向けて流れていき、スピンナテーブル90上から収容ケース92の底921へと流下する。
As a result, the object to be cleaned W is cleaned, and the cleaning liquid flows on the surface Wa of the object to be cleaned W from the center side toward the outer peripheral side by the centrifugal force generated by the rotation of the spinner table 90. It flows down from the top to the
上記洗浄中においては、被洗浄物Wの表面Wa上に残存していた切削屑等を含む噴霧が生成されて収容ケース92内に飛散する。そのため、吸引源928が作動して、吸引源928が収容ケース92内から切削屑等の汚れを含んだ噴霧の吸引を行う。洗浄中においては、開口929の上方から収容ケース92内へ向かう通気口954によって収容ケース92内に外気が絶えず取り込まれているため、収容ケース92内が減圧されてしまい噴霧が排気されなくなるという事態は生じない。
なお、図6、7に示す例のように、収容ケース92の排気口920aと通気口954とがY軸方向において斜めに対面するように設定することで、収容ケース92内に取り込まれた外気がそのまま排気口920aへと向かうようになり、収容ケース92内における外気の流れが整流化するようになるため好ましい。
During the cleaning, a spray containing cutting waste and the like remaining on the surface Wa of the object to be cleaned W is generated and scattered in the
As shown in the examples shown in FIGS. 6 and 7, the outside air taken into the
一方、上記洗浄中においては、切削で被洗浄物Wに形成された端材(例えば、被洗浄物Wの外周部に形成された三角チップ)や洗浄液の飛沫が開口929側に向かって飛散することがある。しかし、収容ケース92の開口929は、その全面が固定シート951と開閉自在シート931とで覆われた状態となっているため、洗浄液の飛沫や端材が収容ケース92外へ飛散してしまうことが防がれる。なお、通気口954からは外気が収容ケース92内へ常に流れ込んでいるため、通気口954に向かって飛んでいった飛沫等が収容ケース92外へ飛散してしまうことが該外気の流れによって防がれる。
On the other hand, during the cleaning, the end material formed on the workpiece W by cutting (for example, the triangular chip formed on the outer peripheral portion of the workpiece W) or the splash of the cleaning liquid scatters toward the
洗浄液によって所定時間被洗浄物Wの洗浄が行われた後、洗浄ノズル91からの洗浄液の噴射が止められる。次いで、エアノズル96の噴射口960から被洗浄物Wの表面Waの中心部に向かってエアが噴射される。さらに、エアを噴射するエアノズル96が、被洗浄物Wの上方をZ軸方向の軸心周りに所定角度で往復するように旋回移動する。さらに、回転手段94がスピンナテーブル90を所定の回転速度で回転させることによって、被洗浄物Wの表面Wa全面がエアブローにより乾燥される。そして、被洗浄物Wの乾燥が完了すると、エアノズル96がスピンナテーブル90上から旋回移動して退避する。
After the object to be cleaned W is cleaned by the cleaning liquid for a predetermined time, the cleaning liquid jet from the cleaning
移動部932が+Y方向に移動するのに伴って、第1のシート片931aおよび第2のシート片931bが形状記憶された巻き癖により巻き取り棒935に巻き取られていき、開口929が開かれた状態になる。また、スピンナテーブル90が、上昇して被洗浄物Wが搬出可能な状態になる。
As the moving
図2に示す搬送パッド移動手段41により搬送パッド40が−Y方向に移動し、各吸着盤401がスピンナテーブル90上の環状フレームFの上方に位置付けられる。さらに、ロアアーム42が搬送パッド40を降下させ、吸着盤401が環状フレームFに接触して吸着を行うことで、搬送パッド40が被洗浄物Wをピックアップする。
The transport pad moving means 41 shown in FIG. 2 moves the
そして、搬送パッド40が+Y方向に移動して、センタリングガイド36上に環状フレームFが載置される。さらに、クランプ46による環状フレームFの把持が行われた後、クランプ46によって被洗浄物Wがカセット載置台13上の図示しないカセットに挿入される。
Then, the
上記のように本発明に係る洗浄装置9は、収容ケース92の開口929の一部を除いて開口929を覆う開閉自在シート931と、被洗浄物の洗浄時に開閉自在シート931の下方に配置され、開口929の一部を覆うサイズの固定シート951と、を備え、固定シート951は、収容ケース92の上端部に一端951aが固定されるとともに一端951aに対する他端951b側が垂れ下がっているため、開閉自在シート931と固定シート951との間に隙間が形成される。そのため、開口929の上方から収容ケース92内へ向かう通気口954を形成し外気が収容ケース92内部へ流入することを許容して収容ケース92内が減圧されてしまうことを防ぎ、効率よく汚れた噴霧を排気し続けることができる。また、収容ケース92の開口929は、その全面が開閉自在シート931と固定シート951とで覆われた状態となっているため、洗浄液及び洗浄中の被洗浄物Wの端材が収容ケース92外へ飛散するのを防止できる。
As described above, the
なお、本発明に係る洗浄装置9は上記実施形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている加工装置1及び洗浄装置9の各構成についても、図示の例に限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。
The
W:被洗浄物(被加工物) T:ダイシングテープ F:環状フレーム
1:加工装置 10:基台 11:筐体 110:覗き窓 111:操作手段 116:搬入出口
12: 加工室 15:装置カバー 13:カセット載置台
30:チャックテーブル 31:カバー 32:固定クランプ
36:センタリングガイド
6:切削手段 61:スピンドル 62:スピンドルハウジング 63:切削ブレード
69:割り出し送り手段 68:切り込み送り手段 67:アライメント手段
4:搬送手段 40:搬送パッド 401:吸着盤
41:搬送パッド移動手段 410:ボールネジ 411:ガイドレール 412:モータ 413:可動ブロック 42:ロアアーム 46:クランプ
5:搬入手段 50:搬入パッド 501:吸着盤
51:搬入パッド移動手段 510:ボールネジ 511:ガイドレール 512:モータ 513:可動ブロック 52:アッパーアーム
9:洗浄装置 90:スピンナテーブル 900:吸着部 900a:保持面 901:枠体 901a:固定クランプ
91:洗浄ノズル 96:エアノズル
92:収容ケース 920:側壁 920a:排気口 921:底 926:排気路 928:吸引源 929:開口
94:回転手段
930:開閉自在シート固定台 931:開閉自在シート 931a:第1のシート片 931b:第2のシート片
932:移動部 934:一対のガイドレール
951:固定シート 954:通気口
W: Object to be cleaned (workpiece) T: Dicing tape F: Ring frame 1: Processing device 10: Base 11: Housing 110: Viewing window 111: Operating means 116: Loading / unloading port 12: Processing chamber 15: Device cover 13: Cassette mounting table 30: Chuck table 31: Cover 32: Fixed clamp 36: Centering guide 6: Cutting means 61: Spindle 62: Spindle housing 63: Cutting blade 69: Index feed means 68: Cutting feed means 67: Alignment means 4 : Conveying means 40: Conveying pad 401: Suction plate
41: Transfer pad moving means 410: Ball screw 411: Guide rail 412: Motor 413: Movable block 42: Lower arm 46: Clamp 5: Loading means 50: Loading pad 501: Suction plate
51: Loading pad moving means 510: Ball screw 511: Guide rail 512: Motor 513: Movable block 52: Upper arm
9: Cleaning device 90: Spinner table 900:
94: Rotating means
930: Openable / closable sheet fixing base 931: Openable /
Claims (1)
被洗浄物を保持するスピンナテーブルと、
該スピンナテーブルで保持された被洗浄物に洗浄液を噴射する洗浄ノズルと、
該スピンナテーブルと該洗浄ノズルとを収容し、被洗浄物を上方から内部に搬入又は内部から上方に搬出させるための開口を有するとともに吸引源に接続された排気口が形成された収容ケースと、
該開口の一部を除いて該開口を覆う開閉自在シートと、
被洗浄物の洗浄時に該開閉自在シートの下方に配置され、該開口の一部を覆うサイズの固定シートと、を備え、
該固定シートは、該収容ケースの上端部に一端が固定されるとともに該一端に対する他端側が垂れ下がり該開閉自在シートと該固定シートとの間に隙間が形成されることで該開口の上方から該収容ケース内へ向かう通気口を形成し外気が該収容ケースへ流入することを許容するとともに、洗浄液及び洗浄中の被洗浄物の端材が該収容ケース外へ飛散するのを防止する、洗浄装置。 A cleaning device,
A spinner table for holding an object to be cleaned;
A cleaning nozzle for injecting a cleaning liquid onto an object to be cleaned held by the spinner table;
A housing case that houses the spinner table and the washing nozzle, has an opening for carrying an object to be washed into the inside from the top or carrying it out from the inside, and is formed with an exhaust port connected to a suction source;
An openable / closable sheet that covers the opening except for a part of the opening;
A fixed sheet that is arranged below the openable and closable sheet when cleaning the object to be cleaned and covers a part of the opening, and
The fixing sheet has one end fixed to the upper end portion of the housing case and the other end side with respect to the one end hangs down to form a gap between the openable and closable sheet and the fixing sheet, so that the fixing sheet can be seen from above the opening. A cleaning device that forms a vent opening into the storage case and allows outside air to flow into the storage case, and prevents the cleaning liquid and the end material of the object being cleaned from scattering outside the storage case. .
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