JP5180661B2 - Spinner cleaning device and processing device - Google Patents
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Description
本発明は、回転させたワークに洗浄水を供給して洗浄する形式のスピンナ洗浄装置と、該洗浄装置を装備した各種加工装置に関する。本発明で対象となるワークは、例えば半導体ウェーハや電子部品の基板等の薄板状のものが挙げられる。 The present invention relates to a spinner cleaning apparatus of a type that supplies cleaning water to a rotated work and performs cleaning, and various processing apparatuses equipped with the cleaning apparatus. Examples of the workpiece to be used in the present invention include a thin plate-like workpiece such as a semiconductor wafer or a substrate of an electronic component.
例えば半導体デバイス製造工程においては、円板状の半導体ウェーハの表面に格子状の分割予定ラインによって多数の矩形領域を区画し、これら矩形領域の表面にICやLSI等の電子回路を形成し、次いで裏面を研削した後に研磨するなど必要な処理をしてから、全ての分割予定ラインを切削して切断する、すなわちダイシングして、多数の半導体チップを得ている。このようにして得られた半導体チップは、樹脂封止によりパッケージングされて、携帯電話やPC(パーソナル・コンピュータ)等の各種電気・電子機器に広く用いられている。 For example, in the semiconductor device manufacturing process, a large number of rectangular regions are defined on the surface of a disk-shaped semiconductor wafer by grid-like division lines, and electronic circuits such as IC and LSI are formed on the surface of these rectangular regions, and then After the necessary processing such as polishing after the back surface is ground, all the divided lines are cut and cut, that is, diced to obtain a large number of semiconductor chips. The semiconductor chip thus obtained is packaged by resin sealing and widely used in various electric / electronic devices such as mobile phones and PCs (personal computers).
半導体ウェーハをダイシングする装置としては、チャックテーブルに吸着して保持した半導体ウェーハに対して、高速回転させた円板状の薄い切削ブレードを切り込ませていくブレード式の切削装置が一般的である(例えば特許文献1)。ブレード式の切削装置でダイシングされた半導体ウェーハは、付着している切削屑等を除去するために洗浄する必要があることから、洗浄手段を備えた切削装置が提供されている(例えば特許文献2)。 As a device for dicing a semiconductor wafer, a blade-type cutting device is generally used in which a thin disc-shaped cutting blade rotated at high speed is cut into a semiconductor wafer adsorbed and held on a chuck table. (For example, patent document 1). Since a semiconductor wafer diced by a blade-type cutting device needs to be cleaned in order to remove adhering cutting waste and the like, a cutting device provided with a cleaning means is provided (for example, Patent Document 2). ).
半導体ウェーハの切削装置に具備される洗浄手段は、上記特許文献2に記載されるように、ワーク(半導体ウェーハ)をスピンナテーブルに吸着して保持し、スピンナテーブルを回転させて、回転するワークに向けて洗浄水供給ノズルから洗浄水を噴出して供給することにより洗浄を行う。そして、洗浄水の供給を停止し、スピンナテーブルの回転を続けることにより、遠心力で水分を除去して乾燥まで行っている。 As described in Patent Document 2, the cleaning means provided in the semiconductor wafer cutting apparatus sucks and holds a work (semiconductor wafer) on a spinner table, rotates the spinner table, and rotates the work. Cleaning is performed by ejecting and supplying cleaning water from a cleaning water supply nozzle. Then, the supply of the washing water is stopped, and the spinner table is continuously rotated, so that the water is removed by centrifugal force and the drying is performed.
このような洗浄手段は、加工後のワークを洗浄して乾燥させるまでが一連の動作で行うことができるため有効なものである。ところが、この種の洗浄手段では、スピンナテーブルを高速で回転させるため、洗浄水がワークに供給されると汚れたミストが発生する。そこで、汚れたミストが周辺に飛散することを防ぐためにスピンナテーブルをケーシングで覆うなどの対策が考えられた。しかしながら、ミストの飛散を十分におさえることが困難であったり、ケーシングの内面に付着した水滴が乾いたワークに滴下したりするなど、新たな問題が生じており、より有効なミスト飛散防止の対策が求められた。 Such a cleaning means is effective because it can be performed in a series of operations until the processed workpiece is cleaned and dried. However, in this type of cleaning means, the spinner table is rotated at a high speed, so that dirty mist is generated when cleaning water is supplied to the workpiece. Therefore, in order to prevent dirty mist from splashing around, measures such as covering the spinner table with a casing have been considered. However, there are new problems such as it is difficult to sufficiently suppress mist scattering, and water droplets adhering to the inner surface of the casing are dripped onto a dry workpiece, and more effective measures to prevent mist scattering. Was requested.
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、洗浄することによって発生するミストを確実に排出して周辺への悪影響を効果的に防止することができるスピンナ洗浄装置と、そのような洗浄装置を備えた加工装置を提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and a spinner cleaning device capable of reliably discharging mist generated by cleaning and effectively preventing adverse effects on the periphery, and such cleaning It aims at providing the processing apparatus provided with the apparatus.
本発明は、ワークを保持する保持面を有し、回転可能に設けられたスピンナテーブルと、該スピンナテーブルに保持されたワークに洗浄水を供給する洗浄水供給ノズルと、スピンナテーブルを囲繞して洗浄室を形成する囲繞部材と、該囲繞部材に設けられて洗浄室を開閉する開閉手段と、洗浄室内の、保持面を開閉手段との間に挟む位置に配設され、該洗浄室内を排気する排気手段と、洗浄室内に配設され、保持面と開閉手段との間の空間に対して空気を排気手段方向に噴出するエアブロー手段とを少なくとも含み、開閉手段が保持面の上方に配設され、排気手段が保持面の下方に配設され、エアブロー手段から噴出される空気の噴出方向が水平方向よりも下向きに設定され、かつ、エアブロー手段の噴出方向および排気手段の排気方向が、スピンナテーブルの回転方向に沿った方向に設定されていることを特徴としている。 The present invention includes a spinner table that has a holding surface for holding a workpiece and is rotatably provided, a cleaning water supply nozzle that supplies cleaning water to the workpiece held on the spinner table, and a spinner table. An enclosure member forming the cleaning chamber, an opening / closing means provided on the enclosure member for opening and closing the cleaning chamber, and a position in the cleaning chamber sandwiching the holding surface between the opening and closing means, and exhausting the cleaning chamber and exhaust means for, is disposed in the cleaning chamber, at least viewed including the air blow means for ejecting air to the exhaust means direction to the space between the holding surface and the opening and closing means, distribution above the holding surface closing means Provided, the exhaust means is disposed below the holding surface, the ejection direction of the air ejected from the air blow means is set downward from the horizontal direction, and the ejection direction of the air blow means and the exhaust direction of the exhaust means are It is characterized in that it is set in a direction along the rotational direction of the pin na table.
本発明で言うワークは特に限定はされないが、例えば上記半導体ウェーハ等のウェーハや、チップ実装用としてウェーハの裏面に設けられるDAF(Die Attach Film)等の粘着部材、あるいは半導体製品のパッケージ、ガラス系あるいはシリコン系の基板、さらには、ミクロンオーダーの精度が要求される各種加工材料等が挙げられる。 The workpiece in the present invention is not particularly limited. For example, a wafer such as the above semiconductor wafer, an adhesive member such as DAF (Die Attach Film) provided on the back surface of the wafer for chip mounting, a semiconductor product package, a glass system Alternatively, silicon-based substrates, and various processed materials that require micron-order accuracy can be used.
本発明のスピンナ洗浄装置によれば、保持面にワークを保持したスピンナテーブルを回転させながら、回転するワークに向けて洗浄水供給ノズルから洗浄水を供給することによりワークが洗浄される。そして、スピンナテーブルの回転を継続して洗浄水の供給を停止すると、ワークに付着する洗浄水が遠心力で吹き飛ばされ、さらにワークが乾燥する。 According to the spinner cleaning apparatus of the present invention, the work is cleaned by supplying the cleaning water from the cleaning water supply nozzle toward the rotating work while rotating the spinner table holding the work on the holding surface. And if rotation of a spinner table is continued and supply of washing water is stopped, washing water adhering to a work will be blown off by centrifugal force, and also a work will be dried.
洗浄水がワークに供給されることにより発生するミストは、囲繞部材によって洗浄室から外部へ漏洩して広がることが防止されるとともに、排気手段によって所定の処理設備に排出される。エアブロー手段から噴出する空気が、スピンナテーブルの保持面に保持されているワークにかぶさるようにして排気手段方向に流れ、これによりミストは開閉手段の方向へ流れることなく速やかに排気手段に導入される。その結果、発生するミストを確実に排気手段で排出することができる。そしてこのように効率的にミストが排出されるため、洗浄運転終了後に開閉手段を開いた際に、洗浄室内に残ったミストが洗浄室から外部に漏れるといったおそれがなく、ミストによる周辺への悪影響を防止することができる。 Mist generated when the cleaning water is supplied to the workpiece is prevented from leaking and spreading from the cleaning chamber to the outside by the surrounding member, and discharged to a predetermined processing facility by the exhaust means. The air blown out from the air blowing means flows in the direction of the exhausting means so as to cover the work held on the holding surface of the spinner table, whereby the mist is promptly introduced into the exhausting means without flowing in the direction of the opening / closing means. . As a result, the generated mist can be reliably discharged by the exhaust means. Since the mist is efficiently discharged in this way, there is no possibility that the mist remaining in the cleaning chamber leaks outside from the cleaning chamber when the opening / closing means is opened after the end of the cleaning operation. Can be prevented.
本発明では、スピンナテーブルのワーク保持面を挟んで該保持面の片側に開閉手段が配設され、反対側に排気手段が配設されており、この位置関係においてエアブロー手段から排気手段方向に空気を噴出するため、上記のようにミストを排気手段に向かって円滑に導入することができ、また、開閉手段を開いた際もミストが外部に漏れにくい構造となっている。このような構造は、開閉手段が保持面の上方に配設され、排気手段が保持面の下方に配設され、エアブロー手段から噴出される空気の噴出方向が水平方向よりも下向きに設定されるといった本発明の構成で得られる。 In the present invention, the opening / closing means is provided on one side of the work holding surface of the spinner table, and the exhaust means is provided on the opposite side. In this positional relationship, air is directed from the air blowing means toward the exhaust means. As described above, the mist can be smoothly introduced toward the exhaust means, and the mist is difficult to leak to the outside even when the opening / closing means is opened. Such a structure, the opening and closing means is disposed above the holding surface, an exhaust means is disposed below the holding surface, ejection direction of the air ejected from the air blow means Ru is set downward from the horizontal direction It is obtained with the configuration of the present invention.
この形態によると、ワークから舞い上がろうとするミストを、エアブロー手段から下向きに噴出する空気でおさえ込んで速やかに排気手段に導入することができる。また、ミストが洗浄室上方の開閉手段の内面に付着することを防止することができ、このため、開閉手段の内側にミストが凝集した水滴が付着し、例えば開閉手段を開いた際などに、その水滴が洗浄後のワークに落下して汚染を招くといった不具合を防止することができる。 According to this aspect, the mist that is going to fly up from the work can be quickly introduced into the exhaust means after being held in by the air blown downward from the air blow means. Further, it is possible to prevent the mist from adhering to the inner surface of the opening / closing means above the cleaning chamber, and for this reason, when water droplets aggregated with mist adhere to the inside of the opening / closing means, for example, when the opening / closing means is opened, It is possible to prevent such a problem that the water drops fall on the cleaned workpiece and cause contamination.
また、本発明では、エアブロー手段の噴出方向および排気手段の排気方向が、スピンナテーブルの回転方向に沿った方向に設定されている。スピンナテーブルが回転すると該スピンナテーブルの周囲には回転方向に沿った空気の流れが生じる場合があり、この空気の流れと同じ方向に空気を噴出させるとともに排気を行えば、螺旋状の空気の流れが生じるとともに、その流れを促進させることができる。ミストはその螺旋状に流れる空気に巻き込まれて流れていき、このため、ミストの舞い上がりが効果的におさえられるとともに、より一層効率的にミストを排出させることができる。 Further, in the present invention, the ejection direction of the air blow means and the exhaust direction of the exhaust means are set in a direction along the rotation direction of the spinner table . When the spinner table rotates, an air flow along the direction of rotation may be generated around the spinner table. If air is ejected in the same direction as this air flow and exhausted, the spiral air flow And the flow can be promoted. The mist is entrained in the spirally flowing air and flows, so that the rising of the mist can be effectively suppressed and the mist can be discharged more efficiently.
次に、本発明の加工装置は、上記本発明のスピンナ洗浄装置を備えていることを特徴とするものであり、上記の作用効果によって、該加工装置が具備する各種機器へのミストの悪影響が防止される。本発明の具体的な加工装置としては、ワークのダイシング加工(切削ブレードによるダイシング、またはレーザ光照射によるダイシングを含む)、レーザ光を用いた孔あけ加工、研削加工、研磨加工、エキスパンド分割加工のうちの少なくとも1つの加工を行う加工装置が挙げられる。 Next, the processing apparatus of the present invention is characterized by including the above-described spinner cleaning apparatus of the present invention. Due to the above-described effects, the mist adversely affects various devices included in the processing apparatus. Is prevented. Specific processing apparatuses of the present invention include workpiece dicing processing (including dicing by a cutting blade or laser beam irradiation), drilling processing using laser light, grinding processing, polishing processing, and expanded division processing. A processing apparatus that performs at least one of these processes may be used.
本発明によれば、ワークを洗浄することによって発生する汚染したミストが洗浄室の外部に漏洩すること、ならびにそのミストを排気手段によって洗浄室の外部に排出することが確実かつ効率的になされ、結果としてミストの周辺への悪影響を効果的に防止することができるといった効果を奏する。 According to the present invention, the contaminated mist generated by cleaning the workpiece leaks to the outside of the cleaning chamber, and the mist is discharged to the outside of the cleaning chamber by the exhaust means reliably and efficiently. As a result, there is an effect that an adverse effect on the periphery of the mist can be effectively prevented.
以下、図面を参照して本発明に係る一実施形態を説明する。
図1は、一実施形態のスピンナ洗浄装置1を示している。このスピンナ洗浄装置1は、半導体ウェーハ(以下、ウェーハと略称)を加工する加工装置に具備され、加工後のウェーハを洗浄するものである。加工装置としては、ウェーハのダイシング加工(切削ブレードによるダイシング、またはレーザ光照射によるダイシングを含む)、レーザ光を用いた孔あけ加工、研削加工、研磨加工、エキスパンド分割加工などを行うものが挙げられる。スピンナ洗浄装置1は、そのような加工装置の基台上の所定位置に、支持台10を介して支持されている。
Hereinafter, an embodiment according to the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 shows a spinner cleaning apparatus 1 according to an embodiment. The spinner cleaning apparatus 1 is provided in a processing apparatus for processing a semiconductor wafer (hereinafter abbreviated as a wafer) and cleans the processed wafer. Examples of the processing apparatus include a wafer dicing process (including dicing by a cutting blade or laser beam irradiation), drilling using a laser beam, grinding process, polishing process, and expanding division process. . The spinner cleaning apparatus 1 is supported via a support table 10 at a predetermined position on the base of such a processing apparatus.
支持台10は、加工装置の基台に固定される水平なプレート11と、このプレート11上に立設された複数の脚部12と、これら脚部12の上端に固定された受け部13とから構成されている。受け部13は図示せぬ円形状の底板の周縁に環状の外枠13aが設けられたものであり、この受け部13に、スピンナ洗浄装置1の主体をなす円筒状のケーシング(囲繞部材)20が嵌め込まれて支持されている。
The
受け部13に支持されているケーシング20は軸心がほぼ鉛直方向に沿った状態となっている。このケーシング20の内部が洗浄室21となっており、洗浄室21内には、図2に示すように、円板状のスピンナテーブル30がケーシング20と同心状に配設されている。図3に示すように、スピンナテーブル30は、円板状の枠体31の上面に多孔質体からなる円板状の吸着部32が嵌合されたものである。
The
吸着部32は枠体31と同心状でスピンナテーブル30の上面の大部分を占めており、吸着部32の上面と周囲の環状の枠体31の上面とは同一の平面であって、ウェーハを保持する平坦な保持面30Aとなっている。スピンナテーブル30には空気を吸引する配管を介してバキューム装置が接続されており(いずれも図示略)、バキューム装置を運転すると吸着部32の上方の空気が吸引され、この空気吸引作用により、スピンナテーブル30上に載置されたウェーハが吸着部32に吸着されて保持されるようになっている。
The
スピンナテーブル30は、受け部13の底板を貫通して鉛直方向に延びるポスト35の上端に、回転自在に支持されている。ポスト35は、例えば複数の筒状体を組み合わせたテレスコープ構造のような伸縮する構造を有しており、ケーシング20の中心に配設されている。ポスト35が伸びるとスピンナテーブル30はケーシング20よりも上方に出てウェーハの受け渡し位置まで上昇させられる。また、ポスト35が縮むとスピンナテーブル30は洗浄室21内に設定された所定の洗浄位置まで下降させられる。このようにポスト35を伸縮させてスピンナテーブル30を昇降させるモータ等を有する昇降手段41が、プレート11上に固定されている。
The spinner table 30 is rotatably supported on the upper end of a
また、プレート11上には、スピンナテーブル30を回転させるモータ42が固定されている。スピンナテーブル30の枠体31には、モータ42の回転を伝達する図示せぬ回転伝達機構が接続されており、モータ42が運転されると枠体31すなわちスピンナテーブル30が回転するようになっている。スピンナテーブル30は上記のようにポスト35の伸縮によって昇降するが、下降して洗浄位置に位置付けられたときに回転可能であればよい。したがって、スピンナテーブル30が洗浄位置に位置付けられたときに、該回転伝達機構がスピンナテーブル30の枠体31に接続されるような構成が採られる。
A
なお、スピンナテーブル30の昇降にかかわらず常に該回転伝達機構がスピンナテーブル30に接続する構造であっても勿論よい。スピンナテーブル30の昇降機構や回転機構は上記実施形態に限定はされず、昇降と回転が可能な構成であればいかなる構造も選択される。 Of course, the rotation transmission mechanism may always be connected to the spinner table 30 regardless of whether the spinner table 30 is raised or lowered. The raising / lowering mechanism and the rotating mechanism of the spinner table 30 are not limited to the above embodiment, and any structure can be selected as long as it can be raised and lowered and rotated.
図4(a)は、スピンナ洗浄装置1で洗浄されるウェーハWを示している。ウェーハWはスピンナ洗浄装置1が具備されている加工装置の加工の種類に応じて、ウェーハWのみ単体の状態で処理される場合と、図4(b)に示すように環状のフレーム61の内側に粘着テープ62を介して支持された状態で処理される場合がある。ウェーハWは加工された後に、いずれかの状態のままスピンナ洗浄装置1に供される。フレーム61は、金属等の板材からなる剛性を有するものである。粘着テープ62は片面が粘着面とされたもので、その粘着面にフレーム61とウェーハWが貼着される。
FIG. 4A shows the wafer W to be cleaned by the spinner cleaning apparatus 1. Depending on the type of processing of the processing apparatus provided with the spinner cleaning apparatus 1, the wafer W is processed in a single state, and the inside of the
スピンナテーブル30の周囲には、フレーム61を着脱自在に把持する複数のクランプ34が配設されており、ウェーハWが粘着テープ62を介してフレーム61に保持されている場合、フレーム61はクランプ34に把持されて保持されるようになっている。各クランプ34は、スピンナテーブル30の枠体31に固定されている。
A plurality of
ケーシング20の上方開口は、巻取式のフラップ(開閉手段)25によって開閉されるようになっている。このフラップ25は可撓性を有する材料によって帯状に形成されたもので、ケーシング20の上方の側方に配設された巻取部26から引き出されるとケーシング20の上方開口が閉塞されるようになっている。フラップ25が閉じた状態は、フラップ25の先端部をケーシング20に引っ掛けて係合させるなどの手段により保持されるようになっている。フラップ25が閉じられると洗浄室21内は密閉状態になる。なお、洗浄室21の密閉度を高めるために、上記ポスト35が貫通するケーシング20の底板の孔などは密閉シールで閉塞されることが望ましい。
The upper opening of the
洗浄室21内には、スピンナテーブル30の保持面30Aに保持されたウェーハWの上面に洗浄水を噴出して供給する洗浄水供給ノズル50が、この場合2つ設けられている。洗浄水は、純水、あるいは静電気防止のためにCO2入りの純水が用いられる。洗浄水供給ノズル50は配管51の先端に、洗浄水を下向きに噴出するように設けられている。配管51はケーシング20内に取り付けられた回転軸52に水平旋回可能に支持されており、往復旋回することによって、スピンナテーブル30に保持されて回転するウェーハWの上面にまんべんなく洗浄水を噴出するようになっている。なお図示はしていないが、ケーシング20の底部には、洗浄水をケーシング20の外部に導いて所定の処理設備に排出するための排水口および該排水口に接続された排水管が設けられている。
In the
ケーシング20の下部には、洗浄室21内の空気をケーシング20の外部に導いて排出するための排気管(排気手段)60の一端部が外部から接続されている。図3に示すように、排気管60はケーシング20に形成された排気口20aに対して水平に接続されているが、図2に示すように、接続された部分に近接するケーシング20の外周面から延びる接線Lと平行な方向に延びている。言い換えると、排気管60から洗浄室21内方向へ真っ直ぐに延びる延長線が、スピンナテーブル30とケーシング20の内面との間に位置するように延びている。このような排気管60の延びる方向は、スピンナテーブル30の回転方向(図1および図2で矢印Rで示す)に沿った方向と言える。
One end of an exhaust pipe (exhaust means) 60 for guiding the air in the
排気管60は図示せぬ所定の処理設備まで延びており、排気管60の途中、あるいは該処理設備には、洗浄室21内の空気を吸引して排気管60に流入させる図示せぬ排気ファンが装備されている。排気管60が接続されるケーシング20の排気口20aは、スピンナテーブル30の保持面30Aよりも下方位置に形成されている。
The
洗浄室21内の上部であって保持面30Aよりも上方の位置には、複数(この場合4つ)のエアブロワ(エアブロー手段)70が、周方向に等間隔をおいて配設されている。エアブロワ70はケーシング20の内面に近接しており、図示せぬブラケットを介してケーシング20の内面に支持されている。エアブロワ70には図示せぬ空気供給配管がケーシング20を気密的に貫通して接続されており、横方向に複数配列された噴出口71から空気が所定圧力で噴出するようになっている。
A plurality (four in this case) of air blowers (air blow means) 70 are arranged at equal intervals in the circumferential direction at a position above the holding
これらエアブロワ70から噴出される空気の噴出方向は、横方向が、図2に示すようにスピンナテーブル30の外周縁の接線方向であって、スピンナテーブル30の回転方向に沿った方向に設定されている。そして上下方向は、図3に示すように斜め下方に設定されている。図3に示すように、エアブロワ70はスピンナテーブル30の周囲の上方に配設されており、スピンナテーブル30上に保持されるウェーハWの上面に向かってエアブロワ70から空気が噴出されるようになっている。
As for the ejection direction of the air ejected from these
図3に示すように、本実施形態においては、フラップ25はスピンナテーブル30の保持面30Aの上方に配設され、排気管60が接続された排気口20aは保持面30Aの下方に配設されている。そしてエアブロワ70は保持面30Aとフラップ25との間に配置され、保持面30Aとフラップ25との間の空間に対して空気を下方の保持面30A方向、ひいては排気口20aの方向に噴出するように構成されている。
As shown in FIG. 3, in this embodiment, the
以上が本実施形態のスピンナ洗浄装置1の構成であり、続いて該装置1の動作ならびに作用効果を述べる。
加工装置での加工工程を終えたウェーハWは、スピンナ洗浄装置1のスピンナテーブル30に受け渡される。スピンナテーブル30へのウェーハの受け渡しは、フラップ25が開いた状態から、昇降手段41によってスピンナテーブル30が上昇させられ、ケーシング20の上方の受け渡し位置に位置付けられた状態で行われる。
The above is the configuration of the spinner cleaning apparatus 1 of the present embodiment. Next, the operation and operation effects of the apparatus 1 will be described.
The wafer W that has finished the processing step in the processing apparatus is delivered to the spinner table 30 of the spinner cleaning apparatus 1. The delivery of the wafer to the spinner table 30 is performed in a state where the spinner table 30 is lifted by the lifting / lowering means 41 from the state in which the
スピンナテーブル30においては予め上記バキューム装置が運転されており、ウェーハWは加工装置が備える搬送手段によって保持面30Aに同心状に載置されると同時に、吸着されて保持される。ウェーハWが図4(b)に示したように粘着テープ62を介してフレーム61に支持されている場合には、クランプ34でフレーム61を保持する。また、図4(a)に示されるようにウェーハWが単体で処理される場合には、ウェーハWは吸着部32に吸着される作用のみでスピンナテーブル30に保持される。
In the spinner table 30, the vacuum device is operated in advance, and the wafer W is concentrically placed on the holding
ウェーハWを保持したスピンナテーブル30は、昇降手段41によって洗浄室21内に下降して洗浄位置に位置付けられる。続いてフラップ25が閉じられ、さらに、エアブロワ70から空気が噴出されるとともに上記排気ファンが運転されて洗浄室21内の空気が排気管60を経て外部に排出される。この状態で洗浄の準備が完了したことになり、次いでスピンナテーブル30が、例えば800rpm程度の速度で回転するとともに、配管51が往復旋回しながら洗浄水供給ノズル50より洗浄水が噴出される。洗浄水は回転するウェーハWの上面にまんべんなく噴出して供給され、これにより、ウェーハWに付着している汚れ成分(例えば切削屑や研削屑)が洗浄水で洗い流される。
The spinner table 30 holding the wafer W is lowered into the cleaning
所定の洗浄時間が経過したら、洗浄水の供給を停止し、スピンナテーブル30の回転を継続して遠心力によりウェーハWから洗浄水を吹き飛ばし、さらに乾燥させる。この乾燥過程では、スピンナテーブル30の回転速度を例えば3000rpm程度まで上昇させて速やかに乾燥するようにする。 When a predetermined cleaning time has elapsed, the supply of the cleaning water is stopped, the spinner table 30 is continuously rotated, the cleaning water is blown off from the wafer W by centrifugal force, and further dried. In this drying process, the rotation speed of the spinner table 30 is increased to, for example, about 3000 rpm so as to be quickly dried.
なお、本実施形態では2つのノズル50から洗浄水を供給しているが、2つのノズル50のうちの一方のノズルからは洗浄水が噴出し、他方のノズルからは空気が噴出するように構成し、洗浄時には一方の洗浄水供給ノズルから洗浄水を噴出させ、乾燥時には切り替えて他方の空気供給ノズルから空気を噴出するように構成してもよい。また、また、2つのノズル50の双方が、洗浄時には洗浄水が噴出し、乾燥時には空気が噴出するように構成してもよい。このように乾燥時にノズルから空気を噴出させると、ウェーハWをより速やかに乾燥させることができるので好ましい。
In this embodiment, the cleaning water is supplied from the two
所定の乾燥時間が経過したら、スピンナテーブル30の回転を停止し、フラップ25を開けてスピンナテーブル30を受け渡し位置まで上昇させ、上記バキューム装置の運転を停止する。この後、ウェーハは加工装置が備えるロボットハンド等によってスピンナテーブル30から取り上げられ、所定の収容手段に収容される。
When a predetermined drying time has elapsed, the rotation of the spinner table 30 is stopped, the
さて、上記の洗浄および乾燥の過程では、回転するウェーハWに洗浄水が供給されることにより、汚れ成分を含んだミストがウェーハWから発生する。このミストはケーシング20およびフラップ25によって洗浄室21の外部へ漏洩して広がることが防止されるとともに、排気管60からの空気吸引作用によって排気口20aから排気管60を経て外部に排出される。
In the above-described cleaning and drying process, cleaning water is supplied to the rotating wafer W, so that a mist containing a dirt component is generated from the wafer W. The mist is prevented from leaking and spreading to the outside of the cleaning
ところで、ミストは粒子が細かいほど上方に舞い上がろうとして排気管60には達しにくいものであるが、本実施形態では、スピンナテーブル30に保持されているウェーハWの上方のエアブロワ70から斜め下向きに空気が噴出しており、この噴出空気によってミストはおさえ込まれて上方への舞い上がりがおさえられるとともに下方へ流動する。このため、ミストは速やかに、かつ効率よく排気口20aから排気管60に導入されていく。また、ミストが十分に排気されるため、洗浄運転終了後にフラップ25を開いた際に、洗浄室21内に残ったミストが外部に漏れるといったおそれがない。したがって、加工装置が備える他の機器や部品へのミストによる悪影響を効果的に防止することができる。なお、エアブロワ70から噴出される空気によるミストのおさえ効果を確実に得るために、エアブロワ70からの噴出空気の斜め下向き角度は、スピンナテーブル30の保持面30Aに保持されたウェーハWの上面で噴出空気が跳ね返り、これによって上向きの流れが生じないよう、適度に緩やかな角度に設定される。
By the way, although the mist tends to fly upward as the particles become finer, it is difficult for the mist to reach the
また、エアブロワ70からの空気噴出によってミストの舞い上がりがおさえられるため、ミストがフラップ25の内面に付着して凝集し、水滴が生成するといった現象が起こらない。フラップ25の内面に水滴が生成すると、例えば洗浄が終了してフラップ25を開いた際などにその水滴が洗浄後のウェーハWに落下して汚染を招くといった不具合が生じるが、本実施形態ではそのような不具合は発生せず、洗浄後のウェーハWを清浄な状態に保つことができる。
Further, since the mist rises due to the air jet from the
また、本実施形態では、エアブロワ70の空気の噴出方向および排気管60による洗浄室21内の空気の排気方向が、スピンナテーブル30の回転方向に沿った方向に設定されている。スピンナテーブル30が回転すると、その周囲には回転方向に沿った空気の流れが生じる。そこでこの空気の流れと同じ方向にエアブロワ70から空気を噴出させるとともに排気管60から排気を行えば、螺旋状の空気の流れが生じるとともに、その流れを促進させることができる。ミストはその螺旋状に流れる空気に巻き込まれて排気管60に流れていき、このため、ミストの舞い上がりが効果的におさえられるとともに、より一層効率的にミストを排出させることができる。
In the present embodiment, the air blowing direction of the
ところで、上記のようにフラップ25を閉じて密閉した洗浄室21内を排気しながらウェーハWを洗浄すると、洗浄室21内に空気が入りにくくなって排気効率が低下し、洗浄後にフラップ25を開けた際に、残ったミストが外部に漏れるといった不具合を招くことが考えられる。ところが本実施形態ではエアブロワ70から空気を洗浄室21内に噴出するため、洗浄室21内は十分に排気され、したがって洗浄室21内を密閉しながらもミストを十分に排気させることができる。その結果、洗浄後にフラップ25を開けて際に残ったミストが外部に漏れるといった不具合は起こらない。
By the way, if the wafer W is cleaned while evacuating the sealed
図5および図6は上記一実施形態の変形例を示しており、この変形例では、上記エアブロワ70に代わるエアブロー手段として環状のエアブロワ75が設けられている。このエアブロワ75はパイプ状で、洗浄室21内の上部であってスピンナテーブル30の保持面30Aよりも上方位置のケーシング20の内面に固定されている。エアブロワ75には、図示せぬ空気供給配管がケーシング20を気密的に貫通して接続されている。
5 and 6 show a modification of the above-described embodiment. In this modification, an
エアブロワ75の内周部分には等間隔をおいて複数の噴出口76が形成されている。これら噴出口76から噴出する空気の噴出方向は、横方向が、図5に示すようにケーシング20およびスピンナテーブル30の径方向に沿った方向に設定されている。また上下方向は、図9に示すように斜め下方に設定されている。斜め下方への噴出角度については、上記のようにスピンナテーブル30の保持面30Aで空気が跳ね返って上向きの流れが生じない角度に設定される。
A plurality of
この変形例によれば、スピンナテーブル30に保持されるウェーハWの中心に向かってエアブロワ75から空気が噴出され、 その噴出空気は洗浄室21全体を上から覆うように流動する。このため、ウェーハWから発生するミストの舞い上がりがおさえられ、排気管60に速やかに導入される。この変形例によっても、ミストの漏洩防止ならびに排出を十分に達成することができる。
According to this modification, air is ejected from the
1…スピンナ洗浄装置、20…ケーシング(囲繞部材)、21…洗浄室、25…フラップ(開閉手段)、30…スピンナテーブル、30A…保持面、50…洗浄水供給ノズル、60…排気管(排気手段)、70,75…エアブロワ(エアブロー手段)、R…回転方向、W…半導体ウェーハ(ワーク) DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Spinner washing | cleaning apparatus, 20 ... Casing (enclosure member), 21 ... Cleaning chamber, 25 ... Flap (opening-closing means), 30 ... Spinner table, 30A ... Holding surface, 50 ... Washing water supply nozzle, 60 ... Exhaust pipe (exhaust) Means), 70, 75 ... Air blower (air blow means), R ... Rotational direction, W ... Semiconductor wafer (workpiece)
Claims (2)
該スピンナテーブルに保持されたワークに洗浄水を供給する洗浄水供給ノズルと、
前記スピンナテーブルを囲繞して洗浄室を形成する囲繞部材と、
該囲繞部材に設けられて前記洗浄室を開閉する開閉手段と、
前記洗浄室内の、前記保持面を前記開閉手段との間に挟む位置に配設され、該洗浄室内を排気する排気手段と、
前記洗浄室内に配設され、前記保持面と前記開閉手段との間の空間に対して空気を前記排気手段方向に噴出するエアブロー手段と
を少なくとも含み、
前記開閉手段が前記保持面の上方に配設され、前記排気手段が前記保持面の下方に配設され、前記エアブロー手段から噴出される空気の噴出方向が水平方向よりも下向きに設定され、かつ、前記エアブロー手段の噴出方向および前記排気手段の排気方向が、前記スピンナテーブルの回転方向に沿った方向に設定されていることを特徴とするスピンナ洗浄装置。 A spinner table having a holding surface for holding a workpiece and provided rotatably;
A cleaning water supply nozzle for supplying cleaning water to the work held by the spinner table;
A surrounding member surrounding the spinner table to form a cleaning chamber;
Opening and closing means provided on the surrounding member to open and close the cleaning chamber;
An exhaust unit disposed in a position sandwiching the holding surface between the opening and closing means in the cleaning chamber and exhausting the cleaning chamber;
Wherein disposed in the washing chamber, at least viewed including the air blow means for ejecting air to said exhaust means direction relative space between the closing means and the holding surface,
The opening / closing means is disposed above the holding surface, the exhaust means is disposed below the holding surface, and the jet direction of the air blown from the air blowing means is set downward from the horizontal direction; and The spinner cleaning apparatus , wherein an ejection direction of the air blow means and an exhaust direction of the exhaust means are set in a direction along a rotation direction of the spinner table .
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