JP2019164994A - レーザ維持プラズマランプ用の機械的密封管及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (16)
- 入口端及び出口端を有するチャンバ管(310)、
前記チャンバ管の前記入口端に設けられた入口サファイア窓(340)、
前記チャンバ管の前記入口端及び前記入口サファイア窓に対して密封するように構成された第1金属密封リング(320)、
前記チャンバ管の前記出口端に設けられた出口サファイア窓(342)、及び
前記チャンバ管の前記出口端及び前記出口サファイア窓に対して密封するように構成された第2金属密封リング(322)
を有するとともに、前記チャンバ管(310)、前記入口サファイア窓(340)、前記第1金属密封リング(320)、前記出口サファイア窓(342)及び前記第2金属密封リング(322)によって囲まれ、イオン化可能材料を収容するように構成される、機械的加圧密封チャンバアセンブリ(330)と、
前記入口サファイア窓及び前記出口サファイア窓の少なくとも一部に架かり締結するように構成された、前記チャンバアセンブリの外部にある機械締結構造(350、355)と、
を備え、
前記入口サファイア窓及び前記出口サファイア窓は、溶接及び/又はロウ付けによって前記チャンバ管に連結されていない、レーザ維持プラズマランプ(300)。 - 前記機械締結構造は、前記チャンバ管の外側表面に適合する内側表面を有するスリーブを備える、請求項1に記載のランプ。
- 前記スリーブは、
前記チャンバ管の前記入口端に設けられた第1スリーブ部(350)と、
前記チャンバ管の前記出口端に設けられた第2スリーブ部(355)と、
をさらに有する、請求項2に記載のランプ。 - 前記第1スリーブ部は、第2スリーブ部にTIG溶接されている、請求項3に記載のランプ。
- 前記第1スリーブ部は、前記第2スリーブ部にロウ付けされている、請求項3に記載のランプ。
- 前記入口窓及び/又は前記出口窓は、精密仕上げ、研削、及び研磨されている、請求項1に記載のランプ。
- 前記機械的密封加圧チャンバは、略円筒形状である、請求項1に記載のランプ。
- 前記チャンバ管は、サファイアによって構成される、請求項1に記載のランプ。
- 前記第1金属密封リング及び/又は前記第2金属密封リングは、C字形状を有する、請求項1に記載のランプ。
- 少なくとも、前記チャンバ管の一部、及び/又は、前記第1金属密封リング及び/又は第2金属密封リングに接するように構成された前記入口及び出口窓の一部は、軟質金属によってメッキされている、請求項1に記載のランプ。
- 前記第1金属密封リング及び/又は前記第2金属密封リングは、軟質金属によってコーティングされている、請求項1に記載のランプ。
- レーザ維持プラズマランプを製造する方法であって、
第1スリーブ部及び第2スリーブ部を備えるスリーブアセンブリ内に、チャンバ管、第1チャンバ窓、第1チャンバ密封、第2チャンバ窓、及び第2チャンバ密封を有するチャンバアセンブリを配置するステップと、
前記スリーブアセンブリ及び前記チャンバアセンブリをツーリングチャンバ内のジグ内に固定するステップと、
前記ツーリングチャンバを密封するステップと、
前記ツーリングチャンバを加圧イオン化可能媒体によって充填するステップと、
前記ジグに対して、前記第1窓、前記第1密封、前記チャンバ管、前記第2密封、及び前記第2窓を圧縮し、前記チャンバアセンブリを密封するステップと、
前記ツーリングチャンバを空にするステップと、
を含む、方法。 - 前記第1スリーブ部及び第2スリーブ部を一体に溶接するステップ、を更に含む、請求項12に記載の方法。
- 前記溶接はTIG溶接である、請求項13に記載の方法。
- 前記第1スリーブ部及び第2スリーブ部を一体にロウ付けするステップ、を更に含む、請求項12に記載の方法。
- 開放入口端及び閉鎖出口端を有するチャンバ管と、
前記チャンバ管の開放端に設けられたサファイア窓と、
前記チャンバ管の開放端及び前記サファイア窓に対して密封するように構成された金属密封リングと、
を有するとともに、前記チャンバ管、前記サファイア窓及び前記金属密封リングによって囲まれ、イオン化可能材料を収容するように構成される、機械的加圧密封チャンバアセンブリと、
前記サファイア窓及び前記チャンバの前記管閉鎖端の少なくとも一部に架かり締結するように構成された、前記チャンバアセンブリの外部にある機械締結構造と、
を備え、
前記サファイア窓は、溶接及び/又はロウ付けによって前記チャンバ管に連結されていない、レーザ維持プラズマランプ。
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