JP2006010675A - 紫外光の発生方法および紫外光源装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガスセル内に封入された不活性ガスに対しパルスレーザー光を集光照射することによりレーザープラズマを発生させ、該プラズマから発生する紫外光を、紫外光透過窓を通してガスセル外に誘導することを特徴とする紫外光の発生方法、および
不活性ガスを封入するためのガスセル、不活性ガス導入部、ガスセル内の不活性ガスに対してパルスレーザー光を集光照射する機構、およびガスセル内で発生する紫外光をガスセル外に誘導する窓を備えたことを特徴とする紫外光源装置。
【選択図】図1
Description
文献1)。
"分光技術ハンドブック"、(朝倉書店)、南茂夫、合志陽一編集
1.ガスセル内に封入された不活性ガスに対しパルスレーザー光を集光照射することによりプラズマを発生させ、該プラズマから発生するパルス発光紫外光を、紫外光透過窓を通してガスセル外に誘導することを特徴とする紫外光の発生方法。
2.ガスセル内に封入された不活性ガスが、希ガスまたは希ガスを主成分とするガスである上記項1に記載の紫外光の発生方法。
3.ガスセル内に封入された不活性ガスが、クリプトン(Kr)である上記項2に記載の紫外光の発生方法。
4.パルスレーザー光が、YAGレーザー光である上記項1〜3のいずれかに記載の紫外光
の発生方法。
5.ガスセル内に封入された不活性ガス中に微粒子を併存させる上記項1〜4いずれかに記載の紫外光の発生方法。
6.不活性ガスを封入するためのガスセル、不活性ガス導入部、ガスセル内の不活性ガスに対してパルスレーザー光を集光照射する機構、およびガスセル内で発生する紫外光をガスセル外に誘導する窓を備えたことを特徴とする紫外光源装置。
炭素、一酸化炭素など;以下これらのガスを「不純物ガス」という)が残存する場合には
、不純物ガスが発生した低波長側の紫外光を吸収して、光源の性能に影響を及ぼすことがある。従って、必要に応じ、不活性ガスの封入に先立って、ガスセル内を予め高真空度に排気しておくことにより、ガスセル内に封入された不活性ガスの純度を高めておくことが好ましい。この様な排気は、ターボ分子ポンプなどの公知の手段により、行うことが出来る。ガスセル内の不活性ガスの純度は、99.9%以上であることが好ましく、99.99%以上
であることがより好ましく、99.999%以上であることがさらに好ましい。アルゴン、ヘリウムなどが残存していても、光源の性能に実質的に影響を及ぼすことはない。
光などが挙げられる。レーザー光の波長は、通常300〜1200nm程度(より好ましくは500〜1100nm程度)、エネルギー強度1mJ〜10J程度(より好ましくは10mJ〜1J程度)である。
。焦点距離が長くなるほどしきい値が高くなり、また装置が大型となる。なお、焦点距離があまり短すぎると、レンズに損傷が起こりやすくなる。
げられる。
くことにより、プラズマ発生のエネルギー閾値強度を1/4〜1/40程度に低下させることが
できるので、低出力レーザーを使用することができる。この様な固体微粒子としては、TiO2、ZnO、Al2O3などが例示される。固体微粒子を併用する場合には、図1に示す様に、ガスセルの底部に予め微粒子を収容しておけば良い。
[実施例1]
図1に概要を示す構造の紫外光源装置を用いて紫外光を発生させた。すなわち、ガスセ
ル内にKrを封入した後、以下の条件下にYAGパルスレーザーを集光照射することにより、Krプラズマから紫外光を発生させた。
*ガスセル容量:40cm3
・ Krガス圧:0.2MPa
・ ガスセル内のKr純度:約99.9%
*YAGレーザー照射条件:波長532nm、エネルギー20mJ、パルス幅5nsec、レーザー光径3mm、焦点距離30mm
発生した紫外光のスペクトルを図2に示す。本発明方法により発生させた紫外光が、広帯域のスペクトル分布を有していることが明らかである。
[実施例2]
ガスセル内に封入したKrガスの圧力を変化させる以外は実施例1と同様にして、紫外光を発生させた。
[実施例3]
Krガスに代えてXeガスを使用する以外は実施例1と同様にして、紫外光を発生させた。
[実施例4]
ガスセル内に封入したXeガスの圧力を変化させる以外は実施例3と同様にして、紫外光を発生させた。
[実施例5]
Krガスに代えてArガスを使用する以外は実施例1と同様にして、紫外光を発生させた。
[比較例1]および[比較例2]
市販の低圧水銀ランプ(比較例1)および重水素ランプ(比較例2)を用いて紫外光を発生させた。
波長域に強く影響している可能性がある。従って、これらの紫外光源は、紫外域の分光光度計の光源としては、適していないことが明らかである。なお、市販されている他の低圧水銀ランプおよび重水素ランプを用いて紫外光を発生させた場合にも、比較例1および比較例2と同様に、「特定の波長が強い紫外光を発する」という結果が得られた。
[実施例6]
平均粒子径約20nmのTiO2微粒子0.01gをガスセル底部に収容した以外は実施例1と同
様の条件下に、0.2MPa のKrプラズマから紫外光を発生させた。その結果、プラズマ発生
のしきい値は、Kr のみを使用する場合(実施例1)の14mJに比して、2mJとなり、1/7に低
下した。
[実施例7]
以下の条件下に実施例1の手法に準じて、紫外光を発生させた。
*ガスセル容量:200cm3
*Krガス圧:0.1MPa
*Kr純度(封入前のガスセル排気操作により調整):A=99.9%、B=99.999%以上
*YAGレーザー照射条件:波長532nm、エネルギー25mJ、パルス幅5nsec、レーザー光径3mm、焦点距離100mm
図8は、封入Krガス純度と特定波長の紫外光強度との関係を示すグラフである。
Claims (6)
- ガスセル内に封入された不活性ガスに対しパルスレーザー光を集光照射することによりプラズマを発生させ、該プラズマから発生する紫外光を、紫外光透過窓を通してガスセル外に誘導することを特徴とする紫外光の発生方法。
- ガスセル内に封入された不活性ガスが、希ガスまたは希ガスを主成分とするガスである請求項1に記載の紫外光の発生方法。
- ガスセル内に封入された不活性ガスが、クリプトン(Kr)である請求項2に記載の紫外光の発生方法。
- パルスレーザー光が、YAGレーザー光である請求項1〜3のいずれかに記載の紫外光の発
生方法。 - ガスセル内に封入された不活性ガス中に微粒子を併存させる請求項1〜4いずれかに記載の紫外光の発生方法。
- 不活性ガスを封入するためのガスセル、不活性ガス導入部、ガスセル内の不活性ガスに対してパルスレーザー光を集光照射する機構、およびガスセル内で発生する紫外光をガスセル外に誘導する窓を備えたことを特徴とする紫外光源装置。
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