JP5733214B2 - 光源装置及び表面処理方法 - Google Patents
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Description
はじめに、本発明の光源装置の実施形態1について、図1〜図4を参照して説明する。
次に、本発明の光源装置の実施形態2について、図10を参照して説明する。
次に、本発明の光源装置の実施形態3について、図14を参照して説明する。
はじめに、本発明に係る実施形態の光源装置を用いた実験結果について、説明する。
上記実施例1において、放電ガス中の炭酸ガス(CO2ガス)を除いた以外は全く同条件にてプラズマを形成した後、得られた発光スペクトルを計測したが、図16に示したような真空紫外域の発光スペクトルは計測されなかった。
上記実施例1において、マイクロ波電源に代えて、比較例である13.56MHzの高周波電源(RF電源)を用いた以外は全く同条件にてプラズマを形成した後、得られた発光スペクトルを、分光器を用いて計測したが、真空紫外域の発光スペクトルは計測されなかった。
上記実施例1で用いた光源装置及び条件にて、連続稼働させた際の190nm付近の最も高いピーク値の発光強度を計測した結果、図17に示すように約10000hr経過しても、そのピーク値における劣化は全く確認されなかった。
エキシマランプ(エムディエキシマ製MEUT−1−330)を用いて、同様に185nm付近の最も高いピーク値の発光強度を計測した結果、図17に示すように、約1800hr経過したところで発光強度が約1/10に低下してしまうことが確認された。
実施例1に記載の光源装置を用いて、移動ステージ上に設置したガラス基板の洗浄処理を行い、洗浄処理後、接着剤をコーティングし、その密着性をJIS K 5400に準拠した碁盤目試験により行った。ここで洗浄処理としては、真空紫外光照射開口部に滞在している時間を0.03、0.05、0.1、0.5、1、3、5、10、30secとなるように移動ステージ速度を変化させた。
上記実施例3において、比較例1に記載の光源装置(放電ガスとして炭酸ガス(CO2ガス)を除いた光源装置)を用いた以外は同様にして、ガラス基板の洗浄処理を行い、同様に密着試験を行った。
上記実施例3において、比較例2に記載の光源装置(13.56MHzの高周波電源(RF電源)を用いた光源装置)を用いた以外は同様にして、ガラス基板の洗浄処理を行い、同様に密着試験を行った。
上記実施例3において、本発明の光源装置に代えて、比較例3に記載のエキシマランプ(エムディエキシマ製MEUT−1−330)を用いて、ガラス基板の洗浄処理を行い、同様に密着試験を行った。
×:密着不良に伴う接着剤の剥がれが確認され、実用上懸念される品質である
以上により得られた結果を、表1に示す。
10 輸送管
11 第二ガス導入管
20 主プラズマ発生手段
21 主プラズマ管
22 主導波管
23 照射口
24 最終衝突面
25 第一ガス導入管
26 隔壁
27 給電用主アンテナ
27−1 モノポールアンテナ
28 同軸ケーブル
30 補助プラズマ発生手段
31 補助プラズマ管
32 補助導波管
33 給電用補助アンテナ
33−1 スパイラルアンテナ
34 同軸ケーブル
101 放電容器
102 内部電極
104 外部電極
105 隔壁
G 放電ガス(不活性ガス)
L 照射光
MW マイクロ波
PJ1 第一のプラズマ
PJ2 第二のプラズマ
Claims (10)
- 大気圧もしくはその近傍の圧力下で、放電空間に不活性ガスを供給し、該放電空間に高周波電界を形成することにより発生したプラズマから放射される光を照射する光源装置において、該不活性ガスが炭酸ガスを含有し、かつ形成する高周波電界の周波数がマイクロ波帯であり、前記光源装置から照射される光が、真空紫外域に発光波長を有していることを特徴とする光源装置。
- 前記不活性ガス及び炭酸ガスから構成される放電ガス中の炭酸ガスの含有量が、0.01体積%以上、3.0体積以下であることを特徴とする請求項1に記載の光源装置。
- 前記不活性ガス及び炭酸ガスから構成される放電ガス中の炭酸ガスの含有量が、0.1体積%以上、0.5体積以下であることを特徴とする請求項2に記載の光源装置。
- 前記不活性ガスが、アルゴン、ヘリウム、窒素及びそれらの混合物から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の光源装置。
- 主プラズマ発生手段及び補助プラズマ発生手段の二つのプラズマ発生手段を有することを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の光源装置。
- 大気圧もしくはその近傍の圧力下で、放電空間に不活性ガスを供給し、該放電空間に高周波電界を形成することにより発生したプラズマから放射される光を、基板に照射して表面処理を施す表面処理方法において、該不活性ガスが炭酸ガスを含有し、かつ形成する高周波電界の周波数がマイクロ波帯であり、前記基板に照射される光が、真空紫外域に発光波長を有していることを特徴とする表面処理方法。
- 前記不活性ガス及び炭酸ガスから構成される放電ガス中の炭酸ガスの含有量が、0.01体積%以上、3.0体積以下であることを特徴とする請求項6に記載の表面処理方法。
- 前記不活性ガス及び炭酸ガスから構成される放電ガス中の炭酸ガスの含有量が、0.1体積%以上、0.5体積以下であることを特徴とする請求項7に記載の表面処理方法。
- 前記不活性ガスが、アルゴン、ヘリウム、窒素及びそれらの混合物から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項6から8のいずれか1項に記載の表面処理方法。
- 主プラズマ発生手段及び補助プラズマ発生手段の二つのプラズマ発生手段を有することを特徴とする請求項6から9のいずれか1項に記載の表面処理方法。
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