JP2019134033A - 積層圧電セラミック部品及び圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
上記圧電セラミック体は、長さ>幅>厚さである直方体形状であり、厚さ方向に対向する上面及び下面と、長さ方向に対向する第1の端面及び第2の端面と、幅方向に対向する一対の側面とを有し、厚さ方向において上記上面側の第1の領域及び上記下面側の第2の領域を有する。
上記第1の内部電極は、上記第1の領域の内部に形成され、上記第1の端面に引き出される。
上記第2の内部電極は、上記第2の領域の内部に形成され、上記第1の端面に引き出される。
上記第3の内部電極は、上記第1の領域の内部及び上記第2の領域の内部に形成され、上記第2の端面に引き出され、上記第1の領域の内部では上記第1の内部電極と厚さ方向に所定の距離をおいて交互に積層され、上記第2の領域の内部では上記第2の内部電極と厚さ方向に所定の距離をおいて交互に積層される。
上記第1の端子電極は、上記第1の端面に形成され、上記第1の内部電極と電気的に接続される。
上記第2の端子電極は、上記第1の端面に形成され、上記第1の端子電極とは電気的に絶縁され、上記第2の内部電極と電気的に接続される。
上記第3の端子電極は、上記第2の端面に形成され、上記第3の内部電極と電気的に接続される。
上記第1の表面電極は、上記上面に形成され、上記第3の端子電極と電気的に接続され、上記第2の端面から伸びて上記第1の内部電極と対向する。
上記第2の表面電極は、上記下面に形成され、上記第3の端子電極と電気的に接続され、上記第2の端面から伸びて上記第2の内部電極と対向し、上記第1の表面電極の長さより短い。
上記積層圧電セラミック部品は、圧電セラミック体と、第1の内部電極と、第2の内部電極と、第3の内部電極と、第1の端子電極と、第2の端子電極と、第3の端子電極と、第1の表面電極と、第2の表面電極とを有する。
上記圧電セラミック体は、長さ>幅>厚さである直方体形状であり、厚さ方向に対向する上面及び下面と、長さ方向に対向する第1の端面及び第2の端面と、幅方向に対向する一対の側面とを有し、厚さ方向において上記上面側の第1の領域及び上記下面側の第2の領域を有する。
上記第1の内部電極は、上記第1の領域の内部に形成され、上記第1の端面に引き出される。
上記第2の内部電極は、上記第2の領域の内部に形成され、上記第1の端面に引き出される。
上記第3の内部電極は、上記第1の領域の内部及び上記第2の領域の内部に形成され、上記第2の端面に引き出され、上記第1の領域の内部では上記第1の内部電極と厚さ方向に所定の距離をおいて交互に積層され、上記第2の領域の内部では上記第2の内部電極と厚さ方向に所定の距離をおいて交互に積層される。
上記第1の端子電極は、上記第1の端面に形成され、上記第1の内部電極と電気的に接続される。
上記第2の端子電極は、上記第1の端面に形成され、上記第1の端子電極とは電気的に絶縁され、上記第2の内部電極と電気的に接続される。
上記第3の端子電極は、上記第2の端面に形成され、上記第3の内部電極と電気的に接続される。
上記第1の表面電極は、上記上面に形成され、上記第3の端子電極と電気的に接続され、上記第2の端面から伸びて上記第1の内部電極と対向する。
上記第2の表面電極は、上記下面に形成され、上記第3の端子電極と電気的に接続され、上記第2の端面から伸びて上記第2の内部電極と対向し、上記第1の表面電極の長さより短い。
図1及び図2は、本実施形態に係る積層圧電セラミック部品100の斜視図であり、図2は、図1の反対側から見た図である。
図5は、第1端面101cを示す平面図であり、図6は、第2端面101dを示す平面図である。
図7は、上面101eを示す平面図であり、図8は、下面101fを示す平面図である。
積層圧電セラミック部品100は、第1内部電極102と第3内部電極104の間と、第2内部電極103と第3内部電極104の間にそれぞれ独立して電圧を印加することができる。
積層圧電セラミック部品100は、上述のように第1内部電極102、第2内部電極103及び第3内部電極104が第1側面101a及び第2側面101bに露出した構造を有する。
積層圧電セラミック部品100は、絶縁膜を備えていてもよい。図15は、絶縁膜112を備える積層圧電セラミック部品100を示す斜視図である。
積層圧電セラミック部品100の製造方法について説明する。
積層圧電セラミック部品100は、振動部材に実装され、圧電デバイスを構成することができる。図17は、積層圧電セラミック部品100を備える圧電デバイス400の模式図である。同図に示すように圧電デバイス400は、積層圧電セラミック部品100、振動部材410及び固定冶具252を備える。
101…圧電セラミック体
100L、500L…線
101a…第1側面
101b…第2側面
101c…第1端面
101d…第2端面
101e…上面
101f…下面
101g…第1領域
101h…第2領域
102…第1内部電極
103…第2内部電極
104…第3内部電極
105…第1表面電極
106、506…第2表面電極
107…第1端面端子電極
108…第2端面端子電極
109…第3端面端子電極
110…第1表面端子電極
111…第2表面端子電極
112…絶縁膜
112a…開口
201、301…圧電セラミック体
210、230、240、250…シート部材
251、252…固定冶具
251u、252u…上部把持部
251d、252d…下部把持部
302…表面電極
303…第1端子電極
304…第2端子電極
400…圧電デバイス
410…振動部材
420…接合部
Claims (4)
- 長さ>幅>厚さである直方体形状であり、厚さ方向に対向する上面及び下面と、長さ方向に対向する第1の端面及び第2の端面と、幅方向に対向する一対の側面とを有し、厚さ方向において前記上面側の第1の領域及び前記下面側の第2の領域を有する圧電セラミック体と、
前記第1の領域の内部に形成され、前記第1の端面に引き出された第1の内部電極と、
前記第2の領域の内部に形成され、前記第1の端面に引き出された第2の内部電極と、
前記第1の領域の内部及び前記第2の領域の内部に形成され、前記第2の端面に引き出され、前記第1の領域の内部では前記第1の内部電極と厚さ方向に所定の距離をおいて交互に積層され、前記第2の領域の内部では前記第2の内部電極と厚さ方向に所定の距離をおいて交互に積層された第3の内部電極と、
前記第1の端面に形成され、前記第1の内部電極と電気的に接続された第1の端子電極と、
前記第1の端面に形成され、前記第1の端子電極とは電気的に絶縁され、前記第2の内部電極と電気的に接続された第2の端子電極と、
前記第2の端面に形成され、前記第3の内部電極と電気的に接続された第3の端子電極と、
前記上面に形成され、前記第3の端子電極と電気的に接続され、前記第2の端面から伸びて前記第1の内部電極と対向する第1の表面電極と、
前記下面に形成され、前記第3の端子電極と電気的に接続され、前記第2の端面から伸びて前記第2の内部電極と対向し、前記第1の表面電極の長さより短い第2の表面電極と
を具備する
積層圧電セラミック部品。 - 請求項1に記載の積層圧電セラミック部品であって、
前記第1の内部電極、前記第2の内部電極及び前記第3の内部電極の幅と、前記一対の側面の間の距離は、同じである
積層圧電セラミック部品。 - 請求項1又は2に記載の積層圧電セラミック部品であって、
前記一対の側面、前記上面の一部及び前記下面の一部は、前記圧電セラミック体とは材料が異なる絶縁膜で覆われ、前記上面に形成された前記絶縁膜の長さは、前記第2の表面電極の長さと同じである
積層圧電セラミック部品。 - 振動部材と、
前記振動部材に実装された積層圧電セラミック部品とを具備し、
前記積層圧電セラミック部品は、
長さ>幅>厚さである直方体形状であり、厚さ方向に対向する上面及び下面と、長さ方向に対向する第1の端面及び第2の端面と、幅方向に対向する一対の側面とを有し、厚さ方向において前記上面側の第1の領域及び前記下面側の第2の領域を有する圧電セラミック体と、
前記第1の領域の内部に形成され、前記第1の端面に引き出された第1の内部電極と、
前記第2の領域の内部に形成され、前記第1の端面に引き出された第2の内部電極と、
前記第1の領域の内部及び前記第2の領域の内部に形成され、前記第2の端面に引き出され、前記第1の領域の内部では前記第1の内部電極と厚さ方向に所定の距離をおいて交互に積層され、前記第2の領域の内部では前記第2の内部電極と厚さ方向に所定の距離をおいて交互に積層された第3の内部電極と、
前記第1の端面に形成され、前記第1の内部電極と電気的に接続された第1の端子電極と、
前記第1の端面に形成され、前記第1の端子電極とは電気的に絶縁され、前記第2の内部電極と電気的に接続された第2の端子電極と、
前記第2の端面に形成され、前記第3の内部電極と電気的に接続された第3の端子電極と、
前記上面に形成され、前記第3の端子電極と電気的に接続され、前記第2の端面から伸びて前記第1の内部電極と対向する第1の表面電極と、
前記下面に形成され、前記第3の端子電極と電気的に接続され、前記第2の端面から伸びて前記第2の内部電極と対向し、前記第1の表面電極の長さより短い第2の表面電極とを有する
圧電デバイス。
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