JPH11277745A - インクジェット式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニット、及びその製造方法 - Google Patents
インクジェット式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニット、及びその製造方法Info
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- JPH11277745A JPH11277745A JP10214898A JP10214898A JPH11277745A JP H11277745 A JPH11277745 A JP H11277745A JP 10214898 A JP10214898 A JP 10214898A JP 10214898 A JP10214898 A JP 10214898A JP H11277745 A JPH11277745 A JP H11277745A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 固定基板の領域まで変位領域を拡大して、圧
電材料の有効利用を図ること。 【解決手段】 一方の極をなす内部電極３と他方の極を
なす内部電極４とを圧電材料４とともに積層して構成さ
れた圧電材料板を、その一半を固定基板７に固定すると
もに、圧電材料板の自由端側から、前記圧電材料板の表
面側の切り口が固定基板側の切り口よりも後端側に到達
する斜面となる端面６ａを有するスリットにより歯割
し、固定基板７に対向する領域を一部振動可能領域とす
る。
電材料の有効利用を図ること。 【解決手段】 一方の極をなす内部電極３と他方の極を
なす内部電極４とを圧電材料４とともに積層して構成さ
れた圧電材料板を、その一半を固定基板７に固定すると
もに、圧電材料板の自由端側から、前記圧電材料板の表
面側の切り口が固定基板側の切り口よりも後端側に到達
する斜面となる端面６ａを有するスリットにより歯割
し、固定基板７に対向する領域を一部振動可能領域とす
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術の分野】本発明は、インクジェット
式記録ヘッドの圧力発生室を膨張、収縮させるのに適し
た圧電振動子ユニットに関する。
式記録ヘッドの圧力発生室を膨張、収縮させるのに適し
た圧電振動子ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】縦振動モードの圧電振動子を使用したイ
ンクジェット式記録ヘッドは、圧力発生室、インク供給
口、リザーバを備えた流路形成基板と、圧電振動子ユニ
ットとの２つの部材を有し、圧電振動子ユニットを構成
している各圧電振動子により圧力発生室を膨張、収縮さ
せるものである。この圧電振動子ユニットは、圧電振動
子の一端を固定基板に固定して一定のピッチで圧電振動
子を配列して構成する関係上、固定領域に振動変位を生
じないように内部電極を不形成とした不活性領域が設け
られている。
ンクジェット式記録ヘッドは、圧力発生室、インク供給
口、リザーバを備えた流路形成基板と、圧電振動子ユニ
ットとの２つの部材を有し、圧電振動子ユニットを構成
している各圧電振動子により圧力発生室を膨張、収縮さ
せるものである。この圧電振動子ユニットは、圧電振動
子の一端を固定基板に固定して一定のピッチで圧電振動
子を配列して構成する関係上、固定領域に振動変位を生
じないように内部電極を不形成とした不活性領域が設け
られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、振動に
関与しない不活性領域をも高価な圧電材料に構成してい
るため、コストの上昇を招くという問題がある。このよ
うな問題を解消するため、振動領域だけを構成する圧電
振動子の一端に安価な材料で構成した固定領域分を接着
剤等で接合する方法も提案されているが、工数が増加し
てコストが上昇するという問題がある。本発明はこのよ
うな問題に鑑みてなされたものであって、その目的とす
るところは突き合わせ接合等を必要とすることなく、変
位効率を高めて圧電材料を有効利用することができるイ
ンクジェット式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニットを
提供することである。
関与しない不活性領域をも高価な圧電材料に構成してい
るため、コストの上昇を招くという問題がある。このよ
うな問題を解消するため、振動領域だけを構成する圧電
振動子の一端に安価な材料で構成した固定領域分を接着
剤等で接合する方法も提案されているが、工数が増加し
てコストが上昇するという問題がある。本発明はこのよ
うな問題に鑑みてなされたものであって、その目的とす
るところは突き合わせ接合等を必要とすることなく、変
位効率を高めて圧電材料を有効利用することができるイ
ンクジェット式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニットを
提供することである。
【０００４】本発明の他の目的は上記圧電振動子ユニッ
トの製造方法を提案することである。
トの製造方法を提案することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、一方の極をなす内部電極と
他方の極をなす内部電極とを圧電材料とともに積層して
構成された圧電材料板を、その一半を固定基板に固定す
るともに、前記圧電材料板の自由端側から、前記圧電材
料板の表面側の切り口が前記固定基板側の切り口よりも
後端側に到達する斜面となるスリットを前記圧電材料板
に形成して圧電振動子に歯割りするようにした。
るために本発明においては、一方の極をなす内部電極と
他方の極をなす内部電極とを圧電材料とともに積層して
構成された圧電材料板を、その一半を固定基板に固定す
るともに、前記圧電材料板の自由端側から、前記圧電材
料板の表面側の切り口が前記固定基板側の切り口よりも
後端側に到達する斜面となるスリットを前記圧電材料板
に形成して圧電振動子に歯割りするようにした。
【０００６】
【作用】固定基板に対向する領域の表面側を拘束から開
放し、この領域を振動可能な領域とするとともに、固定
基板側への変位の伝達を可及的に防止して、固定領域の
一部をも振動可能領域として利用する。
放し、この領域を振動可能な領域とするとともに、固定
基板側への変位の伝達を可及的に防止して、固定領域の
一部をも振動可能領域として利用する。
【０００７】
【発明の実施の形態】そこで以下に図示した実施例につ
いて説明する。図１は本発明の圧電振動子ユニットを使
用した記録ヘッドを、また図２は圧電振動子ユニットの
一実施例を示すものであって、図中符号１は本発明が特
徴とする圧電振動子ユニットで、圧電振動子２、２、２
…は、それぞれ先端と後端にのみ露出し、活性領域とな
る領域でラップし、さらに基板側では不活性領域を形成
するように一方の極をなす内部電極３と、他方の極をな
す内部電極４とが圧電材料５内に積層されている。
いて説明する。図１は本発明の圧電振動子ユニットを使
用した記録ヘッドを、また図２は圧電振動子ユニットの
一実施例を示すものであって、図中符号１は本発明が特
徴とする圧電振動子ユニットで、圧電振動子２、２、２
…は、それぞれ先端と後端にのみ露出し、活性領域とな
る領域でラップし、さらに基板側では不活性領域を形成
するように一方の極をなす内部電極３と、他方の極をな
す内部電極４とが圧電材料５内に積層されている。
【０００８】一方の極をなす内部電極３は、流路ユニッ
ト１８側の端面３ａが先端側に露出し、また他端３ｂが
後述するスリットの端面６ａに平行となるように形成さ
れている。他方の極をなす内部電極４は、流路ユニット
側の端面４ａが圧電材料５に埋没し、また他端が後端面
に露出するように形成されている。
ト１８側の端面３ａが先端側に露出し、また他端３ｂが
後述するスリットの端面６ａに平行となるように形成さ
れている。他方の極をなす内部電極４は、流路ユニット
側の端面４ａが圧電材料５に埋没し、また他端が後端面
に露出するように形成されている。
【０００９】スリット６の端面６ａは、固定基板７に対
向する面の側を圧電振動子２の先端側とし、また圧電振
動子２の表面側を固定基板７の後端面７ａとするように
斜めで、かつ固定基板７に対向する領域に形成されてい
る。
向する面の側を圧電振動子２の先端側とし、また圧電振
動子２の表面側を固定基板７の後端面７ａとするように
斜めで、かつ固定基板７に対向する領域に形成されてい
る。
【００１０】このようにスリットを形成することによ
り、他方の極をなす内部電極４を、スリット６の存在に
関りなく、全ての圧電振動子２の間で導通状態を形成す
ることができ、また圧電振動子の後端を連続部として残
すことができる。
り、他方の極をなす内部電極４を、スリット６の存在に
関りなく、全ての圧電振動子２の間で導通状態を形成す
ることができ、また圧電振動子の後端を連続部として残
すことができる。
【００１１】圧電振動子は、また固定基板７に対向する
領域から、自由端側の領域から先端面を経由して表面側
に外部電極８が、また固定基板７に固定された面から後
端側を経由して外部電極８と対向する領域まで共通電極
９が、導電材料の蒸着やスパッタリングにより形成さ
れ、フレキシブルケーブル１０に接続されている。な
お、図中符号１１は、圧電振動子２と同様の構造を持つ
ダミーの圧電振動子を示す。
領域から、自由端側の領域から先端面を経由して表面側
に外部電極８が、また固定基板７に固定された面から後
端側を経由して外部電極８と対向する領域まで共通電極
９が、導電材料の蒸着やスパッタリングにより形成さ
れ、フレキシブルケーブル１０に接続されている。な
お、図中符号１１は、圧電振動子２と同様の構造を持つ
ダミーの圧電振動子を示す。
【００１２】圧電振動ユニット１は、圧力発生室１２、
インク供給口１３、及びリザ−バ１４を形成する前述の
流路ユニット１８が固定されたヘッドホルダ１５に固定
基板７を介して、圧電振動子２の先端を流路ユニット１
８を形成している弾性板１６に当接させて固定してイン
クジェット式記録ヘッドに組み込まれている。なお、図
中符号１７はノズル開口を示す。
インク供給口１３、及びリザ−バ１４を形成する前述の
流路ユニット１８が固定されたヘッドホルダ１５に固定
基板７を介して、圧電振動子２の先端を流路ユニット１
８を形成している弾性板１６に当接させて固定してイン
クジェット式記録ヘッドに組み込まれている。なお、図
中符号１７はノズル開口を示す。
【００１３】このように構成された圧電振動子ユニット
１の各圧電振動子２は、フレキシブルケーブル１０を介
して駆動信号の供給を受けると、軸方向に伸長、収縮し
て圧力発生室１２を膨張、収縮させる。圧力発生室１２
の膨張によりリザーバ１４のインクがインク供給口１３
を経由して圧力発生室１２に流れ込み、所定時間後に圧
縮されてノズル開口１７からインク滴として吐出され
る。
１の各圧電振動子２は、フレキシブルケーブル１０を介
して駆動信号の供給を受けると、軸方向に伸長、収縮し
て圧力発生室１２を膨張、収縮させる。圧力発生室１２
の膨張によりリザーバ１４のインクがインク供給口１３
を経由して圧力発生室１２に流れ込み、所定時間後に圧
縮されてノズル開口１７からインク滴として吐出され
る。
【００１４】ところで、本発明の圧電振動子２は、図３
に示したように、従来、非振動領域として構成されてい
た領域が部分的にではあるが振動変位が可能であるた
め、同一駆動電圧に対する変位量が大きなり、圧力発生
室１２を効果的に加圧することができる。また、自由端
側の長さＬが一定であるため、圧電振動子２自体の固有
振動周波数に変化がなく、流路ユニット等の振動特性と
の間にミスマッチングを招くことなく、インク滴の吐出
効率を向上することが可能となる。
に示したように、従来、非振動領域として構成されてい
た領域が部分的にではあるが振動変位が可能であるた
め、同一駆動電圧に対する変位量が大きなり、圧力発生
室１２を効果的に加圧することができる。また、自由端
側の長さＬが一定であるため、圧電振動子２自体の固有
振動周波数に変化がなく、流路ユニット等の振動特性と
の間にミスマッチングを招くことなく、インク滴の吐出
効率を向上することが可能となる。
【００１５】次に圧電振動子ユニットの製造方法を、図
４乃至図６に基づいて説明する。表面が平坦な定盤２０
に、複数枚分のサイズを有し、かつ各層厚みに予め成形
された圧電材料のグリーンシート２１を載置する（図４
（I））。
４乃至図６に基づいて説明する。表面が平坦な定盤２０
に、複数枚分のサイズを有し、かつ各層厚みに予め成形
された圧電材料のグリーンシート２１を載置する（図４
（I））。
【００１６】これの表面に、自由領域となる側の端部
（図中、上端）２１ａから固定基板７の端面までの長さ
Ｌ１を幅とする一方の内部電極３のパターンを備えたマ
スクを使用して導電材料の層２２を形成し（図４（I
I））、その表面に前述と同サイズの圧電材料のグリー
ンシート２１を重ねる（図４（III））。
（図中、上端）２１ａから固定基板７の端面までの長さ
Ｌ１を幅とする一方の内部電極３のパターンを備えたマ
スクを使用して導電材料の層２２を形成し（図４（I
I））、その表面に前述と同サイズの圧電材料のグリー
ンシート２１を重ねる（図４（III））。
【００１７】固定領域となる端部（図中、下端）２１ｂ
から自由領域の端部２１ａから、若干内側までの距離Ｌ
２を非形成領域とするように内部電極４のパターンを備
えたマスクを使用して導電材料の層２３を形成し（図４
（IV））、その表面に圧電材料のグリーンシート２１を
重ねる（図５（I））。
から自由領域の端部２１ａから、若干内側までの距離Ｌ
２を非形成領域とするように内部電極４のパターンを備
えたマスクを使用して導電材料の層２３を形成し（図４
（IV））、その表面に圧電材料のグリーンシート２１を
重ねる（図５（I））。
【００１８】自由領域の端部２１ａからスリット６の端
面６ａの斜面に一致する長さＬ３を幅として、前述の導
電層２２よりも固定領域側にまで拡幅された導電材料の
層２２’を形成し（図５（II））、その表面に前述と同
サイズの圧電材料のグリーンシート２１を重ねる（図５
（III））。
面６ａの斜面に一致する長さＬ３を幅として、前述の導
電層２２よりも固定領域側にまで拡幅された導電材料の
層２２’を形成し（図５（II））、その表面に前述と同
サイズの圧電材料のグリーンシート２１を重ねる（図５
（III））。
【００１９】自由端側に若干の幅Ｌ２の非形成領域を形
成するように固定領域の端部２１ｂから前述の導電層２
３と同一の導電層２３’を形成する（図５（ＶI））。
成するように固定領域の端部２１ｂから前述の導電層２
３と同一の導電層２３’を形成する（図５（ＶI））。
【００２０】以下、このように一方の内部電極３となる
導電パターン２２、２２’…の幅を層毎に徐々に固定領
域の端部２１ｂ側に拡大しながら、他方の極の内部電極
となる導電層２３、２３’と、グリーンシート２１とを
所定層数積層し、グリーンシートを乾燥させてから焼成
する。
導電パターン２２、２２’…の幅を層毎に徐々に固定領
域の端部２１ｂ側に拡大しながら、他方の極の内部電極
となる導電層２３、２３’と、グリーンシート２１とを
所定層数積層し、グリーンシートを乾燥させてから焼成
する。
【００２１】これにより、複数枚分の圧電振動板が完成
するから、表面にフレキシブルケーブル１０との接続用
の電極となる外部電極２４、２５をスパッタリングや蒸
着により形成し、これら電極２４、２５に電圧を印加し
て所定の分極処理を行った後、圧電振動子ユニットに相
当するサイズの圧電振動板２６に切分ける。
するから、表面にフレキシブルケーブル１０との接続用
の電極となる外部電極２４、２５をスパッタリングや蒸
着により形成し、これら電極２４、２５に電圧を印加し
て所定の分極処理を行った後、圧電振動子ユニットに相
当するサイズの圧電振動板２６に切分ける。
【００２２】圧電材料板２６を固定基板２７に位置決め
して（図６（I））接着剤で固定し（図６（II））、少
なくとも先端側で外部電極２４により導通された導電層
２２、２２’と、この外部電極層２４とを共に分離でき
る程度の位置まで、先端からワイヤソウ等の切断手段２
８により、上端側が固定基板２７に対向する領域まで、
また下端が固定基板２７の先端側の上面の角２７ａに達
し、終端面が斜面となるスリット２９を形成して歯割り
する。
して（図６（I））接着剤で固定し（図６（II））、少
なくとも先端側で外部電極２４により導通された導電層
２２、２２’と、この外部電極層２４とを共に分離でき
る程度の位置まで、先端からワイヤソウ等の切断手段２
８により、上端側が固定基板２７に対向する領域まで、
また下端が固定基板２７の先端側の上面の角２７ａに達
し、終端面が斜面となるスリット２９を形成して歯割り
する。
【００２３】このように自由端側の外部電極層２４を分
離し、また固定領域の外部電極２５を連続させた状態で
スリット２９を形成することにより、外部電極２４をセ
レクト電極に、また外部電極２５を可及的に電気抵抗が
小さな共通電極として使用することができる。
離し、また固定領域の外部電極２５を連続させた状態で
スリット２９を形成することにより、外部電極２４をセ
レクト電極に、また外部電極２５を可及的に電気抵抗が
小さな共通電極として使用することができる。
【００２４】なお、上述の実施例においては、先端側に
露出する電極３の後端３ｂをスリットの端面６ａの斜面
に合わせて形成しているが、図７に示したようにスリッ
トの端面６ａの斜面よりも先端側に一定の間隔Δｇを空
けて、同一面に位置し、かつ固定領域の端部に露出する
電極３’を形成してもよい。
露出する電極３の後端３ｂをスリットの端面６ａの斜面
に合わせて形成しているが、図７に示したようにスリッ
トの端面６ａの斜面よりも先端側に一定の間隔Δｇを空
けて、同一面に位置し、かつ固定領域の端部に露出する
電極３’を形成してもよい。
【００２５】この実施例によれば、圧電振動子２の固定
領域にもダミーの内部電極３’が配置されるため、振動
領域とほぼ同一の積層構造となって全体が均一化するか
ら、焼成前後の大きな温度変化に対しても反りを抑える
ことができる。
領域にもダミーの内部電極３’が配置されるため、振動
領域とほぼ同一の積層構造となって全体が均一化するか
ら、焼成前後の大きな温度変化に対しても反りを抑える
ことができる。
【００２６】図８は、本発明の他の実施例を示すもので
あって、圧電振動子２、２、２…は、それぞれ一方の側
面と他方の側面にのみ露出し、活性領域となる領域でラ
ップし、さらに基板側では不活性領域を形成するように
一方の極をなす内部電極３０と、他方の極をなす内部電
極３１とが圧電材料５内に積層されている。
あって、圧電振動子２、２、２…は、それぞれ一方の側
面と他方の側面にのみ露出し、活性領域となる領域でラ
ップし、さらに基板側では不活性領域を形成するように
一方の極をなす内部電極３０と、他方の極をなす内部電
極３１とが圧電材料５内に積層されている。
【００２７】一方の極をなす内部電極３０は、固定基板
７に対向する側とは反対側の面に一端が露出し、他端が
圧電材料５に埋没され、かつ固定基板７の領域に配置さ
れる内部電極３０’は、固定基板７側の端面３０’ａが
スリット６の端面の斜面６ａに一致するように固定端側
程短く形成されている。また他方の極を内部電極３１
は、固定基板７の側の面に一端が露出し、他端が圧電材
料５に埋没されている。
７に対向する側とは反対側の面に一端が露出し、他端が
圧電材料５に埋没され、かつ固定基板７の領域に配置さ
れる内部電極３０’は、固定基板７側の端面３０’ａが
スリット６の端面の斜面６ａに一致するように固定端側
程短く形成されている。また他方の極を内部電極３１
は、固定基板７の側の面に一端が露出し、他端が圧電材
料５に埋没されている。
【００２８】内部電極３０は圧電振動子の側面に形成さ
れたセグメント電極３２に、また内部電極３１は、圧電
振動子の側面に形成された共通電極３３によりフレキシ
ブルケーブル１０に接続されている。
れたセグメント電極３２に、また内部電極３１は、圧電
振動子の側面に形成された共通電極３３によりフレキシ
ブルケーブル１０に接続されている。
【００２９】この実施例においても固定領域の内部電極
３０’が他方の内部電極３１とともに圧電材料５に圧電
効果を生じさせて圧電振動子全体の変位量を増大させる
のに寄与する。
３０’が他方の内部電極３１とともに圧電材料５に圧電
効果を生じさせて圧電振動子全体の変位量を増大させる
のに寄与する。
【００３０】なお、上述の実施例においては内部電極３
０’の端面をスリット６の斜面６ａに一致させるように
形成しているが、図９（イ）に示したように斜面６ａに
対して一定の間隔Δｇを空けて、同一面上に固定基板側
の領域にまでダミーの内部電極３０”を形成してもよ
い。
０’の端面をスリット６の斜面６ａに一致させるように
形成しているが、図９（イ）に示したように斜面６ａに
対して一定の間隔Δｇを空けて、同一面上に固定基板側
の領域にまでダミーの内部電極３０”を形成してもよ
い。
【００３１】この実施例によれば、圧電振動子の内部電
極がほぼ均一に配置されるから、全体の熱膨張率を均一
化できて温度変化等による反りを防止することができ
る。
極がほぼ均一に配置されるから、全体の熱膨張率を均一
化できて温度変化等による反りを防止することができ
る。
【００３２】なお、上述の実施例においては圧電振動子
の非振動領域の側面だけを固定基板７に支持させている
が、図９（ロ）に示したように圧電振動子の後端面に当
接する突起３４を設けると、確実な支持力を得ることが
できる。
の非振動領域の側面だけを固定基板７に支持させている
が、図９（ロ）に示したように圧電振動子の後端面に当
接する突起３４を設けると、確実な支持力を得ることが
できる。
【００３３】さらには自由端側の先端と電極までの圧電
材料５の厚みｄを電極形成領域の厚みよりも大きくして
おくと、比較的欠け易い先端面に欠け３５が生じた場合
にでも内部電極を依然として圧電材料５に埋没させてお
くことができて、外部電極３２、３３による短絡を防止
することができる。
材料５の厚みｄを電極形成領域の厚みよりも大きくして
おくと、比較的欠け易い先端面に欠け３５が生じた場合
にでも内部電極を依然として圧電材料５に埋没させてお
くことができて、外部電極３２、３３による短絡を防止
することができる。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
一方の極をなす内部電極と他方の極をなす内部電極とを
圧電材料とともに積層して構成された圧電材料板を、そ
の一半を固定基板に固定するともに、前記圧電材料板の
自由端側から、圧電材料板の表面側の切り口が前記固定
基板側の切り口よりも後端側に到達する斜面となるスリ
ットを圧電材料板に形成して圧電振動子に歯割りしたの
で、固定基板側への変位の伝達を可及的に防止して、固
定基板との対向領域を固定基板の拘束から開放して変位
可能として、圧電振動子全体の変位量を増大することが
できる。
一方の極をなす内部電極と他方の極をなす内部電極とを
圧電材料とともに積層して構成された圧電材料板を、そ
の一半を固定基板に固定するともに、前記圧電材料板の
自由端側から、圧電材料板の表面側の切り口が前記固定
基板側の切り口よりも後端側に到達する斜面となるスリ
ットを圧電材料板に形成して圧電振動子に歯割りしたの
で、固定基板側への変位の伝達を可及的に防止して、固
定基板との対向領域を固定基板の拘束から開放して変位
可能として、圧電振動子全体の変位量を増大することが
できる。
【図１】本発明の圧電振動子ユニットを使用したインク
ジェット式記録ヘッドの一実施例を示す断面図である。
ジェット式記録ヘッドの一実施例を示す断面図である。
【図２】図（イ）、（ロ）は、それぞれ同上圧電振動子
ユニットの一実施例の表裏の構造を示す斜視図である。
ユニットの一実施例の表裏の構造を示す斜視図である。
【図３】同上圧電振動子の動作領域を示す説明図であ
る。
る。
【図４】図（I）乃至（IV）は、それぞれ本発明の圧電
振動子ユニットの製造工程のうち、圧電材料と導電材料
との積層工程を示す図である。
振動子ユニットの製造工程のうち、圧電材料と導電材料
との積層工程を示す図である。
【図５】図（I）乃至（IV）は、それぞれ本発明の圧電
振動子ユニットの製造工程のうち、圧電材料と導電材料
との積層工程を示す図である。
振動子ユニットの製造工程のうち、圧電材料と導電材料
との積層工程を示す図である。
【図６】図（I）乃至（III）は、それぞれ本発明の圧電
振動子ユニットの製造工程のうち、歯割りの工程を示す
図である。
振動子ユニットの製造工程のうち、歯割りの工程を示す
図である。
【図７】本発明の他の実施例を示す断面図である。
【図８】本発明の圧電振動子ユニットを使用したインク
ジェット式記録ヘッドの一実施例を示す断面図である。
ジェット式記録ヘッドの一実施例を示す断面図である。
【図９】図（イ）、（ロ）は、それぞれ本発明の他の実
施例を示す断面図である。
施例を示す断面図である。
１ 圧電振動ユニット ２ 圧電振動子 ３、４ 内部電極 ５ 圧電材料 ６ スリット ６ａ スリットの端面 ７ 固定基板 ８ セグメント電極 ９ 共通電極 １０ フレキシブケーブル １１ 流路ユニット
Claims (19)
- 【請求項１】 一方の極をなす内部電極と他方の極をな
す内部電極とを圧電材料とともに積層して構成された圧
電材料板を、その一半を固定基板に固定するともに、前
記圧電材料板の自由端側から、前記圧電材料板の表面側
の切り口が前記固定基板側の切り口よりも後端側に到達
する斜面となるスリットを前記圧電材料板に形成して圧
電振動子に歯割りしたインクジェット式記録ヘッド駆動
用圧電振動子ユニット。 - 【請求項２】 前記圧電材料の前記固定基板の端部領域
が連続領域となるよう前記スリットが形成されている請
求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド駆動用圧電
振動子ユニット。 - 【請求項３】 前記一方の内部電極の端面が、前記斜面
に揃うように形成されている請求項１に記載のインクジ
ェット式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニット。 - 【請求項４】 前記内部電極が、圧電振動子の変位方向
に平行に形成されている請求項１に記載のインクジェッ
ト式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニット。 - 【請求項５】 前記圧電材料板の自由端に露出する内部
電極の後端面が、前記斜面に揃うように形成されている
請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド駆動用圧
電振動子ユニット。 - 【請求項６】 前記圧電材料板の自由端に露出する内部
電極が、前記斜面で間隔を有する請求項１に記載のイン
クジェット式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニット。 - 【請求項７】 前記スリットが前記基板に到達している
請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド駆動用圧
電振動子ユニット。 - 【請求項８】 前記圧電振動子の固定基板側の端面に補
強部材が設けられている請求項１に記載のインクジェッ
ト式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニット。 - 【請求項９】 前記圧電材料板の表面に露出する内部電
極が、前記斜面で間隙を有する請求項１に記載のインク
ジェット式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニット。 - 【請求項１０】 前記自由端の面に露出する内部電極
が、セグメント電極に接続されている請求項４に記載の
インクジェット式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニッ
ト。 - 【請求項１１】 前記内部電極の全ての後端部が前記圧
電振動子の後端面に露出されている請求項４に記載のイ
ンクジェット式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニット。 - 【請求項１２】 前記後端面に露出する内部電極が、共
通電極に接続されている請求項４に記載のインクジェッ
ト式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニット。 - 【請求項１３】 前記内部電極が、前記圧電振動子の変
位方向に垂直に形成されている請求項１に記載のインク
ジェット式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニット。 - 【請求項１４】 前記固定基板側に露出する内部電極
が、前記共通電極に接続されている請求項１３に記載の
インクジェット式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニッ
ト。 - 【請求項１５】 前記圧電材料板の表面側の切り口より
も自由端側に位置し、かつ表面に露出する内部電極が、
セグメント電極に接続されている請求項１３に記載のイ
ンクジェット式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニット。 - 【請求項１６】 前記圧電材料板の表面に露出する内部
電極の他端部が、前記斜面に揃うように形成されている
請求項１３に記載のインクジェット式記録ヘッド駆動用
圧電振動子ユニット。 - 【請求項１７】 前記圧電振動子の先端側の圧電材料の
層厚が、他の領域の内部電極間の層厚よりも大きく形成
されている請求項１３に記載のインクジェット式記録ヘ
ッド駆動用圧電振動子ユニット。 - 【請求項１８】 一方の極をなす内部電極と他方の極を
なす内部電極とを圧電材料とともに積層して構成された
圧電材料板を、その一半を固定基板に固定するととも
に、前記圧電材料板の自由端側から、前記圧電材料板の
表面側の切り口が前記固定基板側の切り口よりも後端側
に到達する斜面となるスリットを前記圧電材料板に形成
して圧電振動子に歯割りして構成され、かつ前記切り口
よりも自由端側の前記固定基板に対向する領域が活性領
域をなすインクジェット式記録ヘッド駆動用圧電振動子
ユニット。 - 【請求項１９】 一方の極をなす内部電極と他方の極を
なす内部電極とが、圧電材料板の分割開始方向に一定の
所定の間隔を空けて活性領域でラップし、かつそれぞれ
が一方の端部で露出するように圧電材料のグリーンシー
トとともに積層して積層物を形成する工程と、 前記積層物を焼成して圧電材料板を形成する工程と、 前記各極の内部電極のそれぞれに導通する外部電極を形
成する工程と、 前記外部電極が形成されている領域を固定基板に固定す
る工程と、 前記圧電材料板の活性部となる前記内部電極が相互にラ
ップした領域を櫛歯状に歯割りする工程と、 からなるインクジェット式記録ヘッド駆動用圧電振動子
ユニットの製造方法。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10214898A JP4008099B2 (ja) | 1998-03-30 | 1998-03-30 | インクジェット式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニット、及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10214898A JP4008099B2 (ja) | 1998-03-30 | 1998-03-30 | インクジェット式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニット、及びその製造方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11277745A true JPH11277745A (ja) | 1999-10-12 |
| JP4008099B2 JP4008099B2 (ja) | 2007-11-14 |
Family
ID=14319668
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10214898A Expired - Fee Related JP4008099B2 (ja) | 1998-03-30 | 1998-03-30 | インクジェット式記録ヘッド駆動用圧電振動子ユニット、及びその製造方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4008099B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1164016A2 (en) * | 2000-06-12 | 2001-12-19 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator unit |
| KR100490501B1 (ko) * | 2002-09-27 | 2005-05-17 | 주식회사 이노칩테크놀로지 | 압전체 진동소자 및 그 제조 방법 |
| JP2007298473A (ja) * | 2006-05-02 | 2007-11-15 | Seiko Epson Corp | 振動子ユニットの検査装置 |
| US7525236B2 (en) | 2006-06-01 | 2009-04-28 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric element unit, manufacturing method of the same, and liquid ejecting head using the same |
| JP2010173269A (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子 |
| JP2019134033A (ja) * | 2018-01-30 | 2019-08-08 | 太陽誘電株式会社 | 積層圧電セラミック部品及び圧電デバイス |
-
1998
- 1998-03-30 JP JP10214898A patent/JP4008099B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US11393972B2 (en) * | 2018-01-30 | 2022-07-19 | Taiyo Yuden Co., Ltd | Multi-layer piezoelectric ceramic component and piezoelectric device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4008099B2 (ja) | 2007-11-14 |
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