JP5604250B2 - 圧電素子 - Google Patents
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Description
(圧電素子の構造)
図1は、圧電素子100を示す斜視図、図2は、正面図、図3は、断面図である。図1および図3において、矢印Fは正面に向かう方向を示している。また、図3は、図1に示す面Sによる断面を示している。なお、図面では、長手方向の両端側を省略して圧電素子100を示している。
次に、上記のような構成を有する圧電素子100の作製方法を説明する。図4は、圧電素子100の作製方法を示す概略図である。
次に、圧電素子100を実際に使用する際の態様を説明する。図5(a)は、圧電素子100の使用時の態様を示す正面図である。図5(b)は、使用時の素子本体110を示す正面図である。
上記の圧電素子100の例では、孔121a、121bの形状が円であるが、必ずしもこれに限られない。図6(a)〜(e)は、補強板120に形成された孔121aの例を示す図である。孔121a、121bの形状には、円の他に多角形が考えられる。その中でも、図6(a)〜(c)に示すように、孔121aの外向き凹部122aの形状は、円弧または緩やかな多角形であることが好ましい。これにより、図6(d)、(e)に示すような選択的な疲労破壊141の空隙より外側への伝播が生じないため、外部電極の電気的接続を維持することができる。
上記の実施形態では、補強板120の孔121a、121bは、積層面に平行に並んで2つ形成されているが、一方のみに形成されていてもよい。図7(a)は、圧電素子200を示す正面図である。図7(b)は、圧電素子200の使用時の態様を示す正面図である。
圧電素子の補強板の材料および厚さについて実験を行った。補強板の材料は、リン青銅、銅、SUS304を用いた。厚さは、0.05mm、0.1mm、0.15mm、0.2mm、0.3mmのものを用意した。このような補強板を用いて圧電素子を作製した。なお、リン青銅、銅の補強板は半田付けで外部電極に接着し、SUSの補強板は導電性接着剤で接着した。
リン青銅製または銅製の補強板を用いる場合、厚さを0.2mm以下とすることにより、補強板は選択的な疲労破壊を起こすことができ、単位素子内の破壊を防止できることが実証された。また、SUS製の補強板を用いる場合には、厚さを0.1mm以下とすることにより、補強板は選択的な疲労破壊を起こすことができ、単位素子内の破壊を防止できることが実証された。
105 単位素子
110 素子本体
111 圧電層
112 内部電極
115 外部電極
117 応力緩和層
117a 結合部分
120 補強板
121a、121b 孔
122a 孔の外向き凹部
130 半田付けの領域
141 疲労破壊
200 圧電素子
220 補強板
221a、221b 孔
241 疲労破壊
A 孔に挟まれた内側
B 孔より外側
Claims (6)
- 圧電層と内部電極とが交互に積層され、電圧の印加により伸縮する矩形の圧電素子であって、
積層面に平行に層面が形成され、伸縮による応力を緩和する応力緩和層と、
側面に設けられた外部電極と、
前記外部電極に接着され、一部に空隙を有する金属製の補強板と、を備え、
前記補強板は、前記空隙が前記応力緩和層の層面付近で、前記外部電極との接着領域外に配置されるように形成されるとともに、前記空隙より内側の部分が選択的に疲労破壊しうる程度に薄く形成され、かつ前記外部電極に接着されていることを特徴とする圧電素子。 - 前記空隙は、前記応力緩和層の存在する積層方向の各位置で、前記外部電極に接着された領域外の一方側のみに配置されていることを特徴とする請求項1記載の圧電素子。
- 前記空隙は、前記積層方向に沿って、前記外部電極に接着された領域の左右交互に配置されていることを特徴とする請求項2記載の圧電素子。
- 前記補強板は、リン青銅製または銅製であって、厚さ0.2mm以下であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の圧電素子。
- 前記補強板は、SUS製であって、厚さ0.1mm以下であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の圧電素子。
- 前記空隙の外向き凹部の形状は、円弧または緩やかな多角形であることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の圧電素子。
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