JP2019009414A - 積層圧電素子、圧電振動装置、及び電子機器 - Google Patents
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- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 13
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 12
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 41
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 7
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical group [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical group O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 2
- 238000012905 input function Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 229940100890 silver compound Drugs 0.000 description 2
- 150000003379 silver compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000003826 uniaxial pressing Methods 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 210000000988 bone and bone Anatomy 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000007646 gravure printing Methods 0.000 description 1
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000010295 mobile communication Methods 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Substances [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N palladium silver Chemical compound [Pd].[Ag] SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002491 polymer binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 230000035807 sensation Effects 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
Description
上記積層圧電体は、第1軸方向に対向する一対の主面と、上記第1軸方向に直交し長手方向である第2軸方向に対向する一対の端面と、上記第1軸方向及び上記第2軸方向に直交する第3軸方向に対向する一対の側面とを有する。
上記複数の内部電極は、上記積層圧電体の内部に配置され、上記第1軸方向に積層される。
上記複数の内部電極のうち、上記積層圧電体の中央部に配置された中央内部電極の上記第3軸方向から見た第1断面は、上記中央内部電極の上記第2軸方向から見た第2断面よりも大きな起伏を有する。
上記振動板は、上記積層圧電素子に対して上記第1軸方向に対向する。
上記接着層は、上記積層圧電素子と上記振動板との間に配置されている。
上記パネルは、上記積層圧電素子が上記第1軸方向に対向した状態で接着されている。
上記筐体は、上記パネルを保持する。
図面には、適宜相互に直交するX軸、Y軸、及びZ軸が示されている。X軸方向は「第2軸方向」、Y軸方向は「第3軸方向」、Z軸方向は「第1軸方向」にそれぞれ対応する。X軸、Y軸、及びZ軸は全図において共通である。
図1〜3は、本発明の一実施形態に係る積層圧電素子10を示す図である。図1は、積層圧電素子10の斜視図である。図2は、積層圧電素子10の図1のA−A'線に沿った断面図である。図3は、積層圧電素子10の図1のB−B'線に沿った断面図である。
積層圧電体11は、X軸方向に沿って長手方向を有する。これにより、X軸方向に沿った伸縮が優位となり、d31の圧電定数を有する積層圧電素子10を構成することができる。
なお、積層圧電体11のうち圧電活性を有する領域は、厳密にはZ軸方向に隣り合う内部電極12,13及び表面電極16,17が対向する領域であるが、ここでは内部電極12,13及び表面電極16,17が引き出される端面11a,11bまでの領域を圧電活性部18とする。
内部電極12,13は、圧電セラミックスとの反応性が低い銀(Ag)や銀−パラジウム(Pd)を主成分とする導体、あるいは銅(Cu)、白金(Pt)などを含む導体で形成することができる。あるいは、これらの材料にセラミック成分やガラス成分を含有させてもよい。
第1表面電極16は、主面11eに最も近い第2内部電極13との間の圧電体層20に駆動電圧を印加できる。第2表面電極17は、主面11fに最も近い第1内部電極12との間の圧電体層20に駆動電圧を印加できる。表面電極16,17と最外層の内部電極12,13との間の圧電体層20は、一層でもよいし、複数層でもよい。
表面電極16,17により、積層圧電体11の圧電活性領域を増やすことができ、積層圧電体11全体を伸縮させることができる。
表面電極16,17は、内部電極12,13と同様の矩形状にそれぞれ形成されてもよいが、所定のパターンを有していてもよい。
表面電極16,17は、銀(Ag)、銀にシリカ(Si)を主成分としたガラス等を含有させた銀化合物、ニッケル(Ni)などで形成することができる。
外部電極14,15は、例えば、銀、銀にシリカを主成分としたガラス等を含有させた銀化合物、ニッケルなどで構成される。
積層圧電素子10は、長手方向であるX軸方向に沿って内部電極12,13が複数の起伏を有することを特徴とする。
図2及び図3に示すように、内部電極12,13は、X軸方向と平行な断面で観察されY軸方向と平行な断面では観察されない複数の起伏を有する。ここで、複数の内部電極12,13のうち、積層圧電体11の中央部に配置された内部電極を中央内部電極21とし、中央内部電極21を例に挙げて起伏の構成を説明する。
なお、中央内部電極21は、第1内部電極12及び第2内部電極13のどちらであってもよい。
図4及び5は、いずれも走査型電子顕微鏡によって縦50μm×横250μmの視野で観察した積層圧電体11の断面を示す図である。図4は、図2の拡大図に相当し、積層圧電体11のX軸方向及びZ軸方向における中央部のY軸方向に直交する断面を示す。図5は、図3の拡大図に相当し、積層圧電体11のY軸方向及びZ軸方向における中央部のX軸方向に直交する断面を示す。図4及び図5には、いずれも中央内部電極21が示されており、図4には第1断面22の一部が、図5には第2断面23の一部が、それぞれ示されている。
図7は、積層圧電素子10の製造方法を示すフローチャートである。図8〜9は、積層圧電素子10の製造過程を示す図である。以下、積層圧電素子10の基本的な製造方法について、図7に沿って、図8〜9を適宜参照しながら説明する。
ステップS01では、図8に示すように、積層圧電体11を形成するための第1セラミックシート101、第2セラミックシート102、第3セラミックシート103及び第4セラミックシート104を積層し、セラミック積層体105を作製する。本ステップでは、第1セラミックシート101及び第2セラミックシート102がZ軸方向に交互に積層され、この積層体の上下面にそれぞれ第3セラミックシート103及び第4セラミックシート104が積層される。なお、各セラミックシートの積層枚数は図8の例に限定されない。
ステップS02では、セラミック積層体105を圧着する。これによりセラミックシート101,102,103,104が一体化され、図9に示す未焼成の積層チップ111が形成される。積層チップ111は、焼成前かつ分極処理前の積層圧電体11に相当する。セラミック積層体105の圧着には、例えば、一軸加圧や静水圧加圧などを用いることが好ましい。これにより、積層チップ111を高密度化することが可能である。
また、圧電活性部116のみからなる積層体を形成した後、当該積層体の両側面にサイドマージン部117を形成してもよい。
ステップS03では、ステップS02で得られた未焼成の積層チップ111を焼結させることにより、積層圧電体11に対応する積層チップを作製する。本ステップにより得られた積層チップは、分極処理前の積層圧電体11に相当し、図1〜3に示す積層圧電体11と同様の構成を有する。
ステップS04では、ステップS03で得られた積層チップに外部電極14,15を形成することにより、積層圧電素子10に対応するセラミック素子を作製する。本ステップにより得られたセラミック素子は、分極処理前の積層圧電素子10に相当し、図1〜3に示す積層圧電素子10と同様の構成を有する。
ステップS05では、焼成後の積層チップを分極処理して圧電活性を付与する。分極処理には、外部電極14,15を用いて積層圧電体11に電圧を印加してもよいし、その他の給電部材を内部電極12,13及び表面電極16,17に接続して電圧を印加してもよい。
これにより、積層圧電素子10が製造される。
本実施形態に係る積層圧電素子10の内部電極12,13は、以下のように製造することができる。
図10及び図11は、本実施形態の変形例に係る積層圧電素子30の構成を示す図である。図10はY軸方向に直交する断面図であり、図2に対応する。図11はX軸方向に直交する断面図であり、図3に対応する。積層圧電素子30は、積層圧電体11と、第1外部電極14と、第2外部電極15と、複数の第1内部電極32と、複数の第2内部電極33と、第1表面電極16と、第2表面電極17と、を備え、内部電極32,33の構成が積層圧電素子10とは異なる。以下、同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
図12及び図13は、いずれも走査型電子顕微鏡によって縦50μm×横250μmの視野で観察した積層圧電体11の断面を示す図である。図12は、図10の拡大図に相当し、積層圧電体11のX軸方向及びZ軸方向における中央部のY軸方向に直交する断面を示す。図13も、図10の拡大図に相当し、積層圧電体11のY軸方向における中央部でかつ主面11e付近の断面を示す図である。図12には中央内部電極41の第1断面42の一部が示されており、図13には周縁内部電極44の第3断面45の一部が示されている。
積層圧電素子10は、圧電横効果によってX軸方向に動作する圧電アクチュエータとして広く利用可能である。積層圧電素子10の用途の一例として、振動を発生させる圧電振動装置が挙げられる。以下、積層圧電素子10を用いて構成されたユニモルフ型の圧電振動装置50について説明する。
図15A,15Bは、積層圧電素子10を用いた電子機器60を模式的に示す図である。図15Aは、電子機器60の平面図である。図15Bは、電子機器60の図15AのC−C'線に沿った断面図である。電子機器60は、一般的にスマートフォンと呼ばれる多機能型の携帯通信端末として構成される。
11…積層圧電体
12,13,32,33…内部電極
21,41…中央内部電極
22,42…第1断面
23,43…第2断面
44…周縁内部電極
45…第3断面
50…圧電振動装置
51…振動板
52…接着層
60…電子機器
61…筐体
62…パネル
Claims (6)
- 第1軸方向に対向する一対の主面と、前記第1軸方向に直交し長手方向である第2軸方向に対向する一対の端面と、前記第1軸方向及び前記第2軸方向に直交する第3軸方向に対向する一対の側面とを有する積層圧電体と、
前記積層圧電体の内部に配置され、前記第1軸方向に積層された複数の内部電極と
を具備し、
前記複数の内部電極のうち、前記積層圧電体の中央部に配置された中央内部電極の前記第3軸方向から見た第1断面は、前記中央内部電極の前記第2軸方向から見た第2断面よりも大きな起伏を有する
積層圧電素子。 - 請求項1に記載の積層圧電素子であって、
前記第1断面の前記第1軸方向における中央に沿って走行し前記第2軸方向に100μmの長さを有する第1走行線と、前記第1走行線の端点間を結ぶ直線である第1基準線との前記第1軸方向における最大乖離寸法は、前記第2断面の前記第1軸方向における中央に沿って走行し前記第3軸方向に100μmの長さを有する第2走行線と、前記第2走行線の端点間を結ぶ直線である第2基準線との前記第1軸方向における最大乖離寸法よりも大きい
積層圧電素子。 - 請求項2に記載の積層圧電素子であって、
前記第1走行線と前記第1基準線との前記最大乖離寸法は、2μm以上である
積層圧電素子。 - 請求項1から3のうちいずれか一項に記載の積層圧電素子であって、
前記複数の内部電極のうち、前記積層圧電体の前記一対の主面のうちの一方の主面に最も近い位置に配置された周縁内部電極の前記第3軸方向から見た第3断面よりも、前記第1断面は大きな起伏を有する
積層圧電素子。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載の積層圧電素子と、
前記積層圧電素子に対して前記第1軸方向に対向する振動板と、
前記積層圧電素子と前記振動板との間に配置された接着層と、
を具備する圧電振動装置。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載の積層圧電素子と、
前記積層圧電素子が前記第1軸方向に対向した状態で接着されたパネルと、
前記パネルを保持する筐体と、
を具備する電子機器。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US16/011,286 US11437560B2 (en) | 2017-06-22 | 2018-06-18 | Multilayer piezoelectric element, piezoelectric vibration apparatus, and electronic device |
KR1020180071401A KR102122891B1 (ko) | 2017-06-22 | 2018-06-21 | 적층 압전 소자, 압전 진동 장치 및 전자 기기 |
CN201810650813.3A CN109119529B (zh) | 2017-06-22 | 2018-06-22 | 层叠压电元件、压电振动装置和电子设备 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017122193 | 2017-06-22 | ||
JP2017122193 | 2017-06-22 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019009414A true JP2019009414A (ja) | 2019-01-17 |
JP7071172B2 JP7071172B2 (ja) | 2022-05-18 |
Family
ID=65029709
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018045559A Active JP7071172B2 (ja) | 2017-06-22 | 2018-03-13 | 積層圧電素子、圧電振動装置、及び電子機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP7071172B2 (ja) |
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---|---|
JP7071172B2 (ja) | 2022-05-18 |
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