JP2019129310A - パターン化の二次元遷移金属カルコゲナイドナノ材料の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図20を参照すると、本実施例1はパターン化の二次元遷移金属カルコゲナイドナノ材料の製造方法を提供する。パターン化の二次元遷移金属カルコゲナイドナノ材料の製造方法は以下のステップを含む。
S10、サファイア基板10の表面にパターン化のマイカ層11を形成して、サファイア基板10の表面の一部を露出させる。
S11、サファイア基板10の表面には、パターン化のマイカ層11を覆うように単層の二硫化モリブデン12を設置し、単層の二硫化モリブデン12の一部をパターン化のマイカ層11の表面に設置し、ほかの単層の二硫化モリブデン12の部分をサファイア基板10の露出面に設置する。
S12、空気に大気圧下でアニール温度250℃〜290℃でアニールを行い、パターン化のマイカ層11の表面に設置された単層の二硫化モリブデン12を酸化して除去し、サファイア基板10の露出面に設置された単層の二硫化モリブデン12は、パターン化の二硫化モリブデン12Aを形成する。
図21を参照すると、本実施例2はパターン化の二次元遷移金属カルコゲナイドナノ材料の製造方法を提供する。パターン化の二次元遷移金属カルコゲナイドナノ材料の製造方法は以下のステップを含む。
S20、マイカ基板13の表面にパターン化のシリカ層14を形成して、マイカ基板13の表面の一部を露出させる。
S21、マイカ基板13の表面には、パターン化のシリカ層14を覆うように単層の二硫化モリブデン12を設置し、単層の二硫化モリブデン12の一部をパターン化のシリカ層14の表面に設置し、ほかの単層の二硫化モリブデン12の部分をマイカ基板13の露出面に設置する。
S22、空気に大気圧下でアニール温度250℃〜270℃でアニールを行い、マイカ基板13の露出面に設置された単層の二硫化モリブデン12を酸化して除去し、パターン化のシリカ層14の表面に設置された単層の二硫化モリブデン12は、パターン化の単層の二硫化モリブデン12Aを形成する。
図22を参照すると、本実施例3はパターン化の二次元遷移金属カルコゲナイドナノ材料の製造方法を提供する。パターン化の二次元遷移金属カルコゲナイドナノ材料の製造方法は以下のステップを含む。
S30、サファイア基板10の表面にマスク16を形成して、マスク16によってサファイア基板10をエッチングして、複数の凹溝101を形成する。
S31、サファイア基板10の表面には連続なマイカ層11Aを設置し、連続なマイカ層11Aはサファイア基板10及びマスク16を被覆する。
S32、マスク16及びマスク16の表面におけるマイカを除去し、パターン化のマイカ層11を得て、且つサファイア基板10の表面の一部を露出させる。
S33、サファイア基板10の表面に単層の二硫化モリブデン12を設置し、単層の二硫化モリブデン12の一部をパターン化のマイカ層11の表面に設置し、ほかの単層の二硫化モリブデン12の部分をサファイア基板10の露出面に設置する。
S34、空気に大気圧下でアニール温度250℃〜290℃でアニールを行い、パターン化のマイカ層11の表面に設置された単層の二硫化モリブデン12を酸化して除去し、サファイア基板10の露出面に設置された単層の二硫化モリブデン12は、パターン化の二硫化モリブデン12Aを形成する。
図23を参照すると、本実施例4はパターン化の二次元遷移金属カルコゲナイドナノ材料の製造方法を提供する。パターン化の二次元遷移金属カルコゲナイドナノ材料の製造方法は以下のステップを含む。
S40、金属シート15の表面に連続なマイカ層11Aを設置する。
S41、連続なマイカ層11Aにマスク16を設置し、マスク16によって連続なマイカ層11Aをエッチングして、パターン化のマイカ層11を形成する。
S42、金属シート15の表面に連続なシリカ層14Aを堆積し、連続なシリカ層14Aは金属シート15、パターン化のマイカ層11及びマスク16を被覆する。
S43、マスク16及びマスク16の表面におけるシリカ層を除去し、パターン化のシリカ層14を形成する。
S44、金属シート15の表面に単層の二硫化モリブデン12を設置し、単層の二硫化モリブデン12はパターン化のマイカ層11及びパターン化のシリカ層14を被覆し、単層の二硫化モリブデン12の一部をパターン化のマイカ層11の表面に設置し、ほかの単層の二硫化モリブデン12の部分をパターン化のシリカ層14の表面に設置する。
S45、空気に大気圧下でアニール温度250℃〜270℃でアニールを行い、パターン化のマイカ層11の表面に設置された単層の二硫化モリブデン12を酸化して除去し、パターン化のシリカ層14の表面に設置された単層の二硫化モリブデン12は、パターン化の単層の二硫化モリブデン12Aを形成する。
図24を参照すると、本実施例5はパターン化の二次元遷移金属カルコゲナイドナノ材料の製造方法を提供する。パターン化の二次元遷移金属カルコゲナイドナノ材料の製造方法は以下のステップを含む。
S50、シリカを成長する複数のシリコンシート及び複数のマイカシートを間隔をあけて、パターン化のシリコンシート17及びパターン化のマイカ層11からなる基板を形成する。
S51、パターン化のシリコンシート17とパターン化のマイカ層11の表面に、パターン化のシリコンシート17とパターン化のマイカ層11を覆うように単層の二硫化モリブデン12を設置し、単層の二硫化モリブデン12の一部をパターン化のマイカ層11の表面に設置し、ほかの単層の二硫化モリブデン12の部分をパターン化のシリコンシート17の表面に設置する。
S52、空気に10KPaでアニール温度290℃でアニールを行い、パターン化のマイカ層11の表面に設置された単層の二硫化モリブデン12を酸化して除去し、パターン化のシリコンシート17の表面に設置された単層の二硫化モリブデン12は、パターン化の二硫化モリブデン12Aを形成する。
11 パターン化のマイカ層
11A 連続なマイカ層
12 単層の二硫化モリブデン
12A パターン化の単層の二硫化モリブデン
13 マイカ基板
14 パターン化のシリカ層
14A 連続なシリカ層
15 金属シート
16 マスク
17 パターン化のシリコンシート
Claims (3)
- 第一基板を形成し、前記第一基板の表面は第一パターン化の表面及び第二パターン化の表面を含む第一ステップであり、第一パターン化の表面の材料は酸化物或いは窒化物であり、第二パターン化の表面の材料はマイカである第一ステップと、
前記第一基板の表面に単層の二次元遷移金属カルコゲナイドナノ材料を形成し、且つ前記単層の二次元遷移金属カルコゲナイドナノ材料は前記第一パターン化の表面及び前記第二パターン化の表面を被覆する第二ステップと、
酸素を有する雰囲気で、単層の二次元遷移金属カルコゲナイドナノ材料が形成された第一基板をアニーリングして、アニール温度を制御して、前記第二パターン化の表面を被覆する前記単層の二次元遷移金属カルコゲナイドナノ材料のみを酸化して除去し、前記第一パターン化の表面を被覆する単層の二次元遷移金属カルコゲナイドナノ材料はパターン化の二次元遷移金属カルコゲナイドナノ材料を形成する第三ステップと、
を含むことを特徴とするパターン化の二次元遷移金属カルコゲナイドナノ材料の製造方法。 - 前記パターン化の二次元遷移金属カルコゲナイドナノ材料の製造方法において、第一基板の形成方法は、
第二基板を提供する第一サブステップであり、前記第二基板は第三表面を有し、前記第二基板の材料は酸化物或いは窒化物である第一サブステップと、
前記第三表面にパターン化のマイカ層を形成し、前記第三表面の一部を被覆させて、ほかの前記第三表面の部分を露出させて、露出された前記第三表面の前記第一パターン化の表面を形成し、パターン化のマイカ層は第二パターン化の表面を形成する第二サブステップと、
を含むことを特徴とする請求項1に記載のパターン化の二次元遷移金属カルコゲナイドナノ材料の製造方法。 - 前記第二基板はシリカ基板を有するシリコン、サファイア基板、石英基板或いはガラス基板であることを特徴とする請求項2に記載のパターン化の二次元遷移金属カルコゲナイドナノ材料の製造方法。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20100051893A1 (en) * | 2008-08-29 | 2010-03-04 | Young-Kuk Kim | Plasma treating methods of fabricating phase change memory devices, and memory devices so fabricated |
JP2015090984A (ja) * | 2013-11-05 | 2015-05-11 | 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd. | 二次元物質及びその形成方法、並びに該二次元物質を含む素子 |
JP2016097599A (ja) * | 2014-11-21 | 2016-05-30 | 富士通株式会社 | 層状物質の積層構造及びその製造方法 |
US20160308006A1 (en) * | 2015-04-16 | 2016-10-20 | Cornell University | Monolayer films of semiconducting metal dichalcogenides, methods of making same, and uses of same |
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US8198124B2 (en) * | 2010-01-05 | 2012-06-12 | Micron Technology, Inc. | Methods of self-aligned growth of chalcogenide memory access device |
US20120141799A1 (en) * | 2010-12-03 | 2012-06-07 | Francis Kub | Film on Graphene on a Substrate and Method and Devices Therefor |
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US20100051893A1 (en) * | 2008-08-29 | 2010-03-04 | Young-Kuk Kim | Plasma treating methods of fabricating phase change memory devices, and memory devices so fabricated |
JP2015090984A (ja) * | 2013-11-05 | 2015-05-11 | 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd. | 二次元物質及びその形成方法、並びに該二次元物質を含む素子 |
JP2016097599A (ja) * | 2014-11-21 | 2016-05-30 | 富士通株式会社 | 層状物質の積層構造及びその製造方法 |
US20160308006A1 (en) * | 2015-04-16 | 2016-10-20 | Cornell University | Monolayer films of semiconducting metal dichalcogenides, methods of making same, and uses of same |
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