JP2004134720A - ドライリソグラフィ法およびこれを用いたゲートパターン形成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】従来のリソグラフィ法に代わり、ウェット工程を一切使用しないドライリソグラフィ法を提供する。
【解決手段】シリコンからなるパターン転写対象物を準備する段階と、パターン転写対象物に対しパターン形成部に電子ビームを選択的に照射する段階と、電子ビームの照射された部分と電子ビームの照射されていない部分とのエッチング速度差を利用した反応性イオンエッチング工程によって、電子ビームの照射されていない部分のパターン転写対象物を除去する段階とを含む。
【選択図】 図2
【解決手段】シリコンからなるパターン転写対象物を準備する段階と、パターン転写対象物に対しパターン形成部に電子ビームを選択的に照射する段階と、電子ビームの照射された部分と電子ビームの照射されていない部分とのエッチング速度差を利用した反応性イオンエッチング工程によって、電子ビームの照射されていない部分のパターン転写対象物を除去する段階とを含む。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ドライリソグラフィ法(dry lithography process)およびこれを用いたゲートパターン形成方法に係り、より詳しくは、フォトレジストを使用しないドライリソグラフィ法およびこれを用いたゲートパターン形成方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体産業の発達は、集積回路を構成する素子および回路の小型化技術に大いに依存している。現在の技術水準は、最小線幅が0.1ミクロン(100ナノメータ)に近接している水準であって、近い将来に数十ナノメータの半導体微細構造加工技術が要求される。実際、集積回路チップ(IC)は、単位素子として多数のトランジスタと、これらをつなぐ多層配線とをシリコン基板上に積層して製作する。したがって、このような多層構造の素子において微細化技術の核心工程は、微細パターンを転写(transfer)するリソグラフィ工程である。
【0003】
「リソグラフィ」とは、平らな半導体基板の表面上にパターンを形成する工程を称するもので、薄膜蒸着、イオンドーピングまたはプラズマエッチングなどの後工程のためのものである。通常のリソグラフィ技術は、別途用意されたマスクのパターンを光学リソグラフィツール(例えば、ステッパー(stepper))により有機物基盤のフォトレジスト薄膜に転写させる方法を用いる。露光と現像(develop)後に、薄膜蒸着、エッチングまたはイオンドーピングなどの工程を行い、有機溶媒や酸溶液に浸漬し、リフト・オフ(lift−off)工程を行うか、あるいは酸素プラズマによるアッシング(ashing)工程によって残余フォトレジストを除去(strip)しなければならない。
【0004】
図1は従来のリソグラフィ法の工程流れ図である。図1を参照すると、まず半導体基板となるパターン転写対象物を準備する(S10)。その後、フォトレジストをスピン塗布する(S20)。次いで、プリ・ベーク(pre−bake)工程を行い前記フォトレジストに含まれた溶剤を除去した後(S30)、露光(exposure)工程に入る(S40)。次いで、ウェット工程である現像(development)工程によって、光の照射された部分と光の照射されていない部分のフォトレジストを選択的に除去する(S50)。その後、残りのフォトレジストを更に固めるポスト・ベーク(post−bake)工程を行う(S60)。その次に、プラズマエッチング法などでパターン転写対象物をエッチングしてパターン転写(pattern transfer)を行う(S70)。最後に、ウェットまたはドライ工程によってフォトレジストを除去する(S80)。
【0005】
このような従来のリソグラフィ法は、現像工程などにおいて必ずウェット工程を伴うため、随時大気や液体化学物質に露出されて結局にはウェーハ(wafer)の表面が汚染される。しかも、フォトレジストにも様々な金属または有機汚染源を表面に残すため、それによる素子性能や信頼性の低下などを引き起こす可能性がある。このように、フォトレジスト塗布工程や、熱処理工程、現像工程、またフォトレジスト除去工程などのような種々の工程が用いられるため、パターニング工程が複雑となり、ウェーハの移動回数が増えるだけでなく、ウェーハの汚染による歩留まりの低下や生産時間の増加などの問題が生じる。また、最も大事なことは、今後小型化技術が更に発達するにつれて、ナノサイズの、信頼度の高いナノ加工が要求され、現在のウェット工程を含むリソグラフィ法は技術的限界がある。
【0006】
特許文献1には、“ドライマイクロリソグラフィプロセス”に関して記載されており、これはウェーハ上にフッ素が含有された減光膜を塗布し、紫外線エネルギを用いた乾式リソグラフィ工程で前記減光膜をパターニングする方法が記載されている。
【0007】
また、特許文献2には、“半導体素子製造のマスキング方法”に関して記載されており、これは表面に保護膜が形成された基板上にマスクを位置させ、保護膜を除去するとともにオゾンが生成し、露出された表面に酸化膜が形成されるように光を照射する方法が記載されている。
【0008】
また、特許文献3には、“レジストレス(Resistless)電子ビームリソグラフィを用いたサーブマイクロンエッチング抵抗金属/半導体構造の製造”に関して記載されており、これは基板上に金属を蒸着し、電子ビームを照射してエッチング抵抗金属/半導体化合物を形成した後、エッチング抵抗金属/半導体化合物構造のみ残るように金属を湿式エッチングする方法が記載されている。
【0009】
また、非特許文献1には、犠牲層による電子ビーム露光でSiO2層に製作されたナノメータスケールのパターンが記載されている。
【0010】
また、特許文献4には、半導体基板上にシリコンを含む高分子有機膜を蒸着し、電子ビームリソグラフィ工程で露光された部分はシリコンポリマになり、露光されていない部分は熱処理によって含有されたシリコンを気化させた後、RIEによってシリコンポリマを除く部分を除去して微細パターンを形成する方法が記載されている。
【0011】
また、特許文献5には、クロム材料層を形成した後、上部に開口窓が形成されたマスク板を形成し、フッ化物ガスプラズマを用いてマスク窓を通じてクロム層の表面にフッ化化合物膜を形成し、クロム層とフッ化化合物膜のエッチング比の差を利用したドライエッチングでクロム配線パターンを形成する方法が記載されている。
【0012】
更に、特許文献6には、シリコン基板をフッ酸溶液に浸して表面のシリコン原子を水素で末端部置換し、イオン化水でリンスしてドライさせた後、水素で末端部置換した表面の所定の部分に電子ビームを照射して活性化させてシリコン基板をアルキルシラン反応させ、ポリシリコンを形成させるのであり、減光膜を使用せずにポリシリコンパターンを形成する方法が記載されている。
【0013】
【特許文献1】
米国特許第5,700,628号明細書
【0014】
【特許文献2】
米国特許第5,756,154号明細書
【0015】
【特許文献3】
米国特許第6,261,938号明細書
【0016】
【特許文献4】
特開平6−267812号公報
【0017】
【特許文献5】
特開平6−168919号公報
【0018】
【特許文献6】
韓国公開特許第1997−017944号公報
【0019】
【非特許文献1】
D.R.Allee et al.,“Appl. Phys. Len. 57(21)”, American Institute of Physics, 19 November 1990, p.p. 2271−2273
【0020】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、従来のリソグラフィ法の代わりに、ウェット工程を一切使用しないドライリソグラフィ法を提供することである。
【0021】
本発明の他の目的は、前記ドライリソグラフィ法を用いたゲートパターン形成方法を提供することである。
【0022】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のドライリソグラフィ法は、シリコンからなるパターン転写対象物を準備する段階と、前記パターン転写対象物に対しパターン形成部に電子ビームを選択的に照射する段階と、前記電子ビームの照射された部分と前記電子ビームの照射されていない部分とのエッチング速度差を利用した反応性イオンエッチング工程によって、電子ビームが照射されていない部分の前記パターン転写対象物を除去する段階とを含むことを特徴とする。
【0023】
前記反応性イオンエッチング工程において、圧力3〜300mTorrのCl2反応気体の雰囲気中でプラズマを生成してイオン化した後、前記パターン転写対象物に入射させて選択的にエッチングする。前記反応性イオンエッチング工程は、前記パターン転写対象物を70〜1000℃の温度で加熱しながら行う。
【0024】
前記電子ビームは、加速電圧を2〜200kVの範囲とし、照射量を0.01〜10Coulomb/cm2の範囲で照射する。前記電子ビームは、前記パターン転写対象物を70〜600℃で加熱してから照射する。前記電子ビームの照射は、電子ビーム直接リソグラフィ法(electron−beam direct lithography)または電子ビーム投影リソグラフィ法(electron−beam projection lithography)を使用することができる。
【0025】
前記パターン転写対象物には、シリコン基板、あるいは半導体基板上に蒸着されたシリコン膜、または半導体基板上の絶縁膜上に蒸着されたシリコン膜を用いる。
【0026】
その他の目的を達成するために、本発明によるゲートパターン形成方法は、半導体基板上に絶縁膜を蒸着する段階と、前記絶縁膜上にシリコン膜を蒸着する段階と、前記シリコン膜に対しパターン形成部に電子ビームを選択的に照射する段階と、前記電子ビームの照射された部分と前記電子ビームの照射されていない部分とのエッチング速度差を利用した反応性イオンエッチング工程によって、電子ビームの照射されていない部分の前記シリコン膜を除去する段階とを含む。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下、添付図を参照して本発明の具体的な実施例を詳細に説明する。しかし、これらの実施例は、該当技術分野で通常の知識を有する者に対し、本発明が十分に理解できるように提供されるものであって、様々な変形が可能であり、なお本発明の範囲は後述の実施例に限定されるものではない。以下の説明において、ある層が他の層上に存在すると記述される場合、これは他の層の真上に存在すること、あるいは前記の両層間に第3の層が介在されていることを意味する。また、図面には各層の厚さや大きさが説明の都合および明確性のために誇張されている。図面上において、同一符号は同一要素を指す。
【0028】
図2は、本発明のドライリソグラフィ法の工程流れ図を示しているが、図1に比べ工程段階が格段に単純化されたことが分かる。
【0029】
図2を参照すると、本発明のドライリソグラフィ法は、シリコン膜に電子ビーム(electron−beam)が照射される場合、シリコン膜の性質が変わり特殊な反応性エッチングに対するエッチング感度が変化することを利用する。すなわち、シリコン膜にエネルギー源として電子ビームが照射される場合、照射された部分と照射されていない部分とのエッチング速度に差が生じ、そのことを利用し反応性イオンエッチングを行う場合、選択的にシリコン膜を除去できることを利用する。本発明のドライリソグラフィ法は、まずシリコンからなるパターン転写対象物を準備し(S100)、シリコン膜に選択的に電子ビームを照射して露光工程を行った後(S110)、反応性イオンエッチング(Reactive Ion Etching;RIE)を行い、電子ビームの照射された部分と照射されていない部分とのシリコン膜のエッチング速度(etching rate)が異なることを利用してパターン転写を行う(S120)。前記パターン転写対象物は、シリコン基板、または半導体基板上に蒸着されたシリコン膜、または半導体基板上の絶縁膜上に蒸着されたシリコン膜である。
【0030】
シリコン膜に電子ビームを照射する前記露光工程は、マスクを使用するか、あるいはマスクを使用せずに電子ビームで直接照射する方法がある。すなわち、マスクを使用しない電子ビーム直接リソグラフィ法(electron−beam direct lithography)、あるいはマスクを用いる電子ビーム投影リソグラフィ法(electron−beam projection lithography; EPL)を使用する。前記電子ビームは加速電圧を2〜200kVの範囲とし、照射量を0.01〜10Coulomb/cm2の範囲として照射する。前記電子ビームはウェーハを70〜600℃の温度で加熱してから照射する。
【0031】
前記反応性イオンエッチング(RIE)は、圧力3〜300mTorr程度のCl2反応気体の雰囲気中でプラズマを生成してイオン化した後、シリコン膜上に入射させて選択的にエッチングを行う工程である。この際、前記反応性イオンエッチングは半導体基板を0〜1000℃の温度で加熱しながら行う。一例として、20kVに加速された電子ビームを、0.2Coulomb/cm2のドーズ(dose)で化学気相蒸着(Chemical Vapor Deposition;CVD)法によって形成した非晶質シリコン膜に照射した後、50mTorrのCl2気体雰囲気中でのプラズマを形成させたイオンによるエッチングを行う場合、照射されていない部分のエッチング率は30〜40nm/minであり、照射された部分のエッチング率に比べて10:1以上の選択比を有する。
【0032】
本発明のドライリソグラフィ法で形成されたパターンは、シリコン上に形成されるため、直接に必要な素子の構成要素として使用できる。また、本発明のドライリソグラフィ法は、ウェット工程がなく、真空のような一定の環境を維持しながら全体リソグラフィ工程を進行することができ、電子ビーム直接リソグラフィ法(electron−beam direct lithography)や、大量生産に有利な電子ビーム投影リソグラフィ(electron−beam projection lithography;EPL)システムを用いてパターンを描くことから始め、エッチングなどの後工程が統合されたクラスタ(cluster)工程および装置を構成することができ、製作工程の信頼度向上に大きく貢献できる。このように、本発明によるドライリソグラフィ法は、従来のフォトレジストを用いたリソグラフィ工程に代わり、汚染度の最小化された信頼度の高い半導体ナノ構造工程を可能にし、形成パターンからなりこれをチャンネルやゲートのような素子の構成要素として直接使用でき、工程を単純化することができる。すなわち、本発明のドライリソグラフィ法は、ウェーハを大気中に露出せずに真空チャンバー内で種々の工程を順次行えるという長所を有するため、それぞれの工程が集積化されたクラスタが可能になると共に、ウェーハの汚染を最少化にすることができ、ナノ素子超高集積回路の製作上において信頼度を大幅に向上する。
【0033】
図3〜図5は本発明のリソグラフィ法を用いたゲートパターン形成工程を説明するための各々の断面図である。
【0034】
図3を参照すると、まず半導体基板130上に絶縁膜140が形成されたウェーハを準備する。絶縁膜140としては、シリコン酸化膜(SiO2)、シリコン窒化膜(Si3N4)、LaAlO3膜、HfSiO4膜、HfO2膜、ZrO2膜、ZrSiO4膜、またはAl2O3膜などを使用することができる。絶縁膜140は1〜100nm程度の厚さに形成することが好ましい。
【0035】
次いで、化学気相蒸着法などを用いてシリコン膜150を形成する。シリコン膜150の蒸着時、半導体基板130を300〜700℃程度の温度で加熱することが好ましい。シリコン膜150の厚さは、形成するパターンの最小の大きさによって決定される。例えば、シリコン膜150は10〜500nm程度の厚さに形成する。
【0036】
図4を参照すると、シリコン膜150に電子ビーム170を照射して露光工程を行う。前記露光工程はマスク160、あるいはマスク160を使用せずにエネルギー・ビームで直接照射する方法を使用することができる。電子ビーム190は、加速電圧を2〜200kVの範囲とし、照射量を0.01〜10Coulomb/cm2の範囲として照射する。電子ビーム190は半導体基板130を70〜600℃程度の温度で加熱してから照射することが好ましい。
【0037】
図5を参照すると、反応性イオンエッチング(RIE)によってシリコン膜150を選択的にエッチングしパターン転写を行う。すなわち、圧力3〜300mTorr程度のCl2反応気体の雰囲気中でプラズマを生成してイオン化させた後、シリコン膜150に入射させて選択的にエッチングを行う。この際、前記反応性イオンエッチングは半導体基板130を0〜600℃の温度で加熱しながら行う。本発明によれば、従来のリソグラフィ法に比べ格段に簡単で直接的な方法でパターンを転写させることができる。
【0038】
以上、本発明の好適な実施例を挙げ詳細に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の属する技術分野で通常の知識を有する者によって本発明の技術的思想から逸脱しない範囲内で様々な変形が可能である。
【0039】
【発明の効果】
本発明によれば、従来のリソグラフィ技術に比べ工程段階を大幅に減少させると共に、省略された工程の諸費用を大幅に削減でき、生産時間およびコストを減らすことができる。
【0040】
また、本発明は、リソグラフィ工程において従来の非シリコン材料であるフォトレジストの代わりにシリコン膜を使用することにより、現像後に残留するシリコン構造をマスクとして後続の工程を行うことができ、これを直接チャンネルやゲートのような素子部分として使用できるため、レジストを必要としない直接パターン転写(direct pattern transfer)技術として工程段階の縮小および工程の柔軟性を提供する。
【0041】
なお、本発明は、フォトレジストを使用するリソグラフィ工程に必ず要求される多数のウェット工程により、フォトレジストの物質それ自体だけでなく随時大気や液体化学物質に露出し金属や有機的汚染源をウェーハの表面に残す従来の工程に比べて工程段階を簡単化し、汚染を最小化にすることができる。
【0042】
また、本発明は、ウェット工程を一切使わないドライ工程であるため、リソグラフィを含む多数の工程を統合したクラスタシステムの構成を可能にし、工程途中にウェーハを大気中に露出しないということで、今後、ナノサイズの信頼度の高い加工工程および生産コストの減少に非常に有利である。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のリソグラフィ法を説明するための工程流れ図である。
【図2】本発明の好ましい実施例のドライリソグラフィ法を説明するための工程流れ図である。
【図3】本発明のドライリソグラフィ法を用いたゲートパターン形成方法を説明するための断面図である。
【図4】本発明のドライリソグラフィ法を用いたゲートパターン形成方法を説明するための断面図である。
【図5】本発明のドライリソグラフィ法を用いたゲートパターン形成方法を説明するための断面図である。
【符号の説明】
130 半導体基板
140 絶縁膜
150 シリコン膜
160 マスク
170 電子ビーム
【発明の属する技術分野】
本発明は、ドライリソグラフィ法(dry lithography process)およびこれを用いたゲートパターン形成方法に係り、より詳しくは、フォトレジストを使用しないドライリソグラフィ法およびこれを用いたゲートパターン形成方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体産業の発達は、集積回路を構成する素子および回路の小型化技術に大いに依存している。現在の技術水準は、最小線幅が0.1ミクロン(100ナノメータ)に近接している水準であって、近い将来に数十ナノメータの半導体微細構造加工技術が要求される。実際、集積回路チップ(IC)は、単位素子として多数のトランジスタと、これらをつなぐ多層配線とをシリコン基板上に積層して製作する。したがって、このような多層構造の素子において微細化技術の核心工程は、微細パターンを転写(transfer)するリソグラフィ工程である。
【0003】
「リソグラフィ」とは、平らな半導体基板の表面上にパターンを形成する工程を称するもので、薄膜蒸着、イオンドーピングまたはプラズマエッチングなどの後工程のためのものである。通常のリソグラフィ技術は、別途用意されたマスクのパターンを光学リソグラフィツール(例えば、ステッパー(stepper))により有機物基盤のフォトレジスト薄膜に転写させる方法を用いる。露光と現像(develop)後に、薄膜蒸着、エッチングまたはイオンドーピングなどの工程を行い、有機溶媒や酸溶液に浸漬し、リフト・オフ(lift−off)工程を行うか、あるいは酸素プラズマによるアッシング(ashing)工程によって残余フォトレジストを除去(strip)しなければならない。
【0004】
図1は従来のリソグラフィ法の工程流れ図である。図1を参照すると、まず半導体基板となるパターン転写対象物を準備する(S10)。その後、フォトレジストをスピン塗布する(S20)。次いで、プリ・ベーク(pre−bake)工程を行い前記フォトレジストに含まれた溶剤を除去した後(S30)、露光(exposure)工程に入る(S40)。次いで、ウェット工程である現像(development)工程によって、光の照射された部分と光の照射されていない部分のフォトレジストを選択的に除去する(S50)。その後、残りのフォトレジストを更に固めるポスト・ベーク(post−bake)工程を行う(S60)。その次に、プラズマエッチング法などでパターン転写対象物をエッチングしてパターン転写(pattern transfer)を行う(S70)。最後に、ウェットまたはドライ工程によってフォトレジストを除去する(S80)。
【0005】
このような従来のリソグラフィ法は、現像工程などにおいて必ずウェット工程を伴うため、随時大気や液体化学物質に露出されて結局にはウェーハ(wafer)の表面が汚染される。しかも、フォトレジストにも様々な金属または有機汚染源を表面に残すため、それによる素子性能や信頼性の低下などを引き起こす可能性がある。このように、フォトレジスト塗布工程や、熱処理工程、現像工程、またフォトレジスト除去工程などのような種々の工程が用いられるため、パターニング工程が複雑となり、ウェーハの移動回数が増えるだけでなく、ウェーハの汚染による歩留まりの低下や生産時間の増加などの問題が生じる。また、最も大事なことは、今後小型化技術が更に発達するにつれて、ナノサイズの、信頼度の高いナノ加工が要求され、現在のウェット工程を含むリソグラフィ法は技術的限界がある。
【0006】
特許文献1には、“ドライマイクロリソグラフィプロセス”に関して記載されており、これはウェーハ上にフッ素が含有された減光膜を塗布し、紫外線エネルギを用いた乾式リソグラフィ工程で前記減光膜をパターニングする方法が記載されている。
【0007】
また、特許文献2には、“半導体素子製造のマスキング方法”に関して記載されており、これは表面に保護膜が形成された基板上にマスクを位置させ、保護膜を除去するとともにオゾンが生成し、露出された表面に酸化膜が形成されるように光を照射する方法が記載されている。
【0008】
また、特許文献3には、“レジストレス(Resistless)電子ビームリソグラフィを用いたサーブマイクロンエッチング抵抗金属/半導体構造の製造”に関して記載されており、これは基板上に金属を蒸着し、電子ビームを照射してエッチング抵抗金属/半導体化合物を形成した後、エッチング抵抗金属/半導体化合物構造のみ残るように金属を湿式エッチングする方法が記載されている。
【0009】
また、非特許文献1には、犠牲層による電子ビーム露光でSiO2層に製作されたナノメータスケールのパターンが記載されている。
【0010】
また、特許文献4には、半導体基板上にシリコンを含む高分子有機膜を蒸着し、電子ビームリソグラフィ工程で露光された部分はシリコンポリマになり、露光されていない部分は熱処理によって含有されたシリコンを気化させた後、RIEによってシリコンポリマを除く部分を除去して微細パターンを形成する方法が記載されている。
【0011】
また、特許文献5には、クロム材料層を形成した後、上部に開口窓が形成されたマスク板を形成し、フッ化物ガスプラズマを用いてマスク窓を通じてクロム層の表面にフッ化化合物膜を形成し、クロム層とフッ化化合物膜のエッチング比の差を利用したドライエッチングでクロム配線パターンを形成する方法が記載されている。
【0012】
更に、特許文献6には、シリコン基板をフッ酸溶液に浸して表面のシリコン原子を水素で末端部置換し、イオン化水でリンスしてドライさせた後、水素で末端部置換した表面の所定の部分に電子ビームを照射して活性化させてシリコン基板をアルキルシラン反応させ、ポリシリコンを形成させるのであり、減光膜を使用せずにポリシリコンパターンを形成する方法が記載されている。
【0013】
【特許文献1】
米国特許第5,700,628号明細書
【0014】
【特許文献2】
米国特許第5,756,154号明細書
【0015】
【特許文献3】
米国特許第6,261,938号明細書
【0016】
【特許文献4】
特開平6−267812号公報
【0017】
【特許文献5】
特開平6−168919号公報
【0018】
【特許文献6】
韓国公開特許第1997−017944号公報
【0019】
【非特許文献1】
D.R.Allee et al.,“Appl. Phys. Len. 57(21)”, American Institute of Physics, 19 November 1990, p.p. 2271−2273
【0020】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、従来のリソグラフィ法の代わりに、ウェット工程を一切使用しないドライリソグラフィ法を提供することである。
【0021】
本発明の他の目的は、前記ドライリソグラフィ法を用いたゲートパターン形成方法を提供することである。
【0022】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のドライリソグラフィ法は、シリコンからなるパターン転写対象物を準備する段階と、前記パターン転写対象物に対しパターン形成部に電子ビームを選択的に照射する段階と、前記電子ビームの照射された部分と前記電子ビームの照射されていない部分とのエッチング速度差を利用した反応性イオンエッチング工程によって、電子ビームが照射されていない部分の前記パターン転写対象物を除去する段階とを含むことを特徴とする。
【0023】
前記反応性イオンエッチング工程において、圧力3〜300mTorrのCl2反応気体の雰囲気中でプラズマを生成してイオン化した後、前記パターン転写対象物に入射させて選択的にエッチングする。前記反応性イオンエッチング工程は、前記パターン転写対象物を70〜1000℃の温度で加熱しながら行う。
【0024】
前記電子ビームは、加速電圧を2〜200kVの範囲とし、照射量を0.01〜10Coulomb/cm2の範囲で照射する。前記電子ビームは、前記パターン転写対象物を70〜600℃で加熱してから照射する。前記電子ビームの照射は、電子ビーム直接リソグラフィ法(electron−beam direct lithography)または電子ビーム投影リソグラフィ法(electron−beam projection lithography)を使用することができる。
【0025】
前記パターン転写対象物には、シリコン基板、あるいは半導体基板上に蒸着されたシリコン膜、または半導体基板上の絶縁膜上に蒸着されたシリコン膜を用いる。
【0026】
その他の目的を達成するために、本発明によるゲートパターン形成方法は、半導体基板上に絶縁膜を蒸着する段階と、前記絶縁膜上にシリコン膜を蒸着する段階と、前記シリコン膜に対しパターン形成部に電子ビームを選択的に照射する段階と、前記電子ビームの照射された部分と前記電子ビームの照射されていない部分とのエッチング速度差を利用した反応性イオンエッチング工程によって、電子ビームの照射されていない部分の前記シリコン膜を除去する段階とを含む。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下、添付図を参照して本発明の具体的な実施例を詳細に説明する。しかし、これらの実施例は、該当技術分野で通常の知識を有する者に対し、本発明が十分に理解できるように提供されるものであって、様々な変形が可能であり、なお本発明の範囲は後述の実施例に限定されるものではない。以下の説明において、ある層が他の層上に存在すると記述される場合、これは他の層の真上に存在すること、あるいは前記の両層間に第3の層が介在されていることを意味する。また、図面には各層の厚さや大きさが説明の都合および明確性のために誇張されている。図面上において、同一符号は同一要素を指す。
【0028】
図2は、本発明のドライリソグラフィ法の工程流れ図を示しているが、図1に比べ工程段階が格段に単純化されたことが分かる。
【0029】
図2を参照すると、本発明のドライリソグラフィ法は、シリコン膜に電子ビーム(electron−beam)が照射される場合、シリコン膜の性質が変わり特殊な反応性エッチングに対するエッチング感度が変化することを利用する。すなわち、シリコン膜にエネルギー源として電子ビームが照射される場合、照射された部分と照射されていない部分とのエッチング速度に差が生じ、そのことを利用し反応性イオンエッチングを行う場合、選択的にシリコン膜を除去できることを利用する。本発明のドライリソグラフィ法は、まずシリコンからなるパターン転写対象物を準備し(S100)、シリコン膜に選択的に電子ビームを照射して露光工程を行った後(S110)、反応性イオンエッチング(Reactive Ion Etching;RIE)を行い、電子ビームの照射された部分と照射されていない部分とのシリコン膜のエッチング速度(etching rate)が異なることを利用してパターン転写を行う(S120)。前記パターン転写対象物は、シリコン基板、または半導体基板上に蒸着されたシリコン膜、または半導体基板上の絶縁膜上に蒸着されたシリコン膜である。
【0030】
シリコン膜に電子ビームを照射する前記露光工程は、マスクを使用するか、あるいはマスクを使用せずに電子ビームで直接照射する方法がある。すなわち、マスクを使用しない電子ビーム直接リソグラフィ法(electron−beam direct lithography)、あるいはマスクを用いる電子ビーム投影リソグラフィ法(electron−beam projection lithography; EPL)を使用する。前記電子ビームは加速電圧を2〜200kVの範囲とし、照射量を0.01〜10Coulomb/cm2の範囲として照射する。前記電子ビームはウェーハを70〜600℃の温度で加熱してから照射する。
【0031】
前記反応性イオンエッチング(RIE)は、圧力3〜300mTorr程度のCl2反応気体の雰囲気中でプラズマを生成してイオン化した後、シリコン膜上に入射させて選択的にエッチングを行う工程である。この際、前記反応性イオンエッチングは半導体基板を0〜1000℃の温度で加熱しながら行う。一例として、20kVに加速された電子ビームを、0.2Coulomb/cm2のドーズ(dose)で化学気相蒸着(Chemical Vapor Deposition;CVD)法によって形成した非晶質シリコン膜に照射した後、50mTorrのCl2気体雰囲気中でのプラズマを形成させたイオンによるエッチングを行う場合、照射されていない部分のエッチング率は30〜40nm/minであり、照射された部分のエッチング率に比べて10:1以上の選択比を有する。
【0032】
本発明のドライリソグラフィ法で形成されたパターンは、シリコン上に形成されるため、直接に必要な素子の構成要素として使用できる。また、本発明のドライリソグラフィ法は、ウェット工程がなく、真空のような一定の環境を維持しながら全体リソグラフィ工程を進行することができ、電子ビーム直接リソグラフィ法(electron−beam direct lithography)や、大量生産に有利な電子ビーム投影リソグラフィ(electron−beam projection lithography;EPL)システムを用いてパターンを描くことから始め、エッチングなどの後工程が統合されたクラスタ(cluster)工程および装置を構成することができ、製作工程の信頼度向上に大きく貢献できる。このように、本発明によるドライリソグラフィ法は、従来のフォトレジストを用いたリソグラフィ工程に代わり、汚染度の最小化された信頼度の高い半導体ナノ構造工程を可能にし、形成パターンからなりこれをチャンネルやゲートのような素子の構成要素として直接使用でき、工程を単純化することができる。すなわち、本発明のドライリソグラフィ法は、ウェーハを大気中に露出せずに真空チャンバー内で種々の工程を順次行えるという長所を有するため、それぞれの工程が集積化されたクラスタが可能になると共に、ウェーハの汚染を最少化にすることができ、ナノ素子超高集積回路の製作上において信頼度を大幅に向上する。
【0033】
図3〜図5は本発明のリソグラフィ法を用いたゲートパターン形成工程を説明するための各々の断面図である。
【0034】
図3を参照すると、まず半導体基板130上に絶縁膜140が形成されたウェーハを準備する。絶縁膜140としては、シリコン酸化膜(SiO2)、シリコン窒化膜(Si3N4)、LaAlO3膜、HfSiO4膜、HfO2膜、ZrO2膜、ZrSiO4膜、またはAl2O3膜などを使用することができる。絶縁膜140は1〜100nm程度の厚さに形成することが好ましい。
【0035】
次いで、化学気相蒸着法などを用いてシリコン膜150を形成する。シリコン膜150の蒸着時、半導体基板130を300〜700℃程度の温度で加熱することが好ましい。シリコン膜150の厚さは、形成するパターンの最小の大きさによって決定される。例えば、シリコン膜150は10〜500nm程度の厚さに形成する。
【0036】
図4を参照すると、シリコン膜150に電子ビーム170を照射して露光工程を行う。前記露光工程はマスク160、あるいはマスク160を使用せずにエネルギー・ビームで直接照射する方法を使用することができる。電子ビーム190は、加速電圧を2〜200kVの範囲とし、照射量を0.01〜10Coulomb/cm2の範囲として照射する。電子ビーム190は半導体基板130を70〜600℃程度の温度で加熱してから照射することが好ましい。
【0037】
図5を参照すると、反応性イオンエッチング(RIE)によってシリコン膜150を選択的にエッチングしパターン転写を行う。すなわち、圧力3〜300mTorr程度のCl2反応気体の雰囲気中でプラズマを生成してイオン化させた後、シリコン膜150に入射させて選択的にエッチングを行う。この際、前記反応性イオンエッチングは半導体基板130を0〜600℃の温度で加熱しながら行う。本発明によれば、従来のリソグラフィ法に比べ格段に簡単で直接的な方法でパターンを転写させることができる。
【0038】
以上、本発明の好適な実施例を挙げ詳細に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の属する技術分野で通常の知識を有する者によって本発明の技術的思想から逸脱しない範囲内で様々な変形が可能である。
【0039】
【発明の効果】
本発明によれば、従来のリソグラフィ技術に比べ工程段階を大幅に減少させると共に、省略された工程の諸費用を大幅に削減でき、生産時間およびコストを減らすことができる。
【0040】
また、本発明は、リソグラフィ工程において従来の非シリコン材料であるフォトレジストの代わりにシリコン膜を使用することにより、現像後に残留するシリコン構造をマスクとして後続の工程を行うことができ、これを直接チャンネルやゲートのような素子部分として使用できるため、レジストを必要としない直接パターン転写(direct pattern transfer)技術として工程段階の縮小および工程の柔軟性を提供する。
【0041】
なお、本発明は、フォトレジストを使用するリソグラフィ工程に必ず要求される多数のウェット工程により、フォトレジストの物質それ自体だけでなく随時大気や液体化学物質に露出し金属や有機的汚染源をウェーハの表面に残す従来の工程に比べて工程段階を簡単化し、汚染を最小化にすることができる。
【0042】
また、本発明は、ウェット工程を一切使わないドライ工程であるため、リソグラフィを含む多数の工程を統合したクラスタシステムの構成を可能にし、工程途中にウェーハを大気中に露出しないということで、今後、ナノサイズの信頼度の高い加工工程および生産コストの減少に非常に有利である。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のリソグラフィ法を説明するための工程流れ図である。
【図2】本発明の好ましい実施例のドライリソグラフィ法を説明するための工程流れ図である。
【図3】本発明のドライリソグラフィ法を用いたゲートパターン形成方法を説明するための断面図である。
【図4】本発明のドライリソグラフィ法を用いたゲートパターン形成方法を説明するための断面図である。
【図5】本発明のドライリソグラフィ法を用いたゲートパターン形成方法を説明するための断面図である。
【符号の説明】
130 半導体基板
140 絶縁膜
150 シリコン膜
160 マスク
170 電子ビーム
Claims (15)
- シリコンからなるパターン転写対象物を準備する段階と、
前記パターン転写対象物に対しパターン形成部に電子ビームを選択的に照射する段階と、
前記電子ビームの照射された部分と前記電子ビームの照射されていない部分とのエッチング速度差を利用した反応性イオンエッチング工程を実施し、電子ビームの照射されていない部分の前記パターン転写対象物を除去する段階と
を含むことを特徴とするドライリソグラフィ法。 - 前記反応性イオンエッチング工程において、圧力3〜300mTorrの Cl2反応気体の雰囲気中でプラズマを生成してイオン化した後、前記パターン転写対象物に入射させて選択的にエッチングすることを特徴とする請求項1に記載のドライリソグラフィ法。
- 前記反応性イオンエッチング工程において、前記パターン転写対象物を0〜1000℃の温度で加熱しながらエッチングを行うことを特徴とする請求項2に記載のドライリソグラフィ法。
- 前記電子ビームは加速電圧を2〜200kVの範囲とし、照射量を0.01〜10Coulomb/cm2の範囲として照射することを特徴とする請求項1に記載のドライリソグラフィ法。
- 前記電子ビームは前記パターン転写対象物を70〜600℃で加熱してから照射されることを特徴とする請求項1に記載のドライリソグラフィ法。
- 前記電子ビームの照射には、電子ビーム直接リソグラフィ法または電子ビーム投影リソグラフィ法を使用することを特徴とする請求項1に記載のドライリソグラフィ法。
- 前記パターン転写対象物はシリコン基板であることを特徴とする請求項1に記載のドライリソグラフィ法。
- 前記パターン転写対象物は半導体基板上に蒸着されたシリコン膜であることを特徴とする請求項1に記載のドライリソグラフィ法。
- 前記シリコン膜を化学気相蒸着法で形成し、1〜500nmの厚さに蒸着することを特徴とする請求項8に記載のドライリソグラフィ法。
- 前記パターン転写対象物は半導体基板上の絶縁膜上に蒸着されたシリコン膜であることを特徴とする請求項1に記載のドライリソグラフィ法。
- 前記シリコン膜を化学気相蒸着法で形成し、10〜500nmの厚さに蒸着することを特徴とする請求項10に記載のドライリソグラフィ法。
- 半導体基板上に絶縁膜を蒸着する段階と、
前記絶縁膜上にシリコン膜を蒸着する段階と、
前記シリコン膜に対しパターン形成部に電子ビームを選択的に照射する段階と、前記電子ビームの照射された部分と前記電子ビームの照射されていない部分とのエッチング速度差を利用した反応性イオンエッチング工程を実施し、電子ビームの照射されていない部分の前記シリコン膜を除去する段階と
を含むことを特徴とするゲートパターン形成方法。 - 前記シリコン膜を化学気相蒸着法で形成し、10〜500nmの厚さに蒸着することを特徴とする請求項12に記載のゲートパターン形成方法。
- 前記絶縁膜として、シリコン酸化膜(SiO2)、シリコン窒化膜(Si3N4)、LaAlO3膜、HfSiO4膜、HfO2膜、ZrO2膜、ZrSiO4膜、またはAl2O3膜を使用することを特徴とする請求項12に記載のゲートパターン形成方法。
- 前記絶縁膜を1〜100nmの厚さに形成することを特徴とする請求項12に記載のゲートパターン形成方法。
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